專利名稱：基板外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板外觀檢査裝置。
技術(shù)背景以往，作為對在制造LCD (液晶顯示器)等時(shí)使用的母玻璃基板(檢 查對象基板)上產(chǎn)生的缺陷等進(jìn)行檢查的技術(shù)，公知有對在搬送路上移 動(dòng)的檢査對象基板的圖像進(jìn)行攝像來進(jìn)行檢查的檢查裝置(參照專利文 獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2)。對于專利文獻(xiàn)1的檢査裝置，通過在檢査對象基板到達(dá)攝影視場內(nèi) 的預(yù)定位置之前，求出檢査對象基板的位置和到達(dá)所需的時(shí)間，從而在 攝影預(yù)定位置對檢查對象基板的整體進(jìn)行攝影來進(jìn)行微觀檢査。并且，對于專利文獻(xiàn)2的檢查裝置，使由線狀的攝像元件構(gòu)成的攝 像單元和攝影對象物在正交的方向上移動(dòng)，根據(jù)拍攝到的線狀的圖像作 成整體圖像來進(jìn)行微觀檢查。專利文獻(xiàn)1日本特開平8-313454號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開平10-260139號(hào)公報(bào)此處，在包含上述的LCD的FPD (平板顯示器)的制造工序/檢查 工序中的直線排列(in-line)的各種制造裝置和檢查裝置中，期望進(jìn)一步 縮短工序時(shí)間、提高檢査效率。但是，在上述的專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2的檢查裝置中，當(dāng)進(jìn)一步 提高攝像對象基板的搬送速度的情況下，為了得到攝影對象基板的良好 的圖像，需要靈敏度高的照相機(jī)和高速地進(jìn)行圖像信號(hào)處理的系統(tǒng)等。并且，為了將攝影對象基板的圖像作為明亮且噪音少的圖像獲得， 需要能夠使高靈敏度的明亮照明均勻地照射到攝像范圍的照明裝置等。對于這種不便，檢査對象基板移動(dòng)的搬送路的速度越快，并且越追
求檢査對象基板的微觀檢查的精度，系統(tǒng)和照明裝置所要求的條件越嚴(yán)。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明就是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供一種不使用昂 貴且高性能的裝置，能夠以更廉價(jià)的結(jié)構(gòu)得到在搬送路上搬送來的檢查 對象基板的鮮明的圖像，且能夠高精度地進(jìn)行微觀檢査的基板外觀檢査 裝置。為了解決上述課題，本發(fā)明采用以下的手段。本發(fā)明提供一種基板外觀檢査裝置，所述基板外觀檢査裝置具有-基板搬送單元，其使檢査對象基板沿著恒定方向移動(dòng)；照明單元，其對 所述檢查對象基板射出照明光；受光單元，其接受從該照明單元射出并 在所述檢査對象基板反射后的反射光、或者透過所述檢查對象基板后的 透射光；移動(dòng)單元，其使所述照明單元和所述受光單元一體地移動(dòng)；以 及對該移動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制單元，該控制單元對所述移動(dòng)單 元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，以使得所述移動(dòng)單元使所述照明單元和所述受光單 元沿著與所述檢查對象基板的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明，通過照明單元的動(dòng)作，對通過基板搬送單元的動(dòng)作而 移動(dòng)的檢查對象基板射出照明光，并利用受光單元接受該反射光或透射 光。該情況下，由于通過移動(dòng)單元的動(dòng)作使照明單元和受光單元一體地 移動(dòng)，并且，通過控制部的動(dòng)作使照明單元和受光單元沿著與檢查對象 基板的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)，因此能夠減小照明單元和受光單元相 對于檢查對象基板的相對速度。