專(zhuān)利名稱(chēng)：制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及傳感器的制備， 一種制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具。
背景技術(shù)：
目前在硅電容差壓傳感器制備的測(cè)試中普遍采用一對(duì)容室?jiàn)A緊單只傳感器的方法。 這種傳統(tǒng)的夾具方式費(fèi)時(shí)、費(fèi)力，測(cè)試夾具占用空間大，并且手動(dòng)分別測(cè)試單只，各只傳 感器的夾緊程度很難控制一致，單只測(cè)試無(wú)整體比較和對(duì)照， 一定程度上影響測(cè)試結(jié)果。 面對(duì)現(xiàn)在國(guó)內(nèi)硅電容傳感器市場(chǎng)激烈的競(jìng)爭(zhēng)態(tài)勢(shì),單只裝配夾具的方法已遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足批 量測(cè)試的生產(chǎn)需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，可以一次性?shī)A緊7只 傳感器，同時(shí)加壓測(cè)試， 一致性好，省時(shí)省力，效率高。
制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部分，其 特征在于傳感器定位機(jī)構(gòu)將左容室、六個(gè)中間容室、右容室依次置于左、右支撐座之間， 七個(gè)V型支撐分別置于各容室之間，導(dǎo)桿穿過(guò)容室、V型支撐、左、右支撐座上的導(dǎo)桿 孔并固定；壓緊螺絲旋過(guò)右支撐座、套上壓緊座構(gòu)成夾緊機(jī)構(gòu)；各容室的導(dǎo)氣孔與底盤(pán)的 導(dǎo)氣孔方向一致，各容室的導(dǎo)氣孔通過(guò)管路與底盤(pán)的導(dǎo)氣槽連通形成導(dǎo)氣通道，各容室均 有O型密封圈。
本發(fā)明的設(shè)計(jì)解決了制備硅電容差壓傳感器批量生產(chǎn)中最后一關(guān)的瓶頸問(wèn)題，顯著提 高效率、減少各只的檢測(cè)誤差。從各個(gè)零件的設(shè)計(jì)都為實(shí)現(xiàn)這一目的提供了保證。例如 夾具的左、右支撐座的厚度、固定螺孔直徑以及加強(qiáng)筋的形狀位置設(shè)計(jì)，滿足了在受測(cè)試 壓力10-16Mpa時(shí)的零件形變不會(huì)影響整個(gè)夾具的密封性，設(shè)計(jì)壓緊螺絲的直徑也滿足了 耐壓10-16Mpa。同時(shí)安裝導(dǎo)氣管的管接頭、焊接頭都選擇要滿足夾具對(duì)密封性的要求。 所設(shè)計(jì)的六角螺母19及其安裝位置起到了壓緊螺絲防脫且加強(qiáng)自鎖的作用。壓緊螺絲與 壓緊座的紀(jì)合、壓緊座與右容室的配合設(shè)計(jì)以及壓緊螺絲手柄的六角結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使夾緊操 作過(guò)程更加省力，而且壓緊螺絲穿過(guò)右支撐座的位置設(shè)計(jì)使右容室不會(huì)產(chǎn)生軸向運(yùn)動(dòng)。選 擇不銹鋼軟管既沒(méi)有限制容室的移動(dòng)又保證了被測(cè)傳感器方便裝卸。左、右支撐座、容室 導(dǎo)桿孔的設(shè)計(jì)及V型支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，保證了所有被測(cè)傳感器同心，進(jìn)而達(dá)到了測(cè)試過(guò) 程中密封要求。整個(gè)導(dǎo)氣通道的設(shè)計(jì)使測(cè)試過(guò)程氣流量最小化。夾具的氣路機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)是為 一種差壓傳感器測(cè)試所用，這種導(dǎo)氣方式能滿足差壓傳感器的正、負(fù)腔同時(shí)和分別加壓的
3測(cè)試需求。夾具材料的選擇保證了耐壓、美觀的要求。


圖1是本專(zhuān)利的夾具結(jié)構(gòu)示意圖2是本夾具中的地腳座結(jié)構(gòu)與氣路連接示意圖
圖3是V型支撐座示意具體實(shí)施例方式
