專利名稱：數(shù)據(jù)處理方法、數(shù)據(jù)處理裝置、以及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對檢測信號(hào)的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測的數(shù)據(jù)(data)處理方法、數(shù)據(jù)處理裝置、以及利用所述數(shù)據(jù)處理來對檢測信號(hào)進(jìn)行分選且基于分選結(jié)果而對基板等的缺陷進(jìn)行檢測的缺陷檢查裝置。
背景技術(shù)：
在薄膜晶體管(Thin Film Transistor, TFT)陣列(array)檢查裝置等的各種檢查裝置中，通過對檢查對象物施加探測(probe)信號(hào)來將檢測信號(hào)取出并進(jìn)行檢測，通過對所述檢測信號(hào)實(shí)施各種信號(hào)處理來進(jìn)行各種檢查。 舉出將TFT陣列作為檢查對象物的例子進(jìn)行說明。TFT陣列可用作例如對液晶顯示裝置、或有機(jī)電激發(fā)光(Electro Luminescence, EL)顯示裝置的像素電極進(jìn)行選擇的切換兀件(switching element)。 在液晶基板或有機(jī)EL基板等的形成有TFT陣列的半導(dǎo)體基板的制造過程中，在制造過程中包括對基板的TFT陣列等進(jìn)行檢查的檢查步驟、對檢查步驟中所發(fā)現(xiàn)的基板缺陷進(jìn)行修正的步驟、以及對已修正的缺陷進(jìn)行再檢查的步驟等。 TFT陣列基板的檢查除了在TFT陣列基板的制造步驟后單獨(dú)設(shè)置TFT陣列基板檢查步驟的情況以外，也有將所述檢查步驟合并到制造步驟內(nèi)的情況。在所述TFT陣列基板檢查中，對于TFT陣列基板上所產(chǎn)生的TFT陣列，進(jìn)行例如短路、斷線、或附著物等的缺陷的有無、位置、以及缺陷種類等的判定及分類。 TFT陣列的缺陷檢測可通過觀察液晶或有機(jī)EL的顯示狀態(tài)來進(jìn)行，在通過觀察顯示狀態(tài)來檢查TFT陣列時(shí)，例如在液晶面板(panel)中，需要在TFT陣列基板和對向電極之間夾持液晶層而成的液晶顯示裝置的狀態(tài)下進(jìn)行檢查。在未成為液晶顯示裝置而是在半成品的狀態(tài)下進(jìn)行檢查時(shí)，將包括液晶層和對向電極的檢查夾具安裝到TFT陣列基板，將缺陷檢測用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入到TFT陣列，通過將此時(shí)的電壓狀態(tài)和正常狀態(tài)的信號(hào)進(jìn)行比較等的數(shù)據(jù)處理，來求出缺陷的位置坐標(biāo)或表示缺陷狀態(tài)的缺陷數(shù)據(jù)。 在所述TFT陣列中，掃描線(柵極線(gate line))或信號(hào)線(源極線(sourceline))的斷線、掃描線(柵極線)和信號(hào)線(源極線)的短路、以及由于對像素進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的TFT的特性不良而導(dǎo)致的像素缺陷等的缺陷檢查例如是通過以下方式來進(jìn)行使對向電極接地，對柵極線的全部或一部分例如以規(guī)定間隔而施加-15V +15V的直流電壓，對源極線的全部或一部分施加檢查信號(hào)(例如專利文獻(xiàn)1的先前技術(shù))。 由缺陷檢測所取得的缺陷數(shù)據(jù)除了用于各基板的缺陷檢測以外，還可通過對缺陷數(shù)據(jù)進(jìn)行解析來解釋清楚所述缺陷的原因，并反饋(feed back)到基板的制造過程。
另外，作為取得TFT陣列的缺陷檢測的檢測信號(hào)的方法，已知有使用電子束的方法。在使用所述電子束的TFT陣列檢查中，一面使用和缺陷相對應(yīng)的圖案(pattern)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)TFT陣列，一面對像素(pixel)(氧化銦錫(Indium Tin Oxide， ITO)電極)照射電子束并進(jìn)行掃描。對由于電子束照射而從像素中釋放的二次電子進(jìn)行檢測，基于所
4檢測出的二次電子的信號(hào)量的時(shí)間性變化，而進(jìn)行像素的缺陷的有無或缺陷位置等的缺陷 檢查。 在并不限定于上述的TFT陣列基板的檢查的各種檢查對象的檢查中，可進(jìn)行對檢
測信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測的信號(hào)處理。 專利文獻(xiàn)1 :日本專利特開平5-307192號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2 :日本專利特開2007-93501號(hào)公報(bào)(段落0032) 作為對檢測信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測的信號(hào)處理，已知有將檢測信號(hào) 的波形信號(hào)和比較信號(hào)的波形信號(hào)進(jìn)行比較的信號(hào)處理。在所述波形比較中，對規(guī)定時(shí)間 寬度內(nèi)的信號(hào)值進(jìn)行積分來求出信號(hào)量，將由所述積分而獲得的信號(hào)量作為比較的指標(biāo)。 另外，例如于專利文獻(xiàn)2中已知有在對檢測信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理時(shí)，對檢測信號(hào)的信號(hào)量進(jìn) 行積分的方法。 如上所述，在利用積分值來對檢測信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測時(shí)，有時(shí) 信號(hào)量時(shí)間性地變化的波形信號(hào)的積分值、和信號(hào)量并未時(shí)間性地變化的波形信號(hào)的積分 值相一致或者近似，因此存在無法利用積分值來對檢測信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢 測的問題。 圖20是用以對利用積分值來進(jìn)行的檢測信號(hào)的信號(hào)量的比較進(jìn)行說明的圖。在 圖20中，信號(hào)A表示從正常像素獲得的波形信號(hào)，信號(hào)B表示從缺陷像素獲得的波形信號(hào)。 另外，所述波形信號(hào)是為了簡化說明而表示的一例，并不一定表示實(shí)際上的波形信號(hào)。
在同一時(shí)間范圍(例如，圖中箭頭所示的時(shí)間范圍)中，將信號(hào)A積分而獲得的積 分值/ A(t)dt、和將信號(hào)B積分而獲得的積分值/ B(t)dt為同一值，因此無法利用積分值 來對檢測信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測。 因此，在對檢測信號(hào)的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測的信號(hào)處理中，在使用檢測信號(hào)的積 分值時(shí)，有時(shí)無法對檢測信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測，從而成為錯(cuò)誤檢測的主要 原因。 另外，還已知有在兩個(gè)波形信號(hào)的波形比較中，求出兩波波形信號(hào)的相關(guān)系數(shù)的 方法，但是在所述信號(hào)處理中，必須進(jìn)行對多個(gè)樣品(sample)值求出相關(guān)系數(shù)的運(yùn)算處 理，存在運(yùn)算時(shí)間變長的問題。例如，所述方法在應(yīng)用于TFT基板的像素的缺陷檢測信號(hào) 時(shí)，為了提高檢測精度等，而多次進(jìn)行在各像素中對多個(gè)樣品值進(jìn)行檢測以求出相關(guān)函數(shù) 的運(yùn)算，因此，為了處理大量的運(yùn)算而需要較長的運(yùn)算時(shí)間。 在并不限定于基板檢查的各種檢查中，謀求在短時(shí)間內(nèi)對多數(shù)個(gè)檢查對象進(jìn)行處 理，且運(yùn)算時(shí)間越短越理想。由于積分處理的運(yùn)算時(shí)間較短即可，因此適合于大量的運(yùn)算處理。 因此，要求即便在如下的情況下，也可利用簡單的數(shù)據(jù)處理，且在短時(shí)間內(nèi)對檢測 信號(hào)的信號(hào)量的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測，所述情況是在利用積分值來進(jìn)行對檢測信號(hào)的時(shí) 間性變化進(jìn)行檢測的信號(hào)處理時(shí)，無論檢測信號(hào)如何時(shí)間性地變化而積分值均一致，因而 無法利用積分值來進(jìn)行檢測。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，解決所述問題，在使用積分值來對檢測信號(hào)的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測的信號(hào)處理中，獲得反映出檢測信號(hào)的時(shí)間性變化的積分值。另外，本發(fā)明的目 的在于，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行所述數(shù)據(jù)處理。另外，本發(fā)明的目的在于，使進(jìn)行數(shù)據(jù)處理用的構(gòu) 成為簡易的構(gòu)成。 本發(fā)明涉及一種對輸入信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并將該輸入信號(hào)予以輸出的數(shù)據(jù)處理， 可通過數(shù)據(jù)處理方法、數(shù)據(jù)處理裝置、以及檢查裝置的各形態(tài)來實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明的這些各形態(tài) 在基于對規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)的輸入信號(hào)進(jìn)行積分而獲得的積分值來進(jìn)行的數(shù)據(jù)處理中，包括 如下事項(xiàng)以作為共用的技術(shù)事項(xiàng)，即，在進(jìn)行所述積分的前處理階段，按照時(shí)間序列地將輸 入信號(hào)乘以參考信號(hào)，由此來按照時(shí)間序列地改變輸入信號(hào)的信號(hào)電平(level)，并基于已 改變的信號(hào)來產(chǎn)生數(shù)據(jù)信號(hào)。 通過按照時(shí)間序列地改變輸入信號(hào)的信號(hào)電平，可強(qiáng)調(diào)各輸入信號(hào)的波形特征，