因此，與使檢查對象基板或者照明單元和受光單元中的任一個(gè)停止 進(jìn)行攝像的情況相比，能夠遍及檢査對象基板的整個(gè)面得到高分辨率的 圖像，能夠?qū)z査對象基板良好地進(jìn)行微觀檢查。由此，例如即使延長 攝影單元的曝光時(shí)間，也能夠無抖動(dòng)地對反射光或者透射光進(jìn)行拍攝， 并且，能夠得到鮮明的圖像。并且，能夠一邊搬送檢查對象基板一邊進(jìn) 行微觀檢査，從而能夠有效地利用搬送檢查對象基板所需的時(shí)間，能夠縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。在上述發(fā)明中，所述基板搬送單元也可以使所述檢査對象基板以恒 定的速度移動(dòng)。通過這樣構(gòu)成，容易得到抖動(dòng)少的鮮明的圖像，能夠提髙微觀檢査 的精度。并且，在上述發(fā)明中，所述基板外觀檢查裝置也可以具有檢查單 元，其一體地構(gòu)成所述照明單元和所述受光單元；以及引導(dǎo)單元，其沿 著所述檢査對象基板的搬送方向平行地設(shè)置，對所述檢查單元的移動(dòng)進(jìn) 行引導(dǎo)。通過這樣構(gòu)成，能夠利用檢査單元穩(wěn)定照明單元與受光單元的位置 關(guān)系，能夠利用受光單元高精度地接受來自照明單元的照明光。并且， 由于照明單元和受光單元由弓I導(dǎo)單元沿著檢査對象基板的搬送方向進(jìn)行 引導(dǎo)，因此能夠容易且準(zhǔn)確地使照明單元和受光單元與檢査對象基板在 同一方向上移動(dòng)。并且，也可以在上述發(fā)明中，所述照明單元為直線照明光源，所述 受光單元可以為直線傳感器。通過這樣構(gòu)成，僅通過利用直線照明光源對檢查對象基板照射與檢 查對象基板的移動(dòng)方向正交的線狀的照明光、并利用直線傳感器接受該 線狀的照明光，從而即使不在檢查對象基板的搬送方向的寬度方向上掃 描照明單元和受光單元，也能夠遍及整個(gè)面高效地對搬送中的檢查對象 基板進(jìn)行攝像。并且，在上述發(fā)明中，所述基板外觀檢査裝置也可以還具有對所述 檢查對象基板的搬送速度進(jìn)行檢測的速度檢測單元，所述控制單元根據(jù) 由所述速度檢測單元檢測到的所述檢查對象基板的搬送速度來對所述移 動(dòng)單元進(jìn)行控制。通過這樣構(gòu)成，即使檢査對象基板的搬送速度變化，也能夠利用速 度檢測單元對其搬送速度進(jìn)行檢測，從而通過控制單元的動(dòng)作變更照明 單元和攝像單元的移動(dòng)速度，因此能夠任意地控制照明單元和受光單元 相對于檢査對象基板的相對速度。由此，即使降低檢査對象基板的搬送
速度，也能夠根據(jù)攝像單元的攝像條件和檢査對象基板的缺陷的大小對 相對速度進(jìn)行調(diào)節(jié)，能夠有效地縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。并且，在上述發(fā)明中，所述控制單元也可以對所述照明單元和所述 受光單元相對于所述檢査對象基板的相對速度進(jìn)行控制，以使其成為比 所述檢查對象基板的搬送速度低的恒定速度。通過這樣構(gòu)成，由于通過控制單元的動(dòng)作始終將照明單元和受光單 元相對于檢查對象基板的相對速度維持在恒定速度，因此即使檢查對象 基板的搬送速度變化，也能夠得到鮮明的圖像。并且，在上述發(fā)明中，所述照明單元和所述受光單元的移動(dòng)速度也 可以被設(shè)定為比所述檢查對象基板的搬送速度低的速度。通過這樣構(gòu)成，與使照明單元和受光單元停止來對檢查對象基板進(jìn) 行微觀檢查的情況相比，即使降低受光單元的性能也能夠得到鮮明的圖 像。并且，在上述發(fā)明中，所述照明單元和所述受光單元的移動(dòng)速度也 可以被設(shè)定為比所述檢査對象基板的搬送速度高的速度。通過這樣構(gòu)成， 一旦使照明單元和所述受光單元通過而對檢查對象 基板進(jìn)行檢查之后，通過使照明單元和受光單元變更為高速并移動(dòng)至檢 查對象基板的前方，從而能夠再次對同一檢査對象基板進(jìn)行攝像。由此， 能夠利用高靈敏度的攝像條件重新對例如在第一次攝像中檢測到缺陷的 檢查對象基板進(jìn)行攝像，能夠更高精度地進(jìn)行缺陷部分的檢查。并且，在上述發(fā)明中，所述照明單元和所述受光單元的移動(dòng)速度也 可以被設(shè)定為與所述檢查對象基板的搬送速度相同的速度。通過這樣構(gòu)成，能夠在使檢査對象基板相對于照明單元和受光單元 相對靜止的狀態(tài)下進(jìn)行攝像。因此，即使不使用高性能的受光單元也能 夠更精密地對檢査對象基板的欲檢査的部位進(jìn)行檢査。并且，在上述發(fā)明中，所述受光單元也可以是具有二維攝像元件的 照相機(jī)。通過這樣構(gòu)成，能夠獲得檢查對象基板的二維圖像，能夠更迅速地 在廣范圍內(nèi)進(jìn)行檢查對象基板的微觀檢査。
