專利名稱：復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，特別是指一種復(fù) 合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。
背景技術(shù)：
AOI (automatics optical inspection, 自動(dòng)光學(xué)檢澳!l設(shè)備) 之主要操作原理是主要藉由電腦程序驅(qū)動(dòng)下，透過攝像鏡頭對(duì)檢 測(cè)物進(jìn)行自動(dòng)掃描，采集圖像，并將圖像與資料庫中的合格參數(shù) 進(jìn)行比較分析，經(jīng)過圖樣處理后，檢測(cè)出檢測(cè)物上的缺陷，并透 過顯示器或自動(dòng)標(biāo)志把缺陷顯示/標(biāo)示出來，以供維修人員進(jìn)行修 整，因此AOI除了能檢測(cè)出目檢無法査出的缺陷外，還能把生產(chǎn) 過程中所出現(xiàn)的缺陷類型加以收集，產(chǎn)生統(tǒng)計(jì)資料，以供制程控 制人員分析和管理。
綜上所述，AOI相較于傳統(tǒng)檢測(cè)方式，具有精密度高，沒有 人工目測(cè)受到組件微小化的限制，再者檢測(cè)速度快，能夠有效節(jié) 省人工成本，與具有資料儲(chǔ)存功能，可供后讀分析管理。因此AOI 設(shè)備已普遍應(yīng)用于各種產(chǎn)業(yè)的檢測(cè)作業(yè)上，尤其是在半導(dǎo)體(IC)、 平面顯示器(FDP)、印刷電路板(PCB)、印刷電路板組裝(PCBA) 等領(lǐng)域中。
而就薄膜電晶體液晶顯示器而言，AOI設(shè)備的檢測(cè)幾乎應(yīng)用 于所有制程步驟中，舉例來說在TFT圖形陣列版、彩色濾光片、 LCD面板組裝、LCD模組組裝等制程中需要AOI設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)，而 已完成的TFT圖形陣列版與彩色濾光片在運(yùn)送至LCD面板組裝站 點(diǎn)前、偏光板運(yùn)送至LCD面板組裝站點(diǎn)前、LCD面板組裝后進(jìn)行 LCD模組組裝前，以及LCD模組組裝后也皆需要利用AOI進(jìn)行檢測(cè)。 在液晶顯示器基板所需進(jìn)行的AOI檢測(cè)，包含有如第1A圖 所示之利用掃描式攝像鏡頭IO對(duì)液晶顯示基板12進(jìn)行污染粒子
4檢測(cè)(particle inspection);第IB圖所示之利用顯微鏡頭14 對(duì)液晶顯示基板12進(jìn)行缺陷圖面拍攝；與如第1C圖所示之利用 量測(cè)鏡頭16對(duì)于液晶顯示基板12進(jìn)行配向膜(PI)膜厚量測(cè)。
但是上述AOI設(shè)備皆為獨(dú)立機(jī)臺(tái)設(shè)備，因此造成無塵室的使 用與配置受到限制，再者，為配置這三套AOI設(shè)備與設(shè)備所需的 載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，將占據(jù)無塵室相當(dāng)大的空間，而 相對(duì)的運(yùn)送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運(yùn)車(AGV)或有軌式搬運(yùn)車 (RGV)的動(dòng)線也受到限制。
有鑒于此，本實(shí)用新型遂針對(duì)上述習(xí)知技術(shù)之缺失，提出一 種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，以有效克服上述之該等問題。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于解決上述缺陷，而提供一種復(fù)合式自 動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其同時(shí)具有液晶顯示器面板污染粒子檢測(cè)、缺 陷圖面拍攝與配向膜膜厚量測(cè)的功能。
本實(shí)用新型的另一目的在提供一種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè) 備，其僅需配置一個(gè)載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，即可具有液 晶顯示器面板污染粒子檢測(cè)、缺陷圖面拍攝與配向膜膜厚量測(cè)的 功用，能夠大幅度縮小自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在無塵室的空間占用率， 進(jìn)而使得無塵室的空間應(yīng)用能更靈活。
本實(shí)用新型的再一目的在提供一種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè) 備，其能使運(yùn)送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運(yùn)車(AGV)或有軌式搬運(yùn) 車(RGV)動(dòng)線的配置更具彈性。
為實(shí)現(xiàn)上述目的
一種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其包含有 載入?yún)^(qū)域，其是用以載入一待測(cè)物； 卸載區(qū)域，其是用卸載該待測(cè)物；
掃描式攝像鏡頭、 一顯微鏡頭與一配向膜膜厚量測(cè)鏡頭，其 是裝設(shè)于該載入?yún)^(qū)域與該卸載區(qū)域之間，該掃描式攝像鏡頭是用以對(duì)該待測(cè)物進(jìn)行污染粒子檢測(cè)，該顯微鏡頭是用以對(duì)該特測(cè)物 之表面缺陷進(jìn)行缺陷圖面拍攝，該配向膜膜厚量測(cè)鏡頭是用以對(duì) 該待測(cè)物進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)；
主要程序主機(jī)，其是用儲(chǔ)存該掃描式攝像鏡頭、該顯微鏡頭 與該配向膜膜厚量測(cè)鏡頭所量測(cè)到之資料并趨動(dòng)該掃描式攝像鏡 頭、該顯微鏡頭與該配向膜膜厚量測(cè)鏡頭。
其中該待測(cè)物是利用一輸送帶搬送該待測(cè)物至該復(fù)合式自動(dòng) 光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)進(jìn)行相關(guān)檢測(cè)。
