專利名稱：具有接觸探測(cè)器的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)定測(cè)試樣品電學(xué)性能的探針，進(jìn)一步地涉及一種測(cè)定測(cè)試樣品電學(xué)性能的方法，更進(jìn)一步地涉及一種測(cè)定測(cè)論陣品電學(xué)性能的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
如US2004/0056674 、 US2002/153909 、 W02005/124371 、 US5266801 、US662畫、US5907095、 ,53519、 US6148622和JP2006/284599中已/>開了測(cè)定測(cè)試樣品電學(xué)性能的探針、方法和系統(tǒng)。上i^斤有的美國(guó)專利公開文本均被引用，通過引用并7v^說明書中。
在<銅具有一個(gè)或多個(gè)向外延伸的懸臂的探針時(shí)，將探4h^/v測(cè)試樣品表面的預(yù)定部分內(nèi)與^^觸時(shí)，常常會(huì)出現(xiàn)懸臂表面受損的現(xiàn)象。假設(shè)的情況是測(cè)試樣品的表面^為平面且測(cè)試探針最好地保持在對(duì)準(zhǔn)測(cè)試樣品相應(yīng)表面的方向上。實(shí)際上，該表面可能具有凸塊、^i。、物、凹槽、孑L或其他可負(fù)M員毀或itA探針大面積毀壞的缺陷或瑕瘋。而且，探針常常安^^測(cè)試設(shè)備或系統(tǒng)的容器內(nèi)，而測(cè)試片羊品安^^目應(yīng)的測(cè)試樣品容器內(nèi)。如果對(duì)笨針不與相應(yīng)的測(cè)試樣品表面重合，探針朝向探針表面的移動(dòng)可能會(huì)毀損一個(gè)或多個(gè)探針臂。
由此，本發(fā)明的發(fā)明目的是提供一種能獲得測(cè)試樣品電學(xué)性能的方法，且探測(cè)測(cè)試樣品表面時(shí)能限制或M對(duì)探針itA毀損。；^發(fā)明的另一個(gè)目的另i^供一種能測(cè)定測(cè)試樣品電學(xué)性能的探針，且該探針包含接觸探測(cè)器。本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種能測(cè)定測(cè)試樣品電學(xué)性能的系統(tǒng)，其中該系統(tǒng)/ft^本發(fā)明所教導(dǎo)的探針。
JP2006々84599中公開了一種測(cè)試電路電學(xué)性能的裝置。該裝置包括從支撐體同向延伸的多個(gè)懸臂梁。該多個(gè)懸臂梁具有兩個(gè)不同的長(zhǎng)度，其中長(zhǎng)懸臂梁用作接觸探測(cè)器，短懸臂用于測(cè)量測(cè)試樣品的電學(xué)性能。同時(shí)，JP2006/284599公開了一種長(zhǎng)懸臂梁中壓阻材料的電子通路(electrical pathway),且該長(zhǎng)懸臂能生成指示4妾觸測(cè)i式電路的偏移信號(hào)。
6當(dāng)電阻值Ftt提供的才/Uto力改變時(shí)，壓阻效應(yīng)取決于外受力和壓I1IL^料的 幾何形狀。已知電阻值相對(duì)于外受力的變化是非線性的。同樣已知的，在非常好 的環(huán)境下，作為結(jié)果的探測(cè)信號(hào)中相應(yīng)的非線性能通過電學(xué)或數(shù)字組件進(jìn)行補(bǔ) 償。
但是，基于懸臂梁或柔性臂的接觸探測(cè)器和壓阻材料之間存在干擾的問題， 這和外受力的方向性有關(guān)。作用力的方向和大小對(duì)探測(cè)信號(hào)產(chǎn)生影響，這意味著
從單一的探測(cè)信號(hào)中不可能^i序這兩個(gè)^lt。也就是說兩種不同大小和方向的作
用力會(huì)得到相同的探測(cè)信號(hào)。
