專利名稱：：距離/速度計(jì)和距離/速度測(cè)量方法距離/皿計(jì)和距離/，測(cè)量:^法駄領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種利用光的干涉對(duì)距測(cè)定對(duì)象的距離以及測(cè)定對(duì)象的速度中的至少一方進(jìn)行觀懂的距離/速度計(jì)和距離/速度測(cè)量方法。背景獄利用了由激光器產(chǎn)生的光的干涉的距離測(cè)量因?qū)儆诜墙佑|測(cè)量而不會(huì)干擾測(cè)定對(duì)象，以前一直被用作高精度的測(cè)量方法。最近，為了實(shí)5見(jiàn)裝置的小型化，半導(dǎo)體激光器被用作光測(cè)量用光源。作為其代表性的實(shí)例，存在采用FM夕瞎式(heterodyne)干涉儀的類(lèi)型。這種情況下可進(jìn)行較i^巨離的測(cè)量，且也具有良好精度，但是由于在半導(dǎo)體激光器的外部采用干涉儀，故具有光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜這樣的缺點(diǎn)。相對(duì)于此，在文獻(xiàn)l(上田正、山田淳、紫藤近，"利用半導(dǎo)體激光器的自耦合效應(yīng)的距離計(jì)"、1994年度電氣關(guān)系學(xué)會(huì)東海支部g大會(huì)演講論文集，1994年)、文獻(xiàn)2(山田淳、紫藤近、津田紀(jì)生、上田正，"有關(guān)利用半導(dǎo)體激光器的自耦合效應(yīng)的小型距離計(jì)的研究"，愛(ài)知工業(yè)大學(xué)研究報(bào)告，第31號(hào)B，p.3542，1996年)、文獻(xiàn)3(GuidoGiuliani,MicheleNorgia，SilvanoDonatiandThierryBosch，"Laserdiodeself-mixingtechniqueforsensingapplications"，JOURNALOFOPTICSA:PUREANDAPPLIEDOPITCS，p.283294，2002年)等中提出了利用在激光器的輸出光和來(lái)自測(cè)量)(豫的返回光之間在半導(dǎo)體激光器內(nèi)部的干涉(自耦合效應(yīng))的測(cè)量?jī)x。根據(jù)這種自耦合型的激光測(cè)量?jī)x，由于內(nèi)置光電二極管的半導(dǎo)體激光器兼有發(fā)光、干涉、接收光的各功能，故可大幅度地簡(jiǎn)化外部干涉光學(xué)系統(tǒng)。因此，傳感部?jī)H僅由半導(dǎo)##光器和構(gòu)成，與過(guò)去的情況相比較，為小型。另外，具有距離觀i淀范圍大于三角測(cè)量法的特征。圖39中示出了FP型(Fabry-Perot法布里珀羅型)半導(dǎo)體激光器的復(fù)合諧振器模型。來(lái)自測(cè)定^豫104的反射光的一部分容易返回到振蕩區(qū)域的內(nèi)部。返回來(lái)的微弱光與半導(dǎo)體激光器諧振器101內(nèi)的激光耦合，工作就會(huì)變得不穩(wěn)定，并產(chǎn)生噪聲(復(fù)合諧振器噪聲或返回光噪聲)。即使相對(duì)輸出光的相對(duì)的返回光量極其微小，但由于返回光引起的半導(dǎo)##光器的特性的變化仍顯著呈現(xiàn)。這樣的現(xiàn)象并不限于法布里-珀羅(Fabry-Perot)型(以下稱為FP型)半導(dǎo)體激光器，在垂直空腔表面刻t激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLaser)型(以下稱為VCSEL型)、分布反饋激光器(DistributedFeedbackLaser)型(以下稱為DFB激光器型)等其它種類(lèi)的半導(dǎo)體激光器中也同樣呈現(xiàn)。如果激光器的振蕩波長(zhǎng)為A，從接近測(cè)量現(xiàn)象104的半導(dǎo)體晶體的壁開(kāi)面102到測(cè)忠像104為止的距離為L(zhǎng)時(shí)，貝螨足以下斷皆振剝牛時(shí)，返回光和諧振器IOI內(nèi)的激光相互加強(qiáng)，激光器輸出就會(huì)稍稍增加。L二qV2…(1)在公式(1)中，q是整數(shù)。即便在來(lái)自測(cè)定)(豫104的M光極其微弱，但通過(guò)增加半導(dǎo)體激光器附皆振器皿內(nèi)的表觀反射率，就產(chǎn)生了放大作用，能夠充分觀測(cè)該1^。由于半導(dǎo)體激光器根據(jù)注入電流的大小而劃寸頻率不同的激光，因此在調(diào)制振蕩頻率時(shí)，不需要外部調(diào)制器，可ffla注入電流直接進(jìn)行調(diào)制。圖40為表示在按照某一規(guī)定的比例使半導(dǎo)體激光器的振蕩波長(zhǎng)改變時(shí)的振蕩波長(zhǎng)和光電二極管103的輸出波形之間的關(guān)系圖。在滿足公式(1)所示的L二qV2時(shí)，返回光和諧振器皿內(nèi)的激光的相位差變成O。(同相位)，返回光和諧振器101內(nèi)的激光最大禾號(hào)地相互加強(qiáng)；當(dāng)L-q入/2+入/4時(shí)，相位差為180°(反相位)，返回光和諧振器101內(nèi)的激光最大禾號(hào)地相互減弱。由此，如果使半導(dǎo)i繊光器的振蕩波長(zhǎng)改變，貝微光器輸出增強(qiáng)的情形和減弱的情形交替地重復(fù)出現(xiàn)，在通過(guò)設(shè)置于諧振器皿的光電二極管103檢測(cè)此時(shí)的激光器輸出時(shí)，就如圖40所示，獲得固定周期的階梯狀波形。這樣的波形一般被稱為干涉條紋。將該階梯狀的波形、即干涉條紋中的一個(gè)個(gè)稱為模式跳躍脈沖(modehoppulse)(在下面稱為MHP)。MHP是與模式瑕歐(modehopping)現(xiàn)象不同的現(xiàn)象。比如，如果在距測(cè)^(，104的距離為L(zhǎng)I時(shí)，MHP的數(shù)量為10個(gè)，則在一半的距離L2時(shí)，MHP的數(shù)量為5個(gè)。即，在某一固定時(shí)間下使半導(dǎo)體激光器的振蕩波長(zhǎng)改變時(shí)，酵的數(shù)量與測(cè)量距離成比例地改變。因此，如果通過(guò)光電二極管103檢測(cè)腿P，測(cè)量MHP的頻率的話，則可容易進(jìn)行距離測(cè)量。在自耦合型的激光測(cè)量?jī)x中，由于可大幅度地簡(jiǎn)化諧振器外部的干涉光學(xué)系統(tǒng)，故具有可使錢(qián)小型化，并且不需要高速的電路，抗擾亂光強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。另外，由于來(lái)自觀I淀X豫的返回光也可極其微弱，故具有不影響測(cè)定膽的反射率，即不選擇測(cè)定X豫的優(yōu)點(diǎn)。但是，在包括自耦合型在內(nèi)的過(guò)去的干涉型領(lǐng)糧儀中，存在的問(wèn)題在于，即使可測(cè)量距靜止的湖啶膽的距離，也無(wú)法測(cè)量具有速度的測(cè)定)(的距離。因此，本發(fā)明人提出了一種距離/速度計(jì)，如文獻(xiàn)4(特開(kāi)2006-313080)所示，其不僅能夠湖糧距靜止的觀啶X像的距離，而且能夠測(cè)量測(cè)定X豫的速度。圖41中示出該距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)。圖41的距離/速度計(jì)，包括對(duì)測(cè)定m照射激光的半導(dǎo)體激光器201;將半導(dǎo),光器201的光輸出轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電二極管202;透鏡203，其匯聚來(lái)自半導(dǎo)##光器201的光、向測(cè)定X寸象210照射，并且匯聚來(lái)印則定3豫210的返回光、使其入射到半導(dǎo)j機(jī)光器201;激光器驅(qū)動(dòng)器204，其使半導(dǎo)鄉(xiāng)光器201中振蕩波錢(qián)續(xù)地增加的第1振蕩期間和振蕩波鏈續(xù)地減少的第2振蕩期間交替重復(fù)；電流-電壓轉(zhuǎn)^^文大器205，其將光電二極管202的輸出電流轉(zhuǎn)換為電壓并進(jìn)行放大；信號(hào)抽取電路206，其對(duì)電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器205的輸出電iBa行2次微分處理；計(jì)數(shù)電路207，其對(duì)信號(hào)抽取電路206的輸出電壓中所包含的MHP的數(shù)皿行計(jì)數(shù)；運(yùn)算裝置208，其計(jì)算距測(cè)定X^210的距離和測(cè)定Xm210的速度；顯示裝置209，其顯^M算裝置208的計(jì)算結(jié)果。激光器驅(qū)動(dòng)器204將有關(guān)時(shí)間以固定的變化率重復(fù)增減的三角波驅(qū)動(dòng)電流作為注入電流向半導(dǎo)體激光器201供給。由此，驅(qū)動(dòng)半導(dǎo),光器201，以便交替地重復(fù)產(chǎn)生振蕩波長(zhǎng)以固定的變化率連續(xù)地增加的第1振蕩期間和振蕩波長(zhǎng)以固定的變化率連續(xù)地減少的第2振蕩期間。圖42為表示半導(dǎo)體激光器201的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的圖。在圖42中，Pl為第1振蕩期間，P2為第2振蕩期間，入a為各期間中的振蕩波長(zhǎng)的最小值，Ab為各期間中的振蕩波長(zhǎng)的最大值，T為三角波的周期。從半導(dǎo)^^光器201射出的激光由透鏡203聚光，向測(cè)定只像210入射。被測(cè)定對(duì)象210反射的光由透鏡203聚光，向半導(dǎo)皿光器201入射。光電二極管202將半導(dǎo)體激光器201的光輸出轉(zhuǎn)換為電流。電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器205將光電二極管202的輸出電流轉(zhuǎn)換為電壓進(jìn)行放大，信號(hào)抽取電路206對(duì)電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器205的輸出電壓進(jìn)行2次微分處理。計(jì)數(shù)電路207針對(duì)第1振蕩期間Pl和第2振蕩期間P2的各期間，對(duì)信號(hào)抽取電路206的輸出電壓中所包含的腿P的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)。運(yùn)算裝置208根據(jù)半導(dǎo)皿光器201的最小振蕩波長(zhǎng)入a、最大振蕩波長(zhǎng)Ab、第1振蕩期間Pl中的MHP的數(shù)量、以及第2振蕩期間P2的MHP的數(shù)量，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象210的距離和測(cè)定對(duì)象210的速度。
發(fā)明內(nèi)容根據(jù)在文獻(xiàn)4中公開(kāi)的距離/速度計(jì)，可以同時(shí)測(cè)量距測(cè)定對(duì)象的距離和測(cè)定對(duì)象的速度。但是，在該距離/速度計(jì)中，為了領(lǐng)懂距離和速度，需要經(jīng)過(guò)至少3次例如第1振蕩期間t-1、第2振蕩期間t以及第1振蕩期間t+l對(duì)MHP的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)，存在測(cè)量所需要的時(shí)間較長(zhǎng)的問(wèn)題。為了解決上述課題而研發(fā)本發(fā)明，其目的在于，在利用光的干涉不僅能夠測(cè)量距靜止的測(cè)定對(duì)象的距離，還能夠?qū)y(cè)定對(duì)象的速度進(jìn)行測(cè)量的距離/速度計(jì)和距離/速度測(cè)量方法中，縮短測(cè)量時(shí)間。提供一種距離/速度計(jì)，該距離/速度計(jì)包括第l半導(dǎo),光器(l一l)，其向測(cè)定對(duì)象(11)照射第1激光；第2半導(dǎo)體激光器(l一2)，其向測(cè)定對(duì)象按照與第1激光平行的方式照射第2激光；第1激光器驅(qū)動(dòng)器(4一1)，其按照至少振蕩波長(zhǎng)連續(xù)地單調(diào)增加的振蕩期間反復(fù)地存在的方式對(duì)上述第1半導(dǎo)##光器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；第2激光器驅(qū)動(dòng)器(4一2)，其按照振蕩波長(zhǎng)的增減與，第1半導(dǎo)1機(jī)光器相反的方式X寸上述第2半導(dǎo)微光器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；第1光接收器(2一l)，其至少將上述第1半導(dǎo)光器的光輸出變換為電信號(hào)；第2光接收器(2一2)，其至少將上述第2半導(dǎo)體激光器的光輸出變換為電信號(hào)；計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)(13)，其對(duì)上述第1光接收器的輸出信號(hào)中包含的、由第1激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量，以及上述第2光接收器的輸出信號(hào)中包含的、由第2激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量分別進(jìn)行計(jì)數(shù)；以及運(yùn)Wl構(gòu)(8)，其根據(jù)，第1和第2半導(dǎo)##光器的最小振蕩波長(zhǎng)和最大振蕩波長(zhǎng)與上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算距測(cè)^tm的距離和測(cè)定對(duì)象的速度中的至少一方。本發(fā)明提供一種距離/速度測(cè)量方法，該距離/皿測(cè)量方fe^括按照至少振蕩波鏈續(xù)地單調(diào)增加的振蕩期間反復(fù)存在的方式，驅(qū)動(dòng)對(duì)測(cè)定X豫照射第1激光的第1半導(dǎo)體激光器的步驟；按照振蕩波長(zhǎng)的增減與上述第1半導(dǎo)體激光器相反的方式，驅(qū)動(dòng)對(duì)測(cè)定對(duì)象與第1激光平行地照射第2激光的第2半導(dǎo)體激光器的步驟；對(duì)第1光接收器的輸出信號(hào)中包含的因第1激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量、以及第2光接收器的輸出信號(hào)中包含的因第2激光和該激光的來(lái)自觀啶X寸象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)皿行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)步驟；以及根據(jù)上述第1和第2半導(dǎo)體激光器的最小振蕩波長(zhǎng)及最大振蕩波長(zhǎng)、以及與第1和第2激光各自相關(guān)的干涉波形的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象的距離和測(cè)定對(duì)象的速度中的至少一方的計(jì)算步驟。圖1為表示成為本發(fā)明的第1實(shí)施例的距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)方框圖。圖2為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例中的半導(dǎo)體激光器的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的一個(gè)實(shí)例的圖。圖3A和圖3B為示意性地表示本發(fā)明的第1實(shí)施例中的2個(gè)電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器各自的輸出電壓波形的圖。圖3C和圖3D為示意性地表示相同的2個(gè)熗波電路各自的輸出電壓波形的圖。圖4為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例中的計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖5為表示圖4的計(jì)數(shù)裝置的工作的流程圖。圖6A6D為表示圖4的計(jì)數(shù)裝置的計(jì)數(shù)期間的圖。圖7為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例中的運(yùn)算裝置的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖8為表示圖7的運(yùn)算裝置的工作的流程圖。圖9A9C為用于說(shuō)明隨著半導(dǎo)##光器的波長(zhǎng)變化的轉(zhuǎn)換，模式瑕TO;1c沖、"圖10為用于說(shuō)明在本發(fā)明的第1實(shí)施例中從激光器驅(qū)動(dòng)器向半導(dǎo)體激光器供給的三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅的調(diào)整方法的圖。圖11為用于說(shuō)明在半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)變化轉(zhuǎn)換的時(shí)亥啲前后，使速度或距離的計(jì)算結(jié)果具有持續(xù)性的方法的圖。圖12為表示本發(fā)明的第2實(shí)施例中的計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖13為表示圖12的計(jì)數(shù)裝置的工作的流程圖。圖14為表示圖12的計(jì)數(shù)裝置中的計(jì)數(shù)結(jié)果修正部的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖15A圖15F為用于說(shuō)明圖12的計(jì)數(shù)裝置的動(dòng)作的圖。圖16為表示模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布的一個(gè)實(shí)例的圖。圖17A及圖17B為用于說(shuō)明本發(fā)明的第2實(shí)施例中的計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)結(jié)果的修正原理圖。圖18為表示模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖19為表示含有噪聲的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖20為表示含有噪聲的模式瑕歐脈沖的周期的中央值的圖。圖21為表示2分割周期的模式蹈歐脈沖的周期的概率分布圖。圖22為表示2分割周期的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖23為表示2分割周期的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖24為表示2分割周期的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖25為表示計(jì)數(shù)器值修正后的誤差的圖。圖26為表示成為2倍的周期的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布的圖。圖27為表示在計(jì)數(shù)時(shí)缺失的模式瑕^E沖當(dāng)中2分割的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖28為表示在計(jì)數(shù)時(shí)缺失的模式瑕^E沖當(dāng)中2分割的模式瑕歐脈沖的周期的度數(shù)分布圖。圖29為表示在計(jì)數(shù)時(shí)同時(shí)出現(xiàn)缺失和過(guò)度計(jì)數(shù)的情形的模式瑕^ic沖的周期的度數(shù)分布圖。圖30為表示本發(fā)明的第3實(shí)施例中的計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖31為表示圖30的計(jì)數(shù)裝置的工作的流程圖。圖32為表示圖30的計(jì)數(shù)裝置中的計(jì)數(shù)結(jié)果修正部的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖33為表示本發(fā)明的第4實(shí)施例中的運(yùn)算裝置的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。圖34為表示圖33的運(yùn)算裝置的動(dòng)作的流程圖。圖35為表示圖33的運(yùn)算裝置中的狀態(tài)判定部的動(dòng)作的流程圖。圖36為表示成為本發(fā)明的第6實(shí)施例的距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖37為表示本發(fā)明的第1第6實(shí)施例中的半導(dǎo)##光器的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的另一例子的圖。圖38為表示本發(fā)明的第1第6實(shí)施例中的半導(dǎo)術(shù)敫光器的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的另一例子的圖。圖39為表示現(xiàn)有的激光器測(cè)量?jī)x中的半導(dǎo)體激光器的復(fù)合諧振器模型的圖。圖40為表示半導(dǎo)體激光器的振蕩波長(zhǎng)禾吶置光電二極管的輸出波形之間的關(guān)系圖。圖41為表琉見(jiàn)有的距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖42為表示圖41的距離/速度計(jì)中的半導(dǎo)體激光器的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的一個(gè)實(shí)例的圖。具體實(shí)船式本發(fā)明是一種根據(jù)在采用波長(zhǎng)調(diào)制的傳感時(shí)射出的波和由對(duì)象物反射的波之間的干涉信號(hào)，測(cè)量距離的技術(shù)。因此，也可適用于自耦合型以外的光學(xué)式的干涉計(jì)、光以外的干涉計(jì)。