專利名稱：半導(dǎo)體檢測儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體材料檢測裝置，特別是一種同時檢測半導(dǎo)體材料電阻率和
型號的綜合檢測裝置。
背景技術(shù)：
目前常用的半導(dǎo)體材料電阻率檢測裝置和半導(dǎo)體材料的型號檢測裝置，分別只具 有檢測半導(dǎo)體材料的電阻率或型號的功能。如果需要同時檢測半導(dǎo)體材料的電阻率和型 號，則需要同時配備兩種設(shè)備電阻率測試設(shè)備和材料型號測試設(shè)備，這給檢測者帶來程序 上的重復(fù)，也給使用單位帶來成本的提高。在半導(dǎo)體材料挑選方面得經(jīng)過兩種不同的步驟， 造成很低的勞動效率的同時也增加了企業(yè)的投入和產(chǎn)品成本。另外在外出選料時，采購人 員還必須攜帶兩臺設(shè)備極其不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體檢測儀，以克服常用電阻率測試設(shè)備和材料型號
測試設(shè)備分別只能檢測半導(dǎo)體材料的電阻率和型號，效率低、成本高的缺點。 本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn) —種半導(dǎo)體檢測儀，包括半導(dǎo)體型號測試部分和半導(dǎo)體電阻率測試部分，所述半 導(dǎo)體型號測試部分和半導(dǎo)體電阻率測試部分通過自動切換部分連接，所述自動切換部分與 測試探針連接。 本發(fā)明的有益效果為整合了硅材料測試中的電阻率測試和材料型號測試兩部 分，充分利用智能設(shè)備中單片機(jī)完成自動的檢測和兩部分的相互切換，無需手工干涉，提高 了產(chǎn)品智能化水平、一體化程度和勞動生產(chǎn)率。


下面根據(jù)附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
圖1是本發(fā)明實施例所述的半導(dǎo)體檢測儀的工作原理圖。
圖中 1、半導(dǎo)體型號測試部分；2、半導(dǎo)體電阻率測試部分；3、自動切換部分；4、測試探 針。
具體實施例方式
如圖l所示，本發(fā)明所述的半導(dǎo)體檢測儀，包括半導(dǎo)體型號測試部分l和半導(dǎo)體電 阻率測試部分2，所述半導(dǎo)體型號測試部分1和半導(dǎo)體電阻率測試部分2通過自動切換部分 3連接，所述自動切換部分3與測試探針4連接。在測試完電阻率值以后，通過軟件控制內(nèi) 部電路自動切換四根探針到型號檢測部分采用整流法用于半導(dǎo)體型號檢測，該切換時儀器 設(shè)備內(nèi)部自動執(zhí)行的，用戶根本感覺不到該切換到存在。同時測出了半導(dǎo)體的型號和電阻率.
權(quán)利要求
一種半導(dǎo)體檢測儀，其特征在于包括半導(dǎo)體型號測試部分和半導(dǎo)體電阻率測試部分。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體檢測儀，其特征在于所述半導(dǎo)體型號測試部分和半 導(dǎo)體電阻率測試部分通過自動切換部分連接，所述自動切換部分與測試探針連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體檢測儀，包括半導(dǎo)體型號測試部分和半導(dǎo)體電阻率測試部分，所述半導(dǎo)體型號測試部分和半導(dǎo)體電阻率測試部分通過自動切換部分連接，所述自動切換部分與測試探針連接。本發(fā)明整合了硅材料測試中的電阻率測試和材料型號測試兩部分，充分利用智能設(shè)備中單片機(jī)完成自動的檢測和兩部分的相互切換，無需手工干涉，提高了產(chǎn)品智能化水平、一體化程度和勞動生產(chǎn)率。
文檔編號G01R31/00GK101762747SQ20081017183
公開日2010年6月30日 申請日期2008年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月14日
發(fā)明者周慶一 申請人:周慶一