從而可獲得反映出檢測信號(hào)的時(shí)間性變化的積分值，即便是在僅進(jìn)行了積分的情況下會(huì)成
為同一積分值的波形信號(hào)，也可使積分值成為根據(jù)所述波形形狀而不同的值。據(jù)此，可根據(jù)
積分值來對各檢測信號(hào)的時(shí)間性變化進(jìn)行分選，并可將測定對象的波形信號(hào)抽出。 本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理方法的形態(tài)是基于對規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)的輸入信號(hào)進(jìn)行積分而
獲得的積分值來進(jìn)行，在積分的前處理中，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)，據(jù)此
而按照時(shí)間序列地改變輸入信號(hào)的信號(hào)電平，基于已改變的信號(hào)來產(chǎn)生數(shù)據(jù)信號(hào)。 在進(jìn)行積分的前處理中，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)，從而通過參
考信號(hào)來對輸入信號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)行調(diào)制。沿著時(shí)間序列，而在各抽樣(sampling)時(shí)間點(diǎn)
上進(jìn)行如下的數(shù)字(digital)運(yùn)算，從而可求出根據(jù)時(shí)間序列而產(chǎn)生的乘法信號(hào)，所述數(shù)
字運(yùn)算為，在輸入信號(hào)的抽樣值和參考信號(hào)的抽樣值中，將相同的抽樣時(shí)間點(diǎn)上的值相乘。 由所述乘法所獲得的信號(hào)電平依賴于輸入信號(hào)和參考信號(hào)的信號(hào)大小以及符號(hào)，
因此按照時(shí)間序列而求出的信號(hào)電平成為反映出各輸入信號(hào)的波形特征的值。因此，即便
是在僅進(jìn)行了積分的情況下會(huì)成為同一積分值的波形信號(hào)，也可在乘以參考信號(hào)后進(jìn)行積
分，從而使積分值為根據(jù)所述輸入信號(hào)的波形形狀而不同的值。 此外，由于所求出的積分值反映出輸入信號(hào)的波形形狀，因此可將該積分值作為 指標(biāo)來對輸入信號(hào)進(jìn)行分選，并將檢測對象的波形信號(hào)抽出。 發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的形態(tài)是基于對規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)的輸入信號(hào)進(jìn)行積分而獲
得的積分值來進(jìn)行，該數(shù)據(jù)處理裝置包括調(diào)制部，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信
號(hào)，從而對輸入信號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)行調(diào)制；積分部，對所述調(diào)制部的輸出信號(hào)進(jìn)行積分，并
將積分值輸出；以及分選部，利用積分部所輸出的積分值來對輸入信號(hào)進(jìn)行分選。 調(diào)制部是按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)以對輸入信號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)
行調(diào)制的構(gòu)成部分，該調(diào)制部包括乘法機(jī)構(gòu)，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)；
以及參考信號(hào)機(jī)構(gòu)，將乘法機(jī)構(gòu)中所乘的參考信號(hào)輸出。 該調(diào)制部所包括的乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)除了分別由一個(gè)機(jī)構(gòu)來構(gòu)成以外，還 可由包括如下機(jī)構(gòu)的多個(gè)機(jī)構(gòu)來構(gòu)成，所述多個(gè)機(jī)構(gòu)為多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)；多個(gè)參考信號(hào)機(jī) 構(gòu)，將所述多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中所乘的參考信號(hào)輸出；以及加減法機(jī)構(gòu)，將各乘算算機(jī)構(gòu)的輸出 相加減。 加減法機(jī)構(gòu)能夠以任意的比例將各乘法機(jī)構(gòu)的輸出相加減。通過改變在加減法機(jī) 構(gòu)中相加減的各乘法機(jī)構(gòu)的輸出的比例，可進(jìn)一步強(qiáng)調(diào)波形形狀的特征，從而增大積分值的差異。通過增大積分值的差異，可使輸入信號(hào)的分選變得容易。 另外，波形調(diào)制部可形成為將同一輸入信號(hào)分割并輸入到多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中的構(gòu) 成。通過將同一輸入信號(hào)分割并輸入到多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中，可對同一輸入信號(hào)乘以不同的參 考信號(hào)或同一參考信號(hào)。 當(dāng)對所述輸入信號(hào)乘以不同的參考信號(hào)時(shí)，為了進(jìn)一步強(qiáng)調(diào)輸入信號(hào)的波形形 狀，除了可對適宜的參考信號(hào)進(jìn)行分選并使用以外，還可對所述輸入信號(hào)乘以不同的參考 信號(hào)而獲得的多個(gè)乘法輸出進(jìn)行相加減，由此通過積分值的取得來獲得適宜的信號(hào)。
另一方面，當(dāng)對所述輸入信號(hào)乘以同一參考信號(hào)時(shí)，可將對所述輸入信號(hào)乘以同 一參考信號(hào)而獲得的多個(gè)乘法輸出相加，從而可獲得信號(hào)對噪聲(signal to noise)良好 的信號(hào)。 另外，可使參考信號(hào)在時(shí)間序列上編輯自由地存在著。通過使參考信號(hào)在時(shí)間序 列上編輯自由地存在著，可形成和輸入信號(hào)相對應(yīng)的參考信號(hào)。 另外，波形調(diào)制部使輸入信號(hào)的時(shí)間變化和參考信號(hào)的時(shí)間變化同步，在利用乘
法機(jī)構(gòu)來進(jìn)行的乘法中，將輸入信號(hào)和參考信號(hào)的同相位的信號(hào)相乘。據(jù)此，可按照時(shí)間序
列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)，從而可按照時(shí)間序列地改變輸入信號(hào)的信號(hào)電平。 在本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置中，作為獲得對輸入信號(hào)的波形形狀進(jìn)一步賦予特征的
積分值的構(gòu)成，具備包含乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)而成的波形調(diào)制部，據(jù)此可利用簡易的
構(gòu)成以較快的處理速度來進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。 發(fā)明的檢查裝置的形態(tài)是在檢查裝置中應(yīng)用上述本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的構(gòu)成，
該檢查裝置包括驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，對測定對象施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)以控制驅(qū)動(dòng)；電子束源，對測定
對象掃描電子束；以及檢測器，對從測定對象釋放出的二次電子進(jìn)行檢測。 檢查裝置所具備的數(shù)據(jù)處理裝置包括調(diào)制部，按照時(shí)間序列地將由檢測器所檢
測的檢測信號(hào)乘以參考信號(hào)，對檢測信號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)行調(diào)制；積分部，對調(diào)制部的輸出信
號(hào)進(jìn)行積分并將積分值輸出；以及分選部，利用積分值來對檢測信號(hào)進(jìn)行分選。檢查裝置是
基于分選部的分選結(jié)果來對測定對象進(jìn)行檢查。 在本發(fā)明的檢查裝置中，作為獲得對輸入信號(hào)的波形形狀進(jìn)一步賦予特征的積分 值的構(gòu)成，具備包含乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)而成的波形調(diào)制部，據(jù)此可利用簡單的構(gòu)成 以較快的處理速度來進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。因此，在檢查裝置中，不會(huì)在利用檢測器進(jìn)行檢測信號(hào) 的檢測時(shí)引起時(shí)間延遲，而可即時(shí)(real time)地進(jìn)行調(diào)制處理以及積分處理。