如顆采用半導(dǎo)術(shù)敫光器的自耦合的情艦行更具體地描述，貝贓一邊從半導(dǎo)術(shù)敫光器對(duì)觀啶X豫照射激光，一邊使激光器的振蕩波長(zhǎng)改變時(shí)，在振蕩波長(zhǎng)從最小振蕩波長(zhǎng)變?yōu)樽畲笳袷幉ㄩL(zhǎng)的期間(或從最大振蕩波長(zhǎng)至最小振蕩波長(zhǎng)變化的鄉(xiāng)司)的測(cè)^m的位移由MHP的數(shù)量反映。于是，可通過(guò)研究使振蕩波長(zhǎng)改變時(shí)的MHP的數(shù)量來(lái)檢領(lǐng)頓啶X像的狀態(tài)。以上為干涉計(jì)的基本原理。(第l鄉(xiāng)例)下面參照附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的第1實(shí)施例。圖1為表示成為本發(fā)明的第1實(shí)施例的距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖l的距離計(jì)包括對(duì)測(cè)定)(11照射激光的第l、第2半導(dǎo)體激光器1-1、1-2;分別將半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的光輸出轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的第l、第2光接收器即光電二極管2-l、2-2;分別聚自半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的光，對(duì)測(cè)定只豫ll照射，并且聚自測(cè)^象11的返回光，使其入射到半導(dǎo)術(shù)敫光器1-1、1-2的透鏡3-1、3-2;使在半導(dǎo)##光器1-1、1-2中交替重復(fù)產(chǎn)生振蕩波"^續(xù)地增加的第1振蕩期間和振蕩波長(zhǎng)連續(xù)地減少的第2振蕩期間的第1、第2激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2;分別將光電二極管2-1、2-2的輸出電流轉(zhuǎn)換為電壓，并放大的電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器5-1、5-2;從電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器5-1、5-2的輸出電壓中去除載波的濾波電路6-1、6-2;對(duì)濾波電路6-1、6-2的輸出電壓中所包含的MHP的數(shù)M行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)裝置7;計(jì)算距測(cè)定X寸象11的距離禾頓lj定對(duì)象11的速度的運(yùn)算裝置8;顯示運(yùn)算裝置8的計(jì)算結(jié)果的顯示裝置9;和控制激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2以使半導(dǎo)^初敫光器l-l、卜2的驅(qū)動(dòng)電流的振幅合適的振幅調(diào)整裝置10。電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器5-1、5-2、濾波電路6-1、6-2和計(jì)數(shù)裝置7構(gòu)成計(jì)數(shù)部13。下面為了容易說(shuō)明，假定在半導(dǎo)體激光器1-1、1-2中采用不具有模式瑕歐現(xiàn)象的類(lèi)型(VCSEL型、DFB激光器型)。激光器驅(qū)動(dòng)器4一1、4一2將關(guān)于時(shí)間按照恒定的變化率而反復(fù)增減的三角波驅(qū)動(dòng)電流作為注入電流，供給半導(dǎo)^繊光器1—1、l一2。由此，半導(dǎo)體激光器l一l、l一2按照交替反復(fù)地產(chǎn)生第1振蕩期間和第2振蕩期間的方式被驅(qū)動(dòng)，該第1振蕩期間中,振蕩波長(zhǎng)與注入電流的大小成比例以恒定的變化率連續(xù)地增加，該第2振蕩期間中，振蕩波長(zhǎng)與注入電流的大小成比例以恒定的變化率減少。此時(shí)，激光器驅(qū)動(dòng)器4一1、4一2，按照半導(dǎo)j繊光器l一l、1—2中振蕩波長(zhǎng)的增減相反的方式供給驅(qū)動(dòng)電流。艮卩，在半導(dǎo)微光器l一l、1一2中，振蕩波長(zhǎng)的變化率的絕對(duì)值相同，而變化率的極性相反。于是，在半導(dǎo)術(shù)敫光器1-1的振蕩波長(zhǎng)為最大值時(shí)，半導(dǎo)體激光器1一2的振蕩波長(zhǎng)為最小值，在半導(dǎo)體激光器l一l的振蕩波長(zhǎng)為最小值時(shí)，半導(dǎo)術(shù)敫光器l一2的振蕩波長(zhǎng)為最大值。圖2為表示半導(dǎo)傳^敫光器1-1、1-2的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的圖。在圖2中，LD1為半導(dǎo)體激光器H的振蕩波形，LD2為半導(dǎo)體激光器1-2的振蕩波形，Pl為第l振蕩期間，P2為第2振蕩期間，入a為各期間中的振蕩波長(zhǎng)的最小值，入b為各期間中的振蕩波長(zhǎng)的最大值，T為三角波的周期。在本實(shí)施例中，振蕩波長(zhǎng)的最大值人b和振蕩波長(zhǎng)的最小值入a分別始終保持固定，它們的差值入b-人a也始終保持固定。從半導(dǎo)體激光器l-l、1-2射出的激光由透鏡3-1、3-2聚光，入射到測(cè)定對(duì)象ll。此時(shí)，半導(dǎo)j繊光器l-l、1-2的激光相互平行i働出，并入射妾鵬i淀對(duì)象11。由測(cè)定X寸象11反射的半導(dǎo)體激光器l-l、1-2的光分別由透鏡3-1、3-2聚光，入射到半導(dǎo)體激光器l-l、1-2中。再有，由透鏡3-1、3-2進(jìn)行聚光不是必需的。光電二極管2-1、2-2分別將半導(dǎo)體激光器卜1、1-2的光輸出轉(zhuǎn)換為電流。電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器5-1、5-2分別將光電二極管2-1、2-2的輸出電流轉(zhuǎn)換為電壓，并進(jìn)行放大。濾波電路6-1、6-2具有從調(diào)制波中抽取重疊信號(hào)的功能。圖3A、圖3B分別為示意性的表示電流-電壓轉(zhuǎn)換放大器5-l、5-2的輸出電壓波形的圖，圖3C，圖3D分別為示意性的表示濾波電路6-1、6-2的輸出電壓波形的圖。這些附圖表示從相當(dāng)于光電二極管2-1、2-2的輸出的圖3A、圖3B的波形(調(diào)制波)中，去除圖2的半導(dǎo)j初敫光器1-1、1-2的振蕩波形(載波)，以抽取圖3C、圖3D的MKP波形(重疊波)的過(guò)程。計(jì)數(shù)裝置7針對(duì)熗波電路6-1、6-2的各電路，隨時(shí)i似寸滄波電路6-1、6-2的輸出中所包含的、每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)。圖4為表示計(jì)數(shù)裝置7的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖，圖5為表示計(jì)數(shù)驢7的工作的流程圖。計(jì)數(shù)裝置7由切換開(kāi)關(guān)70、周期測(cè)定部71-1、71-2、轉(zhuǎn)換部72-1、72-2構(gòu)成。首先，計(jì)數(shù)裝置7的切換開(kāi)關(guān)70判定是不是切換時(shí)間(圖5的步驟S100)，如果是切換時(shí)間，則切換濾波電路6-l、6-2的輸出與周期測(cè)定部71-1、71-2之間的連接(步驟SlOl)。切換開(kāi)關(guān)70的切換時(shí)間產(chǎn)生于三角波的周期T的每一1/2的時(shí)間。艮卩，切換開(kāi)關(guān)70在第1振蕩期間P1，將濾波電路6-1的輸出與周期測(cè)定部71-1的輸A3I接，將熗波電路6-2的輸出與周期測(cè)定部71-2連接；在第2振蕩期間P2，將濾波電路6-2的輸出與周期領(lǐng)啶部71-1的輸A^接，將濾波電路6-1的輸出與周期測(cè)定部71-2連接(步驟SIOI)。就是說(shuō)，在周期測(cè)定部71-l中，始終輸入濾波電路6-1或6-2的輸出中、對(duì)應(yīng)于振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)體激光器H或1-2的輸出，在周期測(cè)定部71-2中，始終輸入、搶波電路6-l或6-2的輸出中、對(duì)應(yīng)于振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo)體激光器1-1或1-2的輸出。再有，當(dāng)前時(shí)刻是第1振蕩期間Pl還是第2振蕩期間將會(huì)由激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2^il知。切換開(kāi)關(guān)70按照來(lái)自激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、42-2的通知進(jìn)行切換工作。周期測(cè)定部71-1，在每次來(lái)自切換幵關(guān)70的輸入中產(chǎn)生上升沿時(shí)，測(cè)量在第1計(jì)數(shù)期間內(nèi)來(lái)自切換開(kāi)關(guān)70的輸入的上升沿的周期(g卩，MHP的周期)(圖5的步驟S102)。同樣，周期測(cè)定部71-2，在每次來(lái)自切換開(kāi)關(guān)70的輸入中產(chǎn)生上升沿時(shí)，測(cè)量在第2計(jì)數(shù)期間內(nèi)來(lái)自切換開(kāi)關(guān)70的輸入的上升沿的周期(MHP的周期)(步驟S102)。在這里，采用圖6A圖6D，對(duì)第l、第2的計(jì)數(shù)期間進(jìn)行說(shuō)明。圖6A、圖6B分別為示意性的表示電流-電壓變換放大器5-1、5-2的輸出電壓波形的圖，圖6C、圖6D分別為示意性的表示濾波電路6-1、6-2的輸出電壓波形的圖。Pnl、Pn2、Pn3、Pn4、Pn5、Pn6、Pn7、Pn8為第1計(jì)數(shù)期間，Pml、Pra2、Pm3、Pm4、Pm5、Pm6、Pm7、Pm8為第2計(jì)數(shù)期間，tOa、tl，t2，tOb、t3、t4、tOc、t5、t6、tOd、t7、t8為第1計(jì)數(shù)期間Pn(Pnl、Pn2、Pn3、Pn4、Pn5、Pn6、Pn7、Pn8)和第2計(jì)數(shù)期間Pm(Pml、Pm2、Pm3、Pm4、Pm5、Pm6、Pm7、Pm8)的開(kāi)始或結(jié)束時(shí)刻。如圖6C、圖6D所示，針對(duì)濾波電路6-l或6-2的輸出中、與振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)體激光器1-1或1-2對(duì)應(yīng)的輸出，設(shè)定第l計(jì)數(shù)期間Pn(Pnl、Pn2、Pn3、Pn4、Pn5、Pn6、Pn7、Pn8);針)(^慮波電路6-1或6-2的輸出中、與振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo)體激光器1-1或1-2對(duì)應(yīng)的輸出，設(shè)定第2計(jì)數(shù)期間Pm(Pinl、Pra2、Pm3、Pm4、Pm5、Pm6、Pm7、Pm8)。j，第1計(jì)數(shù)期間Pn和第2計(jì)數(shù)期間Pm比第1振蕩期間Pl和第2振蕩期間P2的長(zhǎng)度，即三角波的周期T的1/2時(shí)間更短。另外，第1計(jì)數(shù)期間Pn和與其對(duì)應(yīng)的第2計(jì)數(shù)期間Pm，時(shí)刻必須一致。但是，在第1計(jì)數(shù)期間Pn相互之間，時(shí)間可以一部分重合，在第2計(jì)數(shù)期間Pm相互之間，時(shí)間也可以一部分重合。輸入到周期測(cè)定部71-1、71-2中的門(mén)信號(hào)GS,是在第1計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)周期Pm的開(kāi)始時(shí)上升、在第1計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)周期Pm的結(jié)束時(shí)下降的信號(hào)。再有，將第1計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)期間Pm設(shè)定為去除三角波驅(qū)動(dòng)電流成為最大的部分(從振蕩周期Pl向P2切換的部分獲從P2向Pl切換的部分)的期間。接著，計(jì)數(shù)驢7的轉(zhuǎn)換部72-1將周期測(cè)定部71-1領(lǐng)糧的證的周期的平均值轉(zhuǎn)換為第1計(jì)數(shù)期間Pn中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量X(振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)體激光器的干涉波形的數(shù)量)，轉(zhuǎn)換部72-2將周期測(cè)定部71-2測(cè)量的MHP的周期的平均值轉(zhuǎn)換為第2計(jì)數(shù)期間Pm中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量Y(振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo)傳激光器的干涉波形的數(shù)量)(圖5的步驟S103)。如果設(shè)MHP的平均周期為T(mén)s，三角波的頻率為f，則每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量就可M:(2/(fXTs)}計(jì)算。此時(shí)的單位時(shí)間為三角波的周期T的l/2的時(shí)間。計(jì)數(shù)裝置7在每一第1、第2計(jì)數(shù)期間Pn、Pm日寸進(jìn)行以上那樣的處理。因此，在通過(guò)周期測(cè)定部71-1和變換部72-1的動(dòng)作計(jì)算MHP的數(shù)量X的同時(shí)，通過(guò)周期測(cè)定部71-2和變換部72-2的工作計(jì)算MHP的數(shù)量Y，如此這樣同時(shí)求麗P的數(shù)量X和Y。接著，運(yùn)算裝置8根據(jù)半導(dǎo)體激光器1-1、l-2的最小振蕩波長(zhǎng)入a、最大振蕩波長(zhǎng)入b和MHP的數(shù)量X、Y，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象11的距離以及測(cè)^)(寸象11的速度。圖7為表燕算裝置8的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖，圖8為表示ii:隨算裝置8的功作的流程圖。運(yùn)算裝置8的結(jié)構(gòu)包括:存儲(chǔ)由計(jì)數(shù)裝置7計(jì)算出的MHP的數(shù)量X、Y及運(yùn)算裝置8的計(jì)算結(jié)果的存儲(chǔ)部80;根據(jù)半導(dǎo)##光器1-1、1-2的最小振蕩波長(zhǎng)"、最大振蕩波長(zhǎng)Ab和MHP的數(shù)量X、Y，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象ll的距離的候補(bǔ)值和測(cè)定X像11的速度的候補(bǔ)值的距離/速度計(jì)算部81;根據(jù)距離/速度計(jì)算部81的計(jì)算結(jié)果判定測(cè)定X嫁11的狀態(tài)的狀態(tài)判定部82;根據(jù)狀態(tài)判斷部82的判斷結(jié)果，確定湖啶X像11的速度的鵬確定部83;以及根據(jù)狀態(tài)判斷部82的判斷結(jié)果，確定距測(cè)定對(duì)象ll的距離的距離確定部84。速度確定部83和距離確定部84構(gòu)成距離/速度確定部86。在本實(shí)施例中，設(shè)測(cè)定對(duì)象ll的狀態(tài)為滿足規(guī)定的條件的微小位移狀態(tài)或比微小位移狀^^變動(dòng)大的位移狀態(tài)的任意一種。當(dāng)計(jì)數(shù)期間Pn和計(jì)數(shù)期間Pm的每一期間的測(cè)^)(橡11的平均位移為V時(shí)，所謂微小位移狀態(tài)是滿足^)/^〉v/Lb的狀態(tài)，所謂位移狀態(tài)是滿足義")/^巨v/Lb的狀態(tài)。但是，Lb是第1、第2計(jì)數(shù)期間Pn、Pm的中間時(shí)刻的距觀l淀職11的距離。首先，運(yùn)算裝置8的存儲(chǔ)部80存儲(chǔ)由計(jì)數(shù)裝置7計(jì)算出的MHP的數(shù)量X、Y(圖8步驟S201)。接著，運(yùn)算裝置8的距離/速度計(jì)算部81，計(jì)算領(lǐng)l淀X像ll的速度的候補(bǔ)《紐距測(cè)定X像11的距離的候補(bǔ)值，并將計(jì)算出的值保存在存儲(chǔ)部80中(圖8的步驟S202)。按下式所示，距離/鄉(xiāng)計(jì)算部81根據(jù)第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的數(shù)量X(t)和下一時(shí)刻的第2計(jì)數(shù)期間Pm+1中的MHP的數(shù)量Y(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的3lit的第l候補(bǔ)值Val(t，t+l)，根據(jù)第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的數(shù)量Y(t)和下一時(shí)亥啲第l計(jì)數(shù)期間Pn+l中的MHP的數(shù)量X(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的速度的第2候補(bǔ)值Va2'(t，t+l)，根據(jù)MHP的數(shù)量X(t)和Y(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的速度的第3候補(bǔ)值VP3(t,t+l)，和根據(jù)MHP的數(shù)量Y(t)和X(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的速度的第4候補(bǔ)值VM(t，t+l)，并保存在存儲(chǔ)部80中(步驟S202)。Val(t，t+l)二(X(t)—Y(t+1))X人b/4...(2)Va2(t，t+l)=(Y(t)-X(t+1))XW4…(3)VJ33(t，t+l)=(X(t)+Y(t+1))X...(4)VP4(t，t+l)二(Y(t)十X(t+l))X入b/4...(5)此外，按下式所示，距離/速度計(jì)算部81根據(jù)第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的數(shù)量X(t)和同一時(shí)刻的第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的數(shù)量Y(t)計(jì)算時(shí)刻t-l至t中的速度的第5候補(bǔ)值Va5(t)和第6候補(bǔ)值VP6(t)，并保存在存儲(chǔ)部80中(步驟S202)。Va5(t)=(X(t)—Y(t))X(入a+人b)/8…(6)VP6(t)二(X(t)+Y(t))X(入a+入b)/8...(7)此外，按下式所示，距離/速度計(jì)算部81,根據(jù)第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的數(shù)量X(t)和下一時(shí)刻的第2計(jì)數(shù)期間Pm+1中的MHP的數(shù)量Y(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的距離的第1候補(bǔ)值La1(t，t+l)，根據(jù)第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的數(shù)量Y(t)和下一時(shí)刻的第1計(jì)數(shù)期間Pn+1中的MHP的數(shù)量X(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的距離的第2候補(bǔ)值La2(t，t+l)，根據(jù)MHP的數(shù)量X(t)和Y(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的距離的第3候補(bǔ)值LP3(t，t+l)，和根據(jù)MHP的數(shù)量Y(t)和X(t+l)計(jì)算時(shí)刻t至t+l中的距離的第4候補(bǔ)值VP4(t，t+l)，并保存在存儲(chǔ)部80中(步驟S202)。Lal(t，t+l)=AaX人b(X(t)+Y(t+l))/(4X(入a-Ab))…(8)La2(t，t十l):入aX入b(Y(t)+X(t+l))/(4X(入a-入b))…(9)LP3(t，t十l)"aX入b(X(t)-Y(t+1))/(4X(入a-入b))…(10)LP4(t，t+l)二入aX入b(Y(t)-X(t+l))/(4X(Xa-入b))…(11)并且，按下式所示，距離/速度計(jì)算部81，根據(jù)第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的數(shù)量X(t)和同一時(shí)亥啲第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的數(shù)量Y(t)計(jì)算時(shí)刻t-l至t中的距測(cè)^)(寸象ll的距離的第5候補(bǔ)值La5(t)和第6候補(bǔ)值LP6(t)，并保存在存儲(chǔ)部80中(步驟S202)。La5(t)二入aXAb(X(t)+Y(t))/(4X(入a-入b))...(12)LP6(t)"aX入b(X(t)-Y(t))/(4X(Aa-入b))…(13)在公式(2)公式(13)中，候補(bǔ)值Val(t，t+l)、Va2(t，t+l)、Va5(t)、Lal(t，t+l)、La2(t，t+l)、La5(t)是假設(shè)測(cè)婦豫11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的值，候補(bǔ)值VP3(t，t+l)、VM(t，t+l)、VP6(t)、LP3(t，t+l)、LM(t，t+l)、Le6(t)是假設(shè)觀l淀X橡11處于位移狀態(tài)計(jì)算出時(shí)刻t+l是第1計(jì)數(shù)期間Pn+1及第2計(jì)數(shù)期間Pm+1的結(jié)束時(shí)刻，時(shí)刻t是Pn+1、Pm+1的前1次的計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)期間Pm的結(jié)束時(shí)刻，時(shí)刻t-l是Pn+1、Pm+1的前2次的第1計(jì)數(shù)期間Pn-1及第2計(jì)數(shù)期間PnK的結(jié)束時(shí)刻。