專利名稱：具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的微陀螺，具體地說(shuō)，涉及的是一種具 有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀。
背景技術(shù)：
陀螺是姿態(tài)控制和慣性制導(dǎo)的核心器件，慣性技術(shù)的發(fā)展以及衛(wèi)星、導(dǎo)彈等 制導(dǎo)需求的提高、要求陀螺向功率小、壽命長(zhǎng)、體積小、能適應(yīng)各種惡劣環(huán)境的 方向發(fā)展。
經(jīng)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)，中國(guó)專利"壓電陀螺元件和壓電陀螺儀"(專 利申請(qǐng)?zhí)枮?00510131905.3)提到可以通過(guò)壓電材料的棱柱狀振動(dòng)體的結(jié)構(gòu)， 來(lái)檢測(cè)2軸方向上的角速度。截面為矩形的棱柱狀的壓電振動(dòng)體一端固定，在其 第1側(cè)面上形成第1驅(qū)動(dòng)電極，在第2側(cè)面上形成在寬度方向上分離的第2 第 4驅(qū)動(dòng)電極，帶相位差地向各驅(qū)動(dòng)電極施加驅(qū)動(dòng)電流，使壓電振動(dòng)體振動(dòng)，其另 一端做圓周運(yùn)動(dòng)。在與其振動(dòng)的旋轉(zhuǎn)中心軸正交的方向上作用有扭矩時(shí)，從壓電 振動(dòng)體的第1側(cè)面上形成的第1檢測(cè)電極和第2側(cè)面上形成的第2檢測(cè)電極輸 出由此產(chǎn)生的壓電振動(dòng)體的撓度，從而檢測(cè)2軸方向上的角速度。
此技術(shù)存在如下不足首先，驅(qū)動(dòng)電路要求多次移相，有些驅(qū)動(dòng)電路還包括 振幅檢測(cè)電路、AGC電路、對(duì)控制要求高，且電路復(fù)雜，干擾大，噪聲多、難以 得到理想的的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。其次，通過(guò)向四個(gè)不同的電極上施加相位不同的四相驅(qū) 動(dòng)信號(hào)來(lái)使壓電體自身產(chǎn)生圓周運(yùn)動(dòng)作為參考運(yùn)動(dòng)，規(guī)則的圓周運(yùn)動(dòng)難以得到準(zhǔn) 確的實(shí)現(xiàn)，增大了角速度檢測(cè)的誤差。要保證壓電體轉(zhuǎn)動(dòng)得到高速圓周運(yùn)動(dòng)，功 耗大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)已有技術(shù)的不足，提出一種具有磁致伸縮振子的雙軸壓 電檢測(cè)陀螺儀。本發(fā)明結(jié)構(gòu)上采用具有"回"型槽結(jié)構(gòu)的磁致伸縮振子，在振子 上下"回"型表面壓電薄膜分別設(shè)置一層壓電薄膜，利用磁致伸縮振子特有的模
態(tài)下的特殊振動(dòng)方式作為激勵(lì)，壓電薄膜的壓電效應(yīng)進(jìn)行檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)陀螺雙軸敏 感。用這種特殊振動(dòng)作為工作狀態(tài)，工作時(shí)不需要精確的高速圓周轉(zhuǎn)動(dòng)，且易準(zhǔn) 確實(shí)現(xiàn)。檢測(cè)直接利用壓電薄膜的壓電效應(yīng)，檢測(cè)電壓信號(hào)即可。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 單，抗沖擊性強(qiáng)，不需要真空封裝，具有便于固定的節(jié)點(diǎn)，參考振動(dòng)和檢測(cè)信號(hào) 之間的耦合干擾少，并且是雙軸檢測(cè)，且加工工藝易實(shí)現(xiàn)，在惡劣環(huán)境下能很好 地工作。另外驅(qū)動(dòng)簡(jiǎn)單便捷，且功耗微。
