專利名稱：晶圓全自動(dòng)傳輸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于在半導(dǎo)體晶圓測試中傳送工件裝置，尤其是一 種晶圓全自動(dòng)傳輸裝置。
背景技術(shù)：
未來IC測試設(shè)備制造商面臨的最大挑戰(zhàn)是如何降低測試成本。
提高測試速度和測試智能化是減低成本的必要途徑。目前普遍采用的測 試機(jī)與測試方法是手動(dòng)測試或半自動(dòng)測試。手動(dòng)測試為人工放置每一個(gè)晶圓， 用光學(xué)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)每個(gè)管芯后手動(dòng)測試。半自動(dòng)測試為人工把晶圓放置在測 試臺(tái)上，再通過光學(xué)顯微鏡掃描，手動(dòng)調(diào)整晶圓角度，第一個(gè)管芯位置等。 調(diào)整好后依次測試晶圓上的每個(gè)管芯。測試完每個(gè)晶圓后人工把晶圓放回片 盒內(nèi)，再取下一個(gè)晶圓重復(fù)上述過程。這樣人工操作大大增加了晶圓測試時(shí) 間，增加了測試的成本。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種自動(dòng)化程度 高、取片與放片無需人工操作、降低測試成本的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置。
按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，在旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置的轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上設(shè)有 支架，在支架上橫向架設(shè)若干根滑軌，在滑軌上滑動(dòng)連接取片鉗，在取片鉗 下方設(shè)有升降板及其升降驅(qū)動(dòng)裝置，升降板和固定設(shè)置的導(dǎo)桿滑動(dòng)連接，在 升降板上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測轉(zhuǎn)軸，檢測轉(zhuǎn)軸的頂端部設(shè)有吸盤裝置，檢測轉(zhuǎn)軸 與其轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置相連。
吸盤裝置上表面設(shè)有若干負(fù)壓氣槽，在負(fù)壓氣槽內(nèi)設(shè)有與負(fù)壓氣槽連通 的負(fù)壓氣孔，在旋轉(zhuǎn)軸底端部設(shè)有負(fù)壓氣管接頭，所述的負(fù)壓氣管接頭與負(fù) 壓氣孔連通。所述負(fù)壓氣槽為吸盤裝置上表面開設(shè)的同心圓槽體。取片鉗在 滑軌設(shè)有若干個(gè)，它們呈層疊狀設(shè)置在同一豎直平面內(nèi)。
取片鉗的下端固定設(shè)有與滑軌滑動(dòng)連接的滑塊，在滑塊的側(cè)邊設(shè)有伸出 的夾片，所述的夾片裝夾在驅(qū)動(dòng)帶上，在取片鉗后端部設(shè)有負(fù)壓接頭，在取 片鉗的鉗體部位開設(shè)有與負(fù)壓接頭連通的負(fù)壓孔。升降板的升降驅(qū)動(dòng)裝置為 設(shè)置在轉(zhuǎn)盤與支架之間的絲桿，在絲桿的兩側(cè)各設(shè)一根導(dǎo)桿。
本實(shí)用新型自動(dòng)化程度高，取片與放片無需人工操作，降低測試成本。

圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖2是本實(shí)用新型中的取片鉗的主視圖。 圖3是本實(shí)用新型中的取片鉗的后視圖。 圖4是本實(shí)用新型中的轉(zhuǎn)盤、檢測轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。 如圖所示在旋轉(zhuǎn)軸1上設(shè)置的轉(zhuǎn)盤2，轉(zhuǎn)盤2上設(shè)有支架3，在支架3 上橫向架設(shè)若干根滑軌4，在滑軌4上滑動(dòng)連接取片鉗5，在取片鉗5下方設(shè) 有升降板6及其升降驅(qū)動(dòng)裝置，升降板6和固定設(shè)置的導(dǎo)桿7滑動(dòng)連接，在 升降板6上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測轉(zhuǎn)軸8，檢測轉(zhuǎn)軸8的頂端部設(shè)有吸盤裝置9，檢 測轉(zhuǎn)軸8與其轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置相連。