X(t+l)是第l計(jì)數(shù)期間Pn+l中的MHP的數(shù)量，X(t)是第l計(jì)數(shù)期間Pn中的酵的數(shù)量，Y(t+l)是第2計(jì)數(shù)期間Pm+l中的MHP的數(shù)量，Y(t)是第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的數(shù)量。例如，如果當(dāng)前時(shí)刻為t+l=t2，則第1計(jì)數(shù)期間Pn+1為圖6C的Pn2，前1次的第l計(jì)數(shù)期間Pn為Pnl，第2計(jì)數(shù)期間Pm+l為圖6D的Pm2，前1次的第2計(jì)數(shù)期間Pm為Pml。此外，如果當(dāng)前時(shí)刻為t+l=t3，則第1計(jì)數(shù)期間Pn+1為Pn3，前1次的第1計(jì)數(shù)期間Pn為Pn2，第2計(jì)數(shù)期間Pm+1為Pm3，前1次的第2計(jì)數(shù)期間Pm為Pm2。運(yùn)算裝置8在利用計(jì)數(shù)裝置7每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻進(jìn)行公式(2)公式(13)的計(jì)算。接著，運(yùn)算裝置8的狀態(tài)判定部824柳存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果，判定測(cè)定^t^ll的狀態(tài)(圖8步驟S203)。狀態(tài)判定部82，在Val(t，t+l):Va2(t，t+l)、即公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果相等盼瞎況下，判定測(cè)定7豫11處于微小位移狀態(tài)。此外，狀態(tài)判定部82在VP3(t，t+l)=VP4(t，t+l)、即公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果相等的情況下，判定測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)。再有，狀態(tài)判定部82在公式(2)的計(jì)算結(jié)果和公式(3)的計(jì)算結(jié)果的誤差在規(guī)定的誤差范圍內(nèi)的情況下，判定它們相等。不論公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果是否相等，都同樣地能夠進(jìn)行判定。運(yùn)算裝置8的速度確定部83根據(jù)狀態(tài)判定部82的判定結(jié)果確定測(cè)定^t^11的速度的^X寸值(圖8的步驟S204)。g口，，確定部83，在判定測(cè)定X^11處于微小位移狀態(tài)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)之間的平均值為時(shí)刻t-l至t+l中的測(cè)定X豫ll的速度的絕對(duì)值(步驟S204)。此外，速度確定部83在判定測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值VP3(t,t+l)禾BVP4(t，t+l)之間的平均值為時(shí)刻t-l至t+l中的測(cè)定X^11的，的絕對(duì)值(步驟S204)。如此，通過(guò)使用公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果的平均值或公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果的平均值就能夠提高耐噪聲性。再有，雖然耐噪聲性差，但速度確定部83，在判定測(cè)定對(duì)象11處于微小位移狀態(tài)的情況下，也可以確定速度的候補(bǔ)值Val(t.，t+l)和Va2(t，t+l)的任意一個(gè)為測(cè)定對(duì)象11的速—度的絕對(duì)值，在判定測(cè)定11處于位移狀態(tài)的情況下，也可以確定速度的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)、VP4(t，t+l)的任意一個(gè)為測(cè)定)(橡ll的速度的纟敘寸值。再有，速度確定部83在判定領(lǐng)啶)(豫11處于微小位移狀態(tài)的情況下，也可以確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值Va5(t)為時(shí)刻t-l至t中的測(cè)定對(duì)象ll的速度的絕對(duì)值(步驟S204)。此外，速度確定部83，在判定測(cè)定對(duì)象ll處于位移狀態(tài)的情況下,也可以算出存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值VP6(t)作為時(shí)刻t-1至t中的測(cè)定X豫11的速度的絕對(duì)值(步驟S204)。相比于使用公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果的情形，使用公式(6)或公式(7)能夠計(jì)算出更正確的速度。接著，速度確定部83計(jì)算以下的公式(14)、公式(15)，確定測(cè)定對(duì)象ll的速度的方向(圖8步驟S205)。i:X二X(t)+X(t+l)…(14)EY二Y(t)+Y(t+l)…(15)速度確定部83比較公式(14)的EX和公式(15)的ZY的大小，在SX比i:y大的情況下判定測(cè)定對(duì)象ii正接m巨離/3m計(jì)，在ey比i:x大的情況下判定測(cè)定對(duì)象11正遠(yuǎn)離距離/速度計(jì)。再有，在步驟S204中，速度確定部83使用公式(6)或公式(7)的計(jì)算結(jié)果替代使用公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果來(lái)確定速度的絕對(duì)值的情況下，比較MHP的數(shù)量X(t)和Y(t)的大小，在X(t)比Y(t)大的情況下判定測(cè)定對(duì)象ll正接鄉(xiāng)巨離/速度計(jì)，在Y(t)比X(t)大的情況下判定測(cè)定X像11正遠(yuǎn)離距離/速度計(jì)。接著，距離確定部84根據(jù)狀態(tài)判定部82的判定結(jié)果確定距測(cè)定，11的距離(圖8的步驟S206)。即，距離確定部84，在判定測(cè)定對(duì)象11處于微小位移狀態(tài)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值Lctl(t，t+l)和L。2(t，t+l)的平均值為時(shí)刻t-l至t+l中的距測(cè)定對(duì)象ll的平均距離(步驟S206)。此外，距離確定部84在判定觀啶對(duì)象11處于位移狀態(tài)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值LP3(t，t+l)與Lj34(t，t+l)之間的平均值為時(shí)刻t-1至t+l中的距測(cè)定)(^11的平均距離(步驟S206)。再有，雖然耐噪聲性差，但距離確定部84，在判定測(cè)定對(duì)象ll處于微小位移狀態(tài)的情況下，也可以確定距離的候補(bǔ)值Lal(t，t+l)和La2(t，t+l)的任意一個(gè)為距測(cè)定對(duì)象ll的距離，在判定測(cè)定X寸象11處于位移狀態(tài)的情況下，也可以確定距離的候補(bǔ)值LP3(t，t+l)、LP4(t,t+l)的任意一個(gè)為距測(cè)定對(duì)象ll的距離。再有，距離確定部84在判定領(lǐng)啶X像11處于微小位移狀態(tài)的情況下，也可以確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值La5(t)為時(shí)刻t-1至t中的距測(cè)定對(duì)象ll的平均距離(步驟S206)。此外，距離確定部84在判定測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)的情況下，也可以確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值LP6(t)為時(shí)刻t-1至t中的距測(cè)定對(duì)象11的平均距離(步驟S206)。相比于使用公式(8)公式(11)的計(jì)算結(jié)果的情形，使用公式(12)或公式(13)能夠計(jì)算出更正確的距離。例如，運(yùn)算裝置8直到有從用戶指示測(cè)量結(jié)束為止(在圖8的步驟S207中的是)，在利用計(jì)數(shù)^7每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻都進(jìn)行以上這樣的步驟S201S206的處理。顯示裝置9實(shí)時(shí)地顯示由運(yùn)算裝置8計(jì)算出的距測(cè)定對(duì)象11的距離及測(cè)定對(duì)象11的鞭。另一方面，振幅調(diào)整裝置10使用運(yùn)算裝置8的狀態(tài)判定部82的判定結(jié)果，控制激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2，以使半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅合適。如本實(shí)施例那樣，在4頓多個(gè)半導(dǎo)4繊光器1-1、1-2的距離/速度計(jì)中，一旦在半導(dǎo)術(shù)敷光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化量的鄉(xiāng)敘寸值中存在差異，就會(huì)在測(cè)量值中產(chǎn)生i^。圖9A9C為用于說(shuō)明隨半導(dǎo)ffi光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化的切換，MHP的數(shù)量X、Y的變化的圖，圖9A是表示半導(dǎo)併激光器1-1、1-2的振蕩波長(zhǎng)隨時(shí)間的變化的圖，圖9B是表示半導(dǎo)體激光器卜1、1-2的波長(zhǎng)變化量的絕對(duì)值相等時(shí)的MHP的數(shù)量X、Y的變化的圖，圖9C是表示半導(dǎo)體4敫光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化量的絕對(duì)值存在差異時(shí)的MHP的數(shù)量X、Y的變化的圖。在圖9A圖9C中，LD1是半導(dǎo)j微光器1-1的振蕩波形，LD2為半導(dǎo)j繊光器1-2的振蕩波形，XI、X2分別是振蕩波長(zhǎng)正在增加的情形的半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的MHP的數(shù)量，Yl、Y2分別是振蕩波長(zhǎng)正在^^的情形的半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的MHP的數(shù)量。在半導(dǎo)體激光器l-l、1-2的波長(zhǎng)變化量的絕對(duì)值相等的情況下，如圖9B所示，即便在半導(dǎo)微光器H、1-2的振蕩波長(zhǎng)從增加向M^，或從M^、向增加切換的時(shí)刻SW1、SW2、SW3的前后，雖然MHP的數(shù)量X、Y分別保持連續(xù)性，但一旦在半導(dǎo)體激光器l-l、1-2的波長(zhǎng)變化量的絕對(duì)值中存在差異，就如圖9C所示，MHP的數(shù)量X、Y分別會(huì)失去連續(xù)性。因此，本實(shí)施例的振幅調(diào)整裝置10使用運(yùn)算裝置8的距離/速度計(jì)算部81計(jì)算出的速度候補(bǔ)值Val(t，t+l)、Va2(t，t+l)、VP3(t，t+l)、VM(t，t+l)當(dāng)中，基于狀態(tài)判定部82的判定結(jié)果，速度確定部83判斷為不是真值而不采用的一方的速度候補(bǔ)值進(jìn)行振幅調(diào)整。在判定測(cè)定X豫11以微小位移狀態(tài)進(jìn)fi^動(dòng)盼瞎況下，速度確定部83未采用的一方的速度候補(bǔ)值是VP3(t，t+l)和VM(t，t+l)的平均值，在判定測(cè)定X豫ll以位移狀態(tài)進(jìn)《話動(dòng)的情況下，速度確定部83未采用的一方的速度候補(bǔ)值是Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)之間的平均值。振幅調(diào)整器10M:激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以使速度確定部83未采用的一方的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)之間的平均值或VP3(t，t+l)禾卩VM(t，t+l)之間的平均值，大致等于在距離確定部84判定為是真值而采用的一方的距離的候補(bǔ)值Ldl(t，t+l)和La2(t，t+l)之間的平均值或LP3(t，t+l)與L后4(t，t+l)之間的平均值上乘以半導(dǎo)微光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化率Ub-Aa)/入b的值。此時(shí)，既可以調(diào)整從激光器驅(qū)動(dòng)器4-1提供給半導(dǎo),光器1-1的驅(qū)動(dòng)電流和從激光器驅(qū)動(dòng)器4-2JIJ共給半導(dǎo)體激光器1-2的驅(qū)動(dòng)電流S^方，也可以調(diào)整任意一方。在判定測(cè)定X^U處于微小位移狀態(tài)的情況下，距離確定部84采用的一方的距離的候補(bǔ)值為L(zhǎng)al(t，t+l)和La2(t，t+l)之間的平均值，在判定測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)的情況下，距離確定部84釆用的一方的距離的候補(bǔ)值為L(zhǎng)P3(t，t+l)與LP4(t，t+l)之間的平均值。圖10為用于說(shuō)明從激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2向半導(dǎo)體激光器1-1、卜2衛(wèi)共的三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅的調(diào)整方法的圖。根據(jù)來(lái)自振幅調(diào)整裝置10的指示，激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2，通過(guò)將驅(qū)動(dòng)電流的最大值固定在固定值不變(在圖10的例中，由半導(dǎo)體激光器l-l、l-2規(guī)定的驅(qū)動(dòng)電流的上限值CL)，增加或減小驅(qū)動(dòng)電流的最小值，來(lái)調(diào)整驅(qū)動(dòng)電流的振幅AMP。如此這樣，可將驅(qū)動(dòng)電流的振幅設(shè)定為M的值。如本實(shí)施例那樣，M調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，可使半導(dǎo),光器l-l、l-2的波長(zhǎng)變化量的纟樹(shù)值相等，可降低距離和體的測(cè)量體。再有，在速度確定部83使用公式(6)或公式(7)的計(jì)算結(jié)果代^i吏用公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果來(lái)確定速度的絕對(duì)值的情況下，振幅調(diào)整裝置IO調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以使M確定部83判定為不是真值而未采用的一方的速度的候補(bǔ)值Va5(t)和VP6(t)大致等于在距離確定部84判定為是真值而采用的一方的距離的候補(bǔ)值La5(t)或LP6(t)上乘以半導(dǎo)傳激光器l-l、l-2的波長(zhǎng)變化率(入b-入a)/入b的值。在判定測(cè)定對(duì)象11以微小位移狀態(tài)進(jìn)^iS動(dòng)的情況下，速度確定部83未采用的一方的速度候補(bǔ)值是VP6(t)，在判定測(cè)定對(duì)象ll以位移狀態(tài)進(jìn)fi^動(dòng)的情況下，速度確定部83未采用的一方的速度候補(bǔ)值是Va5(t)。在判定為測(cè)敘像ll處于微小位移狀態(tài)的情況下，距離確定部84采用的一方的距離的候補(bǔ)值為L(zhǎng)a5(t)，在判定測(cè)定M^11處于位移狀態(tài)的情況下，距離確定部84采用的一方的距離的候補(bǔ)值為L(zhǎng)P6(t)。此外，振幅調(diào)整器10也可以M31激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以使基于狀態(tài)判定部82的判定結(jié)果，速度確定部83判斷為是真值而釆用的一方的iM的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)之間的平均值或VP3(t，t十l)禾BVP4(t，t+l)之間的平均值，在半導(dǎo)##光器1-1、l-2的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻前后保持連續(xù)性。此外，在速度確定部83代替使用公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果而使用公式(6)或公式(7)的計(jì)算結(jié)果來(lái)確定速度的絕對(duì)值的情況下，振幅調(diào)整裝置10也可以調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以使3M確定部83判斷為是真值而采用的一方的速度的f斜卜值Va5(t)或，6(t)，在半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻前后保持連續(xù)性。再有，當(dāng)前時(shí)刻是第1振蕩期間Pl還是第2振蕩期間P2會(huì)由激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2通知，半導(dǎo)體激光器卜l、l-2的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻也會(huì)由激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2通知。振幅調(diào)整裝置10根據(jù)來(lái)自激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2的通知進(jìn)行工作。此外，振幅調(diào)整裝置10也可以調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以使基于狀態(tài)判定部82的判定結(jié)果，距離確定部84判斷為是真值而采用的一方的距離的候補(bǔ)值Lal(t，t+l)和La2(t，t+l)之間的平均值或LP3(t，t+l)和LP4(t，t+l)之間的平均值，在半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻前后保持連續(xù)性。此外，在距離確定部84代替使用公式(8)公式(11)的計(jì)算結(jié)果而使用公式(12)或公式(13)的計(jì)算結(jié)果來(lái)確定距離的情況下，振幅調(diào)整裝置IO也可以調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以4數(shù)巨離確定部84判斷為是真值而采用的一方的距離的候補(bǔ)值La5(t)或LP6(t),在半導(dǎo)體激光器l-l、1-2的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻前后保，,續(xù)性。為了在半導(dǎo)體激光器l-l、1-2的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻的前后，使速度或距離的計(jì)算結(jié)果具有連續(xù)性，也可以使用例如最小平方法。此外，如圖11所示，振幅調(diào)整裝置IO，也可以調(diào)整三角波驅(qū)動(dòng)電流的振幅，以便延，結(jié)速度(或距離)的計(jì)算結(jié)果的特性曲線VL直到半導(dǎo),光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化切換的計(jì)時(shí)SW后，在相對(duì)于此延長(zhǎng)線的規(guī)定的范圍ER內(nèi)，含有時(shí)刻SW后的起始的速度(或距離)的計(jì)算結(jié)果W。如上所述，在本實(shí)施例中，在半導(dǎo)體激光器1-1、卜2中交替地重復(fù)振蕩波i^續(xù)增加的第1振蕩期間和振蕩波^il賣(mài)地減少的第2振蕩期間，針對(duì)光電二極管2-1和2-2的各二極管，對(duì)光電二極管2-1、2-2的輸出信號(hào)中所包含的MHP的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)，基于該計(jì)數(shù)結(jié)果和半導(dǎo)體激光1-1、1-2的最小振蕩波長(zhǎng)入a以及最大振蕩波長(zhǎng)入b，就可以計(jì)算距測(cè)^t象ii的距離和測(cè)^mn的速度。其結(jié)果是，在本實(shí)施例中，一面活用所謂(a)可以使裝置小型化；(b)不需要高速的電路；(c)強(qiáng)抗擾亂光；(d)不選擇測(cè)定X^^樣的現(xiàn)有的自耦合型的激光測(cè)量?jī)x的優(yōu)點(diǎn)，一面不僅能夠測(cè)量距測(cè)定對(duì)象11的距離，還能夠測(cè)量測(cè)^)(寸象11的速度。另外，根據(jù)本實(shí)施例，可以判定測(cè)定膽11^S行等艇動(dòng)，還是進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)。