本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，本發(fā)明包括磁致伸縮振子、上表面壓電 薄膜、左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、上表面上側(cè)輸出電極、上表面右側(cè)輸 出電極、上表面下側(cè)輸出電極、上表面左側(cè)輸出電極、上表面懸臂梁、下表面懸 臂梁。
磁致伸縮振子材料為導(dǎo)電的磁致伸縮材料，結(jié)構(gòu)為具有兩面正方形表面的長(zhǎng) 方體，兩正方形表面相互平行，為磁致伸縮振子的上下表面，直接連接磁致伸縮 振子上下表面的面為長(zhǎng)方形，在磁致伸縮振子上下表面各設(shè)置一個(gè)"回"型孔， 這兩個(gè)"回"型孔為非通孔，分別在磁致伸縮振子上下表面構(gòu)成兩個(gè)槽形結(jié)構(gòu)， 兩個(gè)懸臂梁分別設(shè)置在磁致伸縮振子上下表面中心處，位于磁致伸縮振子兩個(gè) "回"型孔的中心，兩個(gè)懸臂梁及磁致伸縮振子兩個(gè)"回"型表面關(guān)于磁致伸縮 振子對(duì)稱分布，磁致伸縮振子其他的表面為長(zhǎng)方形(即其他表面不能是正方形)。
磁致伸縮振子上表面布置上表面壓電薄膜，上表面壓電薄膜上設(shè)置一個(gè)"回" 型孔，上表面壓電薄膜上的"回"型孔為通孔，上表面壓電薄膜"回"型的最外 邊與磁致伸縮振子的"回"型孔的最外邊尺寸和形狀一致，上述所有的"回"型 的內(nèi)外邊界為兩個(gè)正方形。
上表面壓電薄膜與磁致伸縮振子接觸的表面為上表面壓電薄膜下表面，則上 表面壓電薄膜另外的與上表面壓電薄膜下表面平行的面，即自由的表面(即沒(méi)有 與磁致伸縮振子接觸的表面)為上壓電薄膜上表面；上表面壓電薄膜的上表面外 框形成正方形("回"型表面的最外側(cè)組成的正方形)上側(cè)的邊為上表面第一邊、 上表面壓電薄膜的上表面外框形成正方形右側(cè)的邊為上表面第二邊、上表面壓電 薄膜的上表面外框形成正方形下側(cè)的邊為上表面第三邊、上表面壓電薄膜的上表 面外框形成正方形左側(cè)的邊為上表面第四邊。上表面第一邊的中點(diǎn)與上表面第三 邊的中點(diǎn)的連線為上表面第一中心線，上表面第二邊的中點(diǎn)與上表面第四邊的中 點(diǎn)的連線為上表面第二中心線。
所述上表面壓電薄膜上表面上布置左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、上表 面上側(cè)輸出電極、上表面右側(cè)輸出電極、上表面下側(cè)輸出電極、上表面左側(cè)輸出 電極。其中左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈與右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈位于上表面壓電薄膜上表面外框形 成的正方形的一條斜對(duì)角線上；上表面上側(cè)輸出電極與上表面下側(cè)輸出電極關(guān)于 上表面第二中心線對(duì)稱分布、位于上表面第一中心線上、上表面右側(cè)輸出電極與 上表面左側(cè)輸出電極關(guān)于上表面第一中心線對(duì)稱分布、位于上表面第二中心線 上。本發(fā)明微陀螺儀結(jié)構(gòu)的上下兩側(cè)有兩個(gè)懸臂梁上表面懸臂梁與下表面懸臂 梁，經(jīng)過(guò)分析驗(yàn)證在振動(dòng)模態(tài)下其位移很小，因此選定兩個(gè)懸臂梁的端點(diǎn)作為本 發(fā)明微陀螺的節(jié)點(diǎn)，節(jié)點(diǎn)作為固定點(diǎn)，兩個(gè)懸臂梁與磁致伸縮振子一體。
