專利名稱：鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光掩模基礎(chǔ)材料一絡(luò)版，尤其涉及對鉻版表面膜層微小缺 陷針孔的檢測方法。
背景技術(shù)：
鉻版是用于制造光掩模的基礎(chǔ)材料，它是用玻璃或人造石英玻璃基板經(jīng)過
研磨，拋光，清洗后用濺射或蒸發(fā)方法鍍2—3層鉻的化合物制造而成的。如果 膜層沒有鍍好就會產(chǎn)生針孔影響光掩模的質(zhì)量。
近年隨著薄膜微電子技術(shù)的發(fā)展，特別是液晶顯示器件(LCD)，薄膜晶體 管(TFT)，等離子顯示器件(PDP)的發(fā)展使大尺寸的光掩膜(200mraX200mm以 上)的應(yīng)用越來越大。因此對鉻版的尺寸和品質(zhì)要求越來越高，隨著鉻版的尺 寸擴大，對鉻版主要微小缺陷針孔的檢測越來越困難。以往的針孔檢測方法， 檢驗人員用手持顯微鏡檢測。如果要檢測一塊400mmX450mm的鉻版的5um以上 的針孔要用50倍左右的顯微鏡每次檢測大約40咖2的面積，檢測一塊鉻版大約 需要8小時，而且?guī)韲?yán)重污染，存在檢測人員誤差等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種檢測快速、準(zhǔn)確并能適用于大面積鉻版表面膜 層微小缺陷針孔的檢測方法。
本發(fā)明提供的這種鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測方法，包括如下步驟
(1) 建立標(biāo)準(zhǔn)樣(2) 確定待測鉻版的有效區(qū)；
(3) 用智能工業(yè)攝像機以微米級精度準(zhǔn)確移動并逐一連續(xù)不斷地拍攝到所 述有效區(qū)的每個部分；
(4) 用智能工業(yè)攝像機將步驟(3)獲得的圖片分成以每8平方毫米不少于 200萬像素，并將每份像素分成256個亮度等級，得到高精度拍攝圖片；
(5) 智能工業(yè)攝像機將步驟(4)獲得的每份高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣圖進 行比較；
(6) 對在測鉻版的缺陷位置、個數(shù)、大小予以顯示。本發(fā)明這種檢測方法速度相當(dāng)快，對400mmX 450mm的絡(luò)版進行檢測5um以 上針孔只需15分鐘，相對人工檢測速度提高了 32倍。而且用本發(fā)明方法檢測 沒有人眼視覺誤差，非常準(zhǔn)確并且對鉻版沒有污染因此本發(fā)明尤其適用于大面 積鉻版表面膜層的檢測。


圖1是實施本發(fā)明方法的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是用本發(fā)明方法拍攝的標(biāo)準(zhǔn)樣圖。 圖3是用本發(fā)明方法實時檢測鉻版拍攝的有針孔缺陷的圖。
具體實施例方式
從圖1可以看出用本發(fā)明方法檢測鉻版應(yīng)具備智能工業(yè)攝像機和檢測臺板， 我們可以用本發(fā)明方法選擇沒有缺陷的圖片建立標(biāo)準(zhǔn)樣圖(見圖2)，并將它存 于智能工業(yè)攝像機的主計算機內(nèi)，然后將待檢測的鉻版放在檢測臺板上，按照 以下步驟對待測絡(luò)版進行檢測
(1) 操作人員向智能工業(yè)攝像機的主計算機輸入待測鉻版的長度和寬度， 由主計算機計算出待測鉻版的有效區(qū)，并將該有效區(qū)分成n份，每份大小2X4 毫米，然后將此信息發(fā)送給智能工業(yè)攝像機的機器人(robot)的計算機；
(2) 由機器人帶動智能工業(yè)攝像機的CCD相機及鏡頭以微米級精度準(zhǔn)確移 動，即將待測鉻版分成數(shù)千到數(shù)十萬份，連續(xù)不斷拍攝到鉻版的各個部分，機 器人的計算機不斷將CCD相機所在的位置報告給主計算機，同時CCD相機的微 處理器將相應(yīng)位置的拍攝信息發(fā)送給主計算機，為了彌補robot的精度進行了部 分邊緣重疊處理。
(3) 用智能工業(yè)攝像機的CCD相機和鏡頭將步驟(2)獲得的圖片分成每2 X4毫米面積內(nèi)200萬像素，并將每份像素分成256個亮度等級，得到高精度拍 攝圖片(見圖3)，將該拍攝圖片信息傳輸?shù)街悄芄I(yè)攝像機的主計算機；
(4) 智能工業(yè)攝像機的主計算機將步驟(3)獲得的高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn) 樣圖進行比較，并將每張圖的位置及結(jié)果自動記錄，同時對有缺陷針孔的圖片 及針孔的面積、大小、位置信息進行保存；
(5) 主計算機將在測鉻版缺陷位置、個數(shù)、每個缺陷的大小以面積為單位 顯示，如果需要精確知道針孔的形狀，可以打開主計算機保存的缺陷圖片并放 大0-100倍進行觀察。
權(quán)利要求
1、一種鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測方法，包括如下步驟(1)建立標(biāo)準(zhǔn)樣圖；(2)確定待測鉻版的有效區(qū)；(3)用智能工業(yè)攝像機以微米級精度準(zhǔn)確移動并逐一連續(xù)不斷地拍攝到所述有效區(qū)的每個部分；(4)用智能工業(yè)攝像機將步驟(3)獲得的圖片分成以每8平方毫米不少于200萬像素，并將每份像素分成256個亮度等級，得到高精度拍攝圖片；(5)智能工業(yè)攝像機將步驟(4)獲得的每份高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣圖進行比較；(6)對在測鉻版的缺陷位置、個數(shù)、大小予以顯示。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測方法，其特征在于所述步驟(2)中還應(yīng)將 有效區(qū)分成n份，每份大小2X4毫米。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種鉻版表面膜層微小缺陷針孔的檢測方法，該方法包括如下步驟建立標(biāo)準(zhǔn)樣圖；確定待測鉻版的有效區(qū)；用智能工業(yè)攝像機以微米級精度準(zhǔn)確移動并逐一連續(xù)不斷地拍攝到所述有效區(qū)的每個部分；用智能工業(yè)攝像機將圖片分成以每8平方毫米不少于200萬像素，并將每份像素分成256個亮度等級，得到高精度拍攝圖片；將所獲得的高精度拍攝圖片與標(biāo)準(zhǔn)樣圖進行比較；對在測鉻版的缺陷位置、個數(shù)、大小予以顯示。本發(fā)明這種檢測方法速度相當(dāng)快，并且沒有人眼視覺誤差，非常準(zhǔn)確并且對鉻版沒有污染，適用于大面積鉻版表面膜層微小缺陷的檢測。
文檔編號G01N21/88GK101451960SQ20081010756
公開日2009年6月10日 申請日期2008年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月23日
發(fā)明者峰 丁, 陳社城 申請人:湖南普照信息材料有限公司