此外，在本實(shí)施例中，從振蕩波長(zhǎng)的增縱目反的半導(dǎo),光器卜l、1-2中，使相互平行的激光同時(shí)射向測(cè)定X^11，在比第1振蕩期間和第2振蕩期間短的第1計(jì)數(shù)期間Pn，求出光電二極管2-1或2-2的輸出中所包含的MHP的數(shù)量X，在與第1計(jì)數(shù)期間Pn同時(shí)亥啲第2計(jì)數(shù)期間Pm，求出光電二極管2-2或2-1的輸出中所包含的MHP的數(shù)量Y，由此能夠以比文獻(xiàn)4中所公幵的距離/速度計(jì)更短的時(shí)間來(lái)測(cè)量距離與速度。在文獻(xiàn)4中公開(kāi)的距離/速度計(jì)中，雖然需要經(jīng)過(guò)至少3次的例如第1振蕩期間t-1、第2振蕩期間t以及第1振蕩期間t+l*MMHP的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)，但在本實(shí)施例中，例如在第1計(jì)數(shù)期間Pnl和第2計(jì)數(shù)期間Pml，對(duì)MHP的數(shù)量X、Y進(jìn)行1次計(jì)數(shù)，還在第1計(jì)時(shí)期間Pn2及第2計(jì)數(shù)期間Pm2對(duì)MHP的數(shù)量X、Y進(jìn)行1次計(jì)數(shù)即可，Mil2次計(jì)fetMHP的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)，由此就會(huì),求出距離和速度。另外，在本實(shí)施例中，艦使半導(dǎo)4繊光器H、1-2的波長(zhǎng)變化量的鄉(xiāng)敘寸值相等，就能夠提高距離和速度的測(cè)量精度。(第2實(shí)施例)接著，說(shuō)明本發(fā)明的第2實(shí)施例。在本實(shí)施例中由于距離/速度計(jì)的整體結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施例相同，所以使用圖1的符號(hào)進(jìn)行說(shuō)明。圖12為表示本發(fā)明的第2實(shí)施例中的計(jì)數(shù)裝置7的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖，圖13為表示此計(jì)數(shù)裝置7的工作的流程圖。本實(shí)施例的計(jì)數(shù)裝置7由切換開(kāi)關(guān)70a，判定部73-1、73-2，"與"運(yùn)算部(AND)74-1、74-2，計(jì)數(shù)器75-1、75-2，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1、76-2，存儲(chǔ)部77，周期和計(jì)算部78-1、78-2和個(gè)數(shù)計(jì)算部79-1、79-2構(gòu)成。圖14為表示計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1由周期測(cè)定部760、度數(shù)分布作成部761、中央值計(jì)算部762和修正值計(jì)算部763構(gòu)成。計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的結(jié)構(gòu)由于與計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1相同，所以省略說(shuō)明。圖15A圖15F為用于說(shuō)明本實(shí)施例的計(jì)數(shù)裝置7的工作圖，圖15A是示意性地表示麼波電路6-1、6-2的輸出電壓的波形即MHP的波形圖，圖15B是表示對(duì)應(yīng)圖15A的判定部73-1、73-2的輸出圖，圖15C是表示輸入到計(jì)數(shù)裝置7的門(mén)信號(hào)GS的圖，圖15D是表示對(duì)應(yīng)圖15B的計(jì)數(shù)器75-1的計(jì)數(shù)結(jié)果圖，圖15E是表示輸入到計(jì)數(shù)裝置7的時(shí)鐘信號(hào)CLK的圖，圖15F是表示對(duì)應(yīng)圖15B的計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的周期測(cè)定部760的測(cè)量結(jié)果圖。再有，在圖15A圖15F中，示出了有關(guān)半導(dǎo)體激光器1-1的振蕩波長(zhǎng)增加、半導(dǎo)體激光器1-2的振蕩波長(zhǎng)減少的第1振蕩期間Pl的工作。首先，計(jì)數(shù)裝置7的切換開(kāi)關(guān)70a判定是不是切換時(shí)間(圖13的步驟S300)，如果是切換時(shí)間，則切換濾波電路6-l、6-2的輸出和判定部73-1、73-2之間的連接(步驟S301)。切換開(kāi)關(guān)70a的切換時(shí)間，產(chǎn)生于三角波的周期T的每個(gè)1/2的時(shí)間。即，切換開(kāi)關(guān)70a在第l振蕩期間Pl，將濾波電路6-l的輸出與判定部73-1的輸入連接，將濾波電路6-2的輸出與判定部73-2的輸Aii接；在第2振蕩期間P2，將濾波電路6-2的輸出與判定部73-1的輸A^接，將濾波電路6-1的輸出與判定部73-2連接(步驟S301)。就是說(shuō)，在判定部73-l中，始終會(huì)輸入濾波電路6-1或6-2的輸出中、對(duì)應(yīng)于振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)體激光器1-1或1-2的輸出，在判定部73-2中，始終會(huì)輸入濾波電路6-1或6-2的輸出中、對(duì)應(yīng)于振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo),光器1-1或1-2的輸出。再有，當(dāng)前時(shí)刻是第1振蕩期間Pl還是第2振蕩期間會(huì)由激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、4-2M知。切換開(kāi)關(guān)70a按照來(lái)自激光器驅(qū)動(dòng)器4-1、42-2的通知進(jìn)行切換工作。計(jì)數(shù)裝置7的判定部73-1判定圖15A所示的濾波電路6-1、6-2的輸出電壓是高電平(H)還是低電平(L)，輸出圖15B那樣的判定結(jié)果。此時(shí)，判定部73-1在濾波電路6-1或6-2的輸出電壓上升成為閾值TH1以上時(shí)判定為高電平，在濾波電路6-l或6-2的輸出電壓下降成為閾值TH2(TH2<TH1)以下時(shí)判定為低電平，由此將滄波電路6-1、6-2的輸出2值化(圖13的步驟S302)。同樣地，判定部73-2，將濾波電路6-2或6-1的輸出2值化(步驟S302)。如圖15D所示，AND74-1輸出判定部73-1的輸出和圖15C這樣的門(mén)信號(hào)GS之間的"與"運(yùn)算的結(jié)果，計(jì)數(shù)器75-1對(duì)細(xì)74-1的輸出的上升沿進(jìn)行計(jì)數(shù)(圖13步驟S303)。同樣地，AND74-2輸出判定部73-2的輸出和門(mén)信號(hào)GS之間的"與"運(yùn)算的結(jié)果，計(jì)數(shù)器75-2對(duì)AND74-2的輸出的上升,行計(jì)數(shù)(步驟S303)。在此，門(mén)信號(hào)GS是在第1計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)周期Pm的開(kāi)始時(shí)上升、在第1計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)周期Pm的結(jié)束時(shí)下降的信號(hào)。因此，計(jì)數(shù)器75-1、75-2將對(duì)第1、第2計(jì)數(shù)期間Pn、Pm中的AND74-1、74-2的輸出的上升沿的數(shù)量(即，MHP的上升沿的數(shù)量)進(jìn)行計(jì)數(shù)。第1計(jì)數(shù)期間Pn及第2計(jì)數(shù)期間Pm的定義按照?qǐng)D6A圖6D的說(shuō)明。另一方面，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的周期測(cè)定部760，在每次扁74-l的輸出中產(chǎn)生上升沿時(shí)測(cè)量第1計(jì)數(shù)期間Pn中的AND74-1的輸出的上升沿的周期(即MHP的周期)(圖13的步驟S304)。此時(shí)，周期測(cè)定部760，以圖15E所示的時(shí)鐘信號(hào)CLK的周期為1個(gè)單位來(lái)測(cè)量證的周期。在圖15F的例子中，周期測(cè)定部760，依次測(cè)量Ta、TP、Ty作為MHP周期。如圖15E、圖15F所表明的，周期Ta、TP、Ty的大小分別為5個(gè)時(shí)鐘、4個(gè)時(shí)鐘、2個(gè)時(shí)鐘。設(shè)時(shí)鐘信號(hào)CLK的頻率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于取得MHP的最高頻率。同樣地，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的周期測(cè)定部760，在每次細(xì)74-2的輸出中產(chǎn)生上升沿日書(shū)則量第2計(jì)數(shù)期間Pm中的AND74-2的輸出的上升沿的周期(MHP的周期)(步驟S304)。.存儲(chǔ)部77存儲(chǔ)計(jì)數(shù)器75-1、75-2的計(jì)數(shù)結(jié)果和計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1、76-2各自的周期測(cè)定部760的測(cè)量結(jié)果。門(mén)信號(hào)GS下降，第1計(jì)數(shù)期間Pn結(jié)束后，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的度數(shù)分布作成部761，基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部77中的、計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的周期測(cè)定部760的測(cè)量結(jié)果作成第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的周期的度數(shù)分布(圖13的步驟S305)。同樣地，第2計(jì)數(shù)期間Pm結(jié)束后，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的度數(shù)分布作成部761，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的周期測(cè)定部760的測(cè)量結(jié)果作成第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的周期的度數(shù)分布(步驟S305)。再有，由于當(dāng)n小的情況下用于求中央值的度數(shù)變少、求中央值的精度下降，所以當(dāng)使用相比于Pn更以前的周期時(shí)求出第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP周期的中央值時(shí)的度數(shù)分布就會(huì)在連續(xù)噪聲下更強(qiáng)。接著，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的中央值計(jì)算部762基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的度數(shù)分布作成部761作成的度數(shù)分布，計(jì)算第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的周期的中央值(media)TO(圖13步驟S306)。同樣地，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的中央值計(jì)算部762，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的度數(shù)分布作成部761作成的度數(shù)分布，計(jì)算第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的周期的中央值TO(步驟S306)。計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的修正值計(jì)算部763，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的度數(shù)分布作成部761作成的度數(shù)分布，求出作為第1計(jì)數(shù)期間Pn中的周期的中央值TO的0.5倍以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns以及作為第1計(jì)數(shù)期間Pn中的周期的中央f直TO的1.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，并按下式修正計(jì)數(shù)器75-1的計(jì)數(shù)結(jié)果(圖13的步驟S307)。jV'=AA+iVw-M...(16)在公式(16)中，N是作為計(jì)數(shù)器75-1的計(jì)數(shù)結(jié)果的MHP的數(shù)量，W'是修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果。同樣地，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的修正值計(jì)算部763，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的度數(shù)分布作成部761作成的度數(shù)分布，求出作為第2計(jì)數(shù)期間Pm中的周期的中央值TO的0.5倍以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns以及作為第2計(jì)數(shù)期間Pm中的周期的中央值T0的1.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，并按公式(16)修正計(jì)數(shù)器75-2的計(jì)數(shù)結(jié)果(步驟S307)。圖16中示出了MHP的周期的度數(shù)分布的一個(gè)實(shí)例。在圖16中，Ts為MHP的周期的中央值TO的0.5倍的等級(jí)值，Tw為中刺直TO的1.5倍的等級(jí)值。毫無(wú)疑問(wèn)，圖16中的等級(jí)是MHP的周期的代表值。再有，為了簡(jiǎn)化圖16中的記載，省略中央值TO與Ts之間以及中央值TO與Tw之間的度數(shù)分布。圖17A和17B是用于說(shuō)明計(jì)數(shù)器75-1、75-2的計(jì)數(shù)結(jié)果的修正原理的圖，圖17A是示意性地表示濾波電路6-1的輸出電壓的波形，即MHP波形的圖，圖17B是表示與圖17A相對(duì)應(yīng)的計(jì)數(shù)器75-1的計(jì)數(shù)結(jié)果的圖。本來(lái)，雖然MHP周期因距測(cè)定對(duì)象11的距離的不同而不同，但如果距測(cè)定對(duì)象ll的距離不變的話，則MHP以相同的周期出現(xiàn)。但是由于噪聲，在MHP波形中產(chǎn)生缺失，或者產(chǎn)生無(wú)法作為信號(hào)進(jìn)行計(jì)數(shù)的波形，從而在MHP數(shù)量中產(chǎn)生誤差。當(dāng)發(fā)生信號(hào)的缺失時(shí)，己發(fā)生缺失的部位的MHP的周期Tw原本的周期的大約2倍。換言之，當(dāng)MHP的周期是中央值TO的大約2倍以上時(shí)，可以判定為在信號(hào)中發(fā)生了缺失。因此，可以M3i將周期Tw以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw看作信號(hào)缺失的次數(shù)，將此Nw加到計(jì)數(shù)器75-l的計(jì)數(shù)結(jié)果N中，來(lái)修正信號(hào)的缺失。此外，使在對(duì)噪聲計(jì)數(shù)的部位的MHP的周期Ts變成原來(lái)的周期大約的0.5倍。換言之，當(dāng)MHP的周期為中央值的大約0.5倍以下時(shí)，可以判定為對(duì)信號(hào)進(jìn)行了過(guò)度計(jì)數(shù)。因此，通過(guò)將周期Ts以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns看作對(duì)信號(hào)進(jìn)行過(guò)度計(jì)數(shù)的次數(shù)，并從計(jì)數(shù)器75-l的計(jì)數(shù)結(jié)果N中減去此Ns，就能夠修正錯(cuò)誤計(jì)數(shù)的噪聲。上述是公式(16)中所示出的計(jì)數(shù)結(jié)果的修正原理。計(jì)數(shù)器75-2的計(jì)數(shù)結(jié)果也能夠按同樣的原理加以修正。再有，在本實(shí)施例中，設(shè)Ts為周期的中央值TO的0.5倍的值，設(shè)Tw不是中刺直T0的2倍的值而是中刺直T0的1.5倍的值，下面描述設(shè)為1.5倍的理由。接著，計(jì)數(shù)裝置7的周期和計(jì)算部78-1基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部77中的、計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的周期測(cè)定部760的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算第1計(jì)數(shù)期間Pn中的MHP的周期的總和Sum(圖13步驟S308)。同樣地，周期和計(jì)算部78-2，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的周期測(cè)定部760的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算第2計(jì)數(shù)期間Pm中的MHP的周期的總和Sum(步驟S308)。計(jì)數(shù)裝置7的個(gè)數(shù)計(jì)算部79-1計(jì)算第1計(jì)數(shù)期間Pn中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量X(振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)體激光器的干涉波形的數(shù)量)，個(gè)數(shù)計(jì)算部79-2計(jì)算第2計(jì)數(shù)期間Pm中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量Y(振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo)體激光器的干涉波形的數(shù)量)(圖13步驟309)。個(gè)數(shù)計(jì)算部79-1，M用由周期和計(jì)算部78-1計(jì)算出的第1計(jì)數(shù)期間中的MHP的周期的總和Sum來(lái)除由計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1的修正值計(jì)算部763計(jì)算出的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'，從而計(jì)算第1計(jì)數(shù)期間Pn中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量X。X=N'/Sum…(17)同樣地，個(gè)數(shù)計(jì)算部79-2通過(guò)用由周期和計(jì)算部78-2計(jì)算出的第2計(jì)數(shù)期間中的MHP的周期的總和Sum來(lái)除由計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2的修正值計(jì)算部763計(jì)算出的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'，從而計(jì)算第2計(jì)數(shù)期間Pm中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量Y。計(jì)數(shù)裝置7在每一第1、第2計(jì)數(shù)期間Pn、Pm中進(jìn)行以上這樣的處理。因此，在通過(guò)判定部73-1、AND74-1、計(jì)數(shù)器75-1、計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-1、存儲(chǔ)部77、周期和計(jì)算部78-1及個(gè)數(shù)計(jì)算部79-1的工作來(lái)計(jì)算MHP的數(shù)量X，同時(shí)通過(guò)判定部73-2、AND74-2、計(jì)數(shù)器75-2、計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76-2、存儲(chǔ)部77、周期和計(jì)算部78-2及個(gè)數(shù)計(jì)算部79-2的工作來(lái)計(jì)算MHP的數(shù)量X，如此這樣同時(shí)求MHP的數(shù)量X和Y。計(jì)數(shù)裝置7以外的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施例相同。在本實(shí)施例中，測(cè)量計(jì)數(shù)期間中的MHP的周期，基于此測(cè)量結(jié)果作成計(jì)數(shù)期間中的MHP的周期的度數(shù)分布，基于度數(shù)分布計(jì)算MHP的周期的中央值，基于度數(shù)分布求出作為中央值的0.5倍以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns和作為中央值的1.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，根據(jù)這些度數(shù)總和Ns和修正計(jì)算器的計(jì)數(shù)結(jié)果，由此，就能夠修正MHP的計(jì)數(shù)誤差，所以相比于第l實(shí)施例，會(huì)旨?jí)蚴咕嚯x及速度的測(cè)量精度提高。接著，在本實(shí)施例中，說(shuō)明使用周期的度數(shù)分布的中央值作為MHP的基準(zhǔn)周期的理由，及設(shè)求出度數(shù)NW時(shí)的周期的閾值為中央值的1.5倍的理由。