其中該掃描式攝像鏡頭是使用一掃描式電荷偶合組件。 其中該主要程序主機(jī)包含有一顯示裝置。
其中該待測(cè)物承載至該載入?yún)^(qū)域是利用一磁性導(dǎo)引無人搬運(yùn) 車或有軌式搬運(yùn)車進(jìn)行搬運(yùn)。
其中該待測(cè)物是液晶顯示器基板。
其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一靠位機(jī)器，以 將待測(cè)物整列定位于該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)。
其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一錄像機(jī)，以讀 取該待測(cè)物的識(shí)別碼。
其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一真空裝置，以 吸附該待測(cè)物并使用空氣漂浮，使該待測(cè)物呈均勻水平。
其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一自動(dòng)滾輸，以 運(yùn)送該待測(cè)物。
本實(shí)用新型的有益效果 為達(dá)上述之目的，本實(shí)用新型提供一種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè) 備，其包含有一用以載入一待測(cè)物的載入?yún)^(qū)域； 一是用卸載待測(cè) 物的卸載區(qū)域； 一掃描式攝像鏡頭、一顯微鏡頭與一配向膜(PI) 膜厚量測(cè)鏡頭，其是裝設(shè)于載入?yún)^(qū)域與卸載區(qū)域之間，掃描式攝 像鏡頭是用以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行污染粒子檢測(cè)，顯微鏡頭是用以對(duì)特 測(cè)物之表面缺陷進(jìn)行缺陷圖面拍攝；配向膜(PI)膜厚量測(cè)鏡頭是用以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)；以及一主要程序主機(jī)，其 是用儲(chǔ)存該掃描式攝像鏡頭、顯微鏡頭與配向膜(PI)膜厚量測(cè) 鏡頭所量測(cè)到之資料并趨動(dòng)掃描式攝像鏡頭、顯微鏡頭與配向膜 (PI)膜厚量測(cè)鏡頭。


圖1A是為利用掃描式攝像鏡頭進(jìn)行液晶顯示器基板之污染粒 子檢測(cè)的示意圖1B是為利用顯微鏡頭進(jìn)行液晶顯示器基板缺陷圖面拍攝的 示意圖1C是為以量測(cè)鏡頭進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)的示意圖； 圖2a是為本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備之一架構(gòu)示 意圖2b是為本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備之另一架構(gòu) 示意圖3 5是為利用本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行 污染粒子檢測(cè)、缺陷圖面拍攝與進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)的示意圖6為本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的機(jī)臺(tái)立體示 意圖7為本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的機(jī)臺(tái)側(cè)視圖； 圖8是為本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備機(jī)臺(tái)的人員 操作示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1至8所示
本實(shí)用新型的發(fā)明目的所在乃針對(duì)在液晶顯示器基板進(jìn)行的 污染粒子檢測(cè)(particle inspection)、缺陷圖面拍攝與配向膜 (PI)膜厚量測(cè)之自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備整合形成一嶄新的復(fù)合式自 動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。
藉由本實(shí)用新型之整合型復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的設(shè)置，僅 需一個(gè)載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，因此相對(duì)的能夠大幅度縮小自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在無塵室的占用率，進(jìn)而使得無塵室的空間能更有有效地應(yīng)用，不再受限于運(yùn)送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運(yùn)車(AGV)或有軌式搬運(yùn)車(RGV)動(dòng)線的配置限制。此外，利用本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的設(shè)置可將原先分作為多個(gè)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的機(jī)臺(tái)中的相同組件部分共享，因而能有效的減少工廠配置在檢測(cè)儀器上的成本花費(fèi)。
接讀，下列說明是針對(duì)上述本實(shí)用新型之精神所提出之具體實(shí)施例說明，但須陳明的是下列說明僅是為使熟悉該項(xiàng)技術(shù)更清楚、明白本實(shí)用新型，而并不能以此具體實(shí)施例來作為本實(shí)用新型之權(quán)利范圍的局限。
