專利名稱：泵單元式伺服型容積流量計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及伺服型容積流量計(jì)，詳細(xì)地講，涉及做成了能夠拆裝泵部的構(gòu)造的泵單元的伺服型容積流量計(jì)。
背景技術(shù)：
容積流量計(jì)在其結(jié)構(gòu)之一中具有泵部。泵部具備設(shè)在流路內(nèi)的計(jì)量室、和在該計(jì)量室內(nèi)每圏使一定體積的被測(cè)量流體流出的一對(duì)轉(zhuǎn)子而構(gòu)成。容積流量計(jì)構(gòu)成為，使其能夠根據(jù)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)計(jì)測(cè)流量。具體而言構(gòu)成為，以由計(jì)量室和轉(zhuǎn)子形成的容積為基準(zhǔn)容積，能夠一邊將流入到計(jì)量室內(nèi)的被測(cè)量流體對(duì)應(yīng)于轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)排出 一 邊根據(jù)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速求出流量。
容積流量計(jì)由于能夠直接測(cè)量體積流量、精度也較高，所以作為工業(yè)用、交易用的流量計(jì)而廣泛地使用。
作為構(gòu)成為能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)到流量計(jì)的流出流入口間的壓力損失以便能夠不受被測(cè)量流體的粘度及密度等物理參數(shù)影響而進(jìn)行穩(wěn)定的高精度的流量的測(cè)量、從外部通過伺服馬達(dá)對(duì)轉(zhuǎn)子施加驅(qū)動(dòng)力以使該壓力損失總為零、能夠根據(jù)此時(shí)的轉(zhuǎn)子的動(dòng)作轉(zhuǎn)速測(cè)量流量的容積流
量計(jì)，已知有在特許第3331212號(hào)公報(bào)中公開那樣的伺服型容積流量計(jì)。

發(fā)明內(nèi)容
在上述以往技術(shù)的泵部中，如果更具體地說明結(jié)構(gòu)，則具備具有流入管、流出管及計(jì)量室的殼體、 一對(duì)轉(zhuǎn)子(齒輪)、設(shè)在各轉(zhuǎn)子上的轉(zhuǎn)子軸、和相對(duì)于轉(zhuǎn)子軸的軸承而構(gòu)成。
這樣的泵部由于被測(cè)量流體經(jīng)由流入管的流入口在殼體內(nèi)部流動(dòng)，所以殼體成為作為耐壓容器發(fā)揮功能的構(gòu)造。殼體為了滿足作為耐壓容器的功能，設(shè)定為使構(gòu)成殼體的各部分的壁厚充分厚。這是為了盡量抑制被測(cè)量流體的壓力帶來的變形，結(jié)果，具有成為較大的泵部、整體大型化的問題(并不限于特許第3331212號(hào)公報(bào)的容積流量另外，如果泵部變大，則根據(jù)該泵部的大小，還有泵部的更換作業(yè)不容易的問題。
此外，在上述以往技術(shù)的泵部中，由于采用了通過懸臂支承轉(zhuǎn)子軸的軸承構(gòu)造，所以具有如下的問題。即，為了將轉(zhuǎn)子軸的晃動(dòng)抑制為最小，必須將軸長設(shè)定得較長，由此有殼體大型化、結(jié)果在轉(zhuǎn)子軸的驅(qū)動(dòng)側(cè)也成為較大的泵部的問題。
進(jìn)而，在上述以往技術(shù)的泵部中，還具有如下的問題。即，將一對(duì)轉(zhuǎn)子中的一個(gè)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)子軸作為驅(qū)動(dòng)軸，該作為驅(qū)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)子軸延長到殼體的外側(cè)而承受伺服馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)力，所以必須將密封部件安裝到轉(zhuǎn)子軸上以便不會(huì)液體泄漏，因而，具有因?yàn)樵撁芊獠考拇嬖?、即便很少也?huì)對(duì)轉(zhuǎn)子軸的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生影響的問題。此外，具有因?yàn)槊芊獠考拇嬖诙仨毧紤]其耐久性的問題。
本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，課題是提供一種不僅是高精度、還能夠?qū)崿F(xiàn)泵部的緊湊化、并且能夠使泵部的更換變得容易的伺服型容積流量計(jì)。
為了解決上述課題而做出的本發(fā)明，是具備具有泵部的可拆裝的泵單元而構(gòu)成的伺服型容積流量計(jì)、即泵單元式伺服型容積流量計(jì)，具有如下的特征。
技術(shù)方案1所述的本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)的特征在于，在泵部殼體的內(nèi)部，設(shè)置具備具有轉(zhuǎn)子軸的第一轉(zhuǎn)子及第二轉(zhuǎn)子、
和包圍該第一轉(zhuǎn)子及該第二轉(zhuǎn)子而形成的計(jì)量室的泵部，構(gòu)成泵單元；該泵單元具有在上述泵部殼體上形成連通到上述計(jì)量室的被測(cè)量流體流入口、被測(cè)量流體流出口、以及導(dǎo)壓口的構(gòu)造，并且具有將上述轉(zhuǎn)子軸的一個(gè)作為驅(qū)動(dòng)軸延長到上述泵部殼體的外側(cè)的構(gòu)造；具備這樣的泵單元，并且具備主體殼體、形成在該主體殼體上并拆裝自如地容納上述泵單元的單元容納凹部、覆蓋該單元容納凹部并固定在上述主體殼體上的蓋體、形成在上述主體殼體上、將被測(cè)量流體朝向上述單元容納凹部的上述泵單元導(dǎo)引的流入通路、形成在上述主體殼體上、將上述被測(cè)量流體從上述單元容納凹部的上述泵單元向上述主體殼體的外側(cè)導(dǎo)引的流出通路、安裝在上述主體殼體上、驅(qū)動(dòng)從上述泵部殼體延伸的上述轉(zhuǎn)子軸的一個(gè)的軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)上述第一轉(zhuǎn)子及上述第二轉(zhuǎn)子的前后的壓力差的壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)、和基于上述壓力差控制