最初，針對(duì)因?qū)υ肼曔M(jìn)行了誤計(jì)數(shù)而將MHP的周期2分割的情況下的計(jì)數(shù)結(jié)果的修正進(jìn)行說(shuō)明。在半導(dǎo)體激光器的振蕩波長(zhǎng)變化是線形的情況下，腿P的周肌以用MHP的數(shù)量N來(lái)除計(jì)數(shù)期間所得的TO為中心呈正絲布(圖18)。接下來(lái)考慮因噪聲而2分害啲證的周肌作為過(guò)度計(jì)數(shù)噪聲的結(jié)果2分割的MHP周期，雖然以隨機(jī)比率被2分割，但由于被分割之前的周期是以T0為中心的正態(tài)分布，所以就成為相對(duì)于0.5T0X寸稱的度數(shù)分布(圖19的a)。對(duì)于包含此噪聲的MHP的周期的度數(shù)分布而言，在假設(shè)MHP的k96為因噪聲而2分割周期時(shí)，計(jì)算MHP的周期的平均值和中央值。所有的周期之和始終是計(jì)數(shù)期間，雖然沒(méi)有變化，但如果MHP的k。/過(guò)噪聲而2分割周期，貝lj由于度數(shù)的積分j鼓成(l+k[%])N，因此MHP周期的平均值將會(huì)變成(1/(l+k,T0。另一方面，在忽略噪聲分布中與正態(tài)分布重合的部分的情況下，由于2分割的噪聲的累積度數(shù)成為在中央值和T0之間的等級(jí)中所包含的度數(shù)的2倍，因此，MHP的周期的中央值將會(huì)處于圖20的b的面積為a的面積2倍的位置處。在作為微軟(Microsoft)公司的軟件的Excel(注冊(cè)商標(biāo))中，包括被稱為N0RMSDIST()的函數(shù)，其可以M"(1-(1-NORMSDIST("))*2)*100[%]"來(lái)表示自正態(tài)分布的平均值至^之間的兩側(cè)值的內(nèi)部比率，如果使用該函數(shù)，則可以按下式表示MHP的周期的中央值(l一(1—N0RMSDIST((中^il—T0)P))*2)*(100-k)/2=k[%]…(18)根據(jù)上述描述，如果設(shè)標(biāo)準(zhǔn)偏差c為0.02T0，則當(dāng)MHP的1(F。為因噪聲而2分割周期時(shí)，按如下計(jì)算此時(shí)的MHP的周期的平均值T0'和中央值T0'。T0'二(1/(1+0.1))T0二0.91T0…(19)T0'二0.艦T0…(20)再有，在此，設(shè)平均值和中央值都由T0'表示。規(guī)定計(jì)數(shù)器值(度數(shù)的積分值)為1.1N，計(jì)數(shù)誤差為10%。在此，考慮某一周期Ta的MHP被2分割后的2個(gè)周期Tl，t2(設(shè)T1^T2)的獲取期間的概率。若假設(shè)噪聲是隨機(jī)產(chǎn)生的，貝咖圖21所示，T2可以以相同的概率獲取0<T2《Ta/2的值。同樣地，T1也可以以相同的概率獲取T/22Tl<Ta的值。圖21中的Tl的獲取的概率分布的面積和T2的獲取的概率分布的面積都為l。由于周期Ta以TO為中心進(jìn)行正態(tài)分布，因此，如果將Ta看作集合時(shí)，則T2的獲取的概率的度數(shù)分布成為與平均值為0.5T0、標(biāo)準(zhǔn)偏差0.5J的正態(tài)分布的累積度數(shù)分布相同的形狀。此外，如圖22所示，Tl的獲取的概率的度數(shù)分布成為將平均值為0.5T0、標(biāo)準(zhǔn)偏差0.5cx的正態(tài)分布的累積度數(shù)分布和平均值為T(mén)0、標(biāo)準(zhǔn)偏差"的正態(tài)分布的累積度數(shù)分布重疊后的形狀。在此，T1和T2各自的數(shù)量等于將周期2分割后的MHP的數(shù)量kp/。]*N。.如果可以對(duì)因噪聲而將周期2分割后的MHP的數(shù)量kM,進(jìn)行計(jì)數(shù)，那么可以使用下式導(dǎo)出MHP的數(shù)量N:N=N'—k[o/0].N…(21)如圖23所示，如果可以按照具有Tb以下的周期的MHP的數(shù)量Ns與被2分割后的MHP的數(shù)量k[%]N相等的方式設(shè)定Tb，則可以通過(guò)對(duì)具有Tb以下的周期的腿P的數(shù)量Ns進(jìn)行計(jì)數(shù)，從而間接地對(duì)周期被2分割后的MHP的數(shù)量k[%]W進(jìn)行計(jì)數(shù)。在圖23中，當(dāng)具有Tb以上的周期的MHP的周期T2的度數(shù)(圖23中的c)和具有不到Tb的周期的MHP的周期Tl的度數(shù)(圖23中的d)相等時(shí)，具有Tb以下的周期的MHP的數(shù)量就會(huì)與T2的數(shù)量即周期被2分割后的MHP的數(shù)量Ns(二k[。/。].N)相等。換言之，MHP的數(shù)量N可以用下式表示。N二N'-k[%]'N二N'-Ns…(22)由于Tl和T2的度數(shù)形狀是按0.5Ta對(duì)稱的形狀，因此以0.5Ta作為閾值進(jìn)行判斷時(shí)，就可以正確地對(duì)周期被2分割后的MHP的度數(shù)總和Ns(=k[%]'N)進(jìn)行計(jì)數(shù)。接著，雖然M)(寸具有0.5T0以下的周期的MHP的數(shù)識(shí)行計(jì)數(shù)，會(huì)^夠?qū)?分割周期后的MHP的數(shù)量k[Q/。]'N的數(shù)1^行間接計(jì)數(shù)，但是無(wú)錢(qián)于包含噪聲的MHP的周期的度數(shù)分布(圖19)來(lái)計(jì)算TO。如果MHP的母體是如圖19的度數(shù)分布那樣當(dāng)最頻值(mode)越接近TO時(shí)越理想且總體參f^大的話，則可以使用最頻值作為T(mén)G'。在此，描述1頓平均值或中劃直T0'的腿P的數(shù)量kM'N的計(jì)數(shù)。如果用TO'二yTO表示，且代替TO而代入TO'求出Ns，則比作為2分割周期后的MHP的數(shù)量進(jìn)行判斷的0.5T0'更小的周期的度數(shù)Ns'成為yk[%]N(圖24)。在使用平均值或中央值TO'的情況下，修正后的計(jì)數(shù)值Nt表示如下。Nt=N'-Ns'二(l+k[%〕)N-ykN二(1+(l-y)k[%])關(guān)+(1-y〉k[%]N...(23)再有，作為修正后的誤差的(l-y)k[%]N為圖25的e部分的度數(shù)。在此，針對(duì)^細(xì)平均值或中刺直T0'的計(jì)數(shù)器75-1、75-2的計(jì)數(shù)結(jié)果進(jìn)行修正的例子進(jìn)行說(shuō)明。如果設(shè)標(biāo)準(zhǔn)偏差為"=0.02T0，MHP的10%為因噪聲而2分割周期時(shí)(計(jì)數(shù)結(jié)果有10%的誤差)，則MHP的周期的平均值T0'是0.91T0，中央值TO'是0.9949丁0，因此使用平均值T0'時(shí)的y為0.91，4頓中^f直T0'時(shí)的y為0.9949，修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'計(jì)算如下。N'二(1+0.1(1-0.91))N=1.009N…(24)N'二(1+0.1(1-0.995))N二1,0005N…(25)公式(24)表示使用平均值TO'時(shí)的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'，公式(25)表示使用中央值T0'時(shí)的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'。使用平均值T0'時(shí)的計(jì)數(shù)結(jié)果N'的誤差是0.9%。使用中央值TO'時(shí)的計(jì)數(shù)結(jié)果N'的誤差是0.05%。接著，設(shè)標(biāo)準(zhǔn)偏差為J^.05T0，,的20%為因噪聲而2分害啁期時(shí)(計(jì)數(shù)結(jié)果有20%的誤差)，由于MHP的周期的平均值TO'為0.83T0，中央值TO'為0.9682T0，所以4頓平均值TO'時(shí)的y為0.83。4頓中央值T0'時(shí)的y為0.968，修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'計(jì)算如下N'二(i+o.2(1-0.83))N二1.034N…(26)N'=(1+0.2(1-0.968))N=1.0064N…(27)公式(26)表示使用平均值TO'時(shí)的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'，公式(27)表示使用中央值TO'時(shí)的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'。使用平均值T0'時(shí)的計(jì)數(shù)結(jié)果N'的誤差是3.4%，4頓中^f直T0'時(shí)的計(jì)數(shù)結(jié)果N'的體是0.64%?；谝陨鲜聦?shí)可知，如果^ffiMHP的周期的中央〗,修正計(jì)數(shù)結(jié)果N的話，則能夠減小修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'的誤差。接下來(lái)，說(shuō)明在MHP的波形中產(chǎn)生缺失的情況下的計(jì)數(shù)結(jié)果的修正。由于原來(lái)的MHP的周期是以TO為中心的正態(tài)分布，所以因MHP的強(qiáng)度小而在計(jì)數(shù)時(shí)產(chǎn)生缺失的情況下的MHP的周期成為平均值為2T0、標(biāo)準(zhǔn)偏差的正態(tài)分布(圖26中的f)。如果缺失了j[%]的MHP，則因此缺失周期變?yōu)?倍的MHP的周期的度數(shù)是Nw，N)。此外，因計(jì)數(shù)時(shí)的缺失減少后的大約TO的周期的度數(shù)是圖26中所示的g，圖26的h中所表示的度數(shù)的減小部分是2Nw(二2j[%])。因此，在計(jì)數(shù)時(shí)未產(chǎn)生MHP的缺失情況下的原來(lái)的MHP的數(shù)N'可以用下式表示。N'=N+j[%>N+Nw…(28)接下來(lái)，考慮對(duì)用于修正計(jì)數(shù)結(jié)果的Nw進(jìn)行計(jì)數(shù)時(shí)的周期的閾值。在此，假設(shè)因計(jì)數(shù)時(shí)的缺失使周期變?yōu)?倍的MHP的周期的度數(shù)Nw中，因噪聲而2分割pM的情形。缺失的MHP中，2分害啲MHP的周期的度數(shù)為Nw'(=j'N)。圖27示出了再次2分割的MHP的周期的度數(shù)分布。如果設(shè)被看作Nw的周期的閾值為1.5T0時(shí)，周期為0.5T0以下的MHP的周期的度數(shù)是O.5Nw'(二O.5p[%]<Nw)，周期自0.5T0到1.5T0的MHP的周期的度數(shù)是Nw'(:p[%]斷)，周期為1.5T0以上的證的周期的度數(shù)是0.5Nw'(=0.5p[%]'Nw)。因此，所有的MHP的周期的度數(shù)分布變成如圖28所示，如果設(shè)Ns的閾值是0.5T0,Nw的閾值是1.5T0時(shí)，貝附數(shù)結(jié)果N可以用下式表示。N=(N'-2Nw)+(Nw—Nw'〉+2Nw'=N'_NW+Nw'...(29)通過(guò)公式(29)修正的結(jié)果如下所示，表明計(jì)算出計(jì)數(shù)時(shí)沒(méi)有產(chǎn)生MHP的缺失時(shí)的原來(lái)的MHP的數(shù)N'。N一O.5Nw'+(0.5Nw'+(Nw-Nw'))二(N-Nw+Nw')+(0.5Nw'+(Nw-Nw'))二N'…(30)基于以上的事實(shí)可知，如果設(shè)求度數(shù)Nw時(shí)的周期的閾值為中央值的1.5倍的話，就能夠修正計(jì)數(shù)結(jié)果N。再有，與因噪聲而2分割MHP的周期的情形相同，由于使用中央值替代TO行修正，所以也會(huì)發(fā)生同樣的誤差。在以上的說(shuō)明中，雖然分別說(shuō)明了過(guò)度計(jì)數(shù)噪聲的結(jié)果，2分割MHP的周期的情形和因計(jì)數(shù)時(shí)的缺失而MHP的周期變?yōu)?倍的情形，但由于它們是獨(dú)立發(fā)生的，因此當(dāng)在一個(gè)度數(shù)分布中表現(xiàn)這些情形時(shí)，就為圖29那樣。如果設(shè)Ns的閾值為0.5T0，Nw的閾值為1.5T0時(shí)，則計(jì)數(shù)結(jié)果N可以用下式表示。N=(N'-2Nw-Ns)+(Nw-Nw')+2Nw'+2Ns二N'一Nw+Nw',s...(31)以下是Mii公式(31)修正的結(jié)果，表明計(jì)算出計(jì)數(shù)時(shí)沒(méi)有產(chǎn)生缺失和過(guò)度計(jì)數(shù)的情形的原來(lái)的MHP的數(shù)量N'。N-{0.5Nw'+Ns}+{0.5Nw'+(Nw-Nw')}={N-Nw+Nw'+Ns}-{0.5Nw'+Ns}+{0.5Nw'+(Nw-Nw')}=N'…(32)再有，在本實(shí)施例中，雖然針對(duì)MHP的缺失的修正，說(shuō)明了因l個(gè)缺失MHP的周期變?yōu)樵瓉?lái)的周期的大約2倍的情形，但g卩便是連續(xù)產(chǎn)生2個(gè)以上的缺失的情況下也能夠適用本發(fā)明。在MHP連續(xù)缺失2個(gè)的情況下，認(rèn)為中央值的3倍的周期的MHP為3個(gè)MHP變?yōu)?個(gè)的情形。此情況下，求出作為周期的中央值的大約3倍以上的等級(jí)的度數(shù)，如果將此度數(shù)加倍的話，就能夠修正MHP的缺失。如果一般化這樣的考慮，則可以使用下式代替公式(16)。N',+Nwl+Nw2+Nw3+…-Ns...(33)Nwl是作為周期的中央值的1.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和，Nw2是作為周期的中央值的2.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和，Nw3是作為周期的中央值的大約3.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和。(第3實(shí)施例)接下來(lái)，說(shuō)明本發(fā)明的第3實(shí)施例。在第2實(shí)施例中，雖然在固定長(zhǎng)度的第1計(jì)數(shù)期間Pn和第2計(jì)數(shù)期間Pm中求MHP的數(shù)量，但第1計(jì)數(shù)期間Pn和第2計(jì)數(shù)期間Pm也可以是可變長(zhǎng)度。在本實(shí)施例中，由于距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)和第1實(shí)施例相同，所以使用圖1的符號(hào)進(jìn)行說(shuō)明。圖30為表示本實(shí)施例的計(jì)數(shù)裝置7的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖，圖31為表示此計(jì)數(shù)裝置7的工作的流程圖。本實(shí)施例的計(jì)數(shù)裝置7由切換開(kāi)關(guān)70a，周期測(cè)定部71a-1、71a-2，判定部73-1、73-2，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1、76a-2，存儲(chǔ)部77，周期和計(jì)算部78-1、78-2和個(gè)數(shù)計(jì)算部79-1、79-2構(gòu)成。圖32為表示計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖。計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1由度數(shù)分布作成部761a、中央值計(jì)算部762a和修正值計(jì)算部763a構(gòu)成。計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的結(jié)構(gòu)由于與計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-l相同，所以省略說(shuō)明。首先，切換開(kāi)關(guān)70a的工作與圖13的步驟S300、S301相同(圖31的步驟S400、S401)，判定部73-1、73-2的工作與圖13的步驟S302相同(圖31的步驟S402)。周期測(cè)定部71a-1針對(duì)這些MHP的每一個(gè)測(cè)量圖15B所示的判定部73-1的輸出中的規(guī)定個(gè)數(shù)N(N是2以上的自然數(shù))個(gè)的MHP的周期(圖31的步驟S403)。同樣地，周期測(cè)定部71a-2針X寸這些MHP的每一個(gè)測(cè)量判定部73-2的輸出中的規(guī)定個(gè)數(shù)N個(gè)的MHP的周期(步驟S403)。此時(shí)，周期測(cè)定部71a-1、71a-2以時(shí)鐘信號(hào)CLK的周期為1個(gè)單位來(lái)測(cè)量證的周期。存儲(chǔ)部77存儲(chǔ)周期測(cè)定部71a-l、71a-2的測(cè)量結(jié)果。周期測(cè)定部71a-1的測(cè)量結(jié)束后，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1的度數(shù)分布作成部761a，基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部77中的周期測(cè)定部71a-1的測(cè)量結(jié)果作成MHP的周期的度數(shù)分布(圖31步驟S404)。同樣地，周期測(cè)定部71a-2的測(cè)量結(jié)束后，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的度數(shù)分布作成部761a,基于周期測(cè)定部71a-2的測(cè)量結(jié)果作成MHP的周期的度數(shù)分布(步驟S404)。接著，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1的中央值計(jì)算部762a，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1的度數(shù)分布作成部761a作成的度數(shù)分布計(jì)算MHP的周期的中央值T0(圖31的步驟S405)。同樣地，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的中刺直計(jì)算部762a，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的度數(shù)分布作成部761a作成的度數(shù)分布計(jì)算MHP的周期的中央值TO(步驟S405)。計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-l的修正值計(jì)算部763a，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a_l的度數(shù)分布作成部761a作成的度數(shù)分布，求出作為計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1的中央值計(jì)算部762a計(jì)算出的周期的中央值TO的0.5倍以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns、和作為此周期的中央值TO的1.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，按公式(16)修正規(guī)定個(gè)數(shù)N(圖31的步驟S406)。同樣地，計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的修正值計(jì)算部763a，基于計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的度數(shù)分布作成部761a作成的度數(shù)分布，求出作為計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的中^1計(jì)算部762a計(jì)算出的周期的中央值TO的0.5倍以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns、和作為此周期的中央值TO的1.5倍以上的等級(jí)的度數(shù)的總和阪，按公式(16)修正規(guī)定個(gè)數(shù)N(步驟S406)。接著，周期和計(jì)算部78-1，基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部77中的周期測(cè)定部71a-l的湖糧結(jié)果計(jì)算證的周期的總和Sum(圖31步驟S407)。同樣地，周期和計(jì)算部78-2，基于周期測(cè)定部71a-2的測(cè)量結(jié)果計(jì)算MHP的周期的總和Sum(步驟S407)。個(gè)數(shù)計(jì)算部79-1ilil用由周期和計(jì)算部78-1計(jì)算出的MHP的周期的總和Sum來(lái)除由計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-1的修正值計(jì)算部763a計(jì)算出的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'，從而計(jì)算第1計(jì)數(shù)期間Pn中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量X(圖31步驟S408)。同樣地，個(gè)數(shù)計(jì)算部79-2，Ml用由周期和計(jì)算部78-2計(jì)算出的MHP的周期的總和Sum來(lái)除由計(jì)數(shù)結(jié)果修正部76a-2的修正值計(jì)算部763a計(jì)算出的修正后的計(jì)數(shù)結(jié)果N'，從而計(jì)算第2計(jì)數(shù)期間Pm中的每單位時(shí)間的MHP的數(shù)量Y(步驟S408)。計(jì)數(shù)裝置7在每一第1、第2計(jì)數(shù)期間Pn、Pm中進(jìn)行以上這樣的處理。雖然，同時(shí)計(jì)算MHP的數(shù)量X和Y的情形與第1、第2實(shí)施例相同，但在按照上述進(jìn)行的本實(shí)施例中，第1計(jì)數(shù)期間Pn和第2計(jì)數(shù)期間Pm為可變長(zhǎng)度。就是說(shuō)，由周期和計(jì)算部78-1計(jì)算出的MHP的周期的總和相當(dāng)于第1計(jì)數(shù)期間Pn的長(zhǎng)度，由周期和計(jì)算部78-2計(jì)算出的MHP的周期的總和相當(dāng)于第2計(jì)數(shù)期間Pm的長(zhǎng)度。