[發(fā)明的效果] 根據(jù)本發(fā)明，可在使用積分值來對檢測信號(hào)的時(shí)間性變化進(jìn)行檢測的信號(hào)處理 中，獲得反映出檢測信號(hào)的時(shí)間性變化的積分值。 另外，可在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行所述數(shù)據(jù)處理，且可使進(jìn)行數(shù)據(jù)處理用的構(gòu)成為簡易的 構(gòu)成。


圖i是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置、以及包括該數(shù)據(jù)處理裝置的基板檢查裝置 的概略構(gòu)成進(jìn)行說明的圖。 圖2是用以對液晶基板上所形成的一個(gè)像素的構(gòu)成例進(jìn)行說明的圖。
圖3是用以對面板基板的驅(qū)動(dòng)信號(hào)例進(jìn)行說明的圖。 圖4是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例進(jìn)行說明的概略圖。
圖5是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的動(dòng)作進(jìn)行說明的信號(hào) 圖。 圖6是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第1形態(tài)進(jìn)行說明的概 略圖。 圖7是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第1形態(tài)進(jìn)行說明的概 略圖。 圖8是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第1形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行說 明的信號(hào)圖。 圖9是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第2形態(tài)進(jìn)行說明的概 略圖。 圖10是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第2形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的信號(hào)圖。 圖11是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第2形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的信號(hào)圖。 圖12是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第2形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的概略圖。 圖13是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第2形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的信號(hào)圖。 圖14是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第3形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的概略圖。 圖15是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第3形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的信號(hào)圖。 圖16是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第3形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的信號(hào)圖。 圖17是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第4形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的概略圖。 圖18是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的構(gòu)成例的第4形態(tài)的動(dòng)作進(jìn)行 說明的信號(hào)圖。 圖19是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置的調(diào)制部的其他構(gòu)成例的動(dòng)作進(jìn)行說明的 信號(hào)圖。 圖20是用以對利用積分值來進(jìn)行的檢測信號(hào)的信號(hào)量的比較進(jìn)行說明的圖。
1 :數(shù)據(jù)處理裝置 2 :控制部 3 :調(diào)制部 4、4a、4b :乘法機(jī)構(gòu) 5、5a、5b :參考信號(hào)機(jī)構(gòu)6 :加法機(jī)構(gòu) 7、7a、7b :系數(shù)機(jī)構(gòu)8a、8b :開關(guān) 9 :信號(hào)處理部 9a :積分機(jī)構(gòu) 9b :電平判定機(jī)構(gòu) 10 :基板檢查裝置
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11:電子束源12 :二次電子檢測器13:平臺(tái)14 :馬達(dá)16:滾珠絲杠21 :射束控制部22:檢測信號(hào)輸入部23 :面板驅(qū)動(dòng)部24:馬達(dá)控制部25 :同步信號(hào)部30:面板基板31 :柵極32:IT0電極33 :源極線34:柵極線35 :共用線
具體實(shí)施例方式以下， 一面參考圖， 一面對本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行詳細(xì)說明。 圖1是用以對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置1、以及包括該數(shù)據(jù)處理裝置1的基板檢查裝 置10的概略構(gòu)成進(jìn)行說明的圖。此處，以如下檢查裝置為例進(jìn)行說明，該檢查裝置是對利 用電子束來掃描面板基板而獲得的二次電子進(jìn)行檢測，基于檢測信號(hào)來對該面板基板的缺 陷等進(jìn)行檢查。 在圖1中，基板檢查裝置IO包括電子束源11，對面板基板30照射電子束；二 次電子檢測器12，對由電子束照射而從面板基板30釋放出的二次電子進(jìn)行檢測；平臺(tái) (stage)13，在X、Y方向上移動(dòng)自由地支撐面板基板30 ;馬達(dá)(motor) 14，使平臺(tái)13在X、 Y 方向上移動(dòng)；以及滾珠絲杠(ball screw) 15。 從電子束源11照射的電子束通過沿著電子束的照射路徑而配置的未圖示的偏向 機(jī)構(gòu)、以及包括平臺(tái)13、馬達(dá)14、及滾珠絲杠15等的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，而對面板基板30上進(jìn)行掃 描，從而對面板基板30上的面內(nèi)進(jìn)行檢查。 射束(beam)控制部21對電子束源11進(jìn)行控制，從而對電子束照射的開始以及停 止、電子束的強(qiáng)度、射束的振動(dòng)等進(jìn)行控制。檢測信號(hào)輸入部22輸入有從二次電子檢測器 12輸出的檢測信號(hào)，并將檢測信號(hào)傳送到數(shù)據(jù)處理裝置1。面板驅(qū)動(dòng)部23對面板基板30 施加檢查用的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。馬達(dá)控制部24對馬達(dá)14進(jìn)行控制，從而對平臺(tái)13的移動(dòng)進(jìn)行控 制。 基板檢查裝置10包括數(shù)據(jù)處理裝置1，除了對從所述檢測信號(hào)輸入部22輸入的檢 測信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理以外，還對射束控制部21、面板驅(qū)動(dòng)部23、以及馬達(dá)控制部24進(jìn)行控 制。 數(shù)據(jù)處理裝置1包括控制部2，對射束控制部21、面板驅(qū)動(dòng)部23、以及馬達(dá)控制
部24進(jìn)行控制；調(diào)制部3，對從檢測信號(hào)輸入部22輸入的檢測信號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)行調(diào)制；
以及信號(hào)處理部9，對由調(diào)制部3進(jìn)行電平調(diào)制的檢測信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理。
信號(hào)處理部9包括積分運(yùn)算機(jī)構(gòu)(未圖示)，在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對檢測信號(hào)；以
及分選機(jī)構(gòu)(未圖示)，以積分值為指標(biāo)來對檢測信號(hào)進(jìn)行分選。當(dāng)在基板檢查中對該面板
的缺陷進(jìn)行判定時(shí)，基于由分選機(jī)構(gòu)而獲得的結(jié)果來進(jìn)行缺陷檢查。 調(diào)制部3包括乘法機(jī)構(gòu)4，將從檢測信號(hào)輸入部22輸入的檢測信號(hào)乘以參考信 號(hào)；以及參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5，將參考信號(hào)輸出。調(diào)制部3按照時(shí)間序列地將檢測信號(hào)乘以參考 信號(hào)，據(jù)此來強(qiáng)調(diào)檢測信號(hào)的波形，并使積分運(yùn)算機(jī)構(gòu)中所得的積分值反映出波形。