上述軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制機(jī)構(gòu)；進(jìn)而，通過上述導(dǎo)壓口的存在，成為容納在上述單元容納凹部中并被上述蓋體覆蓋的上述泵單元的內(nèi)面和外面都接觸液體的構(gòu)造，使作用在該上述泵單元的內(nèi)外的流體壓力均壓化。
根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，是具有泵部的泵單元容納在主體殼體的單元容納凹部中并用蓋體覆蓋的構(gòu)造，由單元容納凹部和蓋體形成作為壓力容器發(fā)揮功能的部分。泵單元由于在其內(nèi)部流過被測(cè)量流體并且外側(cè)整體也充滿被測(cè)量流體，所以為內(nèi)面和外面都接觸液體的構(gòu)造。泵單元為作用在其內(nèi)外的流體壓力均壓化的構(gòu)造。
根據(jù)本發(fā)明，在流體壓力作用下臨時(shí)發(fā)生變形的例如是作為壓力容器發(fā)揮功能的蓋體，在泵單元自身上不會(huì)發(fā)生變形。因而，能夠提供能夠進(jìn)行高精度的測(cè)量的伺服型容積流量計(jì)。
根據(jù)本發(fā)明，由于不需要將泵單元的泵部殼體做成耐壓容器，所以例如能夠使泵部殼體的壁厚變薄。結(jié)果，泵單元成為較小的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明，通過將蓋體卸下能夠進(jìn)行泵單元的更換。由于泵單元是較小的結(jié)構(gòu)，所以更換時(shí)的作業(yè)性變好。
技術(shù)方案2所述的本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)在技術(shù)方案1所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)中，其特征在于，將為了安裝
單元容納凹部隔離，做成將上述被測(cè)量流體截?cái)嗟臉?gòu)造，并且將上述軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，使其經(jīng)由磁接頭驅(qū)動(dòng)上述轉(zhuǎn)子軸的一個(gè)。
根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，成為在作為驅(qū)動(dòng)軸的轉(zhuǎn)子軸上在一個(gè)上不安裝密封部件也可以的構(gòu)造。即成為考慮了耐久性的構(gòu)造。根據(jù)本發(fā)明，由于經(jīng)由磁接頭驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子軸，所以不僅沒有液體泄漏的擔(dān)心，而且成為轉(zhuǎn)子軸的旋轉(zhuǎn)較順利的構(gòu)造。因而，能夠提供能夠?qū)崿F(xiàn)性能方面及維護(hù)方面的提高的伺服型容積流量計(jì)。
技術(shù)方案3所述的本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)在技術(shù)方案1或2所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)中，其特征在于，將上述第一轉(zhuǎn)子及上述第二轉(zhuǎn)子的上述各轉(zhuǎn)子軸做成相對(duì)于上述泵部殼體為雙支承的支承的構(gòu)造。
根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，通過將轉(zhuǎn)子軸做成雙支承構(gòu)造，能夠使轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定。此外，不再需要懸臂構(gòu)造那樣的將軸長設(shè)定得較長，能夠使泵部變小。
技術(shù)方案4所述的本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)在技術(shù)方案1~ 3中任一項(xiàng)所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)中，其特征在于，具備由具有匹配于上述計(jì)量室的形狀而貫通的計(jì)量室形成部的正中間板、具有覆蓋上述計(jì)量室形成部的一個(gè)開口的平坦的面的蓋體側(cè)板、以及匹配于上述第一轉(zhuǎn)子及上述第二轉(zhuǎn)子的尺寸而具有覆蓋上述計(jì)量室形成部的另一個(gè)開口的平坦的面、或者具有作為上述計(jì)量室的一部分的凹部的可更換的轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板構(gòu)成的可分割的三片板、和將該三片板重疊固定的多個(gè)小螺釘而構(gòu)成上述泵部殼體，并且使將上述三片板重合時(shí)的上述泵部殼體的厚度為一定，做成相對(duì)于上述單元容納凹部的拆裝自如的構(gòu)造。
根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，成為考慮到流量范圍變更時(shí)的更換容易性的構(gòu)造的泵單元。
技術(shù)方案5所述的本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)在技術(shù)方案1~4中任一項(xiàng)所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)中，其特征在于，做成在上述主體殼體上形成在各一端具有用于壓力差檢測(cè)的壓力差取出口的一對(duì)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑、和與該一對(duì)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑的各另一端連續(xù)的壓力差檢測(cè)部、并且使上述壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)在上述單元容納凹部的附近位置相對(duì)于上述主體殼體一體化的構(gòu)造。
根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，成為壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)與主體殼體一體化而接近于泵部的構(gòu)造的伺服型容積流量計(jì)。因而，除了技術(shù)方案1至技術(shù)方案4中任一項(xiàng)的發(fā)明的特征以外，還能夠提高壓力差檢測(cè)的精度。