相當(dāng)于第2實(shí)施例的計(jì)數(shù)器75-1、75-2的計(jì)數(shù)結(jié)果N的值，在本實(shí)施例中將會(huì)成為所謂規(guī)定個(gè)數(shù)N的固定值。其它的結(jié)構(gòu)與第2實(shí)施例相同。在第2實(shí)施例中，因?yàn)榈趌計(jì)數(shù)期間Pn和第2計(jì)數(shù)期間Pm為固定長(zhǎng)度，所以存在由周期和計(jì)算部78-1計(jì)算出的MHP的周期的總和與第1計(jì)數(shù)期間Pn的長(zhǎng)度不一致的情形，同樣地存在由周期和計(jì)算部78-2計(jì)算出的MHP的周期的總和與第2計(jì)數(shù)期間Pm的長(zhǎng)度不一致的情形。因此，在第2實(shí)施例中，存在在由計(jì)數(shù)裝置7求出的MHP的數(shù)量n、m中產(chǎn)生測(cè)量誤差，在距離及速度中產(chǎn)生測(cè)量誤差的可能性。相對(duì)于此，在本實(shí)施例中，由于能夠使由周期和計(jì)算部78-1、78-2計(jì)算出的MHP的周期的總和與第1計(jì)數(shù)期間Pn、第2計(jì)數(shù)期間Pm的長(zhǎng)度相等，因此能夠斷氐MHP的數(shù)n、m的測(cè)觀差。因此，根據(jù)本實(shí)施例，不僅能夠取得與第2實(shí)施例相同的效果，還能夠進(jìn)一步地提高距離及速度的測(cè)量精度。(第4,iJ)接著，說(shuō)明本發(fā)明的第4實(shí)施例。在第1第3實(shí)施例中，狀態(tài)判定部82，在公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果相等的時(shí)候，判定測(cè)定X寸象11處于微小位移狀態(tài)，在公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果相等的時(shí)候，判定測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)。但是，因噪聲等的影響，在公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果相等、且公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果不相等的情況下，就不能判定測(cè)定對(duì)象11的狀態(tài)，在公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果不一致、且公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果不一致的情況下，也不能判定測(cè)定對(duì)象11的狀態(tài)。在本實(shí)施例中，即便是由狀態(tài)判定部82不能判定測(cè)定X^11的狀態(tài)的情況下，也實(shí)現(xiàn)了計(jì)算距測(cè)定X豫11的距離及測(cè)定X像11的速度。在本實(shí)施例中，由于距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)和第1實(shí)施例相同，所以使用圖1的符號(hào)進(jìn)行說(shuō)明。圖33為表示本實(shí)施例的運(yùn)算裝置8的結(jié)構(gòu)的一個(gè)實(shí)例的方框圖，圖34為表示it虛算裝置8的工作的流程圖。本實(shí)施例的運(yùn)算裝置8，包含存儲(chǔ)部80、距離/速度計(jì)算部81、根據(jù)距離/速度計(jì)算部81和后述的歷史位移計(jì)算部的計(jì)算結(jié)果來(lái)判定測(cè)定X豫11的狀態(tài)的狀態(tài)判定部82a、根據(jù)狀態(tài)判定部82a的判定結(jié)果來(lái)確定測(cè)定)(*11的速度的速度確定部83a、根據(jù)狀態(tài)判定部82a的判定結(jié)果來(lái)確定距測(cè)定對(duì)象ll的距離的距離確定部84a、以及計(jì)算由距離/速度計(jì)算部81計(jì)算出的距離的候補(bǔ)值和之前計(jì)算出的距離的候補(bǔ)值之差即歷史位移的歷史位移計(jì)算部85。速度確定部83a和距離確定部84a構(gòu)成距離/速度確定部86a。首先，運(yùn)算裝置8的存儲(chǔ)部80的動(dòng)作與圖8的步驟S201相同(圖34步驟S501)，距離/速度計(jì)算部81的動(dòng)作與圖8的步驟S202相同(圖34步驟S502)。運(yùn)算裝置8的歷史位移計(jì)算部85，按照下式計(jì)算時(shí)刻t-1至t中的距離的第2候補(bǔ)值La2(t-l，t)和時(shí)刻t-2至t-l中的距離的第1候補(bǔ)值La1(t-2，t-l)之差即歷史位移Vcalal(t-2，t)，時(shí)刻t至t+l中的距離的第1候補(bǔ)值Lal(t，t+l)和時(shí)刻t-l至t中的距離的第2候補(bǔ)值La2(t_l，t)之差即歷史位移Vcala2(t-l，t+l)，時(shí)刻t-l至t中的距離的第1候補(bǔ)值La1(t-l，t)和時(shí)刻t-2至t-l中的距離的第2候補(bǔ)值La2(t-2，t_l)之差即歷史位移Vcala3(t-2，t)，時(shí)刻t至t+l中的距離的第2候補(bǔ)值Lci2(t，t+l)和時(shí)刻t-l至t中的距離的第l候補(bǔ)值Lal(t-1，t)之差即歷史位移Veala4(t-l，t+l)，時(shí)刻t-1至t中的距離的第4候補(bǔ)值LP4(t-1，t)和時(shí)刻t-2至t-l中的距離的第3候補(bǔ)值LP3(t-2，t-l)之差即歷史位移VcalP1(t-2，t)，時(shí)刻t至t+l中的距離的第3候補(bǔ)值LP3(t，t+l)和時(shí)刻t-l至t中的距離的第4候補(bǔ)值LP4(t-l，t)之差即歷史位移VcalP2(t-l，t+l)，時(shí)刻t-l至t中的距離的第3候補(bǔ)值LP3(t-l，t)和時(shí)刻t-2至t-l中的距離的第4候補(bǔ)值LM(t-2，t-1)之差即歷史位移Vcale3(t-2，t)，時(shí)刻t至t+l中的距離的第4候補(bǔ)值LP4(t，t+l)和時(shí)刻t-l至t中的距離的第3候補(bǔ)值LP3(t-l，t)之差即歷史位移VcalP4(t-1，t+l)，并保存在存儲(chǔ)部80中(圖34的步驟S503)。Vcalal(t-2，t)二La2(t-l，t)-Lal(t-2，t-l)…(34)Vcala2(t-1，t+l)二Lal(t，t+l)-La2(t-1，t)…(35)Vcala3(t-2，t)二Lal(t-l，t)-La2(t-2，t-l)…(36)Vcala4(t-1，t+l)二La2(t，t+l)-Lai(t-1，t)…(37)VcalPl(t-2，t)二LP4(t-l，t)—LP3(t-2，t—1)…(38)VcalP2(t-l，t+l)=LP3(t，t+l)-LP4(t-1，t)…(39)VcalP3(t—2，t)=LP3(t-1，t)-LP4(t-2，t-l)…(40)VcalM(t-l，t+l)二LP4(t，t+l)-LP3(t-l，t)…(41)歷史位移Veal"(t-2，t)、Vcala2(t-1，t+l)、Veala3(t_2，t)、Veala4(t-1，t+l)為假設(shè)測(cè)定對(duì)象11處于微小位移狀態(tài)而計(jì)算出的值，歷史位移VcalPl(t—2，t)、VcalP2(t-l，t+l)、Veal33(t—2，t)、VcalP4(t-1，t+l)為假設(shè)測(cè)定X豫ll處于位移狀態(tài)計(jì)算出的值。歷史位移計(jì)算部85在每M51計(jì)數(shù)裝置7計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻進(jìn)行公式(34)公式(41)的計(jì)算。另外，在公式(34)公式(41)中，將測(cè)定對(duì)象11接超巨離/速度計(jì)的方向定為正的速度，將遠(yuǎn)離該距離/速度計(jì)的方向定為負(fù)的接著，運(yùn)算裝置8的狀態(tài)判定部82a采用存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部80中的公式(2)39公式(5)的計(jì)算結(jié)果和公式(34)公式(41)的計(jì)算結(jié)果來(lái)判定測(cè)定對(duì)象11的狀態(tài)(圖34的步驟S504)。圖35為表示此狀態(tài)判定部82a的工作的流程圖。首先，狀態(tài)判定部82a與第1實(shí)施例的狀態(tài)判定部82相同，使用公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果來(lái)判定測(cè)定mil的狀態(tài)(圖35的步驟S601)。在此，在公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果相等的時(shí)候，狀態(tài)判定部82a判定測(cè)定^11處于微小位移狀態(tài)，在公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果相等的時(shí)候，判定測(cè)定對(duì)象ll處于位移狀態(tài)，判斷為狀態(tài)判定結(jié)束(在步驟S602中判定"是")，結(jié)束步驟S504的處理。另一方面，狀態(tài)判定部82a在公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果相等、且公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果也相等的情況下，或在公式(2)和公式(3)的計(jì)算結(jié)果不一致、且公式(4)和公式(5)的計(jì)算結(jié)果也不一致的情況下，由于無(wú)法進(jìn)行判定，所以iiA步驟S603。在步驟S603中，狀態(tài)判定部82a1頓公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果和公式(34)公式(41)的計(jì)算結(jié)果來(lái)判定測(cè)定)(豫ll的狀態(tài)。如文獻(xiàn)4中所記載的，在測(cè)定對(duì)象ll以微小位移狀態(tài)移動(dòng)(等iIM動(dòng))的情況下，假設(shè)測(cè)定對(duì)象11為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Veala的符號(hào)恒定，并且假設(shè)測(cè)定對(duì)象11為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Va和歷史位移Vcala的絕對(duì)值的平均值相等。另外，在測(cè)定鄉(xiāng)ll以微小位移狀態(tài)等速運(yùn)動(dòng)的情況下，在每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻，對(duì)假設(shè)測(cè)定膽11為位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcaie的符號(hào)取反。因此，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定繊11處于微小位移狀態(tài)而計(jì)算出的公式(34)的歷史位移Vcalal(t-2，t)和公式(35)的歷史位移Vcala2(t-l，t+l)的符號(hào)一致，并且假設(shè)測(cè)定X寸象11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)的平均值，與歷史位移Vcalal(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移Vcala2(t-1，t+l)的鄉(xiāng)敘寸值的平均值相等的情況下，判定測(cè)定對(duì)象ll以微小位移狀M^動(dòng)?；蛘?，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定對(duì)象11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(36)的歷史位移Vcala3(t-2，t)和公式(37)的歷史位移Vcala4(t-l，t+l)的符號(hào)一致，并且假設(shè)測(cè)定對(duì)象ll處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)禾QVa2(t，t+l)的平均值，與歷史位移Vcala3(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移Vcala4(t-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值相等的情況下，判定測(cè)定對(duì)象ll以微小位移狀態(tài)等速運(yùn)動(dòng)。如文獻(xiàn)4中所記載的，在測(cè)定X豫ll以位移狀態(tài)移動(dòng)(等速運(yùn)動(dòng))的情況下，假設(shè)測(cè)定X寸象ll為位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcaie的符號(hào)固定，并且假設(shè)領(lǐng)啶)(豫ll為位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Ve和歷史位移VcalP的會(huì)敘寸值的平均值相等。另外，在測(cè)定m11以位移狀態(tài)等艇動(dòng)的情況下，在每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻，對(duì)假設(shè)測(cè)定X寸象11為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcala的符號(hào)取反。因此，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)領(lǐng)啶X像11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(38)的歷史位移VcalPl(t-2，t〉和公式(39)的歷史位移VcalP2(t-l，t+l)的符號(hào)一致，并且假設(shè)測(cè)定3豫11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)禾[]VP4(t，t+l)的平均值，與歷史位移VcalPl(t-2，t)的鄉(xiāng)^)(寸值和歷史位移VcalP2a-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值相等的情況下，判定為測(cè)定對(duì)象ll以位移狀態(tài)等3lit動(dòng)?；蛘撸瑺顟B(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(40)的歷史位移VcalP3(t-2，t)和公式(41)的歷史位移VcalP4(t-l，t+l)的符號(hào)一致，并且假設(shè)測(cè)定X寸象11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)禾BVP4(t，t+l)的平均值，與歷史位移VcalP3(t-2，t)的纟敘寸值和歷史位移VcalP4(t-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值相等的情況下，判定測(cè)定對(duì)象11以位移狀態(tài)等速運(yùn)動(dòng)。如文獻(xiàn)4中附己載的，在測(cè)定X豫ll以微小位移狀態(tài)進(jìn)t灣速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，假設(shè)測(cè)定gll為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Va與假設(shè)測(cè)定對(duì)象11為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcala的的絕對(duì)值的平均值不一致。同樣地，假設(shè)測(cè)定X橡ll為位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值VP與假設(shè)測(cè)定對(duì)象ll為位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移VcalP的的絕對(duì)值的平均值也不一致。此外，在測(cè)定X寸象11以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻，對(duì)假設(shè)測(cè)定對(duì)象11為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcala的符號(hào)取反，在假設(shè)測(cè)定對(duì)象11為位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcal0中即便存在符號(hào)變動(dòng)，在每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻，也不會(huì)產(chǎn)生該變動(dòng)。因此，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定對(duì)象11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(34)的歷史位移Vcalal(t-2，t)和公式(35)的歷史位移Vcala2(t-l，t+l)的符號(hào)不一致，并且假設(shè)測(cè)定，ll處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)的平均值，與歷史位移Vcalal(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移Veala2(t-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定對(duì)象11以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等^動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)?；蛘?，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定X^11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(36)的歷史位移Vcala3(t-2，t)和公式(37)的歷史位移Vcala4(t-1，t+l)的符號(hào)不一致，并且假設(shè)測(cè)定纖ll處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)禾BVa2(t，t+l)的平均值，與歷史位移Vcala3(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移Veala4(t-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定X像11以微小位移狀態(tài)進(jìn)4灣速運(yùn)動(dòng)以夕卜的運(yùn)動(dòng)。再有，如果著眼^it的候補(bǔ)值VP，貝'JVP3(t，t+l)的鄉(xiāng)敘寸值和VM(t，t+l)的鄉(xiāng)敘寸值為常數(shù)，該纟敘寸值等于在假設(shè)測(cè)定X像11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的距離的候補(bǔ)值Lal(t，t+l)禾nLa2(t，t+l)的平均值上乘以半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化率(入b-入a)/入b的值。因此，狀態(tài)判定部82a，也可在假設(shè)測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)的絕對(duì)值和VP4(t，t+l)的絕對(duì)值等于在距離的候補(bǔ)值La1(t，t+l)和La2(t，t+l)的平均值上乘以波長(zhǎng)變化率Ub—")/入b的值，并且假設(shè)測(cè)定X寸象ll處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)的平均值，與歷史位移Vcalal(t-2，t)的纟敘寸值和歷史位移Veala2(t-l，t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定旨ll以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)。此外，狀態(tài)判定部82a也可在假設(shè)測(cè)^^m11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)的鄉(xiāng)樹(shù)值和VP4(t，t+l)的纟M值等于在距離的候補(bǔ)值Lal(t，t+l)和La2(t，t+l)的平均值上乘以波長(zhǎng)變化率Ub—入a)/入b的值，并且假設(shè)觀啶繊11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的鵬的候補(bǔ)值Va1(t，t+l)和Va2(t，t+l)的平均值，與歷史位移Vcala3(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移Vcala4(t-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定X寸象ll以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等^動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)。