專利名稱：一種汞燈燈室的光學特性測試裝置及其測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光學測量裝置領(lǐng)域，具體涉及一種汞燈燈室的光學特性測試 裝置及其測試方法。
背景技術(shù)：
光刻法(亦稱微光刻法)用于制造半導(dǎo)體器件，光刻法使用不同波段的 光波，如紫外、深紫外、或可見光，在硅片上投影產(chǎn)生精細的光刻圖案，進 一步通過刻蝕等工藝方法在硅片上形成精細特征圖案，因此，光刻法是半導(dǎo) 體器件生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。光刻法使用的光源除了準直激光器外，還有短弧汞 燈，因此汞燈燈室的光學特性參數(shù)對光刻機中的照明分系統(tǒng)的裝配與調(diào)試是 十分重要的。其中汞燈燈室的光學特性參數(shù)包括數(shù)值孔徑、焦距、焦點功率、 焦點光強分布四個，能夠精確測得所述的汞燈燈室光學參數(shù)，有利于在光刻 機集成階段順利展開照明分系統(tǒng)的調(diào)試。
目前，絕大多數(shù)用于光刻機汞燈燈室的結(jié)構(gòu)形式如圖l所示，汞燈l的
短弧位于橢球反射鏡的第一焦點Fl，橢球反射鏡2將汞燈發(fā)出的光會聚于第 二焦點F2 , F卩一般是照明分系統(tǒng)與燈室的接口。通常，汞燈燈室具有如下 特殊性(l)測試的光學參數(shù)必須是在汞燈開啟時才有意義；(2)汞燈一般只 開啟一次，長期點亮，第二次開啟汞燈性能會急劇下降；(3)汞燈功率大，可 達數(shù)千瓦特；(4)汞燈的發(fā)光電弧雖然可以看作是點光源，但由于橢球反射鏡 軸向放大緣故，第二焦點處不再是點光源。根據(jù)汞燈的光學特性，汞燈的光學參數(shù)測試裝置一^:要求適應(yīng)開燈測試、大功率以及非點光源的測試條件， 因此汞燈的光學參數(shù)測試比一般的光學測試難度大，如果利用常規(guī)的光學測 試方法及其裝置，無法完成測試。本專利提出一種能夠用來測試汞燈燈室光 學特性的焦距、焦點功率、焦點光強分布三種光學參數(shù)的測試裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠適應(yīng)開燈測試、大功率、非點 光源測試條件的汞燈燈室光學特性參數(shù)測試裝置，并提出實現(xiàn)汞燈燈室的焦 距、焦點功率、焦點光強等光學參數(shù)的測試方法。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種測試裝置，用于汞燈燈室數(shù)值孔 徑、焦距、焦點功率、焦點光強分布四個光學特性參數(shù)測試，測試裝置包括 外殼，依順序置于外殼里面的小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚 光鏡和四象限探測器，以及固定于置外殼中的準直激光器；第一聚光鏡與第 二聚光鏡平行放置，第 一聚光鏡的中心與第二聚光鏡的中心之間的連線定位 為測試裝置的光軸，所述光軸垂直于第一聚光鏡與第二聚光鏡；第一衰減片 置于第一聚光鏡與第二聚光鏡之間，第一衰減片與第一聚光鏡面、第二聚光 鏡面之間的夾角均為45度；準直激光器垂直于測試裝置的光軸，準直激光器 的激光投射直線、衰減片以及測試裝置的光軸三者交于一點；四象限探測器 垂直于測試裝置的光軸，四象限#:測器的中心定位于測試裝置的光軸；小孔 光闌垂直于所述光軸，小孔光闌的中心定位于測試裝置的光軸。
作為較佳技術(shù)方案，所述測試裝置還包括用于探測從小孔光闌透射過來 的圓形光斑的邊沿光線的刀片；所述刀片置于外殼上并定位于小孔光闌與第 一聚光鏡之間；所述刀片包括上刀片和下刀片，上刀片和下刀片都垂直于所述光軸并且都可以沿所述測試裝置的光軸的垂直方向移動，上刀片和下刀片 均帶有用來記錄垂直方向移動距離的刻度裝置；所述上刀片的下刀刃和下刀
片的上刀刃均為向內(nèi)圓弧狀。
才艮據(jù)本發(fā)明所提供的汞燈燈室的光學特性測試裝置，其中，所述測試裝 置還包括置于第二聚光鏡和四象限探測器之間的第二衰減片。所述第二衰減 片垂直于所述光軸，第二衰減片的中心定位于測試裝置的光軸。