技術(shù)方案6所述的本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)在技術(shù)方案5所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)中，其特征在于，將上述壓力差取出口形成在向上述單元容納凹部開口的上述流入通路及上述流出通路中。
根據(jù)具有這樣的特征的本發(fā)明，成為檢測(cè)壓力差的位置相對(duì)于泵部更接近的構(gòu)造，能夠進(jìn)一步提高壓力差檢測(cè)的精度。
根據(jù)本發(fā)明，起到能夠提供不僅是高精度、還能夠?qū)崿F(xiàn)泵部的緊湊化、并且使泵部的更換變得容易的伺服型容積流量計(jì)的效果。


圖1是表示本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)的一實(shí)施方式的主視圖。
圖2是泵單元式伺服型容積流量計(jì)的左側(cè)視圖。圖3是泵單元式伺服型容積流量計(jì)的俯視圖。圖4是系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
圖5是從正面?zhèn)扔^察的情況下的結(jié)構(gòu)說明圖。圖6是從左側(cè)面?zhèn)扔^察的情況下的結(jié)構(gòu)說明圖。圖7是在驅(qū)動(dòng)位置觀察的情況下的結(jié)構(gòu)說明圖。圖8是泵單元的結(jié)構(gòu)說明圖。圖9是泵單元的分解立體圖。
圖IO是作為主體殼體之一的前側(cè)主體殼體的主視圖。圖11是前側(cè)主體殼體的剖視圖。
圖12是形成了導(dǎo)壓路徑的狀態(tài)下的前側(cè)主體殼體的剖視圖。
圖13是圖10的A向視圖。
圖14是圖13的B-B線剖視圖。
圖15是驅(qū)動(dòng)位置處的前側(cè)主體殼體的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖進(jìn)行說明。圖1是表示本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)的一實(shí)施方式的圖。此外，圖2是泵單元式伺服型容積流量計(jì)的左側(cè)視圖，圖3是泵單元式伺服型容積流量計(jì)的俯視圖，圖4是系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖，圖5是從正面?zhèn)扔^察的情況下的結(jié)構(gòu)說明圖，圖6是從左側(cè)面?zhèn)扔^察的情況下的結(jié)構(gòu)說明圖，圖7是在驅(qū)動(dòng)位置觀察的情況下的結(jié)構(gòu)說明圖，圖8是泵單元的結(jié)構(gòu)說明圖，圖9是泵單元的分解立體圖，圖10是作為主體殼體之一的前側(cè)主體殼體的主視圖，圖11是前側(cè)主體殼體的剖視圖，圖12是形成了導(dǎo)壓路徑的狀態(tài)下的前側(cè)主體殼體的剖視圖，圖13是圖10的A向視圖，圖14是圖13的B-B線剖視圖，圖15是驅(qū)動(dòng)位置處的前側(cè)主體殼體的剖視圖。另外，不能用簡(jiǎn)單的截面表示的部分在圖中"撕開"顯示。關(guān)于該"撕開"的顯示，與嚴(yán)密的位置不同。遍及所有附圖在截面部分中沒有表示影線是為了避免細(xì)節(jié)部變得難以觀察。
在圖1至圖3中，引用附圖標(biāo)記1表示本發(fā)明的泵單元式伺服型容積流量計(jì)(以下簡(jiǎn)記作容積流量計(jì)1)。容積流量計(jì)l具備泵單元2，具有能夠使該泵單元2拆裝自如那樣的結(jié)構(gòu)。此外，容積流量計(jì)l具有特別在具備泵單元2的情況下優(yōu)選的、有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)和壓力差檢測(cè)的路徑構(gòu)造。
如果關(guān)于容積流量計(jì)1的結(jié)構(gòu)再稍稍具體地說明，則容積流量計(jì)l具備上述泵單元2，并且具備容納該泵單元2的主體殼體3、和蓋體4而構(gòu)成。此外，容積流量計(jì)1如圖4以后的圖所示，還具備軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5、壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6、和控制機(jī)構(gòu)7而構(gòu)成。
這里，如果對(duì)圖1至圖3中的箭頭進(jìn)行說明，則箭頭P表示上下方向。此外，箭頭Q表示左右方向，箭頭R表示前后方向。另外，這些方向相對(duì)于容積流量計(jì)1的安裝時(shí)的方向既可以一致也可以不一致(但是，后述的活塞17成為上下方向那樣的安裝方向不被允許)。
在圖6中，主體殼體3具備具有容納泵單元2的構(gòu)造并且具有將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6 —體化的構(gòu)造的前側(cè)主體殼體8、和連結(jié)在該前側(cè)主體殼體8上、能夠?qū)⒆鳛檩S驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)5的主體的伺服馬達(dá)9安裝在內(nèi)部的后側(cè)主體殼體10而構(gòu)成。
在前側(cè)主體殼體8的前面上，形成有用來容納泵單元2的單元容納凹部11。泵單元2通過插入到單元容納凹部11中、然后用蓋體4覆蓋而被完全容納。容積流量計(jì)1通過將蓋體4卸下，能夠進(jìn)行泵單元2的維護(hù)及更換等。
首先，參照?qǐng)D4對(duì)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單地進(jìn)行說明。接著，參照?qǐng)Dl至圖15的各圖對(duì)各構(gòu)成部件進(jìn)行說明。
在圖4中，引用附圖標(biāo)記12表示泵部。該泵部12具有計(jì)量室13和一對(duì)轉(zhuǎn)子14。 一對(duì)轉(zhuǎn)子14配置為使其相互嚙合，其中之一受伺服馬達(dá)9驅(qū)動(dòng)。壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6具有一對(duì)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑15和壓力差檢測(cè)部16。此外，這里具有活塞n、發(fā)光側(cè)光電傳感器(發(fā)光元件)18、和受光側(cè)光電傳感器(受光元件)19。控制機(jī)構(gòu)7具有運(yùn)算電路20、控制電路21和輸出電路22。