本發(fā)明制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部 分，見(jiàn)圖l:其特征在于傳感器定位機(jī)構(gòu):將左容室1、六個(gè)中間容室3、右容室2依次置 于左、右支撐座4、 5之間，七個(gè)V型支撐6分別置于各容室之間，各容室的導(dǎo)氣孔與底 盤(pán)的導(dǎo)氣孔H、 L方向一致，導(dǎo)桿ll穿過(guò)各容室、V型支撐6、左、右支撐座4、 5上的 導(dǎo)桿孔并用六角薄螺母21固定，七個(gè)插銷(xiāo)14分別固定V型支撐6、六角螺栓17將左、 右支撐座4、 5固定在底盤(pán)12上。夾緊機(jī)構(gòu)以左、右支撐座4、 5作為固定點(diǎn)，將壓緊螺 絲7旋過(guò)右支撐座5、套上壓緊座8，配以六角薄蠊母18、 19對(duì)被測(cè)傳感器實(shí)施夾緊。各 容室的導(dǎo)氣孔通過(guò)管路23與底盤(pán)的導(dǎo)氣槽連通形成導(dǎo)氣通道，各容室均有O型密封圈實(shí) 現(xiàn)密封。
氣路機(jī)構(gòu)包括管路導(dǎo)氣部分和容室導(dǎo)氣部分。管路導(dǎo)氣部分如圖l、 2所示，底 盤(pán)12上表面有12個(gè)導(dǎo)氣孔，6個(gè)正腔H， 6個(gè)負(fù)腔L，底盤(pán)12內(nèi)有高度不等的兩層導(dǎo)氣 槽24，槽內(nèi)也有相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)氣孔平行于槽水平面；上導(dǎo)氣槽與底盤(pán)12表面標(biāo)有"H"的 正腔導(dǎo)氣孔垂直相交，下導(dǎo)氣槽與標(biāo)有"L"的負(fù)腔導(dǎo)氣孔相交，用兩個(gè)分氣塊蓋13分 別將上導(dǎo)氣槽和下導(dǎo)氣槽蓋上，再將兩個(gè)分氣塊蓋13與底盤(pán)12焊接在一起并做表面處理， 即為"L"型直角短邊內(nèi)的導(dǎo)氣通道，導(dǎo)氣通道口用卡套接頭22連接通向各容室的不銹 鋼軟管23。容室導(dǎo)氣部分每個(gè)容室(左容室、6個(gè)中間容室、右容室)都設(shè)計(jì)有導(dǎo)氣通 道，然后和焊接頭15焊接成一體，如圖l所示，每個(gè)焊接頭15都與底盤(pán)12上的一個(gè)導(dǎo) 氣孔相對(duì)應(yīng)，它們之間用不銹鋼軟管23、卡套接頭22連接。圖l中對(duì)入氣和出氣孔進(jìn)行 了標(biāo)注。
密封機(jī)構(gòu)在左容室l、右容室2、中間容室3的溝槽里要安裝0型密封圈，以使安 裝被測(cè)傳感器進(jìn)行定位、夾緊以后，起到良好的密封作用，來(lái)保證傳感器的測(cè)試精度。 因?yàn)楸粶y(cè)傳感器為差壓傳感器，所以放置時(shí)要按照加壓方式參照?qǐng)D1所示"H"、 "L"
方向進(jìn)行擺放。
水平機(jī)構(gòu)整個(gè)測(cè)試過(guò)程要求底盤(pán)12相對(duì)水平，底盤(pán)12上表面兩端各有四個(gè)固定 支撐座的螺孔及一個(gè)水平調(diào)節(jié)孔，底盤(pán)的"L"型直角短邊內(nèi)為導(dǎo)氣通道，與供氣管相接，另一側(cè)由地腳座10垂直支撐，該部位的兩個(gè)角各設(shè)計(jì)了一個(gè)地腳座10、并用兩個(gè)水平螺 釘9旋入底盤(pán)12的水平調(diào)節(jié)孔、頂端有六角薄螺母20，通過(guò)調(diào)整水平嫘釘9的髙度來(lái)調(diào) 整測(cè)試底盤(pán)12的水平度。
定位機(jī)構(gòu)中的左支撐座4、右支撐座5如圖l所示，下部有兩個(gè)穿透壁厚的導(dǎo)桿孔、 與底座垂直相交的螺栓孔，外側(cè)有兩個(gè)加強(qiáng)筋，右支撐座5中部有壓緊螺孔，左、右支撐 座4、 5及壓緊蟝絲7均設(shè)計(jì)耐壓10-16Mpa。
上述V型支撐6的形狀如圖3所示用于支撐被測(cè)傳感器的相向斜面延長(zhǎng)線成卯° 角，相向斜面下的座壁上有對(duì)稱(chēng)的導(dǎo)桿孔，孔的軸向與兩斜面的底邊平行，兩斜面與V 型底座水平面垂直的兩個(gè)面的交線與底平面的髙為導(dǎo)桿直徑的2倍;底座一側(cè)延長(zhǎng)段有垂 直孔，與底盤(pán)12的七個(gè)插銷(xiāo)孔相應(yīng)配合。
權(quán)利要求