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參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5可形成為如下構(gòu)成，S卩，將參考信號(hào)的信號(hào)圖案儲(chǔ)存在儲(chǔ)存機(jī)構(gòu) (未圖示)中。在所述構(gòu)成中，和檢測對象相對應(yīng)地從儲(chǔ)存機(jī)構(gòu)中讀出參考信號(hào)，并將所讀 出的參考信號(hào)輸出到乘法機(jī)構(gòu)4。 另外，參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5可形成為如下構(gòu)成，即，包括基于參數(shù)(parameter)而形成
參考信號(hào)的信號(hào)形成機(jī)構(gòu)(未圖示)。在所述構(gòu)成中，通過將和檢測對象相對應(yīng)的圖案輸入
到信號(hào)形成機(jī)構(gòu)而形成參考信號(hào)，并將所形成的參考信號(hào)輸出到乘法機(jī)構(gòu)4。 由于按照時(shí)間序列地對參考信號(hào)和檢測信號(hào)進(jìn)行乘法輸出，因此該參考信號(hào)需要
準(zhǔn)備和檢測信號(hào)至少數(shù)目相同的數(shù)字值。由于在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對檢測信號(hào)進(jìn)行抽樣，因
此檢測信號(hào)具有和抽樣間隔相對應(yīng)的個(gè)數(shù)的數(shù)字值。因此，參考信號(hào)準(zhǔn)備了和所述檢測信
號(hào)所具有的數(shù)字值數(shù)目相同的數(shù)字值。較理想的是，參考信號(hào)的數(shù)字值和檢測信號(hào)所具有
的數(shù)字值至少數(shù)目相同，當(dāng)所述參考信號(hào)的數(shù)字值少于檢測信號(hào)所具有的數(shù)字值時(shí)，可通
過相對于多個(gè)檢測信號(hào)而多次利用該參考信號(hào)來進(jìn)行應(yīng)對，但由乘法處理而獲得的調(diào)制信
號(hào)的精度有可能會(huì)下降。 另外，為了按照時(shí)間序列地將檢測信號(hào)和參考信號(hào)相乘，需要保持檢測信號(hào)和參 考信號(hào)的信號(hào)間的對應(yīng)關(guān)系。數(shù)據(jù)處理裝置1為了保持所述信號(hào)間的對應(yīng)關(guān)系而包括同步 信號(hào)部25。同步信號(hào)部25對參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5、射束控制部21、面板驅(qū)動(dòng)部23、以及馬達(dá)控 制部24發(fā)送同步信號(hào)。同步信號(hào)取得參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5、射束控制部21、面板驅(qū)動(dòng)部23、以及 馬達(dá)控制部24的同步。檢測信號(hào)的時(shí)間序列關(guān)系是由射束控制部21，面板驅(qū)動(dòng)部23、以及 馬達(dá)控制部24的驅(qū)動(dòng)狀態(tài)來決定。另外，參考信號(hào)的時(shí)間序列關(guān)系是由參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5的 輸出狀態(tài)來決定。 因此，通過取得參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5、射束控制部21、面板驅(qū)動(dòng)部23、以及馬達(dá)控制部
24的同步，可將檢測信號(hào)和參考信號(hào)的時(shí)間序列關(guān)系保持為規(guī)定關(guān)系。 此處，使用圖2、圖3來對面板基板的驅(qū)動(dòng)例進(jìn)行說明。圖2表示液晶基板上所形成
的一個(gè)像素的構(gòu)成例。各像素包括格子狀排列的TFT31和IT0電極32。 TFT31的柵極G和
配置在橫向上的柵極線(Gate)連接，TFT31的源極S和配置在縱向上的源極線(Source)連
接，TFT31的漏極(drain)D和IT0電極32連接。另夕卜，IT0電極32經(jīng)由共用電容(common
capacity)而禾口共用線(common line)連接。 在所述構(gòu)成中，通過對TFT31的柵極G施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，來將源極線33的驅(qū)動(dòng)信號(hào) 施加到IT0電極32。 圖3表示面板基板的驅(qū)動(dòng)信號(hào)例，圖3(a)表示源極電壓，圖3 (b)表示柵極電壓， 圖3(c)表示IT0電極的電壓，圖3(d)表示在正常像素上所檢測的IT0電極的電壓，圖3(e) 表示在缺陷像素上所檢測的IT0電極的電壓。 IT0電極的電壓依賴于缺陷狀態(tài)和施加到面板基板上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的信號(hào)圖案，因 此可根據(jù)所述電壓狀態(tài)來檢測出缺陷的有無以及缺陷的種類。驅(qū)動(dòng)信號(hào)的信號(hào)圖案可由施 加到柵極和源極上的信號(hào)圖案來表示。 以下，對本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理裝置1所具備的調(diào)制部3的構(gòu)成、以及動(dòng)作例進(jìn)行說 明。 調(diào)制部3可由乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)而構(gòu)成，可形成為將單一的乘法機(jī)構(gòu)和參 考信號(hào)機(jī)構(gòu)組合的形態(tài)、以及將多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)組合的形態(tài)。
首先，對由單一的乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)的組合來構(gòu)成調(diào)制部的形態(tài)進(jìn)行說明。 圖4、圖5表示由單一的乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)的組合來構(gòu)成調(diào)制部的例子以及信號(hào)圖。 在圖4 (a)中，調(diào)制部3包括乘法機(jī)構(gòu)4，將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)R ;以及參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5，將參考信號(hào)R輸出到乘法機(jī)構(gòu)4。在乘法機(jī)構(gòu)4中，例如，通過運(yùn)算處理來進(jìn)行如下的乘法運(yùn)算，即，將對輸入信號(hào)S進(jìn)行抽樣而得的數(shù)字值乘以參考信號(hào)R的數(shù)字值。所述乘法運(yùn)算通過取得由輸入信號(hào)S的抽樣而得的數(shù)字值和參考信號(hào)R的數(shù)字值的同步，而在各乘法處理期間，使輸入信號(hào)和參考信號(hào)的對應(yīng)關(guān)系經(jīng)常保持為同一信號(hào)關(guān)系。
由調(diào)制部3調(diào)制的調(diào)制信號(hào)SXR被輸出到信號(hào)處理部9。在信號(hào)處理部9中，積分機(jī)構(gòu)9a在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)S X R進(jìn)行積分，并將積分值/ S X R輸出到電平判定機(jī)構(gòu)9b。電平判定機(jī)構(gòu)9b基于積分值/ SXR來對檢測信號(hào)S進(jìn)行分選。當(dāng)輸入信號(hào)S是由缺陷檢查裝置所檢測的檢測信號(hào)時(shí)，電平判定機(jī)構(gòu)9b基于積分值/ SXR來進(jìn)行缺陷的有無或缺陷種類的判定。另外，此處"X"表示乘法運(yùn)算。 圖4(b)以及圖5(a) (d)表示輸入信號(hào)S是正常波形信號(hào)A時(shí)的動(dòng)作。
當(dāng)輸入信號(hào)S是正常波形信號(hào)A時(shí)，形成由調(diào)制部3調(diào)制的調(diào)制信號(hào)AXR。圖5(a)表示正常波形信號(hào)A(t)的一例，圖5(b)表示參考信號(hào)R(t)的一例。參考信號(hào)R(t)是形成為和正常波形信號(hào)A(t)的波形信號(hào)相似的波形形狀，此處，設(shè)定成+l和-l的振幅。
乘法機(jī)構(gòu)4通過運(yùn)算處理來將正常波形信號(hào)A (t)乘以參考信號(hào)R (t)，并將調(diào)制信號(hào)A(t)XR(t)輸出。圖5(c)表示調(diào)制信號(hào)A(t)XR(t)的一例。 積分機(jī)構(gòu)9b在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)A(t) XR(t)進(jìn)行積分，并將積分值/ A(t) XR(t)dt輸出。圖5(d)表示積分值/ A(t) XR(t)dt的一例。 將正常波形信號(hào)A(t)乘以參考信號(hào)R(t)，據(jù)此，正常波形信號(hào)A(t)的信號(hào)電平按照時(shí)間序列地受到調(diào)制，從而強(qiáng)調(diào)波形形狀的特征。此處，電平1的信號(hào)是將電平調(diào)制成從"l"到"-l"。積分機(jī)構(gòu)9a對調(diào)制信號(hào)A(t)XR(t)進(jìn)行積分并將積分值/ A(t)XR(t)dt輸出。圖5(d)表示積分值/ A(t)XR(t)dt。 另一方面，圖4(c)以及圖5(e) (h)表示輸入信號(hào)S是缺陷波形信號(hào)B時(shí)的動(dòng)作。 當(dāng)輸入信號(hào)S是缺陷波形信號(hào)B時(shí)，形成由調(diào)制部3調(diào)制的調(diào)制信號(hào)BXR。圖5(e)表示缺陷波形信號(hào)B(t)的一例，圖5(f)表示參考信號(hào)R(t)的一例。參考信號(hào)R(t)和圖5(b)同樣地形成了和正常波形信號(hào)A(t)的波形信號(hào)相似的波形形狀，此處，設(shè)定成+1和-1的振幅。 乘法機(jī)構(gòu)4通過運(yùn)算處理來將缺陷波形信號(hào)B (t)乘以參考信號(hào)R (t)，并將調(diào)制信號(hào)B(t)XR(t)輸出。圖5(g)表示調(diào)制信號(hào)B(t)XR(t)的一例。 將缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)R(t)，據(jù)此，缺陷波形信號(hào)B(t)的信號(hào)電平按照時(shí)間序列地受到調(diào)制，從而強(qiáng)調(diào)波形形狀的特征。此處，電平3的信號(hào)電平是調(diào)制成"3"和"-3"。積分機(jī)構(gòu)9a在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)B(t) XR(t)進(jìn)行積分并將積分值