吸盤裝置9上表面設(shè)有若干負(fù)壓氣槽10，在負(fù)壓氣槽10內(nèi)設(shè)有與負(fù)壓 氣槽IO連通的負(fù)壓氣孔11，在旋轉(zhuǎn)軸1底端部設(shè)有負(fù)壓氣管接頭12，所述 的負(fù)壓氣管接頭12與負(fù)壓氣孔11連通。所述負(fù)壓氣槽10為吸盤裝置9上表 面開設(shè)的同心圓槽體。取片鉗5在滑軌4設(shè)有若干個(gè)，它們呈層疊狀設(shè)置在 同一豎直平面內(nèi)。
取片鉗5的下端固定設(shè)有與滑軌4滑動(dòng)連接的滑塊13，在滑塊13的側(cè) 邊設(shè)有伸出的夾片14，所述的夾片14裝夾在驅(qū)動(dòng)帶15上，在取片鉗5后端 部設(shè)有負(fù)壓接頭16，在取片鉗5的鉗體部位開設(shè)有與負(fù)壓接頭16連通的負(fù) 壓孔17。升降板6的升降驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置在轉(zhuǎn)盤2與支架3之間的絲桿18， 在絲桿18的兩側(cè)各設(shè)一根導(dǎo)桿7。
參見圖1所示，取片鉗5通過滑塊13和滑軌4滑動(dòng)連接，滑塊13通過 其側(cè)面設(shè)置的夾片14裝夾在驅(qū)動(dòng)帶15上，驅(qū)動(dòng)帶15驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連。取片鉗 5通過其后端的負(fù)壓接頭16以及在取片鉗5的鉗體部位開設(shè)的負(fù)壓孔17把 晶圓從片盒取下后吸附在取片鉗5上，從片盒取下晶圓回到預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置位置， 預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置由檢測轉(zhuǎn)軸8和驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連，檢測轉(zhuǎn)軸8固定在升降板6上， 升降板6和導(dǎo)桿7通過滑塊滑動(dòng)連接，升降板6設(shè)有絲杠18及其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。 當(dāng)晶圓在預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置位置時(shí)，絲杠18及其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降板6、檢測轉(zhuǎn)軸 8上升結(jié)合真空控制裝置使晶圓吸附在檢測轉(zhuǎn)軸8上脫離取片鉗5，結(jié)合光學(xué) 識(shí)別定位系統(tǒng)由檢測轉(zhuǎn)軸8帶動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn)再結(jié)合取片伸縮裝置1使晶圓和取
片鉗5達(dá)到指定的位置，然后絲杠18及其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降板6、檢測轉(zhuǎn)軸 8下降結(jié)合真空控制裝置使晶圓脫離預(yù)對(duì)準(zhǔn)檢測轉(zhuǎn)軸8使晶圓吸附到取片鉗5 上。取片伸縮裝置1和預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置分別固定在轉(zhuǎn)盤2上，轉(zhuǎn)盤2通過旋轉(zhuǎn)軸 l和驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，轉(zhuǎn)盤2帶動(dòng)取片伸縮裝置、預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置由取片平臺(tái)位置 水平旋轉(zhuǎn)到檢測平臺(tái)。再由伸縮臂6帶動(dòng)取片臂4結(jié)合真空控制裝置把晶圓 放到測試平臺(tái)上。
取片完成后，取片鉗5恢復(fù)到原位由轉(zhuǎn)盤2旋轉(zhuǎn)回到片盒位置重復(fù)剛才 的取片過程。當(dāng)晶圓檢測完畢后由取片鉗5結(jié)合真空控制裝置，從檢測平臺(tái) 上把晶圓取走，同時(shí)取片鉗5已經(jīng)取好片結(jié)合真空控制裝置把取好的晶圓放 到檢測平臺(tái)上。取片鉗5回到片盒位置通過預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置結(jié)合光學(xué)識(shí)別定位系 統(tǒng)重復(fù)預(yù)對(duì)準(zhǔn)過程使晶圓和取片鉗5達(dá)到指定位置。預(yù)對(duì)準(zhǔn)完成，由取片鉗 5結(jié)合真空控制裝置把晶圓放回片盒原處，同時(shí)取片鉗5取下片盒的另一片 晶圓重復(fù)剛才的過程，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓的全自動(dòng)的取片和放片的傳輸過程。在 取片和放片的過程中需要結(jié)合真空控制裝置對(duì)晶圓吸附還是放開。