本發(fā)明利用磁致伸縮體的在特殊模態(tài)下的振動(dòng)作為參考振動(dòng)，利用壓電效應(yīng) 得到輸出信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)外界的角速度。驅(qū)動(dòng)線圈通入一定頻率的交變電流激勵(lì)磁 致伸縮振子處于一定的模態(tài)。其中磁致伸縮振子在上表面上側(cè)輸出電極所在位置 的振動(dòng)方向?yàn)閅軸負(fù)方向，而在下表面上與上表面上側(cè)輸出電極所對(duì)應(yīng)的位置振 動(dòng)方向?yàn)閅軸正方向。由于兩個(gè)位置的振動(dòng)方向相反，當(dāng)外加受到水平X方向的 角速度時(shí)，所受到的柯氏力的方向相反，使得磁致伸縮振子Z軸方向產(chǎn)生拉伸或 壓縮，進(jìn)而上面壓電薄膜產(chǎn)生彎曲，形成內(nèi)應(yīng)力，最終使得上側(cè)輸出電極形成一 定的電勢(shì)，電勢(shì)的大小與外界角速度的大小成正比。因此可以通過(guò)上表面上側(cè)輸 出電極的電勢(shì)來(lái)檢測(cè)X方向的角速度；進(jìn)而上表面下側(cè)輸出電極的電勢(shì)也是外界 角速度的檢測(cè)信號(hào)。上表面右側(cè)輸出電極、下表面左側(cè)輸出電極的運(yùn)動(dòng)方向與上 表面上側(cè)輸出電極、上表面下側(cè)輸出電極的運(yùn)動(dòng)方向垂直，同理將上表面左側(cè)輸 出電極的電勢(shì)與下表面右側(cè)輸出電極的電勢(shì)作為Y方向角速度的檢測(cè)信號(hào)。
本發(fā)明由于采用塊狀磁致伸縮振子，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗沖擊性強(qiáng)，具有便于固定 的節(jié)點(diǎn)，且加工工藝易實(shí)現(xiàn)，在惡劣環(huán)境下能很好地工作。本發(fā)明利用特殊模態(tài) 下的特殊振動(dòng)作為工作狀態(tài)，參考振動(dòng)采用磁致伸縮原理產(chǎn)生，高壓電系數(shù)的壓 電薄膜的正壓電效應(yīng)產(chǎn)生的電壓信號(hào)作為檢測(cè)信號(hào)，參考振動(dòng)與檢測(cè)信號(hào)之間的 耦合干擾少，能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)外界雙軸方向的角速度。本發(fā)明可以應(yīng)用在衛(wèi)星、 武器、民用導(dǎo)航等領(lǐng)域。


圖l為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施例在以本發(fā)明技術(shù)方案 為前提下進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過(guò)程，但本發(fā)明的保護(hù) 范圍不限于下述的實(shí)施例。
如圖1所示，本實(shí)施例由磁致伸縮振子1、上表面壓電薄膜2、左下側(cè)驅(qū)動(dòng)
線圈3、右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈4、上表面上側(cè)輸出電極5、上表面右側(cè)輸出電極6、上 表面下側(cè)輸出電極7、上表面左側(cè)輸出電極8、上表面懸臂梁9、下表面懸臂梁 組成。
磁致伸縮振子1材料為導(dǎo)電的磁致伸縮材料，結(jié)構(gòu)為具有兩面正方形表面的 長(zhǎng)方體，磁致伸縮振子1的最外圍的框架邊共有12條，其中一組4條邊構(gòu)成正 方形形式的外框，另一組4條邊也構(gòu)成正方形形式的外框，這兩個(gè)正方形形式的 外框圍成的表面相互平行；其中一個(gè)正方形所在的表面為磁致伸縮振子1上表 面，與磁致伸縮振子1上表面平行的正方形表面為磁致伸縮振子1的下表面，直 接連接磁致伸縮振子1上表面和磁致伸縮振子1下表面的面為長(zhǎng)方形。在磁致伸 縮振子1上表面布置上表面壓電薄膜2。
上表面壓電薄膜2與磁致伸縮振子1接觸的表面為上表面壓電薄膜下表面， 則上表面壓電薄膜2另外的與上表面壓電薄膜1下表面平行的面，即自由的表面
