專利名稱：雙橋式厚膜壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于力或應(yīng)力的測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用壓電電阻材料性質(zhì)的壓力傳感器。.
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的陶瓷壓力傳感器具有低成本、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，但由于陶瓷材料本身的限制，陶瓷壓力傳感器在二次封裝中只能采取裝配式結(jié)構(gòu)，因此大大增加了成本，且降低了穩(wěn)定性。1998年5月6日公告的中國(guó)專利96223575.乂公開了一種集成壓力傳感器，主要由芯片、底座、外殼等組成，其芯片由上基板下基板構(gòu)成，并被鍵合成一個(gè)整體，從而使得厚啤力敏全橋及補(bǔ)償電路，調(diào)節(jié)電路等全部集成在同一塊芯片上。此集成壓力傳感器耐高溫，耐腐蝕性，靈敏度及時(shí)間穩(wěn)定性不夠良好，且工藝復(fù)雜，成本高，不適合工業(yè)大批量生產(chǎn)的需要。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服以上缺陷，提供一種雙橋式厚膜壓力傳感器，此雙橋式厚膜壓力傳感器具有耐高溫、耐腐蝕性、靈敏度及溫度和時(shí)間穩(wěn)定性好，且過載負(fù)荷大，工藝簡(jiǎn)單，使用方便，成本低，適合工業(yè)大批量生產(chǎn)的需要的優(yōu)點(diǎn)。
本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下-
一種雙橋式厚膜壓力傳感器，包括基座，設(shè)置在基座上的感壓膜片，設(shè)置在感壓膜片上
的可動(dòng)感壓膜片，及與可動(dòng)感壓膜片相連接的測(cè)量電路和處理電路，其特征是可動(dòng)感壓膜
片為雙橋電路結(jié)構(gòu)。
所述的雙橋式厚膜,壓力傳感器，基座與感壓膜片可以是一體式結(jié)構(gòu)。，所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片燒接在基座上的感壓膜片上。
所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片間設(shè)有燒接附層。
所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片上設(shè)有絕緣保護(hù)層。
所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片上的
絕緣保護(hù)層為含玻璃體的槳料所制。 ，
所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，雙橋電路結(jié)構(gòu)為雙橋惠斯頓電橋。所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，基座可以采用金屬材料。
3所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，可動(dòng)感壓膜片可以是燒接在感壓膜片上，同樣，絕緣保
護(hù)層也可以是燒接在可動(dòng)感壓膜片上。
這樣在使用時(shí)，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片組成彈性厚膜片，當(dāng)
被測(cè)壓力作用在雙橋式厚膜壓力傳感器的膜片上時(shí)，膜片發(fā)生變形，導(dǎo)致傳感器的電橋平衡
發(fā)生變化，在受力發(fā)生小撓度變形時(shí)，其輸出與壓力近似成線性函數(shù)關(guān)系，然后通過測(cè)量電
路的變化即可計(jì)算出傳感器所受壓力的改變，進(jìn)而測(cè)量出壓力，再通過處理電路，將電容的
變化轉(zhuǎn)化為O. 5V-5V輸出電壓信號(hào)；雙橋惠斯頓電橋的雙橋電路結(jié)構(gòu)具有很好的電壓靈敏度
和低溫度敏感性；同時(shí)，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片間的燒接附層可
防止接觸時(shí)短路，其二者上面設(shè)置的絕緣保護(hù)層也可以起到絕緣保護(hù)的作用。
本實(shí)用新型的雙橋式厚膜壓力傳感器具有耐高溫、耐腐蝕性、靈敏度及溫度和時(shí)間穩(wěn)定
性好，且過載負(fù)荷大，工藝簡(jiǎn)單，使用方便，成本低，其制造可采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)，適合工
業(yè)大批量生產(chǎn)的需要的優(yōu)點(diǎn)，可廣泛用于力或應(yīng)力的測(cè)量。


圖1是雙橋式厚膜壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是雙橋惠斯頓電橋示意圖。