根據(jù)本發(fā)明能夠起到下述效果不必使用高性能的裝置，就能夠得 到在搬送路上搬送來的檢查對象基板的鮮明的圖像，從而進(jìn)行高精度的 微觀檢查。


圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的移動(dòng)檢査裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。 圖2是示出圖1的移動(dòng)檢查裝置的控制部周圍的框圖。 圖3是示出圖1的移動(dòng)檢查裝置的檢查裝置單元的移動(dòng)和基板的搬 送的關(guān)系的圖。圖4是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的移動(dòng)檢査裝置的檢查 裝置單元的移動(dòng)和基板的搬送的關(guān)系的圖。圖5是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的移動(dòng)檢査裝置的照明 部和攝像部的位置關(guān)系的圖。圖6是示出具有輸送機(jī)的基板搬送路的圖。圖7是示出具有浮起板的基板搬送路的圖。符號(hào)說明1-基板外觀檢查裝置；7:驅(qū)動(dòng)部(移動(dòng)單元)；11:控制部(控制 單元)；13:照明部(照明單元)；15:攝像部(受光單元)；25:基板搬 送路(基板搬送單元)；33:基板(檢查對象基板)。
具體實(shí)施方式
(第一實(shí)施方式)以下，參照附圖對本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板外觀檢查裝置進(jìn)行 說明。本實(shí)施方式的基板外觀檢査裝置1是用于對在例如圖6所示的具有 由多個(gè)輥21構(gòu)成的輸送機(jī)23的基板搬送路(基板搬送單元)25上、或 者在圖7所示的具備具有多個(gè)噴出孔27的浮起板29的基板搬送路31上 搬送來的制造FPD的母玻璃基板(檢查對象基板。以下稱為"基板"。) 33的整個(gè)面進(jìn)行攝像來進(jìn)行微觀檢查的裝置。
如圖1和圖2所示，基板外觀檢査裝置1具有連接制造基板33的 制造裝置之間的基板搬送路25;檢查裝置單元(檢查單元)3，其對以預(yù) 定的搬送速度在該基板搬送路25上搬送來的基板33的表面的外觀進(jìn)行 檢查；導(dǎo)向件(引導(dǎo)單元)5，其用于搭載該檢査裝置單元3，例如由直 線導(dǎo)向件或者滾柱導(dǎo)向件構(gòu)成；驅(qū)動(dòng)部(移動(dòng)單元)7，其使檢查裝置單 元3沿著該導(dǎo)向件5在基板搬送路25的搬送方向上移動(dòng)，例如由直線電 動(dòng)機(jī)等直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成；速度檢測部(速度檢測單元)9，其對基板33 的搬送速度進(jìn)行檢測；以及控制部(控制單元)11，其對驅(qū)動(dòng)部7進(jìn)行 控制。檢查裝置單元3具有照明部(照明單元)13，其產(chǎn)生照射至基板 33的表面的照明光；以及攝像部(受光單元)15，其對從該照明部13產(chǎn) 生并由基板33的表面反射后的反射光進(jìn)行攝影。照明部13例如是照射與基板33的搬送方向正交的線狀的照明光的 直線照明光源。照明部13在基板搬送路25的上方設(shè)置成與后述的攝像 部15成為預(yù)定的位置關(guān)系，且配置成照明光的光軸相對于基板33的表 面傾斜預(yù)定的傾斜角度。攝像部15例如由具有一維排列的多個(gè)像素的直線傳感器構(gòu)成，但 是，除此之外，也可以是具有二維排列的例如CCD或CMOS等受光元 件的二維傳感器照相機(jī)。