(即沒(méi)有與磁致伸縮振子1接觸的表面)為上表面壓電薄膜上表面；電極布置在
上表面壓電薄膜2上表面上。
在磁致伸縮振子1下表面設(shè)有一個(gè)"回"型孔，在磁致伸縮振子1上表面設(shè) 置一個(gè)"回"型孔，在上表面壓電薄膜2上設(shè)置一個(gè)"回"型孔，磁致伸縮振子
1的兩個(gè)"回"型孔為非通孔，分別在磁致伸縮振子1上表面、磁致伸縮振子1 下表面構(gòu)成兩個(gè)槽形結(jié)構(gòu)，兩個(gè)懸臂梁及磁致伸縮振子1兩個(gè)"回"型表面關(guān)于 磁致伸縮振子1對(duì)稱分布，磁致伸縮振子1其他的表面為長(zhǎng)方形(即其他表面不 能是正方形)。上表面壓電薄膜上的"回"型孔為通孔。
位于磁致伸縮振子1上表面的"回"型孔的內(nèi)外邊與磁致伸縮振子1上表面 的相應(yīng)的四條最外邊平行。上表面壓電薄膜2 "回"型的最外邊與磁致伸縮振子 1的"回"型孔的最外邊尺寸和形狀一致。兩個(gè)懸臂梁分別設(shè)置在磁致伸縮振子 1上表面中心處、磁致伸縮振子1下表面中心處，位于磁致伸縮振子1兩個(gè)"回" 型孔的中心，兩個(gè)懸臂梁的材質(zhì)為磁致伸縮材料，與磁致伸縮振子l是一體的。 上述所有的"回"型的內(nèi)外邊界為兩個(gè)正方形。
在上表面壓電薄膜2上表面布置上表面左左下側(cè)驅(qū)動(dòng)電極3、上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈 4、上表面上側(cè)輸出電極5、上表面右側(cè)輸出電極6、上表面下側(cè)輸出電極7、上 表面左側(cè)輸出電極8。上表面壓電薄膜2自由"回"表面為上表面，上表面壓電 薄膜與磁致伸縮振子接觸的"回"表面為下表面，上表面壓電薄膜上表面外框形 成正方形("回"型表面的最外側(cè)組成的正方形)上側(cè)的邊上表面第一邊，上表 面外框形成正方形右側(cè)的邊為上表面第二邊，上表面外框形成正方形下側(cè)的邊為 上表面第三邊，上表面外框形成正方形左側(cè)的邊為上表面第四邊。上表面第一邊 的中點(diǎn)與上表面第三邊的中點(diǎn)的連線為上表面第一中心線，上表面第二邊的中點(diǎn) 與上表面第四邊的中點(diǎn)的連線為上表面第二中心線。
位置分布左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈3與右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈4位于上表面外框形成的正 方形的一條斜對(duì)角線上；上表面上側(cè)輸出電極5與上表面下側(cè)輸出電極7關(guān)于上 表面第二中心線對(duì)稱分布、位于上表面第一中心線上，上表面右側(cè)輸出電極5 與上表面左側(cè)輸出電極7關(guān)于上表面第一中心線對(duì)稱分布、位于上表面第二中心 線上。本實(shí)施例磁致伸縮/壓電微陀螺儀結(jié)構(gòu)的上下兩側(cè)有兩個(gè)懸臂梁上表面懸 臂梁9與下表面懸臂梁(與上表面懸臂梁9關(guān)于磁致伸縮振子對(duì)稱)，經(jīng)過(guò)分析 驗(yàn)證在振動(dòng)模態(tài)下其位移很小，因此選定兩個(gè)懸臂梁的端點(diǎn)作為本實(shí)施例微陀螺 的節(jié)點(diǎn)(節(jié)點(diǎn)即為固定點(diǎn))。
加工工藝對(duì)塊狀導(dǎo)電磁致伸縮材料進(jìn)行切割，研磨便得到磁致伸縮振子。 然后以磁致伸縮振子作為基體，然后利用濕法刻蝕得到兩個(gè)"回"型孔，采用微 細(xì)加工工藝制備壓電薄膜，驅(qū)動(dòng)線圈以及電極。再進(jìn)行電鍍得到電極。