其中，l基座，2感壓膜片，3可動(dòng)感壓膜片，4燒接附層，5絕緣保護(hù)層。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明
如圖l，圖2所示， 一種雙橋式厚膜壓力傳感器，包括金屬基座l，與金屬基座l為一體 式結(jié)構(gòu)的感壓膜片2，燒接在感壓膜片2上6^可動(dòng)感壓膜片3，及與可動(dòng)感壓膜片3相連接的 測(cè)量電路和處理電路，其可動(dòng)感壓膜片3為雙橋惠斯頓電橋的雙橋電路結(jié)構(gòu)，雙橋電路結(jié)構(gòu) 的可動(dòng)感壓膜片3與金屬基座1上的感壓膜片2間設(shè)有燒接附層4，另外，雙橋電路結(jié)構(gòu)的 可動(dòng)感壓膜片3與金屬基座1上的感壓膜片2上燒接有含玻璃體漿料的絕緣保護(hù)層5。
這樣在使用時(shí)，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片3與金屬基座1上的感壓膜片2組成彈性 厚膜片，當(dāng)被測(cè)壓力作用在雙橋式厚膜壓力傳感器的膜片上時(shí)，膜片發(fā)生變形，導(dǎo)致傳感器 的電橋平衡發(fā)生變化，在受力發(fā)生小撓度變形時(shí)，其輸出與壓力近似成線性函數(shù)關(guān)系，然后 通過測(cè)量電路的變化即可計(jì)算出傳感器所受壓力的改變，進(jìn)而測(cè)量出壓力，再通過處理電路， 將電容的變化轉(zhuǎn)化為0. 5V-5V輸出電壓信號(hào)；雙橋惠斯頓電橋的雙橋電路結(jié)構(gòu)具有很好的電 壓靈敏度和低溫度敏感性；同時(shí)，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片3與金屬基座1上的感壓膜 片2間的燒接附層4可防止接觸時(shí)短路，其二者上面設(shè)置的絕緣保護(hù)層5則起到絕緣保護(hù)的 作用。
權(quán)利要求1、一種雙橋式厚膜壓力傳感器，包括基座，設(shè)置在基座上的感壓膜片，設(shè)置在感壓膜片上的可動(dòng)感壓膜片，及與可動(dòng)感壓膜片相連接的測(cè)量電路和處理電路，其特征是可動(dòng)感壓膜片為雙橋電路結(jié)構(gòu)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，其特征是基座與感壓膜片是一體式結(jié)構(gòu)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，其特征是雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片燒接在基座上的感壓膜片上。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，其特征是雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓，膜片與基座上的感壓膜片間設(shè)有燒接附層。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，其特征是其特征是雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片上設(shè)有絕緣保護(hù)層。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙橋式厚膜壓力傳感器，其特征是雙橋電路結(jié)構(gòu)為雙橋惠斯頓電橋。
專利摘要本實(shí)用新型屬于力或應(yīng)力的測(cè)量領(lǐng)域，尤其是一種應(yīng)用壓電電阻材料性質(zhì)的雙橋式厚膜壓力傳感器。包括基座，設(shè)置在基座上的感壓膜片，設(shè)置在感壓膜片上的可動(dòng)感壓膜片，及與可動(dòng)感壓膜片相連接的測(cè)量電路和處理電路，其特征是可動(dòng)感壓膜片為雙橋電路結(jié)構(gòu)，基座與感壓膜片是一體式結(jié)構(gòu)，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片燒接在基座上的感壓膜片上，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片間設(shè)有燒接附層，雙橋電路結(jié)構(gòu)的可動(dòng)感壓膜片與基座上的感壓膜片上設(shè)有絕緣保護(hù)層。此雙橋式厚膜壓力傳感器耐高溫、耐腐蝕性、靈敏度及溫度和時(shí)間穩(wěn)定性好，過載負(fù)荷大，工藝簡(jiǎn)單，使用方便，成本低，可用絲網(wǎng)印刷技術(shù)制造，適合工業(yè)大批量生產(chǎn)，可用于力或應(yīng)力的測(cè)量。
文檔編號(hào)G01L1/14GK201266126SQ20082018751
公開日2009年7月1日 申請(qǐng)日期2008年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月8日
發(fā)明者丁立新, 付師杰 申請(qǐng)人:西安先行測(cè)控系統(tǒng)有限公司淄博分公司