如文獻(xiàn)4所記載的，測(cè)定對(duì)象ll以位移狀態(tài)進(jìn)行等3iM動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，假設(shè)湖l淀對(duì)象ll為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Va和假設(shè)測(cè)定對(duì)象ll為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcala的絕對(duì)值的平均值不一致，假設(shè)測(cè)定對(duì)象ll為位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Vg和假設(shè)測(cè)^t象11為位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移VcaiP的絕對(duì)值的平均值也不一致。此外，在測(cè)定m11以位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，在每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)刻，對(duì)假設(shè)觀l淀對(duì)象ll為位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移VcaiP的符號(hào)取反，在假設(shè)測(cè)定X寸象ll為微小位移狀態(tài)計(jì)算出的歷史位移Vcala中即便存在符號(hào)變動(dòng)，在每計(jì)算MHP的數(shù)量的時(shí)亥他不會(huì)產(chǎn)生此變動(dòng)。因此，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定X豫11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(38)的歷史位移VcalPl(t-2，t)和公式(39)的歷史位移VcalP2(t-1，t+l)的符號(hào)不一致，并且假設(shè)測(cè)定X^m11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的3M的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)禾PVP4(t，t+l)的平均值，與歷史位移VcalPl(t-2，t)的艦值禾嚦史位移VcalP2(t-1，t+l)的纟敘寸值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定対嚷ll以位移狀態(tài)進(jìn)行等3Iig動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)?；蛘?，狀態(tài)判定部82a在假設(shè)測(cè)定對(duì)象11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的公式(40)的歷史位移VcalP3(t-2，t)和公式(41)的歷史位移Vcaie4(t-1，t+l)的符號(hào)不一致，并且假設(shè)測(cè)定X豫11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的繊的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)禾口VP4(t，t+l)的平均值，與歷史位移VcalP3(t-2，t)的鄉(xiāng)敘寸值和歷史位移VcalP4(t-1,t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定對(duì)彔11以位移狀態(tài)進(jìn)行等^iS動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)。再有，如果著眼于速度的候補(bǔ)值Va時(shí)，則Val(t，t+l)的纟敘寸值和Va2(t，t+l)的絕對(duì)值為常數(shù)，該絕對(duì)值等于在假設(shè)測(cè)定，11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的距離的候補(bǔ)值LP3(t，t+l)和LP4(t，t+l)的平均值上乘以半導(dǎo)^繊光器1-1、1-2的波長(zhǎng)變化率(入b-Aa)/入b的值。因此，狀態(tài)判定部82a，也可在假設(shè)測(cè)定對(duì)象ll處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Va1(t，t+l)的絕對(duì)值和Va2(t，t+l)的絕對(duì)值等于在距離的候補(bǔ)值LP3(t，t+l)和LM(t，t+l)的平均值上乘以波長(zhǎng)變化率(入b—Aa)/入b的值，并且假設(shè)測(cè)定X寸象ll處于位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)和VP4(t，t+l)的平均值，與歷史位移VcaiPl(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移VcalP2(t-l，t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定，ll以位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)?；蛘?，狀態(tài)判定部82a也可在假設(shè)測(cè)定X豫11處于微小位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)的纟^(寸值禾口Va2(t，t+l)的絕對(duì)值等于在距離的候補(bǔ)值LP3(t，t+l)和L34(t，t+l)的平均值上乘以波長(zhǎng)變化率Ub—入a)/入b后的值，并且假設(shè)測(cè)定3豫11處于位移狀態(tài)計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值V33(t,t+l)禾BVP4(t，t+l)的平均值，與歷史位移VcalP3(t-2，t)的絕對(duì)值和歷史位移VcalP4(t-1，t+l)的絕對(duì)值的平均值不一致的情況下，判定測(cè)定X像ll以位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)。經(jīng)過(guò)以上處理，結(jié)束步驟S603的處理。狀態(tài)判定部82a的步驟S603的判定工作在表l中示出。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table>接著，運(yùn)算裝置8的速度確定部83a根據(jù)狀態(tài)判斷部82a的判斷結(jié)果，確定測(cè)定)(豫11的速度的鄉(xiāng)敘寸值(圖34的步驟S505)。g口，，確定部83a,在判定測(cè)定)11以微小位移狀態(tài)進(jìn)t^IM動(dòng)或等^動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值Val(t，t+l)和Va2(t，t+l)的平均值為時(shí)刻t-1至t+l中的測(cè)定X像11的速度的鄉(xiāng)敘寸值(步驟S505)。此外，iM確定部83a在判定測(cè)定對(duì)象11以位移狀態(tài)進(jìn)，^i!M動(dòng)或等速運(yùn)動(dòng)以夕卜的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的驗(yàn)的候補(bǔ)值VP3(t，t+l)禾口VP4(t，t+l)的平均值為時(shí)刻t-l至t+l中的測(cè)^X豫ll的速度的鄉(xiāng)敘寸值(步驟S505)。再有，速度確定部83a也可以在判定測(cè)^X豫11以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)或等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值Va5(t)為時(shí)刻t-l至t中的測(cè)定)(豫ll的速度的纟M值(步驟S505)。此外，說(shuō)明書(shū)第39/43頁(yè)速度確定部83a，也可以在判定測(cè)定對(duì)象11以位移狀態(tài)進(jìn)行等ilit動(dòng)或等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，計(jì)算出存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的速度的候補(bǔ)值VP6(t)作為時(shí)刻t-l至t中的測(cè)定對(duì)象11的速度的鄉(xiāng)敘寸值(步驟S505)。接著，速度確定部83a與圖8的步驟S205相同地計(jì)算公式(14)、公式(15)，確定測(cè)定對(duì)象ll的速度的方向(圖34的步驟S506)。再有，速度確定部83a在步驟S505中使用公式(6)或公式(7)的計(jì)算結(jié)果替代使用公式(2)公式(5)的計(jì)算結(jié)果來(lái)確定速度的絕對(duì)值的情況下，比較MHP的數(shù)X(t)和Y(t)的大小，在X(t)比Y(t)大的情況下判定為正接近測(cè)定)(像ll，在Y(t)比X(t)大的情況下判定為正遠(yuǎn)離測(cè)定對(duì)象11(步驟S506)。接著，距離確定部84a根據(jù)狀態(tài)判定部82a的判定結(jié)果確定距測(cè)定X豫11的距離(圖34的步驟S507)。即，距離確定部84a當(dāng)判定測(cè)定X寸象11以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等3IS動(dòng)或等^動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值Lctl(t,t+l)禾卩La2(t，t+l)的平均值為時(shí)刻t-1至t+l中的距測(cè)定對(duì)象ll的平均距離(步驟S507)。此外，距離確定部84a當(dāng)判定測(cè)定)t^11以位移狀態(tài)進(jìn)行等3Iit動(dòng)或等速運(yùn)動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的f夷補(bǔ)值LP3(t，t+l)、LM(t，t+l)的平均值為時(shí)刻t-1至t+l中的距測(cè)定自ll的平均距離(步驟S507)。再有，距離確定部84a也可以在判定測(cè)^)(豫11以微小位移狀態(tài)進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)或等速運(yùn)動(dòng)以夕卜的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值La5(t)為時(shí)刻t-l至t中的距測(cè)定X豫ll的平均距離(步驟S507)。此外，距離確定部84a，也可以在判定測(cè)定2，11以位移狀態(tài)進(jìn)行等^IM動(dòng)或等3IM動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的情況下，確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部80中的距離的候補(bǔ)值LP6(t)為時(shí)刻t-l至t中的距測(cè)定)(11的平均距離(步驟S507)。運(yùn)算裝置8在利用計(jì)數(shù)裝置7每計(jì)算出MHP的數(shù)量的時(shí)刻都進(jìn)行以上這樣的步驟S501S507的處理直至,如有來(lái)自用戶的測(cè)量結(jié)束指示為止(在圖34步驟S508中的是)。在本實(shí)施例中，即便因噪聲等的影響而在第1實(shí)施例中不能判定測(cè)定対豫11的狀態(tài)的情況下，也能夠判定測(cè)敘像n的狀態(tài)，計(jì)算距測(cè)定x豫n的距離和測(cè)定211的0(第5實(shí)施例)接著，說(shuō)明本發(fā)明的第5實(shí)施例。在測(cè)定mil進(jìn)，博艇動(dòng)以外的運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，由于測(cè)定X豫11的加速度的符號(hào)變化時(shí)不在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的相應(yīng)區(qū)域，公式的符號(hào)就會(huì)取反，所以就產(chǎn)生了誤判斷。因此，在第4實(shí)施例中，運(yùn)算裝置8的狀態(tài)判定部82a，也可以在公式(35)的歷史位移Vcala2(t-1，t+l)和公式(37)的歷史位移Vcala4(t-1，t+l)的符號(hào)一致的情況下，判定測(cè)定對(duì)象ll正在等速運(yùn)動(dòng)，在公式(39)的歷史位移VcaiP2(t-1，t+l)和公式(41)的歷史位移Vcalj34(t-1，t+l)的符號(hào)一致的情況下，判定測(cè)定X寸象11進(jìn)行等速運(yùn)動(dòng)之外的運(yùn)動(dòng)。(第6實(shí)施例)在第1第5實(shí)施例中，雖然針x寸本發(fā)明應(yīng)用于自耦合型的干涉儀盼膚;，行了說(shuō)明，但是，也可將本發(fā)明應(yīng)用于自耦合型以外的干涉儀。圖36為表示本發(fā)明的第6實(shí)施例的距離/速度計(jì)的結(jié)構(gòu)的方框圖，對(duì)與圖1相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)。在圖36中，符號(hào)12-1、12-2為分離入射光和反射光的分光鏡(beamsplitter)。半導(dǎo)體激光器l-l、1-2的激光相互平行地射出，并入射到測(cè)^t象ll這一點(diǎn)與第l實(shí)施例相同。透過(guò)分光鏡12-1、12-2和透鏡3-1、3-2的激光入射到測(cè)定對(duì)象ll。而且，在本實(shí)施例中，由測(cè)定對(duì)象11反射的半導(dǎo)體激光器1-1、1-2的光分別被分光鏡12-1、12-2分離為射向觀l淀對(duì)象ll的入射光，并導(dǎo)向光電二極管2-1、2-2。由于光電二極管2-1、2-2以后的結(jié)構(gòu)與第1第5實(shí)施例相同，故說(shuō)明省略。像這樣，即便在自耦合型以外的干涉儀中，也可獲得與第1第5實(shí)施例相同的效果。第1第6實(shí)施例中的計(jì)數(shù)裝置7和運(yùn)算裝置8可M31例如具備CPU、存儲(chǔ)裝置及接口的計(jì)算機(jī)和控制這對(duì)更件資源的，將來(lái)實(shí)現(xiàn)。以記錄于軟盤(pán)、CD-ROM、DVD"R0M、存儲(chǔ)卡等記錄介質(zhì)中的狀態(tài)Jli共用于使這樣的計(jì)算豐幾工作的禾M)f。CPU將已讀入的程序?qū)懭氪鎯?chǔ)器中，按照該禾，，執(zhí)行在第1第6實(shí)施例中說(shuō)明的處理。再有，在第1第6實(shí)施例中，在測(cè)定X^11具有非常小的位移的振動(dòng)時(shí)(例如最大速度2nm)，雖然實(shí)際的距離的變化(振幅)為幾nm，但由于距離計(jì)算的分辨率低于位移分辨率，故M變大。因此，在測(cè)定對(duì)象處于具有微小位移的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的情況下，替代計(jì)算結(jié)果，將對(duì)位移(速度)進(jìn)行積分后的值作為距離的變化，提高精度。此外，在第1第6實(shí)施例中，雖然對(duì)半導(dǎo)體激光器1-1和1-2的最小振蕩波長(zhǎng)入a相同、且半導(dǎo)體激光器H和1-2的最大振蕩波長(zhǎng)Ab相同的情7艦行了說(shuō)明，但是并不限于此，也可如圖37所示，在半導(dǎo)體激光器1-1和1-2之間，最小振蕩波長(zhǎng)入a和最大振蕩波長(zhǎng)入b不同。在圖37中，入al、入bl為半導(dǎo)體激光器1-1的最小振蕩波長(zhǎng)、最大振蕩波長(zhǎng)，入a2、入b2為半導(dǎo)體激光器1-2的最小振蕩波長(zhǎng)、最大振蕩波長(zhǎng)。在此情況下，入a1XAb1/{4X(Xb1-人al)}與入a2X入b2/(4X(入b2-入a2)}始終可以是相同的固定值。在此清況，作為公式(2)公式(13)中的入a、Ab，既可以使用入al、入bl，也可以使用入a2、入b2。此外，雖然在第1第6實(shí)施例中，使半導(dǎo)體激光器卜l、1-2以三角波狀振蕩，但并不限于此，也可如圖38所示，使半導(dǎo)體激光器1-1、l-2以鋸齒波狀振蕩。艮卩，在本發(fā)明中，只要按照至少第1振蕩期間Pl重復(fù)存在的方式使半導(dǎo)##光器1-1工作，按照振蕩波長(zhǎng)的增減與半導(dǎo)體激光器1-1相反的方式使半導(dǎo)體激光器1-2工作即可。既可以與圖37的情況相同，為入a1^入a2、Abl#入b2，也可以與圖2的情況相同，為入al二入a2、入bl二入b2。第1振蕩期間P1中的動(dòng)作與三角波振蕩的情況相同。但是，在使半導(dǎo)體激光器1-1、1-2以鋸齒波狀振蕩的情況下，計(jì)數(shù)裝置7的切換開(kāi)關(guān)70、70a的輸出必須固定。即，切換開(kāi)關(guān)70、70a，始終將濾波電路6-1的輸出與周期測(cè)定部71-1、判定部73-1的輸入連接，始終將濾波電路6-2的輸出與周期領(lǐng)i淀部71-2、判定部73-2的輸A^接。再有，雖然使半導(dǎo)體激光器1-1、1-2以三角波狀振蕩的情形，與測(cè)定)(豫ll的狀態(tài)無(wú)關(guān)，會(huì)辦M31振幅調(diào)整器10進(jìn)行振幅調(diào)整，但是，在使半導(dǎo)i繊光器1-1、1-2以鋸齒波狀振蕩的情況下，僅僅在測(cè)^X像11為靜止?fàn)顟B(tài)時(shí)能夠進(jìn)行振幅調(diào)整。由于干涉型的距離計(jì)在測(cè)量距離時(shí)，以測(cè)定X豫處于靜止為鄉(xiāng)頓^f牛，故無(wú)法測(cè)量距具有速度的測(cè)定乂的距離。相對(duì)于此，在本發(fā)明中，還可以測(cè)量距并非處于靜止的測(cè)定X豫的距離。即，根據(jù)本發(fā)明，可以同時(shí)對(duì)測(cè)定X像的速度(大小、方向)和距離進(jìn)行測(cè)量。另外，在本發(fā)明中，同時(shí)從振蕩波長(zhǎng)的增減互逆的第l、第2半導(dǎo)體激光器向測(cè)定X^照射相互平行的激光，針對(duì)第l、第2光接收器的輸出信號(hào)的每一個(gè)，對(duì)在第l、第2光接收器的輸出信號(hào)中所包含的千涉波形的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)，由此，就能夠以比過(guò)去更短的時(shí)間測(cè)量距離和速度。此外，在本發(fā)明中，在根據(jù)速度的候補(bǔ)值無(wú)法判定測(cè)定x豫的狀態(tài)的情況下，通過(guò)使用歷史位移計(jì)算機(jī)構(gòu)的計(jì)算結(jié)果，就能夠判定測(cè)定乂的狀態(tài)，并計(jì)算距測(cè)定對(duì)象的距離及測(cè)定xm的速度。此外，在本發(fā)明中，測(cè)量計(jì)數(shù)區(qū)間中的干涉波形的周期，基于此測(cè)量結(jié)果作成計(jì)數(shù)區(qū)間中的干涉波形的周期的度數(shù)分布，基于度數(shù)分布來(lái)計(jì)算干涉波形的周期的中央值，基于度數(shù)分布求出作為中央值的第1規(guī)定倍數(shù)以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns、和作為中央值的第2規(guī)定倍數(shù)以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，根據(jù)這些度數(shù)總和Ns和Nw來(lái)修正計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)的計(jì)數(shù)結(jié)果，由此，除去計(jì)數(shù)時(shí)的缺失和過(guò)度計(jì)數(shù)的影響，由于能夠修正干涉波形的計(jì)數(shù)誤差，所以會(huì)^夠提高距離及速度的測(cè)量精度。此外，在本發(fā)明中，代替用計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)對(duì)干涉波形的數(shù)lia行計(jì)數(shù)，測(cè)量在第1、第2光接收器的輸出信號(hào)中所包含的規(guī)定個(gè)數(shù)的干涉波形的周期，基于此測(cè)量結(jié)果作成干涉波形的周期的度數(shù)分布，基于此度數(shù)分布計(jì)算千涉波形的周期的中央值，基于此度數(shù)分布來(lái)求出作為中央值的第1規(guī)定倍數(shù)以下的等級(jí)的度數(shù)的總和Ns、和作為中央值的第2規(guī)定倍數(shù)以上的等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，根據(jù)這些度數(shù)總和Ns和Nw來(lái)修正干涉波形的規(guī)定個(gè)數(shù)，由此，能夠降低*單位時(shí)間的干涉波形的數(shù)量的測(cè)量誤差，育嫩進(jìn)一步提敲巨離及速度的測(cè)量精度。此外，在本發(fā)明中，調(diào)整從第l、第2激光器驅(qū)動(dòng)器向第1、第2半導(dǎo)體激光器提供鵬歐力電流中的至少一方的振幅，以使假設(shè)測(cè)定鄉(xiāng)處于微小位移狀態(tài)時(shí)的速度的候補(bǔ)值和假設(shè)測(cè)定對(duì)象處于位移狀態(tài)時(shí)的速度的候補(bǔ)值中、基于狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)的判定結(jié)果，距離/速度確定單元判斷為不是真值而不采用的一方的速度的候補(bǔ)值，與在距離/速度確定單元判斷為是真值而采用的一方的距離的候補(bǔ)值上乘以第l、第2半導(dǎo)4繊光器的波長(zhǎng)變化率的值大致相等，由此，就能夠使第l、第2半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)變化量的絕對(duì)值相等，育g夠提高距離和速度的測(cè)量精度。此外，在本發(fā)明中，調(diào)整從第l、第2激光器驅(qū)動(dòng)器向第1、第2半導(dǎo)##光器提供的驅(qū)動(dòng)電流中的至少一個(gè)的振幅，以使假設(shè)湖啶)^處于微小位移狀態(tài)時(shí)的速度或距離的候補(bǔ)值和假設(shè)測(cè)定對(duì)象處于位移狀態(tài)時(shí)的速度或距離的候補(bǔ)值中、基于狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)的判定結(jié)果，距離/速度確定單元判斷為是真值而采用'的一方的速度或距離的候補(bǔ)值，在第l、第2半導(dǎo)##光器的波長(zhǎng)變化切換的時(shí)刻前后?？