攝像部15以位于基板搬送路25的上方的方式 進(jìn)行設(shè)置，并配置成多個(gè)像素的光軸相對于基板搬送路25上的基板33 的表面傾斜預(yù)定的傾斜角度，并使其光軸與由照明部13產(chǎn)生的照明范圍 的中心一 致。照明部13和攝像部15的位置關(guān)系是如下的位置關(guān)系相對于基板 33的面上的垂線，配置成照明光的入射角和攝像部15所拍攝的反射光的 反射角相同來對干涉光進(jìn)行拍攝的位置關(guān)系，或者配置成入射角和反射 角不同來對散射光、衍射光進(jìn)行拍攝的位置關(guān)系。由此，攝像部15依次 獲得在基板搬送路25上搬送的基板33的線掃描(line scan)圖像。導(dǎo)向件5沿著基板搬送路25的搬送方向平行地設(shè)置有一對。檢査裝 置單元3通過驅(qū)動(dòng)部7的驅(qū)動(dòng)力在一對導(dǎo)向件5上行走，來自照明部13
的照明光穿過各導(dǎo)向件5之間照射至基板33，來自基板33的表面的反射 光通過貫通孔5a被攝像部15拍攝。驅(qū)動(dòng)部7由直線電動(dòng)機(jī)構(gòu)成，所述直線電動(dòng)機(jī)具有設(shè)在支承檢查 裝置單元3的主體部上的構(gòu)成直線電動(dòng)機(jī)的可動(dòng)電磁鐵的未圖示的滑動(dòng) 件；和構(gòu)成驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)件行走的固定電磁鐵的導(dǎo)向件5。通過沿著導(dǎo)軌依次 驅(qū)動(dòng)導(dǎo)向件5側(cè)的固定電磁鐵，從而能夠借助檢査裝置單元3側(cè)的可動(dòng) 電磁鐵與固定電磁鐵的作用，使檢查裝置單元3沿著導(dǎo)向件以任意的速 度行走。速度檢測裝置9對在基板搬送路25上搬送的基板33的速度進(jìn)行檢 測，并將檢測到的基板33的基板速度信號(hào)輸出至控制部11。對這樣構(gòu)成的本實(shí)施方式的基板外觀檢查裝置1的作用進(jìn)行說明。為了利用本實(shí)施方式的基板外觀檢査裝置1對在基板搬送路25上搬 送的基板33進(jìn)行檢查，首先，將檢査裝置單元3配置在基板搬送路25 的基板搬入側(cè)附近。接著，通過速度檢測裝置9的動(dòng)作，在基板33到達(dá)基板外觀檢查裝 置1的下方之前對基板搬送路25上的基板33的搬送速度進(jìn)行檢測，并 將基板速度信號(hào)輸出至控制部11。如圖3所示，當(dāng)基板33位于基板外觀檢查裝置1的下方時(shí)，控制部 11對驅(qū)動(dòng)部7進(jìn)行控制，以使檢查裝置單元3向與基板33的移動(dòng)方向相 同的方向行走。此時(shí)，以使檢查裝置單元3的移動(dòng)速度SS (SS>0)比基 板33的搬送速度S (S>0)小的方式對驅(qū)動(dòng)部7進(jìn)行控制。由此，檢查裝置單元3以相對速度Tl (T1 = S —SS)沿著基板33 的搬送方向?qū)σ苿?dòng)中的基板33進(jìn)行掃描。gp,相對速度T1與檢查裝置 單元3相對于基板33的掃描速度相當(dāng)。另外，圖中的標(biāo)號(hào)A示出基板 33上的檢測位置。通過降低檢查裝置單元3相對于基板33的相對速度，即，通過將其 控制為相對速度T1，能夠根據(jù)攝像部15的攝像條件來調(diào)節(jié)檢査裝置單元 3相對于基板33的相對速度Tl 。在通過檢査裝置單元3檢測到基板33上的缺陷時(shí)，為了進(jìn)一步以高
分辨率拍攝該缺陷，使檢查裝置單元3的移動(dòng)速度比基板33的移動(dòng)速度 高，從而使檢查裝置單元3返回到缺陷的檢測開始位置。此時(shí)，控制部 11根據(jù)檢測到缺陷的位置和基板33的搬送速度等數(shù)據(jù)，求出檢測裝置單 元3的檢查點(diǎn)到達(dá)搬送中的基板33的缺陷位置的速度和時(shí)間，以使檢查 裝置單元3的檢查點(diǎn)位于比缺陷稍微靠搬送方向的前方的方式使檢查裝 置單元3移動(dòng)。然后，控制部11對檢査裝置單元3的移動(dòng)速度進(jìn)行調(diào)節(jié)， 以使檢査裝置單元3相對于基板33的相對速度比最初設(shè)定的相對速度 慢。其結(jié)果是，利用攝像部15以比基板33的搬送速度慢的相對速度Tl 依次獲得線掃描圖像，由此能夠遍及基板33的整個(gè)面得到高分辨率的圖 像，能夠?qū)?3良好地進(jìn)行微觀檢查。