本實(shí)施例利用磁致伸縮體的在特殊模態(tài)下的振動(dòng)作為參考振動(dòng)，利用壓電效 應(yīng)得到輸出信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)外界的角速度。X軸為上表面下側(cè)輸出電極7和上表面 上側(cè)輸出電極5中心連線，Y軸為上表面右側(cè)輸出電極6和上表面左側(cè)輸出電極 8中心連線，X軸、Y軸、Z軸符合右手定則。當(dāng)左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈3以及右上側(cè) 驅(qū)動(dòng)線圈4通入一定頻率的交變電流激勵(lì)時(shí)(處于一定的模態(tài))，會(huì)產(chǎn)生參考振 動(dòng)，其中磁致伸縮振子在上表面上側(cè)輸出電極5所在位置的振動(dòng)方向?yàn)閅軸負(fù)方 向，而在下表面上與上表面上側(cè)輸出電極所對(duì)應(yīng)的位置振動(dòng)方向?yàn)閅軸正方向。 由于兩個(gè)位置的振動(dòng)方向相反，當(dāng)外加受到水平X方向的角速度時(shí)，所受到的柯 氏力的方向相反，使得磁致伸縮振子在上表面上側(cè)輸出電極5與在下表面上與上 表面上側(cè)輸出電極所對(duì)應(yīng)的位置之間的Z軸方向產(chǎn)生拉伸或壓縮，進(jìn)而上面壓電
薄膜產(chǎn)生彎曲，形成內(nèi)應(yīng)力，最終使得上側(cè)輸出電極5形成一定的電勢(shì)。由于柯 氏力的大小與外界角速度大小成正比，外界角速度引起的電勢(shì)的大小與柯氏力成 正比，可知角速度引起的上側(cè)輸出電極的電勢(shì)的大小與外界角速度的大小成正 比，因此可以通過(guò)上表面上側(cè)輸出電極5的電勢(shì)來(lái)檢測(cè)X方向的角速度；進(jìn)而同 樣的道理，上表面下側(cè)輸出電極7的電勢(shì)也與外界角速度的大小成正比。上表面
上側(cè)輸出電極5與上表面下側(cè)輸出電極7由于振動(dòng)所受應(yīng)力相同，具有相同的電
勢(shì)，但運(yùn)動(dòng)方向相反，外界角速度引起的電勢(shì)相反，因此將上表面上側(cè)輸出電極
5與上表面下側(cè)輸出電極7的電勢(shì)相減作為X方向角速度的檢測(cè)信號(hào)即可消除振 動(dòng)引起的電勢(shì)。上表面右側(cè)輸出電極6、上表面左側(cè)輸出電極8的運(yùn)動(dòng)方向與上 表面上側(cè)輸出電極5、上表面下側(cè)輸出電極7的運(yùn)動(dòng)方向垂直，同理將上表面左 側(cè)輸出電極8的電勢(shì)與上表面右側(cè)輸出電極6的電勢(shì)相減作為Y方向角速度的檢 測(cè)信號(hào)。經(jīng)過(guò)分析驗(yàn)證這兩個(gè)方向的加速度檢測(cè)耦合很小。
權(quán)利要求
1、一種具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀，包括磁致伸縮振子、上表面壓電薄膜、左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、上表面上側(cè)輸出電極、上表面右側(cè)輸出電極、上表面下側(cè)輸出電極、上表面左側(cè)輸出電極、上表面懸臂梁、下表面懸臂梁，其特征在于，所述磁致伸縮振子結(jié)構(gòu)為具有兩面正方形表面的長(zhǎng)方體，兩正方形表面相互平行，為磁致伸縮振子的上下表面，直接連接磁致伸縮振子上下表面的面為長(zhǎng)方形，在磁致伸縮振子上下表面各設(shè)置一個(gè)“回”型孔，這兩個(gè)“回”型孔為非通孔，分別在磁致伸縮振子上下表面構(gòu)成兩個(gè)槽形結(jié)構(gòu)，兩個(gè)懸臂梁分別設(shè)置在磁致伸縮振子上下表面中心處，位于磁致伸縮振子兩個(gè)“回”型孔的中心；所述磁致伸縮振子上表面布置上表面壓電薄膜，上表面壓電薄膜上設(shè)置一個(gè)“回”型孔，上表面壓電薄膜上的“回”型孔為通孔，上表面壓電薄膜“回”型的最外邊與磁致伸縮振子的“回”型孔的最外邊尺寸和形狀一致，上述所有的“回”型的內(nèi)