在上述結(jié)構(gòu)中，從流入口 23進(jìn)入的被測(cè)量流體(在圖中從右向左流動(dòng))經(jīng)過泵部12的一對(duì)轉(zhuǎn)子14達(dá)到流出口 24。在一對(duì)轉(zhuǎn)子14的前后(在圖4中對(duì)應(yīng)于左右)，設(shè)有一對(duì)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑15，在產(chǎn)生了壓力差的情況下，收納在壓力差檢測(cè)部16中的活塞17左右地動(dòng)作。該活塞17的動(dòng)作被發(fā)光側(cè)光電傳感器18或受光側(cè)光電傳感器19觀測(cè)到，將活塞17的位置信息傳遞給運(yùn)算電路20。
在運(yùn)算電路20中，生成用來向控制電路21傳遞的信號(hào)，以使壓力差總是為零、換言之使活塞17停止。在控制電路21中，基于來自運(yùn)算電路20的信號(hào)驅(qū)動(dòng)伺服馬達(dá)9。在控制電路21中，被傳遞從伺服馬達(dá)9反饋的編碼器信號(hào)。該編碼器信號(hào)被向輸出電路22傳遞，輸出電路22將編碼器信號(hào)作為流量信號(hào)(脈沖輸出)向外部輸出。
對(duì)容積流量計(jì)1的各構(gòu)成部件進(jìn)行說明。
泵單元2具有在泵部殼體25的內(nèi)部設(shè)有泵部12的構(gòu)造(例如參照?qǐng)D8及圖9)。泵部殼體25形成為前后方向的厚度較小的大致圓柱狀。在本方式中，為了考慮到流量范圍變更時(shí)的更換容易性，設(shè)定為，使上述厚度為一定。另外，大致圓柱狀的形狀是一例(只要能夠進(jìn)行泵部12的形成、相對(duì)于單元容納凹部11 (參照?qǐng)D6)的拆裝較容易，形狀沒有特別被限定)。
在圖9中，泵部殼體25具有三片板。如果從前側(cè)依次舉出名稱，則具有蓋體側(cè)板26、正中間板27、以及轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28的可分割的圓形的三片板。這三片板重合并通過多個(gè)小螺釘(附圖標(biāo)記省略)固定。
這樣的結(jié)構(gòu)的泵部殼體25具有向后方突出的定位銷29 (設(shè)定位銷29的設(shè)定是任意的)。定位銷29是為了使得在將泵單元2插入到單元容納凹部ll(參照?qǐng)D6)中容納時(shí)能夠順利地進(jìn)行對(duì)位而設(shè)置的。
另外，；故定位在單元容納凹部11中之后的泵單元2被經(jīng)由泵部殼體25擰入的單元安裝小螺釘30固定(參照?qǐng)D6)。
如果對(duì)三片板的主要的部分進(jìn)行說明，則正中間板27具有匹配于計(jì)量室13 (參照?qǐng)D8)的形狀貫通形成的(從前面直到后面貫通的)計(jì)量室形成部31。本方式的正中間板27設(shè)定為比轉(zhuǎn)子14的厚度極其稍大的厚度。
蓋體側(cè)板26具有覆蓋計(jì)量室形成部31的前側(cè)的開口的平坦的面(后面)。在這樣的蓋體側(cè)板26上，形成有與后述的被測(cè)量流體流入口 32的位置匹配而貫通的導(dǎo)壓口 33 (參照?qǐng)D8)。導(dǎo)壓口 33是為了將從被測(cè)量流體流入口 32流入的被測(cè)量流體的一部分導(dǎo)引到單元容納凹部11 (參照?qǐng)D6)中而形成的。在蓋體側(cè)板26的后面上設(shè)有兩個(gè)軸承34,以使其沿左右方向以規(guī)定的間隔排列。
轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28具有覆蓋計(jì)量室形成部31的后側(cè)的開口的平坦的面(前面)(另外，在變更流量范圍的情況下，也可以使前面凹陷而形成計(jì)量室形成部31的一部分。在此情況下，轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28作為更換部件而準(zhǔn)備若干種類)。
在這樣的轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28上，貫通形成有連通到計(jì)量室形成部31那樣的、換言之連通到計(jì)量室13那樣的被測(cè)量流體流入口 32及被測(cè)量流體流出口 35。此外，在轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28上，還貫通形成有相對(duì)于向后方延伸的后述的轉(zhuǎn)子軸36的驅(qū)動(dòng)軸用貫通口 37。
在轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28的前面上，設(shè)有兩個(gè)軸承38，以使其在左右方向上以規(guī)定的間隔排列。軸承38中的一個(gè)設(shè)在驅(qū)動(dòng)軸用貫通孔37(參照?qǐng)D7)中。通過轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板28的軸承38和蓋體側(cè)板26的軸承34以雙支承構(gòu)造旋轉(zhuǎn)自如地支承轉(zhuǎn)子14的轉(zhuǎn)子軸36、 39。
在圖8中，泵部12具有計(jì)量室13、 一對(duì)轉(zhuǎn)子14和轉(zhuǎn)子軸36、 39。一對(duì)轉(zhuǎn)子14配置為，使其相互嚙合，設(shè)在其中之一中的轉(zhuǎn)子軸36成為驅(qū)動(dòng)軸，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)軸用貫通口 37 (參照?qǐng)D7)延伸到外側(cè)(向后方延伸)。被測(cè)量流體流入口 32及被測(cè)量流體流出口 35配置形成在一對(duì)轉(zhuǎn)子14的嚙合部分的上下。在圖8中，下側(cè)為^t測(cè)量流體流入口32，上側(cè)為^皮測(cè)量流體流出口 35。,皮測(cè)量流體流入口 32及被測(cè)量流體流出口 35配置形成為，使其在盡量接近于嚙合部分的地方開口。
驅(qū)動(dòng)軸用貫通口 37 (參照?qǐng)D7)匹配于伺服馬達(dá)9 (參照?qǐng)D6)的位置而配置形成。在本方式中，配置形成為，使其中心位于主體殼體3 (參照?qǐng)D6)的中心軸上。