并且，由于不需要為了獲得高 分辨率的圖像而降低基板33的搬送速度，因此不會(huì)降低檢査工序中的檢 查效率。并且，在檢測到缺陷時(shí)，根據(jù)攝像條件，進(jìn)一步減慢檢查裝置 單元3相對于基板33的相對速度Tl，由此能夠提高攝像部15的分辨率， 能夠良好地拍攝微小的缺陷。如以上說明的那樣，根據(jù)本實(shí)施方式的基板外觀檢査裝置1，由于 能夠根據(jù)攝像部15的攝像條件任意地調(diào)節(jié)檢查裝置單元3相對于基板33 的相對速度，所以例如即使延長作為攝像部15的攝像條件的曝光時(shí)間(或 者減慢快門速度)，也能夠通過對檢査裝置單元3的移動(dòng)速度進(jìn)行調(diào)節(jié)， 以成為適合于曝光時(shí)間(或者快門速度)的相對速度，從而能夠無抖動(dòng) 地對在基板33的表面反射的反射光進(jìn)行拍攝。并且，通過利用控制部11變更檢查裝置單元3的速度，從而能夠任 意地控制檢查裝置單元3相對于基板33的相對速度。因此，通過根據(jù)攝 像部15的攝像條件和缺陷的大小調(diào)節(jié)相對速度，從而不會(huì)降低基板33 的搬送速度，就能夠得到基板33表面的鮮明的圖像而進(jìn)行高精度的檢査。另外，本實(shí)施方式能夠進(jìn)行如下的變形。例如，在本實(shí)施方式中，為了使檢查裝置單元3相對于基板33的相 對速度(掃描速度)變小，控制部11以比基板33的搬送速度小的移動(dòng) 速度對檢査裝置單元3進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，但是也可以使檢査裝置單元3的移動(dòng)
速度比基板33的搬送速度高，由此使相對于基板33的掃描方向反向。并且，在本實(shí)施方式中，使檢查裝置單元3的移動(dòng)方向?yàn)榕c基板33 的移動(dòng)方向相同的方向，但是，根據(jù)基板33的搬送速度，在基板33的 搬送速度為低速的情況下，也可以使檢查裝置單元3的移動(dòng)方向向基板 33的移動(dòng)方向的反方向移動(dòng)，從而相對于基板33的掃描方向相反。這種 情況下，由于與檢查裝置單元3的速度相比能夠減小檢查裝置單元3的 移動(dòng)范圍，因此能夠進(jìn)一步縮短導(dǎo)向件5的長度。并且，如圖4所示，也可以以使檢査裝置單元3的移動(dòng)速度SS與基 板33的搬送速度S相同(SS = S)的方式對驅(qū)動(dòng)部7進(jìn)行控制。該情況 下，作為攝像部15釆用前述的使用二維傳感器的照相機(jī)等的情況是有效 的，能夠以相對靜止的狀態(tài)獲得基板33的預(yù)定區(qū)域。另外，在以預(yù)定時(shí) 間追蹤從得到的圖像檢測到的缺陷的狀態(tài)下，能夠在監(jiān)視器上持續(xù)顯示 為靜態(tài)圖像。并且，由于在將檢查裝置單元3的移動(dòng)速度調(diào)整為與基板33的搬送 速度相同的情況下，基板33上的檢測位置A始終被檢查裝置單元3捕捉， 所以能夠在與基板33靜止的情況相同的條件下對基板33的表面進(jìn)行攝 像。因此，能夠延長攝像部15的攝像時(shí)間，并且，不會(huì)產(chǎn)生圖像的圖像 抖動(dòng)，能夠以高精度且高分辨率對基板33的表面的欲進(jìn)行檢查的缺陷部 位進(jìn)行攝像，能夠進(jìn)行更精密的檢查。并且，例如在本實(shí)施方式中，作為攝像部15采用直線傳感器，但是 也可以如上所述采用使用CCD等二維攝像元件的照相機(jī)。在該情況下， 期望在基板搬送路的寬度方向上排列多個(gè)照相機(jī)，并使各照相機(jī)在搬送 方向上一體地移動(dòng)。并且，例如在本實(shí)施方式中，將檢査裝置單元3設(shè)在基板33的上方， 但是也可以代替于此，將檢査裝置單元3設(shè)在基板33的下方。并且，例如在本實(shí)施方式中，攝像部15對在基板33的表面反射的 反射光進(jìn)行拍攝，但是也可以代替于此，如圖5所示，以攝像部15位于 基板33的下方的方式配置攝像部15，利用攝像部15對透過基板33后的 透射光進(jìn)行拍攝。
權(quán)利要求
