專利名稱：變頻型氧傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于測量環(huán)境中氧氣濃度的傳感器，尤其涉及變頻型氧傳感器。

背景技術(shù)：
氧濃度的測量和控制在各種產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域都有著重要的作用，人們利用YSZ固體電解質(zhì)具有良好的氧離子導(dǎo)電特性用來制作濃差電壓型、界限電流型氧傳感器。其中界限電流型氧傳感器由于具有測量精度高、無需參考?xì)怏w的特點(diǎn)而得到廣泛的應(yīng)用。目前組成界限電流型氧傳感器的工作機(jī)理有小孔擴(kuò)散型、多孔擴(kuò)散型以及致密擴(kuò)散障礙層型等。但是這幾種傳感器也都存在著某些缺點(diǎn)和不足，如小孔型界限電流氧傳感器長時(shí)間使用易使小孔堵塞變形，多孔型界限電流氧傳感器的孔隙率難于控制，傳感器一致性較差，并且長時(shí)間使用多孔的孔隙透氣性也會(huì)發(fā)生變化，致密擴(kuò)散障礙層型也存在著對溫度過于敏感的不足，這些均會(huì)造成傳感器的測試精度大幅下降；并且上述傳感器均建立在對電信號的測量基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)對氧濃度的間接測量。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)的現(xiàn)狀，提供提出一種可將敏感電池片和氧泵片組合在一起將氧濃度的測量變換成對時(shí)間t測量的新型無孔變頻型氧傳感器。該傳感器具有寬范圍檢測、工藝簡單和成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。
本實(shí)用新型主要由敏感電池片、氧泵片、玻璃密封釉及電路四部分構(gòu)成。其中敏感電池片和氧泵片均為Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片，在其兩面采用絲網(wǎng)印刷方式制備有內(nèi)外Pt電極及其引線。然后用高溫玻璃密封釉沿敏感電池、氧泵的陶瓷片的周邊密封成微小的密閉空氣腔。通過穩(wěn)恒電流源給氧泵片施加大小恒定、方向交變的電流，實(shí)現(xiàn)敏感電池片內(nèi)外濃差電壓在E1至E2范圍的交替變化，通過時(shí)間測量儀測得敏感電池片內(nèi)外濃差電壓在E1至E2范圍變化的時(shí)間t，實(shí)現(xiàn)對被測氣體氧分壓P1的測量。
本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為變頻型氧傳感器，包括敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉，其中玻璃密封釉是具有通孔的筒體；玻璃密封釉一端的沿口連接有敏感電池片；玻璃密封釉另一端的沿口連接有氧泵片；敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉圍成一個(gè)密閉的空氣腔；敏感電池片的內(nèi)表面均布有敏感電池片內(nèi)電極；敏感電池片的外表面均布有敏感電池片外電極；氧泵片內(nèi)表面均布有氧泵片內(nèi)電極；氧泵片外表面均布有氧泵片外電極。
為優(yōu)化本技術(shù)方案所采取的技術(shù)措施還包括敏感電池片內(nèi)電極和氧泵片內(nèi)電極經(jīng)導(dǎo)線并聯(lián)，還相連接有時(shí)間測量儀一端，時(shí)間測量儀另一端連接敏感電池片外電極；時(shí)間測量儀一端還連接有穩(wěn)恒電流源；穩(wěn)恒電流源的另一端連接氧泵片外電極。
敏感電池片內(nèi)電極還相連接有時(shí)間測量儀一端，時(shí)間測量儀另一端連接敏感電池片外電極；氧泵片內(nèi)電極還連接有穩(wěn)恒電流源；氧泵片外連接有電極穩(wěn)恒電流源的另一端。
敏感電池片是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；敏感電池片的Y2O3摩爾含量為7％至10％；敏感電池片的厚度為0.2mm至1mm。
敏感電池片外電極材料為金屬Pt，并且燒結(jié)溫度為850℃至1250℃。
氧泵片是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；氧泵片的Y2O3摩爾含量為7％至10％；氧泵片的厚度為0.2mm至1mm。