在圖5、圖6中，構(gòu)成主體殼體3的前側(cè)主體殼體8在其前面上具有用來容納泵單元2的單元容納凹部11。此外，前側(cè)主體殼體8在其左側(cè)面上具有有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑的部分。該有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑的部分形成為，使其連通到單元容納凹部11。進(jìn)而，前側(cè)主體殼體8在其下方具有用來將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6—體化的部分。該部分形成為，使有關(guān)壓力差檢測(cè)的路徑與單元容納凹部11的附近連續(xù)。進(jìn)而，前側(cè)主體殼體8在其后面上具有后側(cè)主體殼體10的連結(jié)部分、和有關(guān)驅(qū)動(dòng)力傳遞部40 (參照?qǐng)D7)的部分。有關(guān)驅(qū)動(dòng)力傳遞部40的部分形成為，使其與單元容納凹部11連續(xù)。
單元容納凹部11在前側(cè)主體殼體8的前面上形成為圓形的凹陷那樣的形狀。在單元容納凹部11的開口緣部的外側(cè)安裝有O形環(huán)41。在前側(cè)主體殼體8的前面上，覆蓋單元容納凹部11的開口而安裝有蓋體4。關(guān)于該蓋體4的安裝，通過將螺栓42在四個(gè)部位緊固來進(jìn)行。
在安裝了蓋體4的狀態(tài)下，前側(cè)主體殼體8 (單元容納凹部11)及蓋體4具有作為壓力容器的功能。即，在容積流量計(jì)l中，泵單元2自身不需要作為壓力容器的功能。另外，作為壓力容器發(fā)揮功能的理由是因?yàn)?，?jīng)由泵單元2的導(dǎo)壓口 33 (參照?qǐng)D8)使被測(cè)量流體的一部分流入到單元容納凹部11中，使泵單元2的外側(cè)也通過充滿的流體成為接觸液體的狀態(tài)(作用在泵單元2的內(nèi)外的流體壓力均壓化)。
在單元容納凹部11的深處(底部)，匹配于泵單元2的被測(cè)量流體流入口 32及被測(cè)量流體流出口 35的位置而形成有第一流入通路43及第一流出通路44。該第一流入通路43及第一流出通路44作為上述有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑的部分形成。配置形成為，使第一流入通路43為下側(cè)、第一流出通路44為上側(cè)。在第一流出通路44的開口緣部的周圍安裝有O形環(huán)45 (參照?qǐng)D10)。關(guān)于有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑的部分，在后面詳細(xì)地說明。
此外，在單元容納凹部11的深處(底部)上，匹配于從泵單元2延伸的轉(zhuǎn)子軸36的位置而形成有轉(zhuǎn)子軸用貫通孔46 (參照?qǐng)D15)。該轉(zhuǎn)子軸用貫通孔46形成為，使其與在前側(cè)主體殼體8的后面上開口的耐壓隔板安裝用凹部47 (參照?qǐng)D7)連續(xù)。在圖7中，在耐壓隔板安裝用凹部47中，以液密狀態(tài)(將被測(cè)量流體截?cái)嗟臓顟B(tài))安裝有耐壓隔板48。通過該耐壓隔板48將單元容納凹部11側(cè)與伺服馬達(dá)9側(cè)隔離(參照?qǐng)D6 )。轉(zhuǎn)子軸用貫通孔46、耐壓隔板安裝用凹部47及耐壓隔板48構(gòu)成上述有關(guān)驅(qū)動(dòng)力傳遞部40的部分。
這里，參照?qǐng)D6及圖7列舉有關(guān)驅(qū)動(dòng)力傳遞部40的部分等的各結(jié)構(gòu)(在前側(cè)主體殼體8的結(jié)構(gòu)中從單元容納凹部11側(cè)開始依次列舉結(jié)構(gòu)之后，列舉伺服馬達(dá)9側(cè)的結(jié)構(gòu))。另外，關(guān)于作用等的具體的說明省略。
引用附圖標(biāo)記49表示軸接頭。引用附圖標(biāo)記50表示軸接頭旋轉(zhuǎn)阻止銷。引用附圖標(biāo)記51表示從動(dòng)磁鐵軸。引用附圖標(biāo)記52表示從 動(dòng)磁鐵旋轉(zhuǎn)阻止銷。引用附圖標(biāo)記53表示從動(dòng)磁鐵。引用附圖標(biāo)記 54表示E形環(huán)。引用附圖標(biāo)記55表示滾珠軸承。
引用附圖標(biāo)記56表示主動(dòng)磁鐵部。引用附圖標(biāo)記57表示主動(dòng)磁 鐵安裝小螺釘。引用附圖標(biāo)記58表示馬達(dá)適配器。引用附圖標(biāo)記59 表示馬達(dá)適配器小螺釘。引用附圖標(biāo)記60表示馬達(dá)安裝配件。引用附 圖標(biāo)記61表示減速器安裝螺栓。引用附圖標(biāo)記62表示馬達(dá)部安裝螺 栓。
由有關(guān)驅(qū)動(dòng)力傳遞部40的部分的結(jié)構(gòu)可知，在本方式中，通過由
轉(zhuǎn)子軸36。在本方式中，由于采用了使用磁接頭63驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子軸36的 方法，所以不僅沒有液體泄漏的擔(dān)心，還能夠使轉(zhuǎn)子軸36順利地旋轉(zhuǎn)。
存在于有關(guān)驅(qū)動(dòng)力傳遞部40的部分的后方的伺服馬達(dá)9在容納在 形成于后側(cè)主體殼體10的內(nèi)部的主體安裝部64中的狀態(tài)下安裝。另 外，形成有主體安裝部64的后側(cè)主體殼體IO具有用來將容積流量計(jì) 1設(shè)置在規(guī)定位置上的設(shè)置用空間65,能夠延伸到形成在前側(cè)主體殼 體8的下方的、用來將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6—體化的部分而將其固定。
主要參照?qǐng)D10至圖14,關(guān)于上述有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑 的部分、和上述有關(guān)壓力差檢測(cè)的路徑的部分進(jìn)行說明。首先，關(guān)于 有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑的部分進(jìn)行說明。
