專利名稱：動鏡環(huán)形干涉儀的制作方法
動鏡環(huán)形干涉儀
技術領域：
本發(fā)明涉及一種動鏡干涉儀，尤其涉及一種動鏡環(huán)形干涉儀。
背景技術：
目前在光學干涉測量領域有許多經典的動鏡干涉儀如麥克耳遜干涉儀、馬赫曾德 干涉儀等得到廣泛的應用，動鏡干涉儀具有光程差可調，利于控制等優(yōu)點。但是由于麥克耳 遜干涉儀的動鏡對傾斜非常敏感，因此誤差要求極嚴，在制造和裝配中都會形成很大的困 難。因此如何解決動鏡對傾斜敏感已成為一個有待解決的技術問題。
發(fā)明內容
本發(fā)明涉及一種動鏡環(huán)形干涉儀，其解決了現有麥克耳遜干涉儀的動鏡對傾斜非
常敏感的技術問題。 本發(fā)明的技術解決方案是 —種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡1 ，分束鏡2，所述分束鏡2將從物方入射的光 線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線3和透射光線4，所述反射光線3反方向設有探測 器5，所述第一透鏡1設置于分束鏡2與探測器5之間，其特殊之處在于所述反射光線3光 路上設置有雙面反射鏡6，所述反射光線3入射雙面反射鏡6的一面；所述透射光線4經過 至少3個具有反射能力的光學器件構成的回路入射到雙面反射鏡6的另一面。
上述分束鏡2在從物方入射來的方向還設置有第二透鏡7。
上述雙面反射鏡6為移動式雙面反射鏡。 上述兩路光線中還包括光楔，有時光路準心偏差時可以用于調整光路準心。
上述具有反射能力的光學器件為反射鏡或棱鏡。
上述反射鏡或棱鏡為移動式反射鏡或棱鏡。 本發(fā)明的動鏡為雙面反射鏡，由于它兩面反射且反射面相互平行，因此具有對傾 斜誤差不敏感的優(yōu)點，具有更好的環(huán)境適應性，可用于更廣泛的干涉測量領域。
圖1為本發(fā)明結構示意圖。
具體實施方式
參見圖1 ， 一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡1 ，分束鏡2，所述分束鏡2將從物方 入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線3和透射光線4，所述反射光線3反方向 設有探測器5，所述第一透鏡1設置于分束鏡2與探測器5之間，反射光線3光路上設置有 雙面反射鏡6，所述反射光線3入射雙面反射鏡6的一面；所述透射光線4經過至少3個反 射鏡構成的回路入射到雙面反射鏡6的另一面，3個反射鏡包括第一反射鏡8、第二反射鏡 9以及第三反射鏡10，分束鏡2在從物方入射來的方向還設置有第二透鏡7，雙面反射鏡6
3為移動式雙面反射鏡，3個反射鏡也可為移動式反射鏡，反射鏡還可以由棱鏡替代。
光線路徑如圖1 :光線從物方入射經分束鏡2分束后形成兩路，第一路經分束鏡2 透射后，入射到第一反射鏡8，再第一反射鏡8依次經第二反射鏡9、第三反射鏡IO，最后到 達雙面反射鏡6的一面，經雙面反射鏡6反射后再依次經第三反射鏡10、第二反射鏡9及第 一反射鏡8入射到分束鏡2，經分束鏡2反射到達探測器5，第二路經分束鏡2反射入射到 雙面反射鏡6的另二面，再原路反射回來入射到分束鏡2，經分束鏡2透射到達探測器5。
權利要求
一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡(1)，分束鏡(2)，所述分束鏡(2)將從物方入射的光線分為兩路，所述兩路光線包括反射光線(3)和透射光線(4)，所述反射光線(3)反方向設有探測器(5)，所述第一透鏡(1)設置于分束鏡(2)與探測器(5)之間，其特征在于所述反射光線(3)光路上設置有雙面反射鏡(6)，所述反射光線(3)入射雙面反射鏡(6)的一面；所述透射光線(4)經過至少(3)個具有反射能力的光學器件構成的回路入射到雙面反射鏡(6)的另一面。
2. 根據權利要求1所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述分束鏡(2)在從物方入射來的方向還設置有第二透鏡(7)。
3. 根據權利要求1所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述雙面反射鏡(6)為移動式雙面反射鏡。
4. 根據權利要求1 3所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述兩路光線中還包括光楔，用于調整光路準心。
5. 根據權利要求4所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述具有反射能力的光學器件為反射鏡或棱鏡。
6. 根據權利要求5所述動鏡環(huán)形干涉儀，其特征在于所述反射鏡或棱鏡為移動式反射鏡或棱鏡。
全文摘要
本發(fā)明提供一種動鏡環(huán)形干涉儀，包括第一透鏡，分束鏡，分束鏡將從物方入射的光線分為兩路，兩路光線包括反射光線和透射光線，反射光線反方向設有探測器，第一透鏡設置于分束鏡與探測器之間，反射光線光路上設置有雙面反射鏡，反射光線入射雙面反射鏡的一面；透射光線經過至少個具有反射能力的光學器件構成的回路入射到雙面反射鏡的另一面。其解決了現有麥克耳遜干涉儀的動鏡對傾斜非常敏感的技術問題。具有對傾斜誤差不敏感的優(yōu)點。
文檔編號G01B9/02GK101718519SQ200810231670
公開日2010年6月2日 申請日期2008年10月9日 優(yōu)先權日2008年10月9日
發(fā)明者陳立武 申請人:中國科學院西安光學精密機械研究所