氧泵片內(nèi)電極材料為金屬Pt，并且燒結(jié)溫度為850℃至1250℃。
玻璃密封釉的處理溫度為750℃至1000℃。
本實(shí)用新型電流型氧傳感器具有高溫400℃至700℃下工作信號穩(wěn)定、可檢測氧氣濃度范圍為0.1％至99％的優(yōu)點(diǎn)。另外，由于其測量方法新穎并且工藝簡單，很容易實(shí)現(xiàn)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)，具有廣泛的適用性。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)圖； 圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1、2氧分壓-電壓-電流周期變化圖； 圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1、2時(shí)間t與被測氧分壓的關(guān)系曲線； 圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
圖標(biāo)號說明敏感電池片1、氧泵片2、空氣腔3、玻璃密封釉4、穩(wěn)恒電流源5、時(shí)間測量儀6、敏感電池片外電極7、敏感電池片內(nèi)電極8、氧泵片內(nèi)電極9、氧泵片外電極10、電極引線11。
圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1、2氧分壓-電壓-電流周期變化圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1、2時(shí)間t與被測氧分壓的關(guān)系曲線；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)圖。
實(shí)施例1變頻型氧傳感器，包括敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉，其中玻璃密封釉是具有通孔的筒體；玻璃密封釉一端的沿口連接有敏感電池片；玻璃密封釉另一端的沿口連接有氧泵片；敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉圍成一個(gè)密閉的空氣腔；敏感電池片的內(nèi)表面均布有敏感電池片內(nèi)電極；敏感電池片的外表面均布有敏感電池片外電極；氧泵片內(nèi)表面均布有氧泵片內(nèi)電極；氧泵片外表面均布有氧泵片外電極。
敏感電池片內(nèi)電極和氧泵片內(nèi)電極經(jīng)導(dǎo)線并聯(lián)，還相連接有時(shí)間測量儀一端，時(shí)間測量儀另一端連接敏感電池片外電極；時(shí)間測量儀一端還連接有穩(wěn)恒電流源；穩(wěn)恒電流源的另一端連接氧泵片外電極。
敏感電池片是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；敏感電池片的Y2O3摩爾含量為7％至10％；敏感電池片的厚度為0.2mm至1mm。
敏感電池片外電極材料為金屬Pt，并且燒結(jié)溫度為850℃至1250℃。
氧泵片是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；氧泵片的Y2O3摩爾含量為7％至10％；氧泵片的厚度為0.2mm至1mm。
氧泵片內(nèi)電極材料為金屬Pt，并且燒結(jié)溫度為850℃至1250℃。
玻璃密封釉的處理溫度為750℃至1000℃。
實(shí)施例2變頻型氧傳感器，包括敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉，其中玻璃密封釉是具有通孔的筒體；玻璃密封釉一端的沿口連接有敏感電池片；玻璃密封釉另一端的沿口連接有氧泵片；敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉圍成一個(gè)密閉的空氣腔；敏感電池片的內(nèi)表面均布有敏感電池片內(nèi)電極；敏感電池片的外表面均布有敏感電池片外電極；氧泵片內(nèi)表面均布有氧泵片內(nèi)電極；氧泵片外表面均布有氧泵片外電極。
敏感電池片內(nèi)電極還相連接有時(shí)間測量儀一端，時(shí)間測量儀另一端連接敏感電池片外電極；氧泵片內(nèi)電極還連接有穩(wěn)恒電流源；穩(wěn)恒電流源的另一端連接氧泵片外電極。