權(quán)利要求1.一種晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，包括設(shè)置在旋轉(zhuǎn)軸(1)上的轉(zhuǎn)盤(2)，轉(zhuǎn)盤(2)上設(shè)有支架(3)，其特征是在支架(3)上橫向架設(shè)若干根滑軌(4)，在滑軌(4)上滑動(dòng)連接取片鉗(5)，在取片鉗(5)下方設(shè)有升降板(6)及其升降驅(qū)動(dòng)裝置，升降板(6)和固定設(shè)置的導(dǎo)桿(7)滑動(dòng)連接，在升降板(6)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測轉(zhuǎn)軸(8)，檢測轉(zhuǎn)軸(8)的頂端部設(shè)有吸盤裝置(9)，檢測轉(zhuǎn)軸(8)與其轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置相連。
2、 如權(quán)利要求l所述的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，其特征是吸盤裝置(9) 上表面設(shè)有若干負(fù)壓氣槽(10)，在負(fù)壓氣槽(10)內(nèi)設(shè)有與負(fù)壓氣槽(10) 連通的負(fù)壓氣孔(11)，在旋轉(zhuǎn)軸(1)底端部設(shè)有負(fù)壓氣管接頭(12)，所述 的負(fù)壓氣管接頭(12)與負(fù)壓氣孔(11)連通。
3、 如權(quán)利要求2所述的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，其特征是所述負(fù)壓氣槽 (10)為吸盤裝置(9)上表面開設(shè)的同心圓槽體。
4、 如權(quán)利要求1所述的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，其特征是取片鉗(5) 在滑軌(4)設(shè)有若干個(gè)，它們呈層疊狀設(shè)置在同一豎直平面內(nèi)。
5、 如權(quán)利要求4所述的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，其特征是取片鉗(5) 的下端固定設(shè)有與滑軌(4)滑動(dòng)連接的滑塊(13)，在滑塊(13)的側(cè)邊設(shè) 有伸出的夾片(14)，所述的夾片(14)裝夾在驅(qū)動(dòng)帶(15)上，在取片鉗(5) 后端部設(shè)有負(fù)壓接頭(16)，在取片鉗(5)的鉗體部位開設(shè)有與負(fù)壓接頭(16) 連通的負(fù)壓孔(17)。
6、 如權(quán)利要求l所述的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，其特征是升降板(6) 的升降驅(qū)動(dòng)裝置為設(shè)置在轉(zhuǎn)盤(2)與支架(3)之間的絲桿(18)，在絲桿(18) 的兩側(cè)各設(shè)一根導(dǎo)桿(7)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于在半導(dǎo)體晶圓測試中的晶圓全自動(dòng)傳輸裝置，按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，在旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置的轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上設(shè)有支架，在支架上橫向架設(shè)若干根滑軌，在滑軌上滑動(dòng)連接取片鉗，在取片鉗下方設(shè)有升降板及其升降驅(qū)動(dòng)裝置，升降板和固定設(shè)置的導(dǎo)桿滑動(dòng)連接，在升降板上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測轉(zhuǎn)軸，檢測轉(zhuǎn)軸的頂端部設(shè)有吸盤裝置，檢測轉(zhuǎn)軸與其轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置相連。本實(shí)用新型自動(dòng)化程度高，取片與放片無需人工操作，降低測試成本。
文檔編號(hào)G01R31/28GK201195639SQ20082003516
公開日2009年2月18日 申請日期2008年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月14日
發(fā)明者孫盤泉, 戴京東, 李玉良, 董曉清, 陳仲宇 申請人:無錫市易控系統(tǒng)工程有限公司