根據(jù)本發(fā)明所提供的汞燈燈室的光學特性測試裝置，其中，所述四象限 #:測器可以沿所述測試裝置的光軸方向平行移動。所述四象限探測器還包括 可以遮攔在四象限探測器上的遮攔片。所迷第一聚光鏡與第二聚光鏡的直徑 相同，第一聚光鏡與第二聚光鏡的光學參數(shù)相同。
根據(jù)本發(fā)明提供的汞燈燈室光學特性參數(shù)測試裝置提出的一種測試測試 汞燈燈室的光學參數(shù)的方法，包括步驟
(1) 提供用于空間定位所述測試裝置的定位裝置以及汞燈燈室，測試裝 置固定于定位裝置之上，調(diào)整定位裝置，使測試裝置的光軸與汞燈燈室的光
軸重合；
(2) 通過定位裝置，使測試裝置沿光軸移動，探測處最大光強處即為汞 燈燈室的第二焦點，計算得出汞燈燈室的焦距參數(shù)；
(3) 選擇第二焦點處汞燈燈室的光線能量能通過小孔的小孔光闌裝于測 試裝置并置于汞燈燈室的第二焦點處，將四象限探測器置于第二位置，四象 限#:測器探測出從汞燈燈室發(fā)出的、依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第一 衰減片、第二聚光鏡后的光線的總功率，通過總功率值除以衰減率得出焦點 功率；通過不同形狀的遮攔片實現(xiàn)對四象限探測器不同區(qū)域的光線遮攔，測 出不同區(qū)域的焦點光強分布；其中，所述第二位置為光線依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減 片、第二聚光鏡后投影到第四象限探測器后光線發(fā)生聚焦的位置。
作為較佳技術(shù)方案，在步驟(3)之后還包括步驟(4)通過定位裝置， 使測試裝置的小孔光闌置于汞燈燈室的第二焦點處，將四象限探測器置于第 一位置，調(diào)整垂直于光軸的、與小孔光闌平面距離為L的上刀片和下刀片， 當四象限探測器接收到探測到能量減少時，停止調(diào)整上刀片和下刀片，進一 步測出上刀片和下刀片之間的距離D，根據(jù)公式計算得出數(shù)值孔徑參數(shù)；
根據(jù)本發(fā)明所提供的測試汞燈燈室的光學特性的方法，其中，所述第一 位置也可以為邊緣光線依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二 聚光鏡、第二衰減片后投影到第四象限探測器后邊緣光線不發(fā)生交叉的位置， 所述第二位置也可以為光線依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光#;、第一衰減片、 第二聚光鏡、第二衰減片后投影到第四象P艮探測器后光線發(fā)生聚焦的位置。
本發(fā)明的技術(shù)效果是汞燈燈室的第二焦點的光線依次通過測試裝置的 小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡、第二衰減片，投射于四 象限探測器；由于衰減片的能實現(xiàn)對光線強度的衰減作用，使測試裝置適合
大功率的汞燈燈室的測試；通過小孔光闌的孔徑的變化以及四象限^:測器的 位置變化，使測試裝置適合非點光源的汞燈燈室的測試；同時裝置適合于汞 燈燈室開燈測試。通過本發(fā)明所提供測試裝置，并將測試裝置置于帶有尺寸 刻度的導(dǎo)軌和在導(dǎo)軌上滑動的三維移動臺的定位裝置上，可以實現(xiàn)對汞燈燈 室的焦距、焦點功率、焦點光強分布三個光學特性參數(shù)測試，并在進一步的 較佳技術(shù)方案中，進一步可通過置于外殼上并定位于小孔光闌與第一聚光鏡 之間的刀片探測從小孔光闌發(fā)射過來的圓形光斑的邊沿光線，實現(xiàn)對汞燈燈 室的數(shù)值孔徑光學特性參數(shù)測試。


圖l是汞燈燈室結(jié)構(gòu)示意圖2是本發(fā)明實施例的汞燈燈室的光學特性測試裝置的剖面結(jié)構(gòu)圖； 圖3是本發(fā)明又一實施例的汞燈燈室的光學特性測試裝置的剖面結(jié)構(gòu)圖； 圖4是本實施例測試裝置測試汞燈燈室光學特性時所應(yīng)用的定位裝置圖； 圖5是本實施例汞燈燈室的光學特性測試裝置的光軸與燈室的光軸對準 示意圖6是汞燈燈室的第一焦點Fl和第二焦點F2的光強分布； 圖7是本實施例測試裝置測試汞燈燈室的焦點功率和焦點光強分布示意 圖8是系列遮攔片示意圖9是本實施例測試裝置測試汞燈燈室的數(shù)值孔徑示意圖； 圖IO是刀片形狀示意圖。