上側(cè)的第一流出通路44形成為，使其一端與泵單元2的被測(cè)量流 體流出口35連續(xù)。第一流出通路44形成為，使其從單元容納凹部ll 的深處(底部)向其后方筆直地延伸、即相對(duì)于從泵單元2延伸的轉(zhuǎn) 子軸36的軸向平行地延伸。這樣的第一流出通路44的長度為了實(shí)現(xiàn) 容積流量計(jì)1的前后方向的緊湊化而設(shè)定為，盡量使長度變短。在本 方式中，將長度設(shè)定為，使第一流出通路44的另一端位置比前側(cè)主體 殼體8的前后方向中央位置靠近側(cè)。
下側(cè)的第一流入通路43形成為，使其一端與泵單元2的被測(cè)量流 體流入口32連續(xù)。第一流入通路43形成為，使其從單元容納凹部ll 的深處(底部)向其后方筆直地延伸、即相對(duì)于從泵單元2延伸的轉(zhuǎn) 子軸36的軸向平行地延伸。此外，第一流入通路43形成為，使其與 上側(cè)的第一流出通路44平行。這樣的第一流入通路43的長度形成為比上側(cè)的第一流出通路44短一些。
如果對(duì)第一流入通路43及第一流出通路44進(jìn)行總結(jié)，則該第一 流入通路43及第一流出通路44形成為，以被測(cè)量流體流入口 32及被 測(cè)量流體流出口 35的大小開口，并且在保持它們的間隔的狀態(tài)下平 行，進(jìn)而第一流出通路44更長一些地向后方延伸。
在上側(cè)的第一流出通路44 (參照?qǐng)D12、圖14)上，形成有第二 流出通路66,以使其與第一流出通路44連續(xù)。第二流出通路66形成 為，使其向相對(duì)于從泵單元2延伸的轉(zhuǎn)子軸36的軸向正交方向(在本 方式中為左方向)筆直地延伸。第二流出通路66形成為，使其一端與 第一流出通路44連續(xù)并且另一端在前側(cè)主體殼體8的左側(cè)面上開口 。 第二流出通路66形成為，使其以與第一流出通路44相同的大小開口。 第二流出通路66及第一流出通路44形成為大致L字狀的路徑。
在下側(cè)的第一流入通路43上形成有第二流入通路67，以使其與 第一流入通路43連續(xù)。第二流入通路67形成為，使其向相對(duì)于從泵 單元2延伸的轉(zhuǎn)子軸36的軸向正交方向(在本方式中為左方向)筆直 地延伸。此外，第二流入通路67形成為，使其與第二流出通路66平 行。第二流入通路67形成為，使其一端與第一流入通路43連續(xù)并且 另一端在前側(cè)主體殼體8的左側(cè)面上開口 。第二流入通路67形成為， 使其以與第一流入通路43相同的大小開口 。第二流入通路67及第一 流入通路43形成為大致L字狀的路徑。
如果對(duì)第二流入通路67及第二流出通路66進(jìn)行總結(jié)，則該第二 流入通路67及第二流出通路66形成為，以被測(cè)量流體流入口 32及被 測(cè)量流體流出口 35的大小開口，并且在保持它們的間隔的狀態(tài)下平 行，都以相同的長度在前側(cè)主體殼體8的左側(cè)面上開口。
有關(guān)被測(cè)量流體的流動(dòng)的路徑的部分由第二流出通路66及第一 流出通路44的大致L字狀的路徑、和第二流入通路67及第一流入通 路43的大致L字狀的路徑構(gòu)成。另外，在前側(cè)主體殼體8的左側(cè)面的 第二流出通路66及第二流入通路67的各開口部分中分別安裝有接頭 68。在本方式中，第一流出通路44對(duì)應(yīng)于向單元容納凹部11開口的 流出通路的開口端部。此外，第一流入通路43也對(duì)應(yīng)于向單元容納凹 部11開口的流入通路的開口端部。
在圖12中，設(shè)定為，使第二流出通路66及第一流出通路44的連續(xù)中心位置69、與第二流入通路67及第一流入通路43的連續(xù)中心位 置70上下地排列。在本方式中，匹配于第一流入通路43的另一端位 置而設(shè)定連續(xù)中心位置70。因而，第一流出通路44在比連續(xù)中心位 置69靠后方具有一些空間。該空間成為用于壓力差檢測(cè)的空間。第一 流出通路44與第一流入通路43相比將長度設(shè)定得長一些就是因?yàn)檫@ 一點(diǎn)。
接著，進(jìn)行關(guān)于有關(guān)壓力差檢測(cè)的路徑部分的說明。 在作為下側(cè)的第 一流入通路43上，連續(xù)形成有一個(gè)壓力差檢測(cè)用 導(dǎo)壓路徑71 (對(duì)應(yīng)于圖4的壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑15)。 一個(gè)壓力差 檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71形成為，使其一端在第二流入通路67及第一流入 通路43的連續(xù)中心位置70與第一流入通路43的一端之間開口 。 一個(gè) 壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71的一端具有作為壓力差取出口的功能。 一個(gè) 壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71形成為，使其向下方筆直地延伸。 一個(gè)壓力 差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71為用來檢測(cè)壓力差的通路，將直徑設(shè)定為，使其 比第一流入通路43細(xì)。
在作為上側(cè)的第一流出通路44上，連續(xù)形成有另一個(gè)壓力差檢測(cè) 用導(dǎo)壓路徑72 (對(duì)應(yīng)于圖4的壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑15)。另一個(gè)壓 力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72形成為，使其一端在比第二流出通路66及第 一流出通路44的連續(xù)中心位置69更遠(yuǎn)離被測(cè)量流體流出口 35的位置 上開口。另一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72的一端具有作為壓力差取出
口的功能。在本方式中，另一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72匹配于第一 流出通路44的端部位置而形成。另一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72形 成為，使其向下方筆直地延伸。另一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72形成 為，使其與一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71平行。另一個(gè)壓力差檢測(cè)用 導(dǎo)壓路徑72為用來檢測(cè)壓力差的通路，將直徑設(shè)定為，使其比第一流 出通路44細(xì)。