首先，請(qǐng)一并參閱第2a圖，其是本實(shí)用新型之一架構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備20包含有一檢測(cè)污染粒子的掃描式攝像鏡頭22，其是使用掃描式電荷偶合組件(scan CCD);一顯微鏡頭24,其是用以對(duì)缺陷面進(jìn)行拍攝；以及一配向膜膜厚量測(cè)鏡頭26，其是使用量測(cè)式電荷偶合組件(measured CCD)來對(duì)配阮膜進(jìn)行膜厚量測(cè)；然而在其它較佳實(shí)施例中，復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備20亦包含一資訊讀取裝置(Vericode Reader,VCR) 27，以識(shí)別送入之液晶顯示器基板，如圖2b所示。 一主要程序主機(jī)28，其包含有一瑩幕30，主要程序主機(jī)28是將檢測(cè)污染粒子的掃描式攝像鏡頭22所檢測(cè)到的缺點(diǎn)座標(biāo)位置儲(chǔ)存在主要程序主機(jī)28內(nèi)并顯示出液晶顯示器基板的缺陷數(shù)量，以供后讀進(jìn)行缺陷圖片拍攝時(shí)，利用點(diǎn)選主要程序主機(jī)28之瑩幕30上所顯示之缺陷位置，透過主要程序主機(jī)28趨動(dòng)顯微鏡頭24自動(dòng)移往缺陷位置并自動(dòng)對(duì)焦顯示缺陷圖片，或者手動(dòng)選擇不同倍率的顯微鏡頭24作不同倍率的缺陷圖片拍攝并儲(chǔ)存，再者，主要程序主機(jī)28也控制將經(jīng)過配向膜油墨印刷后的液晶顯示器基板搬送至量測(cè)區(qū)域，由主要程序主機(jī)28來控制配向膜膜厚量測(cè)鏡頭26進(jìn)行膜厚量測(cè)并且進(jìn)行比較分析并記錄。
藉由這樣的設(shè)置將可以達(dá)成在單一機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)達(dá)到兼具污染粒子檢測(cè)、表面缺陷分析與PI膜厚量測(cè)。
再者，復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一自動(dòng)滾輸(freeroller),以運(yùn)送基板。接讀，請(qǐng)參閱第3 5圖，其是利用本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行液晶顯示器基板污染粒子檢測(cè)、表面缺陷檢測(cè)或進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)的示意圖。當(dāng)輸送帶(conveyor)(圖中未示)搬送液晶顯示器基板32進(jìn)入本發(fā)明之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備之檢測(cè)區(qū)域時(shí)，靠位機(jī)器(圖中未示)自動(dòng)會(huì)整列液晶顯示器基板32至定位，并由資訊讀取裝置讀取基板的識(shí)別碼(ID)。讀取完畢后，基板兩側(cè)的真空裝置(圖中未示)吸附液晶顯示器基板32，于液晶顯示器基板32下方使用空氣漂浮(air floating)使液晶顯示器基板32呈均勻水平并搭配移載組移動(dòng)于掃描式攝像鏡頭22檢視范圍內(nèi)作基板32檢測(cè)，并將檢測(cè)后的缺陷座標(biāo)作儲(chǔ)存于主要程序主機(jī)28及并于瑩幕30上顯示受檢測(cè)基板的污染粒子或缺陷數(shù)量。
檢測(cè)完畢后，點(diǎn)選瑩幕30所顯示的缺陷位置示意圖，顯微鏡頭24會(huì)移往缺陷位置并自動(dòng)對(duì)焦顯示缺陷圖片，也可以手動(dòng)選擇不同倍率的顯微鏡頭24作缺陷圖片的拍攝儲(chǔ)存。
經(jīng)配向膜油墨印刷后的基板32使用移載組搬送至配向膜量測(cè)區(qū)域，于主要程序主機(jī)28趨動(dòng)配向膜量測(cè)鏡頭26執(zhí)行配向膜膜厚量測(cè)功能，膜厚量測(cè)軟體會(huì)依recipe編輯的座標(biāo)位置移動(dòng)至液晶顯示器基板32上適當(dāng)位置，以使配向膜膜厚量測(cè)鏡頭26進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)。
請(qǐng)?jiān)賲㈤喌?圖與第7圖，其為分別本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的機(jī)臺(tái)立體示意圖與側(cè)視圖。由圖中可視，本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備20只需一個(gè)載入(LD)區(qū)域34/卸載(ULD)區(qū)域36，即可進(jìn)行液晶顯示器面板之污染粒子檢測(cè)、缺陷圖面拍攝與配向膜膜厚的量測(cè)，因此，能夠大幅度縮小自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在無塵室的空間占用率，進(jìn)而使得無塵室的空間能更有效地靈活應(yīng)用。而人員的操作位置38則設(shè)定于本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備20之兩側(cè)，如第8圖所示。
綜上所述，本實(shí)用新型是基于提升作業(yè)人員對(duì)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備操作的便利性、簡(jiǎn)易性及提升自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的使用性與無塵室空間的規(guī)劃，而將污染粒子檢査、缺陷圖面拍攝與配向膜膜厚量測(cè)之設(shè)備機(jī)臺(tái)結(jié)合在一起，產(chǎn)生一嶄新復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，此嶄新復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備包含有一用于檢測(cè)污染粒子用的掃描式攝像鏡頭、 一缺陷拍攝的顯微鏡頭、 一用以量測(cè)配向膜膜厚的攝像鏡頭、一主要程序主機(jī)以及一用'以載入或卸載LCD面板的載入/卸載區(qū)域。