敏感電池片是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；敏感電池片的Y2O3摩爾含量為7％至10％；敏感電池片的厚度為0.2mm至1mm。
敏感電池片外電極材料為金屬Pt，并且燒結(jié)溫度為850℃至1250℃。
氧泵片是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；氧泵片的Y2O3摩爾含量為7％至10％；氧泵片的厚度為0.2mm至1mm。
氧泵片內(nèi)電極材料為金屬Pt，并且燒結(jié)溫度為850℃至1250℃。
玻璃密封釉的處理溫度為750℃至1000℃。
其具體的測氧原理為保持傳感器工作溫度T，先通過穩(wěn)恒電流源5對氧泵片2施加恒定的由氧泵片外電極10流向氧泵片內(nèi)電極9方向的泵氧電流I，促使在氧泵片內(nèi)電極9測發(fā)生如下的電化學(xué)反應(yīng) O2+4e-→2O2- 將空氣腔3中的氧氣變?yōu)檠蹼x子，并在電場驅(qū)動(dòng)下通過氧泵片2由氧泵片內(nèi)電極9側(cè)向氧泵片外電極10側(cè)漂移，并在氧泵片外電極10測發(fā)生如下的電化學(xué)反應(yīng) 2O2-→O2+4e- 將氧離子還原成氧氣，并釋放到空氣腔外部，將空氣腔3內(nèi)的氧逐步泵出，減少空氣腔3內(nèi)氧分壓P2，增大空氣腔3內(nèi)外氧濃度的差異。根據(jù)能斯特方程可使敏感電池片外電極7、敏感電池片內(nèi)電極8間的濃差電壓E不斷增大。當(dāng)達(dá)到預(yù)定的電壓E2時(shí)，在保持大小恒定的條件下翻轉(zhuǎn)泵氧電流方向，即-I，將氧從外界泵進(jìn)空氣腔3內(nèi)，增加空氣腔3內(nèi)氧分壓P2，縮小空氣腔3內(nèi)外氧濃度的差異，使敏感電池片外電極7、敏感電池片內(nèi)電極8間的濃差電壓E不斷減小。當(dāng)減少到預(yù)定的電壓E1時(shí)，又將電流在保持大小恒定的條件下再次翻轉(zhuǎn)，如此周而復(fù)始，其中t為濃差電壓在E1至E2范圍變化所需的時(shí)間，可通過時(shí)間測量儀6測得，測試時(shí)將電壓E1設(shè)為開啟計(jì)時(shí)閾值，E2為關(guān)閉計(jì)時(shí)閾值。這樣空氣腔3內(nèi)氧分壓P2、敏感電池片1內(nèi)外濃差電壓E、氧泵片2泵氧電流I將形成如圖2所示的一個(gè)周期為t的周期變化。并且這幾個(gè)參量間以及空氣腔3外被測氣體氧分壓P1應(yīng)存在著一定的數(shù)學(xué)關(guān)系，其具體推導(dǎo)如下 假設(shè)在時(shí)間t內(nèi)給氧泵片2施加恒定的由氧泵片外電極10流向氧泵片內(nèi)電極9方向的泵氧電流I，從腔內(nèi)向外泵出了n摩爾氧氣，使空氣腔3內(nèi)的氧分壓由P2變?yōu)镻2/，敏感電池片外電極7、敏感電池片內(nèi)電極8間的濃差電壓由E1變?yōu)镋2。根據(jù)法拉第電荷守恒定律，可得 It＝4nF……………………式1 其中，F(xiàn)為法拉第常數(shù)。假設(shè)空氣腔3內(nèi)氧氣為理想氣體，體積為V，則 …………………式2 其中，R為氣體常數(shù)。由式1、式2可得 …………………………式3 根據(jù)能斯特方程，由泵氧過程開始狀態(tài)，其中空氣腔3內(nèi)的氧分壓P2，敏感電池片外電極7、敏感電池片內(nèi)電極8間的濃差電壓E1；以及，末了狀態(tài)，其中空氣腔3內(nèi)的氧分壓P2/，敏感電池片外電極7、敏感電池片內(nèi)電極8間的濃差電壓E2以及腔外被測氣體氧分壓P1，可得 …………………式4 …………………式5 由式3、式4、式5可得 …………………式6 …………………式7 當(dāng)傳感器定型后，F(xiàn)、R為常數(shù)，T、E1、E2、V、I已知時(shí)，由式7可看出，時(shí)間t與被測氣體氧分壓P1成正比關(guān)系。
對于將氧由腔外泵出腔內(nèi)的過程，由于保持氧泵的電流大小一致，濃差電壓的變化范圍E1至E2也相同，因此，泵進(jìn)與泵出是一對可逆的過程，此泵進(jìn)過程的時(shí)間與被測氣體氧分壓也應(yīng)有式7的關(guān)系。
本實(shí)用新型變頻型氧傳感器在實(shí)際工作中需要有專用的發(fā)熱體加熱到400至700℃。