如果對(duì)一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71及另一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo) 壓路徑72進(jìn)行總結(jié)，則該一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71及另一個(gè)壓 力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72形成為，使其在前后方向上以規(guī)定的間隔排 列。此外， 一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71在比第二流入通路67及第 一流入通路43的連續(xù)中心位置70靠近側(cè)連續(xù)，另一個(gè)壓力差檢測(cè)用 導(dǎo)壓路徑72在比第二流出通路66及第一流出通路44的連續(xù)中心位置69靠后側(cè)連續(xù)。另外，該連續(xù)位置是為了壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6的活塞17 等的效率好的配置而設(shè)定的(由此，具有即使將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6與 前側(cè)主體殼體8 —體化也能夠使容積流量計(jì)1在前后方向上緊湊化的 優(yōu)點(diǎn)(這是因?yàn)?，例如如果將一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71向后方錯(cuò) 開，則需要將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6的各結(jié)構(gòu)的配置向后方錯(cuò)開該錯(cuò)開的 量，在此情況下，成為后方較大的結(jié)構(gòu)))。
在一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑71及另一個(gè)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路 徑72的各另一端上形成有壓力差檢測(cè)部73 (對(duì)應(yīng)于圖4的壓力差檢 測(cè)部16)，以使其與上述各另一端連續(xù)。
這里，列舉與壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6的具體的各結(jié)構(gòu)關(guān)聯(lián)的部分。另 外，關(guān)于作用等的說明省略(圖4的說明作為參考)。
引用附圖標(biāo)記17表示活塞。引用附圖標(biāo)記18表示發(fā)光側(cè)光電傳 感器。引用附圖標(biāo)記19表示受光側(cè)光電傳感器。這些使用與圖4所示 的部件基本上相同的部件。
引用附圖標(biāo)記74表示光電傳感器箱(參照?qǐng)D5)。引用附圖標(biāo)記 75表示光電傳感器安裝板。引用附圖標(biāo)記76表示光電傳感器填料。 引用附圖標(biāo)記77表示玻璃窗填料。引用附圖標(biāo)記78表示光電傳感器 安裝螺栓。引用附圖標(biāo)記79表示強(qiáng)化玻璃。引用附圖標(biāo)記80表示強(qiáng) 化玻璃用O形環(huán)。引用附圖標(biāo)記81表示光電傳感器定位銷。引用附 圖標(biāo)記82表示光電傳感器箱安裝螺栓。
引用附圖標(biāo)記83表示壓力缸前側(cè)蓋。引用附圖標(biāo)記84表示套筒 (參照?qǐng)D6)。引用附圖標(biāo)記85表示壓力缸蓋用O形環(huán)。引用附圖標(biāo) 記86表示壓力缸后側(cè)蓋。另外，在套筒84上，形成有使另一個(gè)壓力 差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑72的一部分匹配于活塞17的位置那樣的部分87。
以上，如參照?qǐng)D1至圖15說明那樣，容積流量計(jì)1是具有泵部 12的泵單元2容納在主體殼體3 (前側(cè)主體殼體8)的單元容納凹部 11中并用蓋體4覆蓋那樣的構(gòu)造，通過單元容納凹部11和蓋體4形 成作為壓力容器發(fā)揮功能的部分。泵單元2為在其內(nèi)部流過被測(cè)量流 體、并且外側(cè)整體也充滿被測(cè)量流體的構(gòu)造。泵單元2成為作用在其 內(nèi)外的流體壓力均壓化那樣的構(gòu)造。
在容積流量計(jì)1中，在流體壓力作用下臨時(shí)發(fā)生變形的例如是作 為壓力容器發(fā)揮功能的蓋體4，在泵單元2自身中不會(huì)發(fā)生變形。因而，容積流量計(jì)1能夠進(jìn)行高精度的測(cè)量。以下，說明其他效果等。
容積流量計(jì)1由于為不需要將泵單元2的泵部殼體25做成耐壓容 器的構(gòu)造，所以例如能夠使泵部殼體25的壁厚變薄。因而，能夠?qū)⒈?單元2做成較小的結(jié)構(gòu)(如果使泵單元2的大小較小，則也能夠使更 換時(shí)的作業(yè)性變好)。
此外，容積流量計(jì)l由于為經(jīng)由磁接頭63驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子軸36的構(gòu)造， 所以不僅沒有液體泄漏的擔(dān)心，而且能夠使轉(zhuǎn)子軸36的旋轉(zhuǎn)變得順 利。因而，容積流量計(jì)1與以往相比能夠?qū)崿F(xiàn)性能方面及維護(hù)方面的 提高(雖然不能得到這樣的效果，但也可以采用以往那樣的使用密封 部件驅(qū)動(dòng)的構(gòu)造)。
此外，容積流量計(jì)1由于為使轉(zhuǎn)子軸36、 39為雙支承的構(gòu)造，所 以能夠使轉(zhuǎn)子14的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定。通過使轉(zhuǎn)子軸36、 39為雙支承構(gòu)造， 不需要如懸臂構(gòu)造那樣將軸長設(shè)定得較長，結(jié)果能夠使泵部12變小。
此外，容積流量計(jì)l由于將泵單元2的泵部殼體25用可分割的三 片板構(gòu)成、并且使三片板中的一片成為能夠匹配于轉(zhuǎn)子14的尺寸更換 的構(gòu)造，所以能夠考慮到流量范圍變更時(shí)的更換容易性。
