專利名稱：新型壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及-- -種新型壓力傳感器裝置。
技術(shù)背景在壓力傳感器領(lǐng)域中，作為現(xiàn)有產(chǎn)品的傳感器都使用不銹鋼隔 膜，并在隔膜與壓力芯片之間充裝壓力油來實現(xiàn)被測介質(zhì)的壓力傳遞和檢測。 現(xiàn)有產(chǎn)品的主要缺點是第一、此種隔膜封裝工藝復(fù)雜，焊接設(shè)備非常昂貴， 所以制造成本很高，制約了其市場化的進(jìn)程。第二、壓力油具有較高的膨脹系 數(shù)，在環(huán)境溫度發(fā)生變化時，因熱脹冷縮導(dǎo)致壓力信號的變化，影響壓力測量 的準(zhǔn)確度。第三、密封不好時易出現(xiàn)滲油、漏油問題，損壞整個壓力傳感器
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供-1巾新型壓力傳 感器，用于克服上述已有同類產(chǎn)品的缺陷，這種工藝封裝簡單，使用的設(shè)備簡 易，容易操作，壓力芯片與隔膜之間不用充油，壓力檢測準(zhǔn)確。
本實用新型的技術(shù)方案如下
一種新型壓力傳感器，包括一側(cè)連接有壓力芯片的基板，還包括用于套裝 基板和壓力芯片的外殼，該外殼帶有被測介質(zhì)入口，其特征在丁^在壓力芯片 周圍封裝有彈性膠。
在被測介質(zhì)入口與彈性膠之間安裝有橡膠隔膜。
在壓力芯片周圍還安裝有墊板，彈性膠封裝于壓力芯片、墊板和橡膠隔膜 之間的腔體中。
本實用新型具有以下特點(1)、橡膠隔膜成本低;(2)、封裝工藝簡單；(3)、 被測介質(zhì)的壓力傳遞依靠帶有彈性的橡膠隔膜和彈性膠實現(xiàn)，受使用環(huán)境溫度
變化影響小，壓力傳遞信號準(zhǔn)確，壓力傳遞誤差小。且不會出現(xiàn)滲漏問題。(4)、
橡膠隔膜具有耐酸、耐堿、耐水、耐油、耐腐蝕、耐溫度變化(-40。C — +400 °C )的突出優(yōu)點。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例進(jìn) 一步說明木實川新型。 如圖1所示，本裝置包括傳感器的基板2，該基板2的--側(cè)帶有信號引線
和壓緊塊9，另一側(cè)連接有壓力芯片7和墊板3，還包括用于套裝基板2、壓力 芯片7、墊板3的外殼8，該外殼8帶有被測介質(zhì)入口 5。在壓力芯片7周圍封 裝有彈性膠6，在被測介質(zhì)入口 5與彈性膠6之間安裝有橡膠隔膜4。
用橡膠硫化機(jī)，把橡膠硫化成很薄的橡膠片作為橡膠隔膜4，把橡膠隔膜4 放在壓力芯片7周圍的彈性膠6上，這樣被測介質(zhì)就不會破壞壓力芯片7，保護(hù) 了壓力芯片7。由于橡膠隔膜4很薄，所以不影響壓力信號傳遞，這樣同時解決 了傳感器與介質(zhì)隔離，以及和ili力信號傳遞的雙重冃的。
權(quán)利要求1、一種新型壓力傳感器，包括一側(cè)連接有壓力芯片(7)的基板(2)，還包括用于套裝基板(2)和壓力芯片(7)的外殼(8)，該外殼(8)帶有被測介質(zhì)入口(5)，其特征在于在壓力芯片(7)周圍封裝有彈性膠(6)。
2、 如權(quán)利要求1所述的新型壓力傳感器，其特征在于在被測介質(zhì)入口 (5) 與彈性膠(6)之間安裝有橡膠隔膜(4)。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的新型壓力傳感器，其特征在于在壓力芯片(7) 周圍還安裝有墊板(3)，彈性膠(6)封裝于壓力芯片(7)、墊板(3)和橡膠 隔膜(4)之間的腔體中。
專利摘要本實用新型是一種新型壓力傳感器，包括一側(cè)連接有壓力芯片(7)的基板(2)，還包括用于套裝基板(2)和壓力芯片(7)的外殼(8)，該外殼(8)帶有被測介質(zhì)入口(5)，在壓力芯片(7)周圍封裝有彈性膠(6)。被測介質(zhì)的壓力傳遞依靠帶有彈性的橡膠隔膜和彈性膠實現(xiàn)，受使用環(huán)境溫度變化影響小，壓力傳遞信號準(zhǔn)確，壓力傳遞誤差小。且不會出現(xiàn)滲漏問題。
文檔編號G01L19/00GK201210098SQ20082002417
公開日2009年3月18日 申請日期2008年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月10日
發(fā)明者任中慧, 利 翟 申請人:周建紅