1、一種基板外觀檢查裝置，所述基板外觀檢查裝置具有基板搬送單元，其使檢查對象基板沿著恒定方向移動(dòng)；照明單元，其對所述檢查對象基板射出照明光；受光單元，其接受從該照明單元射出并在所述檢查對象基板反射后的反射光、或者透過所述檢查對象基板后的透射光；移動(dòng)單元，其使所述照明單元和所述受光單元一體地移動(dòng)；以及對該移動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制單元，該控制單元對所述移動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，以使得所述移動(dòng)單元使所述照明單元和所述受光單元沿著與所述檢查對象基板的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述基板搬送單元使所述檢査對象基板以恒定的速度移動(dòng)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板外觀檢查裝置，其中，所述基板外觀檢查裝置具有檢査單元，其一體地構(gòu)成所述照明單元和所述受光單元；以及引導(dǎo)單元，其沿著所述檢查對象基板的搬送方向平行地設(shè)置，對所 述檢查單元的移動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述照明單元為直線照明光源，所述受光單元為直線傳感器。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板外觀檢査裝置，其中， 所述基板外觀檢查裝置還具有對所述檢査對象基板的搬送速度進(jìn)行檢測的速度檢測單元，所述控制單元根據(jù)由所述速度檢測單元檢測到的所述檢查對象基板 的搬送速度來對所述移動(dòng)單元進(jìn)行控制。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的基板外觀檢査裝置，其中， 所述控制單元對所述照明單元和所述受光單元相對于所述檢査對象基板的相對速度進(jìn)行控制，以使其成為比所述檢查對象基板的搬送速度 低的恒定速度。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板外觀檢査裝置，其中， 所述照明單元和所述受光單元的移動(dòng)速度被設(shè)定為比所述檢査對象基板的搬送速度低的速度。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述照明單元和所述受光單元的移動(dòng)速度被設(shè)定為比所述檢査對象基板的搬送速度高的速度。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的基板外觀檢查裝置，其中， 所述照明單元和所述受光單元的移動(dòng)速度被設(shè)定為與所述檢査對象基板的搬送速度相同的速度。
10、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板外觀檢査裝置，其中， 所述受光單元為具有二維攝像元件的照相機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明提供基板外觀檢查裝置，其不使用高性能的裝置，能夠得到在搬送路上搬送來的檢查對象基板的鮮明的圖像，從而進(jìn)行高精度的微觀檢查。基板外觀檢查裝置(1)具有基板搬送路(25)，其使基板(33)沿著恒定方向移動(dòng)；照明部(13)，其對基板(33)射出照明光；攝像部(15)，其接受從照明部(13)射出并在基板(33)反射后的反射光或者透過基板(33)后的透射光；驅(qū)動(dòng)部(7)，其使照明部(13)和攝像部(15)一體地移動(dòng)；以及控制部(11)，其對驅(qū)動(dòng)部(7)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制，以使得驅(qū)動(dòng)部(7)使照明部(13)和攝像部(15)沿著與基板(33)的移動(dòng)方向相同的方向移動(dòng)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101398396SQ200810161508
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者西澤誠 申請人:奧林巴斯株式會(huì)社