/ B(t) XR(t)dt輸出。圖5(d)表示積分值/ B(t) XR(t)dt。 如果將圖5(d)所示的正常波形信號(hào)A的積分值/ A(t)XR(t)dt、和圖5(h)所示的缺陷波形信號(hào)B的積分值/ B (t) X R (t) dt進(jìn)行比較，那么正常波形信號(hào)A通過乘以參考信號(hào)R(t)而成為具有正方向上的電平的分布的波形信號(hào)，該波形信號(hào)的積分值位于"4"的電平范圍。另一方面，缺陷波形信號(hào)B通過乘以參考信號(hào)R(t)而成為分布在電平O的上下的波形信號(hào)，該波形信號(hào)的積分值為"O"的電平范圍。 因此，通過對乘以參考信號(hào)而獲得的調(diào)制信號(hào)進(jìn)行積分，而正常波形信號(hào)A的積分值/ A(t)XR(t)dt和缺陷波形信號(hào)B的積分值/ B(t)XR(t)dt的值會(huì)形成差異，從而信號(hào)的分選變得容易。 接著，對由多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)的組合來構(gòu)成調(diào)制部的形態(tài)進(jìn)行說明。
圖6 圖17表示由多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)的組合來構(gòu)成調(diào)制部的例子。另外，此處，使用由各兩個(gè)乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)的組合來構(gòu)成調(diào)制部的例子進(jìn)行說明。
所述調(diào)制部的構(gòu)成能以多個(gè)形態(tài)進(jìn)行動(dòng)作。第1動(dòng)作形態(tài)是不同的參考信號(hào)對分別所對應(yīng)的正常波形信號(hào)進(jìn)行檢測，第2動(dòng)作形態(tài)是不同的參考信號(hào)對多個(gè)正常波形信號(hào)進(jìn)行檢測，第3動(dòng)作形態(tài)使可相加的調(diào)制信號(hào)的比例改變。另外，第4動(dòng)作形態(tài)是使用相同的參考信號(hào)來增加信號(hào)量。使用圖7、圖8來對第1動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明，使用圖9 圖13來對第2動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明，使用圖14 圖16來對第3動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明，使用圖17、圖18來對第4動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明。 圖6是由兩個(gè)乘法機(jī)構(gòu)和參考信號(hào)機(jī)構(gòu)的組合來構(gòu)成的調(diào)制部的概略圖。 在圖6(a)中，調(diào)制部3包括將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)R的乘法機(jī)構(gòu)4a、4b ;以
及將參考信號(hào)R輸出到乘法機(jī)構(gòu)4a、4b中的參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a、5b。在乘法機(jī)構(gòu)4a、4b中，通
過運(yùn)算處理來進(jìn)行如下的乘法運(yùn)算，即，將對輸入信號(hào)S進(jìn)行抽樣而得的數(shù)字值乘以分別
從參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a、5b輸出的參考信號(hào)Rl、R2的數(shù)字值。所述乘法運(yùn)算通過取得由輸入信
號(hào)S的抽樣而獲得的數(shù)字值和參考信號(hào)R1、R2的數(shù)字值的同步，而在各乘法處理期間，使輸
入信號(hào)和參考信號(hào)的對應(yīng)關(guān)系經(jīng)常保持為同一信號(hào)關(guān)系。 乘法機(jī)構(gòu)4a將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)Rl而獲得的乘法值SXR1予以輸出，乘法機(jī)構(gòu)4b將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)R2而獲得的乘法值SXR2予以輸出。乘法值SXR1經(jīng)由系數(shù)機(jī)構(gòu)7a和開關(guān)(switch)機(jī)構(gòu)8a而輸入到加法機(jī)構(gòu)6，乘法值SXR2經(jīng)由系數(shù)機(jī)構(gòu)7b和開關(guān)機(jī)構(gòu)8b而輸入到加法機(jī)構(gòu)6。 系數(shù)機(jī)構(gòu)7a將乘法值SXRl乘以系數(shù)kl而獲得的klXSXRl予以輸出，系數(shù)機(jī)構(gòu)7b將乘法值S X R2乘以系數(shù)k2而獲得的k2 X S X R2予以輸出。另外，開關(guān)機(jī)構(gòu)8a對乘法值Kl X S X Rl朝加法機(jī)構(gòu)6的輸入進(jìn)行控制，開關(guān)機(jī)構(gòu)8b對乘法值K2 X S X R2朝加法機(jī)構(gòu)6的輸入進(jìn)行控制。加法機(jī)構(gòu)6將乘法值klXSXRl和乘法值k2XSXR2相加，并將加法值(klXSXRl+k2XSXR2)作為調(diào)制信號(hào)而輸出到信號(hào)處理部9。 另外，通過對系數(shù)機(jī)構(gòu)7a、7b的系數(shù)進(jìn)行設(shè)定，也可省略開關(guān)機(jī)構(gòu)8a、8b。例如，通過將系數(shù)機(jī)構(gòu)7a、7b的系數(shù)設(shè)為"0"，可使開關(guān)機(jī)構(gòu)8a、8b成為和斷開(OFF)狀態(tài)同樣的狀態(tài)。 在信號(hào)處理部9中，積分機(jī)構(gòu)9a在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)(klXSXRl+k2XSXR2)進(jìn)行積分，并將積分值/ (kl X SX Rl+k2 X SX R2) dt輸出到電平判定機(jī)構(gòu)9b。電平判定機(jī)構(gòu)9b基于積分值/ (klXSXRl+k2XSXR2)dt來對檢測信號(hào)S進(jìn)行分選。當(dāng)輸入信號(hào)S是由缺陷檢查裝置而檢測的檢測信號(hào)時(shí)，電平判定機(jī)構(gòu)9b基于積分值/ (klXSXRl+k2XSX R2) dt來進(jìn)行缺陷的有無或缺陷種類的判定。 圖6(b)是表示如下情況，即，通過開關(guān)8a、8b的切換，來分別對由參考信號(hào)Rl調(diào)
制的調(diào)制信號(hào)SXR1、以及由參考信號(hào)R2調(diào)制的調(diào)制信號(hào)SXR2進(jìn)行個(gè)別處理。 以下，在所述切換狀態(tài)中，使用圖7、圖8對第1動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明。第1動(dòng)作形態(tài)
是不同的參考信號(hào)對分別所對應(yīng)的正常波形信號(hào)進(jìn)行檢測。此處，參考信號(hào)R1是正常波形
信號(hào)Al的正常判定所使用的參考信號(hào)，參考信號(hào)R2是正常波形信號(hào)A2的正常判定所使用
的參考信號(hào)。 圖7(a)表示輸入了正常波形信號(hào)Al的狀態(tài)，圖7(b)表示輸入了正常波形信號(hào)A2的狀態(tài)。 在圖7(a)中，使開關(guān)8a為接通(0N)狀態(tài)，且使開關(guān)8b為OFF狀態(tài)，從而僅使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a來計(jì)算乘法值A(chǔ)lXRl。圖8(a)表示正常波形信號(hào)Al(t)以及缺陷波形信號(hào)B(t)，圖8(b)表示參考信號(hào)Rl(t)，圖8(c)表示將正常波形信號(hào)Al(t)乘以參考信號(hào)Rl(t)而獲得的乘法值A(chǔ)l(t)XRl(t)，另外，圖8(d)表示輸入了缺陷信號(hào)B(t)時(shí)的乘法值B(t) XRl(t)。 使用和正常波形信號(hào)Al (t)相似的波形形狀來作為參考信號(hào)Rl (t)，據(jù)此，正常波形信號(hào)Al(t)受到電平調(diào)制，而獲得圖8(c)所示的調(diào)制信號(hào)Al(t)XRl(t)。積分機(jī)構(gòu)9b在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)Al(t)XRl(t)進(jìn)行積分，并將積分值/ Al(t)XRl(t)dt輸出。圖8(e)中的實(shí)線表示積分值/ Al(t)XRl(t)dt。 