當(dāng)沿法線探測(cè)兩個(gè)平坦測(cè)i汰面的距離時(shí)，其中一個(gè)表面^Jt滑的，另一個(gè) 表面是不平坦的且具有凹槽和凸塊的，即4吏柔性臂沿法線的偏差是相同的，探測(cè) 信號(hào)也可能不同，因?yàn)閊面中的不平坦面可育^在由凹槽和凸塊導(dǎo)致的分力， 而光滑面不存在該分力。這可能導(dǎo)致接觸探測(cè)器從先前的校準(zhǔn)中給出顯示用于測(cè) 定電學(xué)性能的懸臂梁與與測(cè)^#品接觸的信號(hào)，即使不是這種情況。很明顯，如 果讓接觸探測(cè)器對(duì)垂直于平面法線的作用力敏感，則能改淑巨離測(cè)量及測(cè)試樣品 相關(guān)的電學(xué)性能測(cè)定的準(zhǔn)確性。
因此，本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種能更好地測(cè)定到測(cè)^^面距離的接觸
探測(cè)器，其在接觸探測(cè)器柔性臂的電學(xué)通路(electrical pathway)中部絲免 ^i l壓阻材料。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明可獲得上#明目的，其中第一方面涉及一種測(cè)定測(cè)^f羊品表面區(qū)域 電學(xué)性能的探針，該探針位于與測(cè)試樣品相應(yīng)的特定方向內(nèi)，其包括 確定第一表面的支撐體；
從與所述第一表面共面的支撐體延伸的多個(gè)懸臂，所述多個(gè)懸臂彼此;tf丈平 行;^k^伸，所述多個(gè)懸臂的每一個(gè)包括一個(gè)電傳導(dǎo)的端部，所述端部通過將與測(cè) 試樣品表面相應(yīng)的探針移動(dòng)到所述特定方向內(nèi)以接觸所述測(cè)^#品的所述表面， 以及
從所述支撐體延伸的接觸探測(cè)器，所述接觸探測(cè)器設(shè)置成進(jìn)行上述移動(dòng)時(shí)在 接觸所述測(cè)試樣品所述表面的所述多個(gè)懸臂的任一個(gè)之前或同時(shí)接觸所述測(cè)試 樣品的所ii4面，其中所述接觸探測(cè)器是一個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器，包括在自身基座處分成兩個(gè)錨臂的柔性臂，以及從其中一^N苗臂傳輸?shù)饺嵝员鄄?br> 由另外一^N苗臂傳輸回來的非壓阻材料的電學(xué)通路。
在本發(fā)明的說明書中，"壓阻"按照壓阻的一般含義定義如下在長(zhǎng)度為1
的導(dǎo)線中，積械應(yīng)力作用時(shí)或變形時(shí)該導(dǎo)紹
變化，定義為
<formula>formula see original document page 8</formula>
其中為及為電阻值，P為電阻率，v為泊松比。
在此J^f出上，應(yīng)變系凄汰義如下 應(yīng)變系數(shù)=，=她+ (1 + 2" =羊
該應(yīng)變系數(shù)^*舌兩^%分。第"P分為—^ ,第二部分為0 + 2v)。 第""^分表示壓阻歲t^，第二部分表示幾何^t^。
在本發(fā)明的文本中，認(rèn)為材料是具有壓阻效應(yīng)的壓阻材料，如第""#分相對(duì) 于第二部分為主要的，如相對(duì)于幾何效應(yīng)，而認(rèn)為材料是具有第二部分效應(yīng)的非 壓卩Ji才料，如幾何效應(yīng)相對(duì)于第一^分為主要的，如相對(duì)于壓阻效應(yīng)。
"^:而言，大多數(shù)金屬具有^^變系數(shù)，j約為2，還具有4te阻效應(yīng)。 本發(fā)明的文本中使用的相關(guān)金屬為鎳、金、釕、鈦、銅、鋁、銀、鈷、鉻、錳、 鐵、做^^r。
