專利名稱：熱電偶溫度計的制作方法
技術領域：
熱電偶溫度計
技術領域：
本實用新型涉及一種熱電偶溫度計，尤其涉及一種帶固定裝置的熱電 偶溫度計。
背景技術：
熱電偶溫度計是一種利用不同導體接觸構成回路，產生電勢，根據(jù)電勢 大小測試溫差的溫度計，利用熱電偶作為感溫元件，廣泛用于一些爐管、才幾 臺等高工作溫度場所，在其使用時，并須將溫度計深入被測點。半導體制造 廠中，存在很多熱工藝機臺，運用大量的熱電偶溫度計。
如圖l所示，這是一個現(xiàn)有爐管機臺中熱電偶溫度計的安裝示意圖，熱
電偶溫度計1呈L型，其感溫一端設置于爐管機臺2內，另一端安裝在爐管 的底座殼體，連接線纜，可以向機臺的監(jiān)控端提供爐管內的溫度信息。爐管 機臺的工作環(huán)境有時為真空，所以爐管內經常進行反復的抽真空和破真空的 循環(huán)，而熱電偶溫度計l和機臺2之間全靠一條密封圏3來密封，并使用支 撐架4支撐，在反復的抽真空過程中，L型熱電偶溫度計l極容易與密封圈 3分離，從安裝位置上脫落，并被吸入爐管機臺2內，從而導致機臺的宕機， 造成生產事故。
這樣就需要一種帶固定裝置的熱電偶溫度計，使其能夠牢固安裝在機臺 上，避免在才幾臺的抽、石皮真空作業(yè)時凈皮吸入機臺內部。
實用新型內容
本實用新型要解決的技術問題是提供一種帶固定裝置的熱電偶溫度計， 以解決爐管機臺在反復的抽、破真空作業(yè)時，熱電偶溫度計容易脫落被吸入 才幾臺內部的情況。
本實用新型所述的熱電偶溫度計，將現(xiàn)有的熱電偶溫度計在支撐架外的
一段外殼上增加一個環(huán)形槽，所述固定裝置還包括一個c形環(huán)，c形環(huán)安裝 在所述環(huán)形槽上，開口一側設有螺釘孔，用螺釘連接，形成封閉環(huán)形。c形 環(huán)可用塑料材質，便于熱電偶溫度計的拆卸。
本實用新型所述的熱電偶溫度計，安裝時通過c形環(huán)的阻擋作用，有效 防止了熱電偶溫度計在機臺的真空作業(yè)時，被吸入機臺內部的事故發(fā)生。


圖1為現(xiàn)有爐管機臺中熱電偶溫度計的安裝示意圖； 圖2為本實用新型所述熱電偶溫度計的結構示意圖； 圖3為本實用新型所述C形環(huán)的結構示意圖； 圖4為本實用新型所述熱電偶溫度計的安裝示意圖。
具體實施方式
下面結合說明書附圖對本實用新型的一個具體實施例作詳細說明。 如圖2所示，本實用新型所述的熱電偶溫度計一端為感溫端7,另一端 為安裝端5。該熱電偶溫度計呈L字型結構，該感溫端7與該安裝端5呈直 角。在L型結構的安裝端5—側，開有一個環(huán)形槽6，感溫端7在后續(xù)安裝時置于爐管機臺內部。
如圖3所示，C形環(huán)結構的環(huán)形開口一側設有兩個螺釘孔8，所述螺釘 從兩螺釘孔中穿過， 一端為螺釘頭，另一端的螺釘尾用螺母鉚接。圖中的螺 釘、螺母尚未安裝。
在安裝時如圖4所示，先將熱電偶溫度計的感溫端7置于爐管機臺內， 在安裝端5順序安裝上密封環(huán)3、支撐架4，然后在安裝端顯露在支撐架4 外的環(huán)形槽6上安裝契合C形環(huán)9， C形環(huán)的開口一側用螺釘連接固定，使 其形成封閉狀。
這樣在工作時，隨著爐管機臺的反復抽、破真空操作時，熱電偶溫度計 因為環(huán)形槽上的C形環(huán)9被支撐架4阻擋，被固定在原位置，避免了密封環(huán) 3的脫落以及溫度計被吸入爐管機臺內部的現(xiàn)象。
以上實施例僅用以說明而非限制本實用新型的技術方案。不脫離本實用 新型精神和范圍的任何修改或局部替換，均應涵蓋在本實用新型的權利要求 范圍當中。
權利要求1、一種熱電偶溫度計，其特征在于一端為感溫端，另一端為安裝端，所述安裝端外殼上設有一環(huán)形槽，環(huán)形槽上固定連接一C形環(huán)。
2、 如權利要求1所述的熱電偶溫度計，其特征在于呈L字型結構，感溫 端與安裝端呈直角。
3、 如權利要求1所述的熱電偶溫度計，其特征在于所述C形環(huán)開口 一側 設有螺釘孔，用螺釘連接。
專利摘要本實用新型涉及一種熱電偶溫度計，所述熱電偶溫度計安裝端的外殼上設有環(huán)形槽，用以安裝C形環(huán)，安裝時通過支撐架對C形環(huán)的阻擋作用，有效防止了熱電偶溫度計在機臺的真空作業(yè)時，被吸入機臺內部的事故發(fā)生。
文檔編號G01K7/02GK201302490SQ20082015198
公開日2009年9月2日 申請日期2008年8月15日 優(yōu)先權日2008年8月15日
發(fā)明者任瑞龍, 關英來, 堯 凌, 崔長祥 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司