另一方面，當(dāng)輸入機(jī)構(gòu)輸入了缺陷信號(hào)B(t)時(shí)，缺陷波形信號(hào)B(t)受到電平調(diào)制，而獲得圖8(d)所示的調(diào)制信號(hào)B(t)XRl(t)。積分機(jī)構(gòu)9b在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)B(t)XRl(t)進(jìn)行積分，并將積分值/ B(t)XRl(t)dt輸出。圖8(e)中的虛線表示積分值/ B(t) XRl(t)dt。 正常波形信號(hào)A(t)以及缺陷波形信號(hào)B(t)通過乘以參考信號(hào)，而分別如圖8(c)、 (d)所示按照時(shí)間序列地受到電平調(diào)制。所述電平調(diào)制如圖8(e)所示，將積分值/ Al(t)XRl(t)dt和積分值/ B(t)XRl(t)dt的差異擴(kuò)大，從而使得利用正常波形信號(hào)Al(t)和缺陷波形信號(hào)B(t)的積分值來進(jìn)行的分選更容易。 在表示輸入了正常波形信號(hào)A2的狀態(tài)的圖7 (a)中，使開關(guān)8a為OFF狀態(tài)，且使開關(guān)8b為0N狀態(tài)，從而僅使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b來計(jì)算乘法值A(chǔ)2XR2。圖8 (f)表示正常波形信號(hào)A2 (t)以及缺陷波形信號(hào)B (t)，圖8 (g)表示參考信號(hào)R2 (t)，圖8 (h)表示將正常波形信號(hào)A2(t)乘以參考信號(hào)R2(t)而獲得的乘法值A(chǔ)2(t)XR2(t)，另外，圖8(i)表示輸入了缺陷信號(hào)B(t)時(shí)的乘法值B(t)XR2(t)。 使用和正常波形信號(hào)A2(t)相似的波形形狀來作為參考信號(hào)R2(t)，據(jù)此，正常波形信號(hào)A2(t)受到電平調(diào)制，獲得圖8(h)所示的調(diào)制信號(hào)A2(t)XR2(t)。積分機(jī)構(gòu)9b在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)A2 (t) XR2 (t) dt進(jìn)行積分，并將積分值/ A2 (t) XR2 (t) dt輸出。圖8(j)中的實(shí)線表示積分值/ A2(t)XR2(t)dt。 另一方面，當(dāng)輸入機(jī)構(gòu)輸入了缺陷信號(hào)B(t)時(shí)，缺陷波形信號(hào)B(t)受到電平調(diào)制，獲得圖8(i)所示的調(diào)制信號(hào)B(t)XR2(t)。積分機(jī)構(gòu)9b在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)B(t)XR2(t)進(jìn)行積分，并將積分值/ B(t)XR2(t)dt輸出。圖8(j)中的虛線表示積分值<formula>formula see original document page 14</formula> 正常波形信號(hào)A2(t)以及缺陷波形信號(hào)B(t)通過乘以參考信號(hào)，而分別如圖8(h)、圖8(i)所示按照時(shí)間序列地受到電平調(diào)制。所述電平調(diào)制如圖8(j)所示，將積分值/ A2(t)XR2(t)dt和積分值/ B(t)XR2(t)dt的差異擴(kuò)大，從而使得利用正常波形信號(hào)A2(t)和缺陷波形信號(hào)B(t)的積分值來進(jìn)行的分選更容易。 接著，使用圖9 圖13來對第2動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明。第2動(dòng)作形態(tài)中以不同的參考信號(hào)來對多個(gè)正常波形信號(hào)進(jìn)行檢測。在圖9所示的例子中，參考信號(hào)R1以及參考信號(hào)R2均是和正常波形信號(hào)Al及A2的波形信號(hào)相對應(yīng)的參考信號(hào)，參考信號(hào)Rl可用作為在正常波形信號(hào)Al以及A2的正常判定中所使用的參考信號(hào)，另外，參考信號(hào)R2也可用作為在正常波形信號(hào)A1以及A2的正常判定中所使用的參考信號(hào)。 其次，圖9(a)、 (b)是表示如下的情況，即，通過開關(guān)8a、8b的切換，來對由參考信號(hào)Rl調(diào)制的調(diào)制信號(hào)SXR1、以及由參考信號(hào)R2調(diào)制的調(diào)制信號(hào)SXR2進(jìn)行個(gè)別處理。
圖9(a)表示輸入了正常波形信號(hào)Al的狀態(tài)，圖9(b)表示輸入了正常波形信號(hào)A2的狀態(tài)。 在圖9(a)中，使開關(guān)8a為0N狀態(tài)，且使開關(guān)8b為0FF狀態(tài)，從而僅使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a來計(jì)算乘法值A(chǔ)l (t) XRl (t)，另一方面，使開關(guān)8a為OFF狀態(tài)，且使開關(guān)8b為ON狀態(tài)，從而僅使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b來計(jì)算乘法值A(chǔ)l (t) X R2 (t)。 圖10(a) (c)表示使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a的參考信號(hào)Rl(t)來獲得乘法值A(chǔ)l(t) XRl(t)的情況，圖10(d) (f)表示使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b的參考信號(hào)R2(t)來獲得乘法值A(chǔ)l(t)XR2(t)的情況。另一方面，圖ll(a) (c)表示使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a的參考信號(hào)Rl(t)來獲得乘法值A(chǔ)2(t)XRl(t)的情況，圖ll(d) (f)表示使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b的參考信號(hào)R2(t)來獲得乘法值A(chǔ)2(t)XR2(t)的情況。此處，參考信號(hào)Rl(t)是形成為和正常波形信號(hào)Al(t)相似的形狀的波形信號(hào)，參考信號(hào)R2(t)是形成為和正常波形信號(hào)Al(t)不相似的形狀的波形信號(hào)。 另外，圖12表示輸入了缺陷波形信號(hào)B的狀態(tài)。圖12是表示如下的狀態(tài)，即，通過開關(guān)8a、8b的切換，而僅使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a來計(jì)算乘法值B (t) X Rl (t)，以及僅使用參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b來計(jì)算乘法值B(t)XR2(t)。積分機(jī)構(gòu)9a對乘法值B(t)XRl(t)以及乘法值B(t)XR2(t)進(jìn)行積分，并將積分值/ B(t)XRl(t)dt輸出，電平判定機(jī)構(gòu)9b來對由積分機(jī)構(gòu)9a所積分的積分值/ B(t) XRl(t)dt、 / B(t) X R2 (t) dt進(jìn)行電平判定，從而進(jìn)行缺陷判定。 接著，使用圖13來對如下的例子進(jìn)行說明，S卩，使用調(diào)制信號(hào)的積分值來對正常波形信號(hào)和缺陷波形信號(hào)進(jìn)行分選，并進(jìn)行缺陷檢測。 圖13(a)表示將缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)Rl(t)而獲得的調(diào)制信號(hào)B(t) XRl(t)。 圖13(b)是用以將積分值/ Al(t)XRl(t)dt、積分值/ Al(t)XR2(t)dt、以及積分值/ B(t)XRl(t)dt進(jìn)行比較的圖。此處，積分值/ Al(t)XRl(t)dt是對圖10(c)所示的由正常波形信號(hào)Al(t)和參考信號(hào)Rl(t)而得的調(diào)制信號(hào)Al(t)XRl(t)進(jìn)行積分后獲得的積分值，積分值/ Al(t)XR2(t)dt是對圖10(f)所示的由正常波形信號(hào)Al(t)和參考信號(hào)R2(t)而得的調(diào)制信號(hào)Al(t)XR2(t)進(jìn)行積分后獲得的積分值，積
14分值/ B(t)XRl(t)dt是對由缺陷波形信號(hào)B(t)和參考信號(hào)Rl(t)而得的調(diào)制信號(hào)B(t) XRl(t)進(jìn)行積分后獲得的積分值。 根據(jù)圖13(b)的各積分值的比較，積分值/ Al(t)XRl(t)dt以及積分值/ Al(t)XR2(t)dt的大小相對于用虛線所表示的積分值/ B(t)XRl(t)d t，存在可充分識(shí)別的程度的差異，因此，可基于所述積分值的大小，而從缺陷波形信號(hào)B(t)中分選出正常波形信號(hào)Al (t)。 另外，圖13(c)表示將缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)R2(t)而獲得的調(diào)制信號(hào)B(t)XR2(t)，圖13(d)是用以將積分值/ A2(t)XRl(t)dt、積分值/ A2(t)XR2(t)dt、以及積分值/ B(t)XR2(t)dt進(jìn)行比較的圖。此處，積分值/ A2(t)XRl(t)dt是對圖ll(c)所示的由正常波形信號(hào)A2(t)和參考信號(hào)Rl(t)而得的調(diào)制信號(hào)A2(t)XRl(t)進(jìn)行積分后獲得的積分值，積分值/ A2(t)XR2(t)dt是對圖ll(f)所示的由正常波形信號(hào)A2(t)和參考信號(hào)R2(t)而得的調(diào)制信號(hào)Al(t)XR2(t)進(jìn)行積分后獲得的積分值，積分值/ B(t)XR2(t)dt是對由缺陷波形信號(hào)B(t)和參考信號(hào)R2(t)而得的調(diào)制信號(hào)B(t)XR2(t)進(jìn)行積分后獲得的積分值。 