本發(fā)明文本中使用的相^P勤才料為半"^材料，其4殳具有凄i值約為200 的應(yīng)變系數(shù)，相關(guān)的半^^材料的示例有p-n型鍺、p-n型4^j匕銦和p-n型硅。
本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中的支撐體、懸臂和接觸探測(cè)器都采用相同的原材料制 成。例如由同一塊半^IM^H"料制成，優(yōu)選材料為硅。懸臂和接觸探測(cè)器可采用 蝕刻、光刻或其^也方法來形成。
在本發(fā)明改進(jìn)的一個(gè)實(shí)施例中，懸臂具有多邊形的橫截面，例如基本為方形 的橫截面。所述支撐體的第一表面伏選為平面或M為平面。懸臂的^"個(gè)伊逸 為在第一表面的主平面內(nèi)或在平行于第一表面的平面內(nèi)。
懸臂優(yōu)選為彼此分離放置。相鄰懸臂間的間P鬲伊逃為全部相同。在可選實(shí)施 例中，該間隔可以不同，如在一個(gè)間隙中。本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中與懸臂縱向垂 直方向上的間隔。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)懸臂包^"""個(gè)電導(dǎo)體端部。同時(shí)，每個(gè)懸臂 包括用于在端部和包制言號(hào)產(chǎn)生器和/或信號(hào)探測(cè)器的測(cè)試設(shè)備之間建立電通信 的導(dǎo)電路徑。所ii^端與測(cè)試樣品表面區(qū)i勤目接觸，從而測(cè)定其電學(xué)性能。
采用根據(jù)本發(fā)明第一方面的探針的優(yōu)選方式可由設(shè)備來實(shí)現(xiàn)，其中探針安裝
在可移動(dòng)的容器內(nèi)JL^多動(dòng)到與測(cè)^^羊品接觸的表面內(nèi)。將所述4笨針^^器中，
使得電*末端能幾乎同時(shí)與測(cè)^#品的表面接觸。但是，所述探針可能會(huì)在容
器內(nèi)錯(cuò)^^被i^效4^i吳^^丈置，或者容器可育睡在與先前測(cè)量的刻度值相應(yīng)的偏 差，或4^f可其他原因。優(yōu)i^也，測(cè)^#品也安#容器內(nèi)。放置測(cè)iW羊品的容器 伊^l也是不育W多動(dòng)的。測(cè)^#品的位置也可能是使與測(cè)"i勤羊品相應(yīng)的探針產(chǎn)生偏 移的原因。
如果探針和測(cè)試樣品具有與預(yù)期不同的相應(yīng)位置，探針相對(duì)于測(cè)試樣品的 移動(dòng)可能導(dǎo)致懸臂的損壞，比如懸臂離所^面比預(yù)期的近。而且，如果測(cè)^# 品的表面具有材料的殘留物或其他不希望的表面缺陷時(shí)，懸臂也可肯W皮損壞。根 據(jù)本發(fā)明教導(dǎo)的探針的使用，其中具有接觸探測(cè)器的探^4目對(duì)于沒有這樣的接觸 探測(cè)器的探針具有很大的優(yōu)勢(shì)。
在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，接觸探測(cè)器包t個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器。該應(yīng)變 計(jì)有時(shí)相應(yīng)為應(yīng)變片。該應(yīng)變計(jì)M于一些材料變形時(shí)電學(xué)性t汰生變化而產(chǎn)生 的影響的，如受到應(yīng)力而產(chǎn)生變形。應(yīng)變計(jì)能用于將應(yīng)力、壓力、張力和/或 重力的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化，然后對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。作為一個(gè)纟支術(shù)術(shù)i吾，"應(yīng) 變，，包括拉張應(yīng)變和壓縮應(yīng)變，通過正號(hào)或負(fù)號(hào)來區(qū)分。因此，應(yīng)變計(jì)可用于測(cè) 定擴(kuò);沐壓縮。