具體實施例方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明 作進一步的詳細描述。
圖2所示為本發(fā)明實施例的汞燈燈室的光學特性測試裝置的剖面結(jié)構(gòu) 圖，這種測試裝置用來測試汞燈燈室的數(shù)值孔徑、焦距、焦點功率、焦點光 強分布四種光學參數(shù)。如圖2所示，汞燈燈室的光學特性測試裝置包括外殼9， 依次順序置于外殼里面的小孔光闌10、第一聚光鏡ll、第一衰減片13、第二 聚光鏡12、第二衰減片14和四象限探測器17,以及固定于外殼中的準直激光器18。其中，第一聚光鏡ll與第二聚光鏡12平行放置，第一聚光鏡ll的
中心與第二聚光鏡12的中心之間的連線定位為汞燈燈室的光學特性測試測試 裝置的光軸，所述光軸垂直于第一聚光鏡11與第二聚光鏡12，第一聚光鏡 11和第二聚光鏡12可以為雙凸面凸鏡也可以為單凸面凸鏡，本實施例優(yōu)選為 單凸面聚光鏡，并且兩者的凸面相對放置，第一聚光鏡11與第二聚光鏡l2 具有相同的直徑及光學參數(shù)，兩者之間的間距由聚光鏡11和12的光學參數(shù) 決定，經(jīng)過小孔光闌的光線再經(jīng)過第一聚光鏡11與第二聚光鏡12后，能實 現(xiàn)光線在一定范圍集聚。第一衰減片13與第一聚光鏡面11和第二聚光鏡12 之間夾角均為45度，第一衰減片13的中心定位于測試裝置的光軸。準直激 光器18垂直于測試裝置的光軸定位于外殼9中，準直激光器18的激光投射 直線能恰好對準第一衰減片13的中心，因此準直激光器18的激光投射直線、 衰減片13以及測試裝置的光軸三者交于一點。第二衰減片14與測試裝置的 光軸垂直，其中心定位于測試裝置的光軸，笫一衰減片13和第二衰減片14 均用來對光線衰減，從而使本裝置適用于大功率的汞燈燈室的光學特性測試。 四象限^:測器與測試裝置的光軸垂直，并且四象限纟笨測器17的中心定位于測 試裝置的光軸，經(jīng)過第一聚光鏡11和第二聚光鏡12的光線4殳射于四象P艮探 測器17上，四象限^:測器17可以沿測試裝置的光軸的方向移動，本實施例 中四象限4笨測器17優(yōu)選》文置于如圖2所示中的位置一 15或位置二 16,四象 限探測器17放置于位置二 16時，經(jīng)過第一聚光鏡11和第二聚光鏡12的光 線成像于四象限探測器17上，位置二 16為成像位置，四象限探測器17放置 于位置一 15時，經(jīng)過第一聚光鏡11的上下邊沿光線投影于四象限探測器17 上不會發(fā)生交叉。四象限探測器17還包括可以用來放置于四象限探測器上的 遮攔片(圖中未示出)，用來定義四象限探測器接受光線投射的區(qū)域，根據(jù)不同投射區(qū)域的需要，可以選擇不同形狀的遮攔片。小孔光闌10垂直于測試裝 置的光軸，小孔光闌10的中心定位于測試裝置的光軸，根據(jù)測試需要，可以
更換不同孔徑的小孔光闌10。
圖3所示為本發(fā)明又一實施例的汞燈燈室的光學特性測試裝置的剖面結(jié) 構(gòu)圖。結(jié)合2和圖3所示，圖3實施例相對圖2實施例的主要區(qū)別在于測 試裝置還包括置于外殼上并定位于小孔光闌10與第一聚光4竟11之間的上刀 片19、下刀片20。上刀片19和下刀片20具有相同形狀和尺寸參數(shù)，上刀片 19和下刀片20上下對稱裝于外殼9上，都垂直于測試裝置的光軸，上刀片 19和下刀片20可沿垂直于測試裝置的光軸方向移動，并可通過刀片上的刻度 裝置記錄移動的距離，所述上刀片的下刀刃和下刀片的上刀刃均為向內(nèi)圓弧 狀。通過上刀片19和下刀片20的上下垂直移動可以才艮據(jù)測試需要實現(xiàn)對小 孔光闌10透射過來的圓形光斑的光線的遮攔，結(jié)合四象限探測器17上的能 量的變化，因此刀片可以用于探測從小孔光闌IO透射過來的圓形光斑的邊沿 光線的刀片。
以下結(jié)合圖4至圖IO具體說明本實施例測試裝置的光學特性測試方法。
第一步驟，提供用于空間定位測試裝置的定位裝置。