根據(jù)圖13(d)的各積分值的比較，積分值/ A2(t)XRl(t)dt以及積分值/ A2(t)XR2(t)dt的大小相對于用虛線所表示的積分值/ B(t)XR2(t)dt ，存在可充分識(shí)別的程度的差異，因此，可基于波形信號(hào)的積分值的大小，而從缺陷波形信號(hào)B(t)中分選出止常波形信號(hào)A2(t)。 因此，根據(jù)圖9 圖13所示的第2動(dòng)作形態(tài)，可使用和正常波形信號(hào)Al相對應(yīng)的參考信號(hào)Rl、以及和正常波形信號(hào)A2相對應(yīng)的參考信號(hào)R2，來將正常波形信號(hào)Al以及A2從缺陷波形信號(hào)B中分選出。 接著，使用圖14、圖15來對第3動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明。第3動(dòng)作形態(tài)使可相加的調(diào)制信號(hào)的比例改變。 在圖14中，調(diào)制部3包括將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)Rl的乘法機(jī)構(gòu)4a、及將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)R2的乘法機(jī)構(gòu)4b ;將參考信號(hào)Rl輸出到乘法機(jī)構(gòu)4a中的參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a、及將參考信號(hào)R2輸出到乘法機(jī)構(gòu)4b中的參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b ;對各乘法機(jī)構(gòu)4a、4b的乘法輸出SXRl、SXR2乘以系數(shù)kl、k2的系數(shù)機(jī)構(gòu)7a、7b ;以及將乘以系數(shù)kl、k2而獲得的輸出SX Rl XKl、 SX R2 XKl相加的加法機(jī)構(gòu)6。 在乘法機(jī)構(gòu)4a、4b中，通過運(yùn)算處理來進(jìn)行如下的乘法運(yùn)算，即，將對輸入信號(hào)S進(jìn)行抽樣而獲得的數(shù)字值乘以分別從參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a、5b輸出的參考信號(hào)Rl、 R2的數(shù)字值。所述乘法運(yùn)算通過取得利用輸入信號(hào)S的抽樣而得的數(shù)字值和參考信號(hào)R1、R2的數(shù)字值的同步，而在各乘法處理期間，使輸入信號(hào)和參考信號(hào)的對應(yīng)關(guān)系經(jīng)常保持為同一信號(hào)關(guān)系。 乘法機(jī)構(gòu)4a將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)Rl而獲得的乘法值SXR1輸出，乘法機(jī)構(gòu)4b將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)R2而獲得的乘法值SXR2輸出。乘法值SXR1經(jīng)由系數(shù)機(jī)構(gòu)7a而輸入到加法機(jī)構(gòu)6，乘法值SXR2經(jīng)由系數(shù)機(jī)構(gòu)7b而輸入到加法機(jī)構(gòu)6。
系數(shù)機(jī)構(gòu)7a將乘法值SXRl乘以系數(shù)kl而獲得的klXSXRl輸出，系數(shù)機(jī)構(gòu)7b將乘法值SXR2乘以系數(shù)k2而獲得的k2XSXR2輸出。加法機(jī)構(gòu)6將乘法值klXSXRl和乘法值k2XSXR2相加，并將加法值(klXSXRl+k2XSXR2)作為調(diào)制信號(hào)而輸出到信號(hào)處理部9。 在信號(hào)處理部9中，積分機(jī)構(gòu)9a在規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)對調(diào)制信號(hào)(klXSXRl+k2XSXR2)進(jìn)行積分，并將積分值/ (kl X SX Rl+k2 X SX R2) dt輸出到電平判定機(jī)構(gòu)9b。電平判定機(jī)構(gòu)9b基于積分值/ (klXSXRl+k2XSXR2)dt來對檢測信號(hào)S進(jìn)行分選。當(dāng)輸入信號(hào)S是由缺陷檢查裝置所檢測的檢測信號(hào)時(shí)，電平判定機(jī)構(gòu)9b基于積分值/ (kl X SX Rl+k2 X SX R2) dt來進(jìn)行缺陷的有無或缺陷種類的判定。
此處，可任意地對系數(shù)kl 、k2進(jìn)行設(shè)定，并可根據(jù)所述系數(shù)kl 、k2的設(shè)定來改變將乘法值SXR1和乘法值SXR2相加的比例。所述系數(shù)kl、k2的設(shè)定可根據(jù)來自未圖示的控制部2的控制而改變。 圖15是將系數(shù)kl、 k2均設(shè)定成"l"的例子，在此情況下，乘法值SXR1和乘法值SXR2是以相同的比例相加。另一方面，圖16是將系數(shù)kl設(shè)定成"l"，且將系數(shù)k2設(shè)定成"2"的例子。在此情況下，可將乘法值SXR1和乘法值SXR2相加時(shí)的比率設(shè)定成1 : 2。
圖15(a)表示正常波形信號(hào)Al(t)以及缺陷波形信號(hào)B (t)，圖15 (b) 、 (c)表示參考信號(hào)Rl (t) 、 R2 (t)，圖15 (d) 、 (e)表示按照時(shí)間序列地將正常波形信號(hào)Al (t)以及缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)Rl (t) 、 R2(t)而獲得的乘法值S(t) XR1 (t) 、 B(t) XR1 (t)、以及乘法值S(t)XR2a)、B(t)XR2(t)，圖15(f)表示將乘法值S(t) XRl (t)和乘法值
s a) x r2 a)按照相同比率相加而獲得的加法值(s a) x ri a) +s a) x r2 a))，圖15 (g)
表示將乘法值B(t)XRl(t)和乘法值B(t)XR2(t)按照相同比率相加而獲得的加法值(B(t)XRia)+B(t)XR2(t))。另外，圖15(h)表示對圖15(f)的加法值進(jìn)行積分而獲得的積分值/ (S(t)XRia)+S(t)XR2(t))dt(以圖中的實(shí)線表示)、以及對圖15(g)的加法值
進(jìn)行積分而獲得的積分值/ (b a) x ri a) +b a) x R2 a)) dt (以圖中的虛線表示)。 圖16(a)表示正常波形信號(hào)Al(t)以及缺陷波形信號(hào)B (t)，圖16 (b) 、 (c)表示參考信號(hào)Rl (t) 、 R2 (t)，圖16 (d) 、 (e)表示按照時(shí)間序列地將正常波形信號(hào)Al (t)以及缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)Rl (t) 、 R2(t)而獲得的乘法值S(t) XR1 (t) 、 B(t) XR1 (t)、以及乘法值S(t)XR2a)、B(t)XR2(t)，圖16(f)表示將乘法值S(t) XRl (t)和乘法值S(t)XR2(t)按照l : 2的比率相加而獲得的加法值(S(t)XRia)+2XS(t)XR2(t))，圖
is (g)表示將乘法值b a) x ri a)和乘法值b a) x R2 a)按照i : 2的比率相加而獲得的
加法值(B(t)XRia)+2XB(t)XR2(t))。另外，圖16(h)表示對圖16(f)的加法值進(jìn)行積
分而獲得的積分值/ (sa) xri a) +2xsa) xR2 a)) dt (以圖中的實(shí)線表示)、以及對圖
16(g)的加法值進(jìn)行積分而獲得的積分值/ (B(t)XRia)+2XB(t)XR2(t))dt(以圖中的虛線表示)。 如果將圖15(g)的積分值的比較和圖16(g)的積分值的比較進(jìn)行比較，那么和加法比率為l : 1的情況相比，將加法比率設(shè)為1 : 2的加法例中，以實(shí)線表示的積分值/ (S(t)XRia)+2XS(t)XR2(t))dt的大小相對于以虛線表示的積分值
/ (ba) xri a) +2xba) xR2a))dt的差異增大，可基于所述積分值的大小，而將正常波
形信號(hào)A2(t)從缺陷波形信號(hào)B(t)中容易地分選出。 接著，使用圖17、圖18來對第4動(dòng)作形態(tài)進(jìn)行說明。第4動(dòng)作形態(tài)是使用相同的參考信號(hào)來增加信號(hào)量。 在圖17中，調(diào)制部3包括將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)Rl的乘法機(jī)構(gòu)4a、及將輸
16入信號(hào)S乘以參考信號(hào)Rl的乘法機(jī)構(gòu)4b ;將參考信號(hào)Rl輸出到乘法機(jī)構(gòu)4a中的參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5a、及將參考信號(hào)Rl輸出到乘法機(jī)構(gòu)4b中的參考信號(hào)機(jī)構(gòu)5b ;以及將各乘法機(jī)構(gòu)4a、4b的乘法輸出SXR1、SXR1相加的加法機(jī)構(gòu)6。 根據(jù)所述構(gòu)成，可取得將輸入信號(hào)S乘以參考信號(hào)Rl而獲得的乘法值SXR1的兩倍，即2 X SX Rl，可提高信號(hào)對噪聲比率。 圖18(a)表示正常波形信號(hào)Al(t)以及缺陷波形信號(hào)B(t)，圖18(b)表示參考信號(hào)Rl(t)，圖18(c) 、 (d)表示按照時(shí)間序列地將正常波形信號(hào)Al(t)乘以參考信號(hào)Rl (t)而獲得的乘法值A(chǔ)l (t) XR1 (t)、以及從加法機(jī)構(gòu)6獲得的加法值2XA1 (t) XR1 (t)，圖18(e)表示按照時(shí)間序列地將缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)Rl(t)而獲得的乘法值B(t)XRia)、以及從加法機(jī)構(gòu)6獲得的加法值2XB(t)XRl(t)。另夕卜，圖18(g)表示對圖15(c) (f)的加法值進(jìn)行積分而獲得的各積分值/ (Al(t)XRl(t))dt、/ (2XAl(t) XRl(t))dt、 / (B(t) XRl(t))dt、以及/ (2 XB (t) X Rl (t)) dt。