當(dāng)探針i仏并與上述測(cè)^4羊品的表面接觸，且接觸探測(cè)器包括上述傳感器 組件之一時(shí)，該傳感器或傳感器組件可以探觀財(cái)妄觸探測(cè)器的偏移、彎曲或變形。 接觸探測(cè)器的變形或偏移可表示探針接i^位于測(cè)i^f羊品的表面。同樣，也可表 示探針，尤其是懸臂接近該表面和/或一個(gè)不理想的表面缺陷。
進(jìn)一步地，該探4恢可以包括探測(cè)接觸探測(cè)器中信號(hào)變化的電學(xué)探測(cè)電路。 在本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施例中，接觸探測(cè)器可以是一個(gè)自由懸臂，且可以通過 測(cè)量自由懸臂的偏移來探測(cè)樣品的表面。然后接觸探測(cè)器可以通過懸臂的偏移來 顯示表面或表面缺陷的存在。偏移度數(shù)也可以由探針臂和表面缺陷之間的作用力 絲示。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，電學(xué)探測(cè)電路包括惠斯登電橋或選擇為四線歐 姆電路?；菟沟请姌蚩捎糜跍y(cè)量應(yīng)變計(jì)中電阻值的變化，從而對(duì)接觸探測(cè)器套性 臂的偏移進(jìn)行測(cè)量。^^可其他用于測(cè)定電阻值或電阻值變化的電路者阿以使用。
根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，接觸探測(cè)器可以從與多條懸臂相關(guān)的特定角度延伸。 如上所述，該多條懸臂從支撐體以^J丈平行的方向延伸。接觸探測(cè)1^尤選為^>人 支撐體延伸，也可以在特定夾角的方向內(nèi)延伸，該特定夾角為平行延伸的懸臂定 義的方向和接觸探測(cè)器之間所定義的夾角。在根據(jù)本發(fā)明的第一方面的探針的特
定實(shí)施例中，該特定夾角可以是O度、45度或90度。O度時(shí)，接觸探測(cè)器沿與 多個(gè)懸臂J4^平行的方向延伸。90度時(shí)，接觸探測(cè)器沿與多個(gè)懸臂^^垂直的方 向延伸。接觸探測(cè)器和懸臂定義的夾角可以在0到180度之間任意選擇。該夾角 伊逸為位于與支撐體的第一表面相同的平面內(nèi)。
在本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)懸臂可從所述支撐體延伸以定義第 一長(zhǎng)度。所述接觸探測(cè)器可從所述支撐體延伸以定義不同于第 一長(zhǎng)度的第二長(zhǎng) 度。在另一實(shí)施例中，第二長(zhǎng)度可長(zhǎng)于第一M。在一可選實(shí)施例中，第二長(zhǎng)度 可短于第一長(zhǎng)度。每個(gè)懸臂在特定長(zhǎng)度間隔內(nèi)定義長(zhǎng)度。該特定長(zhǎng)度間隔優(yōu)選為 比懸臂的平均長(zhǎng)度窄。但是，在某些實(shí)施例中，懸臂可具有更大變化的不同長(zhǎng)度。 例如多個(gè)懸臂可分割成兩組或多組，其中每^Lji一組長(zhǎng)度間隔內(nèi)定義長(zhǎng)度，且 每組長(zhǎng)度間隔不同。同樣的，接觸探測(cè)器也可分成多組，其中每組具有相同的間 隔。
為了得到接觸探測(cè)器電阻值明顯變化，自由分臂伊速為定義分臂孔徑，該分 臂孑W圣沿接觸探測(cè)器的縱向定義分臂長(zhǎng)度，其中分臂長(zhǎng)度有利地構(gòu)成了接觸探測(cè) 器總體長(zhǎng)度的特定百分比，如10-99%、 15-75%、 20-30%、 25-40%或選擇10—15%、 15—20°/" 20°/「25%、 25-30%、 30-35%、 35-40%、 40-45°/" 45-50%、 50-55%、 55-60%、 60-65%、 65—70°/" 70-75%、 75-80%、 80-85%、 85-90°/" 90-95%、 95-99%。