圖4所示為用本實施例測試裝置測試汞燈燈室光學特性時所應(yīng)用的定位 裝置示意圖，如圖3所示，定位裝置包括帶有尺寸刻度的導(dǎo)軌4、在導(dǎo)軌上滑 動的三維移動臺5，測試裝置6固定置于三維移動臺5上。其中7是汞燈燈室， 8是汞燈燈室的外壁。通過導(dǎo)軌4和在導(dǎo)軌上滑動的三維移動臺5，可實現(xiàn)測 試裝置6的空間定位。
第二步驟，調(diào)整定位裝置，使定位裝置上的測試裝置的光軸與汞燈燈室 的光軸重合。圖5所示為本實施例汞燈燈室的光學特性測試裝置的光軸與燈室的光軸 對準示意圖。才艮據(jù)光學特性測試，為實現(xiàn)準確測量，在所有的測試之前，測
試裝置的光軸與燈室的光軸必須對準。本發(fā)明裝置提供了這一功能，結(jié)合圖3 和圖4所示，光軸對準前，使導(dǎo)軌4的前端與燈室外壁8接觸，使導(dǎo)軌大致 與燈室光軸21平行。點亮準直激光器18,準直激光束22射向45度傾斜的衰 減片13，經(jīng)衰減片13反射后，由于準直激光器18的激光束投射直線、衰減 片13以及測試裝置的光軸三者的交點重合，出射的激光束23與測試裝置的 光軸24重合，出射的激光束23經(jīng)過小孔光闌IO后射向燈室的出射窗口玻璃 25。燈室的光軸21垂直于出射窗口，調(diào)整三維移動臺5使出射的激光束23 打在燈室的出射窗口玻璃25中心并按原路反射形成圖4所示反射光束26,反 射光束26通過小孔光闌10、第一聚光鏡ll、第一衰減片13、第二聚光鏡12、 第二衰減片14,最后投射在四象限纟果測器17上，此時，四象限纟果測器17處 于位置一15。如果四象P艮探測器17的每個象限所探測的功率大體一致，則可 以判斷測試裝置的光軸24是與燈室的光軸21重合。 第三步驟，測試汞燈燈室的焦距參數(shù)。
圖6所示為汞燈燈室的第一焦點Fl和第二焦點F2的光強分布。由于汞 燈燈室的橢球反射鏡軸向放大的緣故，在Fl近似點光源的汞燈發(fā)光電弧成像 到F2后，沿光軸方向的光強分布不再像F1處那樣尖銳。在實現(xiàn)裝置的光軸 對準以后，更換成小孔直徑為0. 1 ~ 0. 5毫米的小孔光闌10,結(jié)合圖3所示， 汞燈燈室光學特性裝置6在導(dǎo)軌4上移動，在F2附近沿光軸進行光強掃描， 探測到最大光強處則為F2位置，從導(dǎo)軌的刻度可讀出燈室出射窗到F2的距 離，這段距離即為燈室的焦距，從而實現(xiàn)燈室的焦距測量。
第四步驟，測試汞燈燈室的焦點功率和焦點光強分布。圖7所示為本實施例測試裝置測試汞燈燈室的焦點功率和焦點光強分布
示意圖。如圖7所示。首先，更換小孔直徑為20毫米的小孔光闌10，小孔光 闌10置于燈室的F2焦點處，四象限^^罙測器17位于位置二 16,此時小孔光闌 10和四象限探測器17的位置是聚光鏡11和聚光鏡12所組成的成像系統(tǒng)的物 像位置。進一步，小孔光闌20毫米徑范圍的焦點光斑(基本上集中了焦點F2 的絕大部分能量)經(jīng)過成像系統(tǒng)縮小成像到四象限探測器17上，探測器探17 測到總的功率再除以成^f象系統(tǒng)的透過率就是汞燈燈室焦點F2的焦點功率。四 個象限探測到的能量差異說明了焦點光強四個區(qū)域的分布特性。同時，為獲 得更詳盡的焦點光強分布情況，可以使用如圖8所示的一系列遮攔片遮攔在 四象限探測器上。當遮攔片31遮攔于四象P艮探測器上時，它能遮攔每個象限 的一半，因此使用遮攔片31與不使用遮攔片31的兩次四象限探測器17的測 試結(jié)果相減，可以得出八個區(qū)域的焦點光強分布值。同樣，如果想得到十二 個區(qū)域的光強值，可以使用遮攔片系列32，遮攔片系列32的每個遮攔片的透 光區(qū)域相互之間沒有交集，三個遮攔片的透光區(qū)域的總和就是四象限探測器 面積，分別單獨使用每個遮攔片可以得到每個象限一部分的光強值，因此通 過三次^f吏用遮攔片系列32的不同遮攔片，測試可以得出3 x 4=12個區(qū)域的焦 點光強分布。
第五步驟，測試汞燈燈室的數(shù)值孔徑參數(shù)。