根據(jù)圖18(g)，對加法值進(jìn)行積分而獲得的積分值/ (2XAl(t)XRl(t))dt可比對未相加的乘法值進(jìn)行積分而獲得的積分值/ (Al(t) XRl(t))dt更增大信號(hào)量，且可增大和缺陷波形信號(hào)B(t)的積分值/ (B(t)XRl(t))dt、以及/ (2XB(t)XRl(t))dt的差異，從而使分選變得容易。 在所述各形態(tài)中，表示了如下的構(gòu)成，S卩，使用和正常波形信號(hào)相似的波形信號(hào)來作為參考信號(hào)，通過取得檢測信號(hào)和參考信號(hào)的同步，來按照時(shí)間序列地將檢測信號(hào)乘以參考信號(hào)，但也可為如下的構(gòu)成，即，參考信號(hào)不使用和正常波形信號(hào)相似的波形信號(hào)，另外，不取得檢測信號(hào)和參考信號(hào)的同步，而將檢測信號(hào)乘以參考信號(hào)。圖19表示了使用周期信號(hào)作為參考信號(hào)的例子。 圖19(a)表示正常波形信號(hào)A(t)以及缺陷波形信號(hào)B (t)，圖19 (b)表示由周期信號(hào)而來的參考信號(hào)R(t)，圖19(c)表示將正常波形信號(hào)A(t)乘以參考信號(hào)R(t)而獲得的乘法值(A(t)XR(t))，圖19(d)表示將缺陷波形信號(hào)B(t)乘以參考信號(hào)R(t)而獲得的乘法值(B(t) XR(t))，圖19(e)表示對各乘法值進(jìn)行積分而獲得的積分值/ (A(t) XR(t))dt、 / (B(t) XR(t))dt。
[產(chǎn)業(yè)上的可利用性] 本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理可應(yīng)用在對于液晶基板、有機(jī)EL基板、半導(dǎo)體基板等的檢查中。
權(quán)利要求
一種數(shù)據(jù)處理方法，基于對規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)的輸入信號(hào)進(jìn)行積分而獲得的積分值來進(jìn)行，其特征在于在所述積分的前處理中，按照時(shí)間序列地將所述輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)，按照時(shí)間序列地改變該輸入信號(hào)的信號(hào)電平，基于該已改變的信號(hào)來產(chǎn)生數(shù)據(jù)信號(hào)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于所述數(shù)據(jù)處理包括利用積分值 來對輸入信號(hào)進(jìn)行分選，并將檢測對象的波形信號(hào)抽出的數(shù)據(jù)處理。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于所述參考信號(hào)具有和檢測對象 的波形信號(hào)相似的波形形狀。
4. 一種數(shù)據(jù)處理裝置，基于對規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)的輸入信號(hào)進(jìn)行積分而獲得的積分值來 進(jìn)行，其特征在于包括調(diào)制部，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)，從而對輸入信號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)行 調(diào)制；積分部，對所述調(diào)制部的輸出信號(hào)進(jìn)行積分，并將積分值輸出；以及 分選部，利用所述積分值來對輸入信號(hào)進(jìn)行分選。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于所述調(diào)制部包括乘法機(jī)構(gòu)，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)；以及 參考信號(hào)機(jī)構(gòu)，將所述乘法機(jī)構(gòu)中所乘的參考信號(hào)輸出。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于所述調(diào)制部包括多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)；多個(gè)參考信號(hào)機(jī)構(gòu)，將該多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中所乘的參 考信號(hào)輸出；以及加減法機(jī)構(gòu)，將各乘算算機(jī)構(gòu)的輸出相加減；且所述加減法機(jī)構(gòu)是以任意的比例而將各乘法機(jī)構(gòu)的輸出相加減。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于 所述波形調(diào)制部將同一輸入信號(hào)分割并輸入到多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中。
8. 根據(jù)權(quán)利要求4至權(quán)利要求7中任一項(xiàng)所述的數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于 所述參考信號(hào)在時(shí)間序列上編輯自由地存在著。
9. 根據(jù)權(quán)利要求4至權(quán)利要求8中任一項(xiàng)所述的數(shù)據(jù)處理裝置，其特征在于所述波 形調(diào)制部使輸入信號(hào)的時(shí)間變化和參考信號(hào)的時(shí)間變化同步，所述乘法機(jī)構(gòu)將輸入信號(hào)和 參考信號(hào)的同相位的信號(hào)相乘。
10. —種檢查裝置，包括驅(qū)動(dòng)控制機(jī)構(gòu)，對測定對象施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而對驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制； 電子束源，對測定對象掃描電子束；檢測器，對從所述測定對象釋放的二次電子進(jìn)行檢測；調(diào)制部，按照時(shí)間序列地將由所述檢測器所檢測的檢測信號(hào)乘以參考信號(hào)，對檢測信 號(hào)的信號(hào)電平進(jìn)行調(diào)制；積分部，對所述調(diào)制部的輸出信號(hào)進(jìn)行積分并將積分值輸出；以及 分選部，利用所述積分值來對檢測信號(hào)進(jìn)行分選；且 基于分選部的分選結(jié)果來對測定對象進(jìn)行檢查。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢查裝置，其特征在于所述調(diào)制部包括乘法機(jī)構(gòu)，按照 時(shí)間序列地將檢測信號(hào)乘以參考信號(hào)；以及參考信號(hào)機(jī)構(gòu)，將所述乘法機(jī)構(gòu)中所乘的參考信號(hào)輸出。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢查裝置，其特征在于所述調(diào)制部包括多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)； 多個(gè)參考信號(hào)機(jī)構(gòu)，將該多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中所乘的參考信號(hào)輸出；以及加減法機(jī)構(gòu)，將各乘算 算機(jī)構(gòu)的輸出相加減；且所述加減法機(jī)構(gòu)是以任意的比例而將各乘法機(jī)構(gòu)的輸出相加減。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的檢查裝置，其特征在于所述波形調(diào)制部將同一檢測信號(hào) 分割并輸入到多個(gè)乘法機(jī)構(gòu)中。
14. 根據(jù)權(quán)利要求10至權(quán)利要求13中任一項(xiàng)所述的檢查裝置，其特征在于所述參考 信號(hào)在時(shí)間序列上編輯自由地存在著。
15. 根據(jù)權(quán)利要求10至權(quán)利要求14中任一項(xiàng)所述的檢查裝置，其特征在于所述波形 調(diào)制部使檢測信號(hào)的時(shí)間變化和參考信號(hào)的時(shí)間變化同步，所述乘法機(jī)構(gòu)將檢測信號(hào)和參 考信號(hào)的同相位的信號(hào)相乘。
全文摘要
在基于對規(guī)定時(shí)間寬度內(nèi)的輸入信號(hào)進(jìn)行積分而獲得的積分值來進(jìn)行的數(shù)據(jù)處理中，在進(jìn)行積分的前處理階段，按照時(shí)間序列地將輸入信號(hào)乘以參考信號(hào)，據(jù)此，按照時(shí)間序列地改變輸入信號(hào)的信號(hào)電平，基于已改變的信號(hào)來產(chǎn)生數(shù)據(jù)信號(hào)。通過按照時(shí)間序列地改變輸入信號(hào)的信號(hào)電平，來強(qiáng)調(diào)各輸入信號(hào)的波形特征，從而獲得反映出檢測信號(hào)的時(shí)間性變化的積分值?？蓮姆e分值中對各檢測信號(hào)的時(shí)間性變化進(jìn)行分選，并可將測定對象的波形信號(hào)抽出。根據(jù)本發(fā)明來縮短數(shù)據(jù)處理時(shí)間，并簡化數(shù)據(jù)處理的構(gòu)成。
文檔編號(hào)G01R31/00GK101779131SQ20078010019
公開日2010年7月14日 申請日期2007年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者今井大輔, 吉岡尚規(guī), 寺本晃, 山下光夫, 筱原真 申請人:株式會(huì)社島津制作所