本發(fā)明M涉及小尺寸的探針，由此所述第一長(zhǎng)度和/或所述第二長(zhǎng)度優(yōu)選 約為1//m—1000^， ^口 2^—500，，侈'H;口5^—100^,或i^擇為1 ;/m —5 ^ 、 5//w-20聲、25戶-50，、 50戶-75戶、75"-100戶、100聲-150戶、 150戶-200戶、200戶-300戶、300戶-500盧、500^-1000戶。
可以預(yù)見接觸探測(cè)器定義的長(zhǎng)度大于最長(zhǎng)的懸臂長(zhǎng)度的實(shí)施例具有尤佳的 優(yōu)點(diǎn)。在這些實(shí)施例中，可以預(yù)iW矣觸探測(cè)器在懸臂的^-"個(gè)之前到i^斤錄面。
10在另一個(gè)實(shí)施例中，多個(gè)懸臂具有共同表面。由懸臂定義的共同表面優(yōu)選為 平行于所述支撐體的所述第一表面定義的平面。在一個(gè)可選實(shí)施例中，所述懸臂
沒有共同表面，例如懸臂位于所述支撐體的所述第一表面法線的方向內(nèi)。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，所述接觸探測(cè)器可放置在第二平面上，所述第二表面
在所述共同表面內(nèi)或，可選捧性地，所述第二表面在平行與所述共同表面的平面
內(nèi)。所述接觸探測(cè)器的表面被放置以使懸臂的共同表面和接觸探測(cè)器的平面間限
定一距離，其中該距離沿兩平行平面的共享法線測(cè)量。
4殳而言，所述探針釆用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)或納米電機(jī)系統(tǒng)(NEMS)制造
術(shù)，或其他用于生產(chǎn)機(jī)器細(xì)孩^t件的技術(shù)制造。
在本發(fā)明的伊^t實(shí)施例中，接觸探測(cè)^^立于兩個(gè)懸臂之間。在其他實(shí)施例中， 懸臂可緊才&t^，且接觸探測(cè)器與多個(gè)懸臂以一&巨離間隔it^。在一個(gè)優(yōu)選實(shí) 施例中，懸臂和接觸探測(cè)器可與位于接觸探測(cè)器任一邊的兩個(gè)懸臂方 在同一結(jié) 構(gòu)中。
在^f也實(shí)施例中，所述探針包括兩個(gè)平^^:置的接觸探測(cè)器，以j妙斤述多個(gè) 懸臂位于所述兩個(gè)接觸探測(cè)器之間。可選擇地，多組懸^5f與位于每組懸臂間的 接觸探測(cè)器順序方ti:。每組中的懸臂數(shù)量很少。需要注意的是空的組和只包t 個(gè)元件的組也包含^i且的定義內(nèi)。更"-^地，懸臂梁和接觸探測(cè)器的任意組合都
可以滿足特定的測(cè)試情況。
根據(jù)本發(fā)明第一方面的探針的伏選實(shí)施例中，包含具有惠斯登電橋的所需探 針的變形，包含接觸探測(cè)器的惠斯登電橋的一個(gè)分支還包含另一個(gè)接觸探測(cè)器， 其包含被所述支撐體掩蓋以防止所述參考探測(cè)器與所述測(cè)試樣品的所述表面接 觸的參考探測(cè)器。通過提供所述恚浙登電橋的第一分支的兩個(gè)電阻，其中第一分 支包含所述接觸探測(cè)器，將所述接觸探測(cè)器復(fù)制 擬電阻或參考電阻，能確信 的是所述惠斯登電橋的第一分支的所述兩個(gè)電阻在一定程度上具有相同的結(jié)構(gòu) 和相同的物理特性，如相同的電阻率。具有接觸探測(cè)器的惠斯登電橋的第一分支 的兩個(gè)電阻間的相同點(diǎn)使得在生產(chǎn)探針的過程中還需要考慮同步銀汶置兩個(gè)電
阻、簡(jiǎn)化生產(chǎn)包含4^登電橋回路的^i罙針的工藝。