圖9所述為本實施例測試裝置測試汞燈燈室的it值孔徑示意圖。當測試 汞燈燈室的數(shù)值孔徑時，首先，更換成小孔直徑為0.5-0. l毫米的小孔光闌 (視測試精度要求而定)。結(jié)合圖4和圖9所示，通過調(diào)整定位裝置的導(dǎo)軌4 的位置，使測試裝置的小孔光闌IO位于汞燈燈室的F2焦點處，四象限探測 器位于位置一15，四象限探測器置于位置一時，上邊緣光線27、下邊緣光線28投影于四象限探測器17上不會發(fā)生交叉。上邊緣光線27、下邊緣光線28
分別投影到四象限探測器的第一象限29和第三象限30。進一步，使上刀片
19垂直于光軸向下移動，上刀片19遮攔到上邊緣光線27時，四象限探測器
的第一象限29所探測能量將減少，同樣，使下刀片20垂直于光軸向上移動，
下刀片20遮攔到下邊緣光線28時，四象限探測器的第三象限30所探測能量
將減少，由此方法，可以確定上邊緣光線27與下邊緣光線28之間的距離，
從刀片的刻度裝置可讀出該距離D , L是預(yù)先知道的小孔光闌到刀片的距離，
數(shù)值孔徑可由公式NA=sin (arc tan2)計算得出。為了使四象限^果測器17
2〖
能更靈敏的探測到邊緣光線，刀片的與汞燈光線相切的刀刃做成圓弧狀，因 為這樣刀片能更大范圍的與光線邊》斜目切。如圖IO所示為上刀片的形狀示意 圖，其中圓 瓜度為下刀刃。
在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下還可以構(gòu)成許多有很大差別的實
施例。應(yīng)當理解，除了如所附的權(quán)利要求所限定的，本發(fā)明不限于在說明書 中所述的具體實施例。
權(quán)利要求
1.一種汞燈燈室的光學特性測試裝置，其特征在于，測試裝置包括外殼，依順序置于外殼里面的小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡和四象限探測器，以及固定于置外殼中的準直激光器；第一聚光鏡與第二聚光鏡平行放置，第一聚光鏡的中心與第二聚光鏡的中心之間的連線定位為測試裝置的光軸，所述光軸垂直于第一聚光鏡與第二聚光鏡；第一衰減片置于第一聚光鏡與第二聚光鏡之間，第一衰減片與第一聚光鏡面、第二聚光鏡面之間的夾角均為45度；準直激光器垂直于測試裝置的光軸，準直激光器的激光投射直線、衰減片以及測試裝置的光軸三者交于一點；四象限探測器垂直于測試裝置的光軸，四象限探測器的中心定位于測試裝置的光軸；小孔光闌垂直于所述光軸，小孔光闌的中心定位于測試裝置的光軸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的測試裝置，其特征在于，所述測試裝置還包括用于 探測從小孔光闌透射過來的圓形光斑的邊沿光線的刀片。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述刀片置于外殼上并定 位于小孔光闌與第 一聚光鏡之間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述刀片包括上刀片和下 刀片，上刀片和下刀片都垂直于所述光軸并且都可以沿所述測試裝置的光 軸的垂直方向移動，上刀片和下刀片均帶有用來記錄垂直方向移動距離的 刻度裝置。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或3或4所述的測試裝置，其特征在于，所述上刀片的下 刀刃和下刀片的上刀刃均為向內(nèi)圓弧狀。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的測試裝置，其特征在于，所述測試裝置還包括置于第二聚光鏡和四象限探測器之間的第二衰減片。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的測試裝置，其特征在于，所述第二衰減片垂直于所述光軸，第二衰減片的中心定位于測試裝置的光軸。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述四象限探測器可以沿 所述測試裝置的光軸方向平4于移動。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的測試裝置，其特征在于，所述四象限探測器還包括 可以遮攔在四象限探測器上的遮攔片。