1、一種制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部分，其特征在于傳感器定位機(jī)構(gòu)將左容室(1)、六個(gè)中間容室(3)、右容室(2)依次置于左、右支撐座(4)、(5)之間，七個(gè)V型支撐(6)分別置于各容室之間，導(dǎo)桿(11)穿過(guò)容室、V型支撐(6)、左、右支撐座(4)、(5)中的導(dǎo)桿孔并固定；壓緊螺絲(7)旋過(guò)右支撐座(5)、套上壓緊座(8)夾緊；各容室的導(dǎo)氣孔與底盤(pán)的導(dǎo)氣孔方向一致，各容室的導(dǎo)氣孔與底盤(pán)的導(dǎo)氣孔方向一致，各容室的導(dǎo)氣孔通過(guò)管路與底盤(pán)的導(dǎo)氣槽連通形成導(dǎo)氣通道，各容室均有O型密封圈。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，其特征在于V型支 撐(6)的形狀用于支撐賦柳脾感器的相向斜面延長(zhǎng)線成卯。角，相向斜面下的座壁上 有對(duì)稱(chēng)的導(dǎo)桿孔，孔的軸向與兩斜面的底邊平行，兩斜面與V型底座水平面垂直的兩個(gè) 面的交線與底平面的高為導(dǎo)桿直徑的2倍；底座一側(cè)延長(zhǎng)段有垂直孔，與底盤(pán)(12)的七 個(gè)插銷(xiāo)孔相應(yīng)配合。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，其特征在于右支撐 座(5)中部有壓緊螺孔，左、右支撐座(4)、 (5)的一側(cè)均有加強(qiáng)筋，且有與底座垂直相交 的螺栓孔；各支撐座及各容室下部均有與V型支撐(6)相同的對(duì)稱(chēng)的導(dǎo)桿孔；左、右支撐 座設(shè)計(jì)耐壓10-16Mpa。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，其特征在于所述的 氣路機(jī)構(gòu)底盤(pán)(12)上表面有12個(gè)導(dǎo)氣孔，6個(gè)正腔H, 6個(gè)負(fù)腔L,底盤(pán)(12)內(nèi)有髙度 不等的兩層導(dǎo)氣槽(24),槽內(nèi)也有相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)氣孔平行于槽水平面底盤(pán)(12)內(nèi)有髙度 不等的兩層導(dǎo)氣通道，各通道中都有垂直于槽水平面的導(dǎo)氣孔，上導(dǎo)氣槽與標(biāo)有"H"的 正腔導(dǎo)氣孔垂直相交，下導(dǎo)氣槽與標(biāo)有"L"的負(fù)腔導(dǎo)氣孔垂直相交；用兩個(gè)分氣塊蓋(13) 分別將上導(dǎo)氣槽和下導(dǎo)氣槽蓋上，再將分氣塊蓋(13)與底盤(pán)(12)焊接在一起并做表面 處理；底盤(pán)(12)上表面兩端各有四個(gè)固定支撐座的螺孔、七個(gè)插銷(xiāo)孔及一個(gè)水平調(diào)節(jié)孔, 底盤(pán)(12)的"L"型直角短邊內(nèi)為導(dǎo)氣通道。
全文摘要
制備硅電容差壓傳感器用測(cè)試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部分，其特征在于傳感器定位機(jī)構(gòu)將左容室、六個(gè)中間容室、右容室依次置于左、右支撐座之間，七個(gè)V型支撐分別置于各容室之間，導(dǎo)桿穿過(guò)容室、V型支撐、左、右支撐座上的導(dǎo)桿孔并固定；壓緊螺絲旋過(guò)右支撐座、套上壓緊座構(gòu)成夾緊機(jī)構(gòu)；各容室的導(dǎo)氣孔與底盤(pán)的導(dǎo)氣孔方向一致，各容室的導(dǎo)氣孔通過(guò)管路與底盤(pán)的導(dǎo)氣槽連通形成導(dǎo)氣通道，各容室均有O型密封圈。本發(fā)明的測(cè)試夾具可以一次性?shī)A緊7只傳感器，同時(shí)加壓測(cè)試，省時(shí)省力，一致性好，效率高，檢測(cè)質(zhì)量有保證，能夠滿足批量生產(chǎn)的測(cè)試需要。
文檔編號(hào)G01L27/00GK101424577SQ20081022940
公開(kāi)日2009年5月6日 申請(qǐng)日期2008年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月9日
發(fā)明者沁 劉, 波 劉, 石 匡, 哲 張, 勃 王, 陳玉玲 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院