專利名稱：紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及光譜輻射傳輸測試技術(shù)，特別是涉及一種用于紫外-真空 紫外光譜輻射傳輸特性的測試裝置。 技術(shù)背景光譜輻射傳輸特性是指光譜儀器的光譜響應(yīng)度定標(biāo)及這一響應(yīng)度隨溫度 和真空度等環(huán)境因素變化特性，它是各類光學(xué)遙感儀器研制中的重要環(huán)節(jié)，用于建立光學(xué)遙感儀器輸入輻射量與儀器讀出值之間的對應(yīng)關(guān)系。上世紀70 年代，在空間光學(xué)遙感及等離子體物理研究的推動下，工業(yè)先進國家的標(biāo)準(zhǔn) 研究機構(gòu)如德國物理技術(shù)研究院(PTB)、英國國家物理實驗室(NPL)、美國 國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)等相繼開展了基于大功率壁穩(wěn)氬弧和同步輻射的 光譜輻射標(biāo)準(zhǔn)的研究，建立起覆蓋紫外、真空紫外乃至軟X射線波段的光譜 輻射傳輸標(biāo)準(zhǔn)。為準(zhǔn)確獲得空間紫外光學(xué)遙感儀器光譜數(shù)據(jù)，80年代國內(nèi)在 短波段光譜輻射計量研究基礎(chǔ)上，已經(jīng)建立了紫外光譜輻亮度和紫外-真空紫 外光譜輻照度定標(biāo)裝置。隨著紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試研究工作的不斷深入，紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試需要多臺測試裝置完成，同時紫外-真空紫外 波段光學(xué)遙感儀器和光學(xué)元件對測試裝置所在真空系統(tǒng)的油污染問題，嚴重 影響了真空紫外波段光譜輻射傳輸特性測試的精度，制約了光譜儀器光譜響 應(yīng)度隨溫度及真空度等環(huán)境因素變化特性的研究。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種多功能的紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，以克服目前對紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性的測試手段繁復(fù) 的缺點，在該測試裝置上即可實現(xiàn)紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度 及光譜輻照度響應(yīng)度定標(biāo)和紫外探測器光譜響應(yīng)度測試和紫外光學(xué)元件光譜 傳輸特性的測試。本實用新型紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，包括單色儀、標(biāo) 準(zhǔn)光源、真空罐、設(shè)置在真空罐中的固定在轉(zhuǎn)臺一側(cè)上的光電倍增管、通過 兩個插板閥分別與真空罐腔體連通的低溫泵和分子泵、與真空罐腔體官路連 通的干泵、通過管路與真空罐腔體連通的低溫機組，所述的真空罐的一端上設(shè)置一法蘭式接口，通過該接口可替換式連接所述的單色儀或標(biāo)準(zhǔn)光源；在 真空罐內(nèi)設(shè)置一相對于接口軸線垂直方向平移滑動的位移平臺，所述的轉(zhuǎn)臺 設(shè)置在該位移平臺上。在所述的分子泵上還連接有冷阱，以吸附真空系統(tǒng)中存在的污染物，從 而獲得一個無油的真空環(huán)境。本實用新型紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置可以實現(xiàn)兩種測 試功能紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光譜輻照度響應(yīng)度定標(biāo)；紫外探測器光譜響應(yīng)度測試和紫外光學(xué)元件光譜傳輸特性測試，在進行不同 測試項目時，所述的法蘭式接口可與單色儀或標(biāo)準(zhǔn)光源連接。

圖1是本實用新型紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型真空系統(tǒng)部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型中標(biāo)準(zhǔn)光源(7)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖給出的實施例對本實用新型結(jié)構(gòu)作進一步詳細描述。 參照圖1至圖3， 一種紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，包括單色儀6、標(biāo)準(zhǔn)光源7、真空罐l、設(shè)置在真空罐l中的固定在轉(zhuǎn)臺2—側(cè)上 的光電倍增管4、通過兩個插板閥1.1分別與真空罐1腔體連通的低溫泵1.4 和分子泵1.5、與真空罐1腔體官路連通的干泵1.7、通過管路與真空罐1腔 體連通的低溫機組1.8，所述的真空罐1的一端上設(shè)置一法蘭式接口 5，通過 該接口 5可替換式連接所述的單色儀6或標(biāo)準(zhǔn)光源7;在真空罐1內(nèi)設(shè)置一 相對于接口 5軸線垂直方向平移滑動的位移平臺3，所述的轉(zhuǎn)臺2設(shè)置在該 位移平臺3上。