此外，容積流量計(jì)1由于為取出壓力差的位置接近于泵部12的構(gòu) 造、并且為將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)6與主體殼體3 (前側(cè)主體殼體8) —體 化的構(gòu)造，所以與以往相比能夠提高壓力差檢測(cè)的精度。
除此以外，本發(fā)明當(dāng)然在不改變本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠各種 各樣地變更來實(shí)施。
權(quán)利要求
1、一種泵單元式伺服型容積流量計(jì)，其特征在于，在泵部殼體的內(nèi)部，設(shè)置具備具有轉(zhuǎn)子軸的第一轉(zhuǎn)子及第二轉(zhuǎn)子、和包圍該第一轉(zhuǎn)子及該第二轉(zhuǎn)子而形成的計(jì)量室的泵部，構(gòu)成泵單元；該泵單元具有在上述泵部殼體上形成連通到上述計(jì)量室的被測(cè)量流體流入口、被測(cè)量流體流出口、以及導(dǎo)壓口的構(gòu)造，并且具有將上述轉(zhuǎn)子軸的一個(gè)作為驅(qū)動(dòng)軸延長到上述泵部殼體的外側(cè)的構(gòu)造；具備這樣的泵單元，并且具備主體殼體、形成在該主體殼體上并拆裝自如地容納上述泵單元的單元容納凹部、覆蓋該單元容納凹部并固定在上述主體殼體上的蓋體、形成在上述主體殼體上、將被測(cè)量流體朝向上述單元容納凹部的上述泵單元導(dǎo)引的流入通路、形成在上述主體殼體上、將上述被測(cè)量流體從上述單元容納凹部的上述泵單元向上述主體殼體的外側(cè)導(dǎo)引的流出通路、安裝在上述主體殼體上、驅(qū)動(dòng)從上述泵部殼體延伸的上述轉(zhuǎn)子軸的一個(gè)的軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)上述第一轉(zhuǎn)子及上述第二轉(zhuǎn)子的前后的壓力差的壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)、和基于上述壓力差控制上述軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制機(jī)構(gòu)；進(jìn)而，通過上述導(dǎo)壓口的存在，成為容納在上述單元容納凹部中并被上述蓋體覆蓋的上述泵單元的內(nèi)面和外面都接觸液體的構(gòu)造，使作用在該上述泵單元的內(nèi)外的流體壓力均壓化。
2、 如權(quán)利要求l所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)，其特征在于， 將為了安裝上述軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的主體而形成在上述主體殼體上的主體安裝部和上述單元容納凹部隔離，做成將上述被測(cè)量流體截?cái)嗟臉?gòu) 造，并且將上述軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成為，使其經(jīng)由磁接頭驅(qū)動(dòng)上述轉(zhuǎn)子軸 的一個(gè)。
3、 如權(quán)利要求l或2所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)，其特征 在于，將上述第一轉(zhuǎn)子及上述第二轉(zhuǎn)子的上述各轉(zhuǎn)子軸做成相對(duì)于上述 泵部殼體為雙支承的支承的構(gòu)造。
4、 如權(quán)利要求1 ~ 3中任一項(xiàng)所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)， 其特征在于，具備由具有匹配于上述計(jì)量室的形狀而貫通的計(jì)量室形成部的正 中間板、具有覆蓋上述計(jì)量室形成部的一個(gè)開口的平坦的面的蓋體側(cè)板、以及匹配于上述第一轉(zhuǎn)子及上述第二轉(zhuǎn)子的尺寸而具有覆蓋上述 計(jì)量室形成部的另一個(gè)開口的平坦的面、或者具有作為上述計(jì)量室的 一部分的凹部的可更換的轉(zhuǎn)子軸延長側(cè)板構(gòu)成的可分割的三片板、和 將該三片板重疊固定的多個(gè)小螺釘而構(gòu)成上述泵部殼體，并且使將上 述三片板重合時(shí)的上述泵部殼體的厚度為一定，做成相對(duì)于上述單元 容納凹部的拆裝自如的構(gòu)造。
5、 如權(quán)利要求1 ~ 4中任一項(xiàng)所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)， 其特征在于，做成在上述主體殼體上形成在各一端具有用于壓力差檢測(cè)的壓力 差取出口的一對(duì)壓力差檢測(cè)用導(dǎo)壓路徑、和與該一對(duì)壓力差檢測(cè)用導(dǎo) 壓路徑的各另一端連續(xù)的壓力差檢測(cè)部、并且使上述壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu) 在上述單元容納凹部的附近位置相對(duì)于上述主體殼體一體化的構(gòu)造。
6、 如權(quán)利要求5所述的泵單元式伺服型容積流量計(jì)，其特征在于， 將上述壓力差取出口形成在向上述單元容納凹部開口的上述流入通路及上述流出通路中。
全文摘要
容積流量計(jì)(1)具備拆裝自如的泵單元(2)、容納該泵單元(2)的主體殼體(3)、和蓋體(4)而構(gòu)成。主體殼體(3)具備具有容納泵單元(2)的構(gòu)造并且具有將壓力差檢測(cè)機(jī)構(gòu)(6)一體化的構(gòu)造的前側(cè)主體殼體(8)、和連結(jié)在該前側(cè)主體殼體(8)上、能夠?qū)⒆鳛檩S驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)的主體的伺服馬達(dá)(9)安裝在內(nèi)部的后側(cè)主體殼體(10)而構(gòu)成。泵單元(2)通過插入在前側(cè)主體殼體(8)的單元容納凹部(11)中、然后用蓋體(4)覆蓋而被完全容納。
文檔編號(hào)G01F3/10GK101606042SQ20088000417
公開日2009年12月16日 申請(qǐng)日期2008年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月5日
發(fā)明者若松武史 申請(qǐng)人:株式會(huì)社奧巴爾