本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備將液晶顯示器面板之配向膜膜厚量測(cè)檢測(cè)、污染粒子檢測(cè)與表面缺陷圖面拍攝設(shè)備結(jié)合在一機(jī)臺(tái)，藉此大幅度縮小自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在無塵室的空間占用率，進(jìn)而使得無塵室的空間能更有有效地應(yīng)用，使運(yùn)送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運(yùn)車(AGV)或有軌式搬運(yùn)車(RGV)動(dòng)線的配置更具彈性。
此外共享一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備后能將液晶顯示器面板之配向膜膜厚量測(cè)、污染粒子檢測(cè)與缺陷圖面拍攝機(jī)臺(tái)中相同組件的部分省略，能有效的減少工廠配置在檢測(cè)儀器上的成本花費(fèi)。
唯以上所述者，僅為本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本實(shí)用新型實(shí)施之范圍。故即凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)范圍所述之特征及精神所為之均等變化或修飾，均應(yīng)包括于本實(shí)用新型之申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。
10
權(quán)利要求1，一種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其包含有載入?yún)^(qū)域，其是用以載入一待測(cè)物；卸載區(qū)域，其是用卸載該待測(cè)物；掃描式攝像鏡頭、一顯微鏡頭與一配向膜膜厚量測(cè)鏡頭，其是裝設(shè)于該載入?yún)^(qū)域與該卸載區(qū)域之間，該掃描式攝像鏡頭是用以對(duì)該待測(cè)物進(jìn)行污染粒子檢測(cè)，該顯微鏡頭是用以對(duì)該特測(cè)物之表面缺陷進(jìn)行缺陷圖面拍攝，該配向膜膜厚量測(cè)鏡頭是用以對(duì)該待測(cè)物進(jìn)行配向膜膜厚量測(cè)；主要程序主機(jī)，其是用儲(chǔ)存該掃描式攝像鏡頭、該顯微鏡頭與該配向膜膜厚量測(cè)鏡頭所量測(cè)到之資料并趨動(dòng)該掃描式攝像鏡頭、該顯微鏡頭與該配向膜膜厚量測(cè)鏡頭。
2，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該待測(cè)物是利用一輸送帶搬送該待測(cè)物至該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué) 檢測(cè)設(shè)備內(nèi)進(jìn)行相關(guān)檢測(cè)。
3，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該掃描式攝像鏡頭是使用一掃描式電荷偶合組件。
4，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該主要程序主機(jī)包含有一顯示裝置。
5，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該待測(cè)物承載至該載入?yún)^(qū)域是利用一磁性導(dǎo)引無人搬運(yùn)車或 有軌式搬運(yùn)車進(jìn)行搬運(yùn)。
6，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該待測(cè)物是液晶顯示器基板。
7，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一靠位機(jī)器，以將待測(cè)物整列定位于該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)。
8，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一錄像機(jī)，以讀取該 待測(cè)物的識(shí)別碼。
9,根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征是， 其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一真空裝置，以吸附 該待測(cè)物并使用空氣漂浮，使該待測(cè)物呈均勻水平。
10，根據(jù)權(quán)利要求1所述復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征 是，其中該復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備內(nèi)更包含有一自動(dòng)滾輸，以 運(yùn)送該待測(cè)物。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其包含有一檢測(cè)污染粒子的掃描式攝像鏡頭；一缺陷面拍攝的顯微鏡頭；一配向膜膜厚量測(cè)鏡頭；以及一主要程序主機(jī)。本實(shí)用新型之復(fù)合式自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在僅需配置一個(gè)載入/卸載區(qū)域的設(shè)計(jì)下，即可具有污染粒子檢測(cè)、缺陷面拍攝與配向膜膜厚量測(cè)的功用，形成一機(jī)多用途的有效利用，因此可大幅度縮小自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備在無塵室的空間占用率，進(jìn)而使得無塵室的空間能更有效地應(yīng)用。
文檔編號(hào)G01N21/88GK201266176SQ20082004660
公開日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2008年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月18日
發(fā)明者施明峯 申請(qǐng)人:深超光電(深圳)有限公司