圖3所示為此變頻型氧傳感器在T＝650℃工作溫度條件下、施加氧泵的電流I＝20μA，被測氣體氧濃度變化范圍為0.1至99％時(shí)，選取不同E1至E2范圍的時(shí)間t與被測氣體氧分壓P1的關(guān)系曲線，圖中tout和tin分別表示將氧氣泵出空氣腔3外，敏感電池片1內(nèi)外電極濃差電勢由E1變化到E2的時(shí)間和將氧氣泵入空氣腔3內(nèi)，敏感電池片1內(nèi)外電極濃差電勢由E2變化到E1的時(shí)間，其他類似。
從圖3中可以看出 1、在不同E1至E2范圍內(nèi)，時(shí)間t與被測氧分壓P1的各項(xiàng)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均呈現(xiàn)出非常好的線性相關(guān)關(guān)系，與理論推導(dǎo)公式8高度符合； 2、在相同的E1至E2范圍內(nèi)，泵進(jìn)與泵出時(shí)間實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，兩種之間相差很小，其與被測氧分壓P1的線性關(guān)系也幾乎一致，因此在圖3上已表現(xiàn)出高度重疊，無法區(qū)分。這也證實(shí)我們上述理論推斷的成立泵進(jìn)與泵出是一對可逆的過程。
權(quán)利要求1、變頻型氧傳感器，包括敏感電池片(1)、氧泵片(2)和玻璃密封釉(4)，其特征是所述的玻璃密封釉(4)是具有通孔的筒體；所述的玻璃密封釉(4)一端的沿口連接有所述的敏感電池片(1)；所述的玻璃密封釉(4)另一端的沿口連接有所述的氧泵片(2)；所述的敏感電池片(1)、氧泵片(2)和玻璃密封釉(4)圍成一個(gè)密閉的空氣腔(3)；所述的敏感電池片(1)的內(nèi)表面均布有敏感電池片內(nèi)電極(8)；所述的敏感電池片(1)的外表面均布有敏感電池片外電極(7)；所述的氧泵片(2)內(nèi)表面均布有氧泵片內(nèi)電極(9)；所述的氧泵片(2)外表面均布有氧泵片外電極(10)。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的變頻型氧傳感器，其特征是所述的敏感電池片內(nèi)電極(8)和氧泵片內(nèi)電極(9)經(jīng)導(dǎo)線(11)并聯(lián)，還相連接有時(shí)間測量儀(6)一端，時(shí)間測量儀(6)另一端連接所述的敏感電池片外電極(7)；時(shí)間測量儀(6)一端還連接有穩(wěn)恒電流源(5)；穩(wěn)恒電流源(5)的另一端連接所述的氧泵片外電極(10)。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的變頻型氧傳感器，其特征是所述的敏感電池片內(nèi)電極(8)還相連接有時(shí)間測量儀(6)一端，時(shí)間測量儀(6)另一端連接所述的敏感電池片外電極(7)；所述的氧泵片內(nèi)電極(9)還連接有穩(wěn)恒電流源(5)；穩(wěn)恒電流源(5)的另一端連接所述的氧泵片外電極(10)。
4、根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的變頻型氧傳感器，其特征是所述的敏感電池片(1)是Y2O3穩(wěn)定的ZrO2固體電解質(zhì)陶瓷片；所述的敏感電池片(1)的厚度為0.2mm至1mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種可將敏感電池片和氧泵片組合在一起將氧濃度的測量變換成對時(shí)間t測量的新型無孔變頻型氧傳感器。其包括敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉，其中玻璃密封釉是具有通孔的筒體；玻璃密封釉一端的沿口連接有敏感電池片；玻璃密封釉另一端的沿口連接有氧泵片；敏感電池片、氧泵片和玻璃密封釉圍成一個(gè)密閉的空氣腔；敏感電池片的內(nèi)表面均布有敏感電池片內(nèi)電極；敏感電池片的外表面均布有敏感電池片外電極；氧泵片內(nèi)表面均布有氧泵片內(nèi)電極；氧泵片外表面均布有氧泵片外電極。由于其測量方法新穎并且工藝簡單，很容易實(shí)現(xiàn)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)，具有廣泛的適用性。
文檔編號G01N27/409GK201222049SQ200820087610
公開日2009年4月15日 申請日期2008年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月21日
發(fā)明者簡家文, 益 汪, 張衛(wèi)強(qiáng), 徐鐵峰 申請人:寧波大學(xué)