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述第一聚光鏡與第二聚 光4竟的直徑相同，第一聚光鏡與第二聚光鏡的光學參數(shù)相同。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置， 一種用于測試汞燈燈室的光學特性測試 方法，其特征在于包括步驟(1) 提供用于空間定位所述測試裝置的定位裝置以及汞燈燈室，測 試裝置固定于定位裝置之上，調(diào)整定位裝置，使測試裝置的光軸與汞燈燈 室的光軸重合；(2) 通過定位裝置，使測試裝置沿光軸移動，探測處最大光強處即 為汞燈燈室的第二焦點，計算得出汞燈燈室的焦距參數(shù)；(3) 選擇第二焦點處汞燈燈室的光線能量能通過小孔的小孔光闌裝 于測試裝置并置于汞燈燈室的第二焦點處，將四象限探測器置于第二位 置，四象限探測器探測出從汞燈燈室發(fā)出的、依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚 光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡后的光線的總功率，通過總功率值除以衰 減率得出焦點功率；通過不同形狀的遮攔片實現(xiàn)對四象限^:測器不同區(qū)域 的光線遮攔，測出不同區(qū)域的焦點光強分布；其中，所述第二位置為光線依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡后^:影到第四象限探測器后光線發(fā)生聚焦的位置。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的測試方法，其特征在于，所述第二位置為光線依 次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡、第二衰減片后 投影到第四象限探測器后光線發(fā)生聚焦的位置。
13. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的測試方法，其特征在于，在步驟(3)之后還包 括步驟(4)通過定位裝置，使測試裝置的小孔光闌置于汞燈燈室的第二 焦點處，將四象限纟笨測器置于第一位置，調(diào)整垂直于光軸的、與小孔光闌 平面距離為L的上刀片和下刀片，當四象限^:測器接收到^笨測到能量減少 時，停止調(diào)整上刀片和下刀片，進一步測出上刀片和下刀片之間的距離D， 根據(jù)公式計算得出數(shù)值孔徑參數(shù)；其中，所述第一位置為邊緣光線依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第 一衰減片、第二聚光鏡后投影到第四象限探測器后光線不發(fā)生交叉的位 置；
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的測試方法，其特征在于，所述第一位置為邊緣光 線依次經(jīng)過小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡、第二衰減 片后投影到第四象限探測器后邊緣光線不發(fā)生交叉的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種汞燈燈室的光學特性測試裝置及其測試方法，屬于光學測量領(lǐng)域。汞燈燈室的光學特性測試裝置包括外殼，依次順序置于外殼里面的小孔光闌、第一聚光鏡、第一衰減片、第二聚光鏡和四象限探測器，以及定位于外殼中的刀片和準直激光器。本發(fā)明所提供測試裝置與常規(guī)定位裝置的結(jié)合使用，可以實現(xiàn)對汞燈燈室焦距、焦點功率、焦點光強分布三個光學特性參數(shù)測試。
文檔編號G01M11/02GK101576436SQ20081020228
公開日2009年11月11日 申請日期2008年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月5日
發(fā)明者張品翔, 斌 胡, 玲 黃 申請人:上海微電子裝備有限公司