椑m(xù)性，由此，就能夠4蝶1、第2半導(dǎo)##光器的波長(zhǎng)變化量的絕對(duì)值相等，會(huì)巨夠提高距離和3M的測(cè)量精度。權(quán)利要求1.一種距離/速度計(jì)，包括第1半導(dǎo)體激光器(1-1)，其向測(cè)定對(duì)象(11)照射第1激光；第2半導(dǎo)體激光器(1-2)，其向測(cè)定對(duì)象按照與第1激光平行的方式照射第2激光；第1激光器驅(qū)動(dòng)器(4-1)，其按照至少振蕩波長(zhǎng)連續(xù)地單調(diào)增加的振蕩期間反復(fù)地存在的方式對(duì)上述第1半導(dǎo)體激光器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；第2激光器驅(qū)動(dòng)器(4-2)，其按照振蕩波長(zhǎng)的增減與上述第1半導(dǎo)體激光器相反的方式對(duì)上述第2半導(dǎo)體激光器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；第1光接收器(2-1)，其至少將上述第1半導(dǎo)體激光器的光輸出變換為電信號(hào)；第2光接收器(2-2)，其至少將上述第2半導(dǎo)體激光器的光輸出變換為電信號(hào)；計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)(13)，其對(duì)上述第1光接收器的輸出信號(hào)中包含的、由第1激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量，以及上述第2光接收器的輸出信號(hào)中包含的、由第2激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量分別進(jìn)行計(jì)數(shù)；以及運(yùn)算機(jī)構(gòu)(8)，其根據(jù)上述第1和第2半導(dǎo)體激光器的最小振蕩波長(zhǎng)和最大振蕩波長(zhǎng)與上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象的距離和測(cè)定對(duì)象的速度中的至少一方。2.根據(jù)權(quán)利要求1戶腿的距離/速度計(jì)，其中上述第l光接收器，將第l激光和其返回光變換為電信號(hào)，JM第2光接收器，將第2激光和其返回光變換為電信號(hào)。3.根據(jù)權(quán)利要求1戶脫的距離/速度計(jì)，其中.-上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，對(duì)M3ih述第1及第2激光與各自的返回光之間的自耦合效果所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)St行計(jì)數(shù)。4.根據(jù)權(quán)禾腰求1戶脫的距離/鵬計(jì)，其中上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，在比上述第1及第2半導(dǎo)體激光器的振蕩期間短的第1計(jì)數(shù)期間，求出與上述第1和第2半導(dǎo)體激光器中振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)##光器相對(duì)應(yīng)的光接收器的輸出信號(hào)中所包含的干涉波形的數(shù)量，同時(shí)在與第1計(jì)數(shù)期間相同時(shí)亥啲第2計(jì)數(shù)期間，求出與上述第1及第2半導(dǎo)##光器中振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo)體激光器相對(duì)應(yīng)的光接收器的輸出信號(hào)中所包含的干涉波形的數(shù)上,算機(jī)構(gòu)，包括距離/速度計(jì)算機(jī)構(gòu)(81)，其基于上述第1和第2半導(dǎo)體激光器的最小振蕩波長(zhǎng)及最大振蕩波長(zhǎng)與上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象的距離的候補(bǔ)值和測(cè)定對(duì)象的速度的候補(bǔ)值；狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)(82、82a)，其基于由上淑巨離/速度計(jì)算機(jī)構(gòu)所計(jì)算出的速度的候補(bǔ)值，判定測(cè)定X豫的狀態(tài)；以及距離/速度確定機(jī)構(gòu)(86、86a)，其基于上述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)的判定結(jié)果，確定距測(cè)定)(*的距離和測(cè)定)^的速度中的至少一個(gè)。5，根據(jù)權(quán)利要求4所述的距離/速度計(jì)，其中上淑巨離/速度計(jì)算機(jī)構(gòu)，針對(duì)假定領(lǐng)l淀對(duì)象處于微小位移狀態(tài)的情況，根據(jù)第1計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果和1次后的第2計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算速度的第1候補(bǔ)值和距離的第1候補(bǔ)值，并且根據(jù)與計(jì)算出這些第1候補(bǔ)值的第1計(jì)數(shù)期間同時(shí)亥啲第2計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果和與計(jì)算出第1候補(bǔ)值的第2計(jì)數(shù)期間同時(shí)刻的第1計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算速度的第2候補(bǔ)值和距離的第2候補(bǔ)值；針對(duì)假定測(cè)定膽處于變動(dòng)比微小位移狀態(tài)快的位移狀態(tài)的情況，根據(jù)第1計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果和1次后的第2計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算速度的第3候補(bǔ)值和距離的第3候補(bǔ)值，并且根據(jù)與計(jì)算出這些第3候補(bǔ)值的第1計(jì)數(shù)期間同時(shí)刻的第2的計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果和與計(jì)算出第3候補(bǔ)值的第2計(jì)數(shù)期間同時(shí)刻的第1計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算速度的第4候補(bǔ)值和距離的第4候補(bǔ)值，上述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)，在由上淑巨離/速度計(jì)算機(jī)構(gòu)計(jì)算出的速度的第1候補(bǔ)值與第2候補(bǔ)值大致相等的情況下，判定測(cè)定X豫處于微小位移狀態(tài)；在由上述距離/速度計(jì)算機(jī)構(gòu)計(jì)算出的速度的第3候補(bǔ)值和第4候補(bǔ)1I^相等的情況下，判定測(cè)定對(duì)象處于位移狀態(tài)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的距離/速度計(jì)，其中上淑B離/速度確定機(jī)構(gòu)，在ffiil上述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)判定測(cè)定對(duì)象處于微小位移狀態(tài)的情況下，設(shè)速度的第1候補(bǔ)值和第2候補(bǔ)值的任意一個(gè)為測(cè)定X像的速度，設(shè)距離的第1候補(bǔ)值和第2候補(bǔ)值的任意一個(gè)為距測(cè)定)(豫的距離；在通過(guò)上述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)判定測(cè)定乂處于位移狀態(tài)的情況下，i皿度的第3候補(bǔ)值和第4候補(bǔ)值的任意一個(gè)為測(cè)定2像的速度，i郯巨離的第3候補(bǔ)值和第4候補(bǔ)值的任意一個(gè)為距測(cè)^^t象的距離。7.根據(jù)權(quán)利要求5戶做的距離/速度計(jì)，其中上淑目離/速度確定機(jī)構(gòu)，在S3ii:述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)判定測(cè)定對(duì)象處于微小位移狀態(tài)的情況下，設(shè)速度的第1候補(bǔ)值和第2候補(bǔ)值的平均值為測(cè)定對(duì)象的速度，設(shè)距離的第1候補(bǔ)值與第2候補(bǔ)值之間的平均值為距測(cè)定X寸象的距離；在通過(guò)上述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)判定測(cè)定X豫處于位移狀態(tài)的情況下，將速度的第3候補(bǔ)值與第4候補(bǔ)值之間的平均值作為測(cè)^tm的速度，將距離的第3候補(bǔ)值與第4候補(bǔ)值之間的平均值作為距測(cè)定M^的距離。8.根據(jù)權(quán)利要求5戶腿的距離/速度計(jì)，其中上淑巨離/速度確定機(jī)構(gòu)，比較i:x與EY，其中該EX為計(jì)算出速度的第1候補(bǔ)值的第1計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果和計(jì)算出速度的第2候補(bǔ)值的第1計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果之和，該SY為計(jì)算出速度的第1候補(bǔ)值的第2計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果和計(jì)算出速度的第2候補(bǔ)值的第2計(jì)數(shù)期間的計(jì)數(shù)結(jié)果之和，在該EX比該i:Y大的情況下，判定測(cè)定對(duì)象正接近，在該EY比該EX大的情況下，判定測(cè)定對(duì)象正遠(yuǎn)離。9.根據(jù)權(quán)利要求5戶皿的距離/速度計(jì)，其中上,算機(jī)構(gòu)，還包括歷史位移計(jì)算機(jī)構(gòu)(85)，其針對(duì)假定測(cè)定)(^處于微小位移狀態(tài)的情況和假定測(cè)定^處于位移狀態(tài)的情況，分別計(jì)算出由上淑巨離/速度計(jì)算機(jī)構(gòu)計(jì)算出的距離的候補(bǔ)值和上次計(jì)算出的距離的候補(bǔ)值之差即歷史位移；上述狀態(tài)判定機(jī)構(gòu)(82a)，在基于鵬的候補(bǔ)f旣法判定測(cè)定X像的狀態(tài)的情況下，根據(jù)，歷史位移計(jì)算機(jī)構(gòu)的計(jì)算結(jié)果判定測(cè)^的狀態(tài)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的距離/速度計(jì)，其中上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)包括計(jì)數(shù)器(75-1、75-2)，其針對(duì)i^第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，計(jì)數(shù)在上述第1及第2光接收器的輸出信號(hào)中所包含的干涉波形的數(shù)量，周期測(cè)定機(jī)構(gòu)(760)，其針對(duì)上述第1及第2光接收器的M^I出信號(hào)，在每次輸入干涉波形時(shí)測(cè)定對(duì)干涉波形的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)期間中的干涉波形的周期，度數(shù)分布作成機(jī)構(gòu)(761)，其針對(duì)，第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，根據(jù)上述周期測(cè)定機(jī)構(gòu)的測(cè)定結(jié)果作成計(jì)數(shù)期間中的干涉波形的周期的度數(shù)分布，中央值計(jì)算機(jī)構(gòu)(762)，其針對(duì)，第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，根據(jù)由上述度數(shù)分布作成機(jī)構(gòu)所作成的度數(shù)分布計(jì)算干涉波形的周期的中央值，修正值計(jì)算機(jī)構(gòu)(763)，其根據(jù)由，度數(shù)分布作成機(jī)構(gòu)所作成的度數(shù)分布,求出由上述中央值計(jì)算機(jī)構(gòu)計(jì)算出的中央值的第1規(guī)定倍數(shù)以下即等級(jí)的度數(shù)的總和Ns，和中央值的第2規(guī)定倍數(shù)以上即等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，針對(duì)上述第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，基于這些度數(shù)Ns和Nw修正上述計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)結(jié)果，周期和計(jì)算機(jī)構(gòu)(78-1、78-2)，其針對(duì)i^第1及第2光接收器的各^tj出信號(hào)，根據(jù)擅周期須'淀機(jī)構(gòu)的領(lǐng)啶結(jié)果計(jì)算干涉波形的周期的總和，個(gè)數(shù)計(jì)#1幾構(gòu)(79—1、79—20)，其針X寸，第1及第2光接收器的各1^出信號(hào)，根據(jù)由上述修正值計(jì)算機(jī)構(gòu)所修正的計(jì)數(shù)結(jié)果和由上述周期和計(jì)算機(jī)構(gòu)計(jì)算出的周期的總和，計(jì)算每單位時(shí)間的干涉波形的數(shù)量。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的距離/速度計(jì)，其中上述修正值計(jì)tm構(gòu)，在上述計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)結(jié)果為N時(shí)，采用N'二N+Nw-Ns求修正后的值N'。12.根據(jù)權(quán)利要求ll所述的距離/速度計(jì)，其中第1規(guī)定倍數(shù)是0.5，第2規(guī)定倍數(shù)是1.5。13.根據(jù)權(quán)利要求1戶腿的距離/鵬計(jì)，其中上述計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)包括周期測(cè)定機(jī)構(gòu)(71a-1、71a-2)，其針對(duì)，第1及第2光接收器的各，出信號(hào)，在每次輸入干涉波形時(shí)測(cè)定在，第1及第2光接收器的輸出信號(hào)中所包含的規(guī)定個(gè)數(shù)的干涉波形的周期，度數(shù)分布作成機(jī)構(gòu)(761a)，其針對(duì)，第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，根據(jù)上述周期測(cè)定機(jī)構(gòu)的測(cè)定結(jié)果作成干涉波形的周期的度數(shù)分布，中央值計(jì)算機(jī)構(gòu)(762a)，其針對(duì)上述第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，根據(jù)由上述度數(shù)分布作成豐幾構(gòu)所作成的度數(shù)分布，算出干涉波形的周期的中央值，修正值計(jì)算機(jī)構(gòu)(763a)，其根據(jù)由上述度數(shù)分布作成機(jī)構(gòu)所作成的度數(shù)分布，求出由上述中央值計(jì)算機(jī)構(gòu)所算出的中央值的第1規(guī)定倍數(shù)以下即等級(jí)的度數(shù)的總和Ns，和中央值的第2規(guī)定倍數(shù)以上即等級(jí)的度數(shù)的總和Nw，并針對(duì)上述第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，基于這些度數(shù)Ns和Nw修正在周期的測(cè)定中使用的干涉波形的個(gè)數(shù)，周期和計(jì)算機(jī)構(gòu)(78-1、78-2)，其針對(duì)，第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，根據(jù)上述周期測(cè)定機(jī)構(gòu)的測(cè)定結(jié)果，計(jì)算干涉波形的周期的總和，個(gè)數(shù)計(jì)算機(jī)構(gòu)(79-1、79-2)，其根據(jù)由上述修正值計(jì)算機(jī)構(gòu)所修正的干涉波形的個(gè)數(shù)和由上述周期和計(jì)算機(jī)構(gòu)計(jì)算出的周期的總和，針對(duì)上述第1及第2光接收器的各個(gè)輸出信號(hào)，計(jì)算每單位時(shí)間的干涉波形的數(shù)量。14.根據(jù)權(quán)禾頓求13所述的距離/iM計(jì)，其中上述修正值計(jì)穀幾構(gòu)，在周期的湖'淀中^頓的干涉波形的個(gè)數(shù)為N時(shí)，采用N'=N+Nw-Ns求出修正后的個(gè)數(shù)N'。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的距離/速度計(jì)，其中第1規(guī)定倍數(shù)是0.5，第2規(guī)定倍數(shù)是1.5。16.根據(jù)權(quán)禾腰求13所述的距離/速度計(jì)，其中上述周期測(cè)定機(jī)構(gòu)，在比上述第1及第2半導(dǎo)##光器的振蕩期間短的第1計(jì)數(shù)期間，求出與上述第1和第2半導(dǎo)體激光器中振蕩波長(zhǎng)正在增加的半導(dǎo)體激光器相對(duì)應(yīng)的光接收器的輸出信號(hào)中所包含的干涉波形的周肌同時(shí)在與第1計(jì)數(shù)期間相同時(shí)亥啲第2計(jì)數(shù)期間，求出與，第1及第2半導(dǎo)體激光器中振蕩波長(zhǎng)正在減少的半導(dǎo)體激光器相對(duì)應(yīng)的光接收器的輸出信號(hào)中所包含的干涉波形的周期。17.—種距離/鵬湖啶方法，包括按照至少振蕩波皿續(xù)地單調(diào)增加的振蕩期間反復(fù)存在的方式，驅(qū)動(dòng)對(duì)測(cè)定^m照射第1激光的第1半導(dǎo)##光器的步驟；按照振蕩波長(zhǎng)的增減與上述第1半導(dǎo)微光器相反的方式，驅(qū)動(dòng)對(duì)測(cè)^)(豫與第1激光平行地照射第2激光的第2半導(dǎo)體激光器的步驟；對(duì)第1光接收器的輸出信號(hào)中包含的因第1激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量、以及第2光接收器的輸出信號(hào)中包含的因第2激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)的計(jì)數(shù)步驟；以及根據(jù)上述第1和第2半導(dǎo)體激光器的最小振蕩波長(zhǎng)及最大振蕩波長(zhǎng)、以及與第1和第2激光各自相關(guān)的干涉波形的計(jì)數(shù)結(jié)果，計(jì)算距湖淀對(duì)象的距離和測(cè)定對(duì)象的速i中的至少一方的計(jì)算步驟。18.根據(jù)權(quán)利要求17戶腿的距離/速度測(cè)定方法，還包括通過(guò)上述第1光接收器，將第1激光和其返回光變換為電信號(hào)的步驟，通過(guò)上述第2光接收器，將第2激光和其返回光變換為電信號(hào)的步驟。19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的距離/速度測(cè)定方法，還包括通過(guò)上述第1光接收器,將上，1半導(dǎo)體激光器的光輸出變換為電信號(hào)的步驟；以及通過(guò)上述第2光接收器，將上述第2半導(dǎo)體激光器的光輸出變換為電信號(hào)的步驟；所述計(jì)數(shù)步驟，包括對(duì)因第1及第2激光與各自的返回光之間的自耦合效應(yīng)而產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)的步驟。全文摘要本發(fā)明提供的距離/速度計(jì)包括第1、第2半導(dǎo)體激光器，向測(cè)定對(duì)象照射平行的激光；第1激光器驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)第1半導(dǎo)體激光器以使至少振蕩波長(zhǎng)連續(xù)單調(diào)增加的振蕩期間反復(fù)存在；第2激光器驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)第2半導(dǎo)體激光器以使振蕩波長(zhǎng)的增減與第1半導(dǎo)體激光器相反；第1、第2光接收器，至少將第1、第2半導(dǎo)體激光器的光輸出變換為電信號(hào)；計(jì)數(shù)機(jī)構(gòu)，對(duì)第1光接收器的輸出信號(hào)中包含的由第1激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量、第2光接收器的輸出信號(hào)中包含的由第2激光和該激光的來(lái)自測(cè)定對(duì)象的返回光所產(chǎn)生的干涉波形的數(shù)量分別計(jì)數(shù)；以及運(yùn)算機(jī)構(gòu)，計(jì)算距測(cè)定對(duì)象的距離和測(cè)定對(duì)象的速度。文檔編號(hào)G01S17/08GK101319892SQ20081010825公開(kāi)日2008年12月10日申請(qǐng)日期2008年6月5日優(yōu)先權(quán)日2007年6月6日發(fā)明者上野達(dá)也申請(qǐng)人:株式會(huì)社山武