外邊界為兩個(gè)正方形；上表面壓電薄膜與磁致伸縮振子接觸的表面為上表面壓電薄膜下表面，則上表面壓電薄膜與上表面壓電薄膜下表面平行的面為上壓電薄膜上表面，上表面壓電薄膜的上表面外框形成正方形上側(cè)的邊為上表面第一邊、上表面壓電薄膜的上表面外框形成正方形右側(cè)的邊為上表面第二邊、上表面壓電薄膜的上表面外框形成正方形下側(cè)的邊為上表面第三邊、上表面壓電薄膜的上表面外框形成正方形左側(cè)的邊為上表面第四邊，上表面第一邊的中點(diǎn)與上表面第三邊的中點(diǎn)的連線為上表面第一中心線，上表面第二邊的中點(diǎn)與上表面第四邊的中點(diǎn)的連線為上表面第二中心線；所述上表面壓電薄膜上表面上設(shè)有左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈、上表面上側(cè)輸出電極、上表面右側(cè)輸出電極、上表面下側(cè)輸出電極、上表面左側(cè)輸出電極，其中左下側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈與右上側(cè)驅(qū)動(dòng)線圈位于上表面壓電薄膜上表面外框形成的正方形的一條斜對(duì)角線上，上表面上側(cè)輸出電極與上表面下側(cè)輸出電極關(guān)于上表面第二中心線對(duì)稱分布、位于上表面第一中心線上，上表面右側(cè)輸出電極與上表面左側(cè)輸出電極關(guān)于上表面第一中心線對(duì)稱分布、位于上表面第二中心線上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀，其特 征是，所述兩個(gè)懸臂梁的端點(diǎn)為整個(gè)陀螺儀的固定的節(jié)點(diǎn)，兩個(gè)懸臂梁關(guān)于磁致 伸縮振子對(duì)稱，懸臂梁與磁致伸縮振子一體。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀， 其特征是，所述磁致伸縮振子，其材料為導(dǎo)電的磁致伸縮材料。
全文摘要
一種微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的具有磁致伸縮振子的雙軸壓電檢測(cè)陀螺儀，包括磁致伸縮振子和驅(qū)動(dòng)線圈，輸出電極、懸臂梁。磁致伸縮振子結(jié)構(gòu)為在具有兩面正方形的長(zhǎng)方體的正方形表面設(shè)置“回“型孔，“回”型的內(nèi)外邊界為兩個(gè)正方形。利用磁致伸縮體特殊模態(tài)下的特殊振動(dòng)作為參考振動(dòng)，此模態(tài)磁致伸縮振子在兩個(gè)方向上均有特殊位置在上下表面的運(yùn)動(dòng)方向相反。當(dāng)外界有角速度時(shí)運(yùn)動(dòng)方向相反的位置產(chǎn)生方向相反的柯氏力，壓電薄膜變形產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，最終在輸出電極上產(chǎn)生電勢(shì)。通過(guò)輸出電極上的電勢(shì)檢測(cè)外界雙軸的角速度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不用真空封裝，抗沖擊性強(qiáng)，方便固定，雙軸檢敏感，參考振動(dòng)和檢測(cè)信號(hào)之間的耦合干擾少，不需要高速轉(zhuǎn)動(dòng)節(jié)省功耗。
文檔編號(hào)G01C19/5705GK101339030SQ200810041680
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2008年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月14日
發(fā)明者盧奕鵬, 張衛(wèi)平, 陳文元 申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)