在所述的分子泵1.5上還連接有冷阱1.6，以吸附真空系統(tǒng)中存在的污染 物，從而獲得一個無油的真空環(huán)境。分子泵1.5和干泵1.7分別經(jīng)過管路與控 制低溫泵1.4連接在一起，電控柜1.2通過電纜控制低溫泵閘板閥1.1、低溫 泵控制柜1.3、低溫泵1.4、分子泵1.5、干泵1.7和低溫機組1.8。電控柜1.2的控制臺上配有溫度控制顯示智能儀表、真空度測量顯示儀 表、流程顯示儀表及控制電源顯示儀表等，有斷電、斷水、超溫保護與報警， 設(shè)備工作狀態(tài)流程的控制電路有必要的互鎖。抽真空時，首先分子泵1.5和 干泵1.7作為預(yù)抽泵，將真空室中大部分氣體抽去，當(dāng)真空室中的真空度達 到10Pa以下，關(guān)閉分子泵1.5和干泵1.7，開啟低溫泵插板閥l.l，通過低溫 機組1.8和低溫泵控制柜1.3，控制低溫泵1.4進一步對真空室抽真空來維持 一個高真空，冷阱1.6可以吸附系統(tǒng)中存在的污染物，從而獲得一個無油的 真空環(huán)境。當(dāng)用本實用新型進行紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光譜輻 照度響應(yīng)度定標(biāo)時，將接口 5與標(biāo)準(zhǔn)光源7連接，標(biāo)準(zhǔn)光源7的光通過接口 5直接照射在放置在轉(zhuǎn)臺2上的待測紫外遙感儀器8入口處，紫外遙感儀器8 跟隨轉(zhuǎn)臺2運動，通過紫外遙感儀器8自身的信號采集功能實現(xiàn)光譜輻亮度 及光譜輻照度響應(yīng)度定標(biāo)。當(dāng)用本實用新型進行紫外探測器光譜響應(yīng)度測試和紫外光學(xué)元件光譜傳輸特性測試時，將單色儀6與接口5連接，待測試的光學(xué)元件9 (主要包括:紫外光電倍增管探測器、紫外增強型面陣CCD探測器和紫外像增強器型面陣 CCD探測器)放置在位移平臺3上，單色儀6發(fā)送的不同的單色光，單色光 直接照射到待測試光學(xué)元件9和光電倍增管4上，通過位移平臺3調(diào)整待測 試的光學(xué)元件9，使單色儀6發(fā)出的單色光照射待測試的光學(xué)元件9中心， 實現(xiàn)對探測器和光學(xué)元件的光譜特性測試。
權(quán)利要求1.一種紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，包括單色儀(6)、標(biāo)準(zhǔn)光源(7)、真空罐(1)、設(shè)置在真空罐(1)中的固定在轉(zhuǎn)臺(2)一側(cè)上的光電倍增管(4)、通過兩個插板閥(1.1)分別與真空罐(1)腔體連通的低溫泵(1.4)和分子泵(1.5)、與真空罐(1)腔體官路連通的干泵(1.7)、通過管路與真空罐(1)腔體連通的低溫機組(1.8)，其特征在于，所述的真空罐(1)的一端上設(shè)置一法蘭式接口(5)，通過該接口(5)可替換式連接所述的單色儀(6)或標(biāo)準(zhǔn)光源(7)；在真空罐(1)內(nèi)設(shè)置一相對于接口(5)軸線垂直方向平移滑動的位移平臺(3)，所述的轉(zhuǎn)臺2設(shè)置在該位移平臺(3)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，其 特征在于，在所述的分子泵(1.5)上還連接有冷阱(1.6)。
專利摘要本實用新型涉及光譜輻射傳輸特性測試技術(shù)，特別是一種用于紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置。它包括單色儀、標(biāo)準(zhǔn)光源、真空罐、設(shè)置在真空罐中的固定在轉(zhuǎn)臺一側(cè)上的光電倍增管、通過兩個插板閥分別與真空罐腔體連通的低溫泵和分子泵、與真空罐腔體官路連通的干泵、通過管路與真空罐腔體連通的低溫機組，真空罐的一端上設(shè)置一法蘭式接口，通過該接口可替換式連接所述的單色儀或標(biāo)準(zhǔn)光源；在真空罐內(nèi)設(shè)置一相對于接口軸線垂直方向平移滑動的位移平臺，轉(zhuǎn)臺設(shè)置在該位移平臺上。本裝置可以實現(xiàn)紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光譜輻照度響應(yīng)度定標(biāo)及紫外探測器光譜響應(yīng)度測試和紫外光學(xué)元件光譜傳輸特性測試兩種測試功能。
文檔編號G01J3/12GK201173822SQ20082007166
公開日2008年12月31日 申請日期2008年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月10日
發(fā)明者李福田, 林冠宇, 王淑榮, 王立朋 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所