為了提高惠斯登電橋的靈敏度，優(yōu)選的是所述恚浙登電橋的第一分支的電阻 值小于所述第二分支的電阻值，所述第一分支包括接觸探測(cè)器并可選擇性地具有
11經(jīng)接觸探測(cè)器復(fù)制成的參考探測(cè)器，所述第二分支包括參考電阻，該參考電F遞 過向所述第二分支提供大于所述第一分支阻值的電阻^得增加或改進(jìn)的靈敏 度。因此，伊逸實(shí)施例相應(yīng)地包括與第二分支相比具有更低電阻值的第一分支， 所述第一分支的電阻值至少是所述第二分支電阻值的兩倍，優(yōu)選為至少小于所述
第二分支的阻抗的一個(gè)10的數(shù)量級(jí)(one order of magnitude of power of 10)。 本發(fā)明的第二方面涉及一種獲得測(cè)逸陣品電學(xué)性能的方法，該方法包括 提供所述測(cè)試樣品、所述測(cè)逸洋品限定測(cè)試表面；
提供包括用于測(cè)定測(cè)i^4f品表面區(qū)域電學(xué)性能的探針的測(cè)試設(shè)備，所述探針 位于相對(duì)于所述測(cè)^f羊品特定角度內(nèi)，所述探針包括 確定第一表面的支撐體；
從與所述第一表面共面的支撐體延伸的多個(gè)懸臂，所述多個(gè)懸臂彼此^J丈平 行ifel伸，所述多個(gè)懸臂的每一個(gè)包括一個(gè)電傳導(dǎo)的端部，所述端部通過將與測(cè) ^#品表面相應(yīng)的探針移動(dòng)到所述特定方向內(nèi)以接觸所述測(cè)試樣品的所i^4面， 以及
乂A^斤述支撐體延伸的接觸探測(cè)器，所述接觸探測(cè)器設(shè)置成進(jìn)行上述移動(dòng)時(shí)在 接觸所述測(cè)試樣品所ii^面的所述多個(gè)懸臂的任一個(gè)之前或同時(shí)接觸所述測(cè)試 樣品的所i^面；
所述設(shè)備進(jìn)一步包括電連接到所述探針電導(dǎo)體端部的電信號(hào)發(fā)生器， 電連接到所述接觸探測(cè)器的接觸探測(cè)電路，
相對(duì)于所迷測(cè)試樣品的所述表面移動(dòng)所述探針，監(jiān)測(cè)所述接觸探測(cè)電路以標(biāo) 示所述接觸探測(cè)器與所述測(cè)^f羊品的所ii4面接觸的狀態(tài)，其中所述接觸探測(cè)器 ^^一個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器，包4舌
在自身基座處分成兩^H苗臂的柔性臂，以及從其中一賴臂傳輸?shù)饺嵝员鄄?由另外一個(gè)錨臂傳輸回來的非壓阻材料的電學(xué)通路。
因此，本發(fā)明第二方面涉及一種^^]根據(jù)本發(fā)明第一方面的探針來測(cè)量、測(cè) 定或獲得測(cè)試樣品電學(xué)性能的方法。
所述方法包含監(jiān)測(cè)由接觸探測(cè)器產(chǎn)生的信號(hào)。接觸探測(cè)器生成的信號(hào)可^J ) 于測(cè)U否有障礙物鄰近懸臂，如測(cè)試樣品表面或測(cè)試樣品表面上的缺陷。這種 監(jiān)測(cè)可包^頓it^探測(cè)器表面的傳感l(wèi)l^輸電信號(hào)。在一個(gè)特殊實(shí)施例中，傳感 器可以是一個(gè)應(yīng)變計(jì)且接觸探測(cè)器的偏移可以采用惠斯登電橋測(cè)定。""^殳而言，根據(jù)第二方面的方法包含一個(gè)具有##本發(fā)明第一方面的探針的 銜可特征的探針。
第三方面，本發(fā)明進(jìn)一步涉及一種測(cè)定測(cè)試樣品表面區(qū)域電學(xué)性能的系統(tǒng)，
所述系統(tǒng)包括
用于容納所述測(cè)^f羊品的測(cè)試樣品容器；
容納用于測(cè)定測(cè)試樣品表面區(qū)域電學(xué)性淑笨針的探針容器，所述探針位于相 對(duì)于所述測(cè)^f羊品的特定角度內(nèi)，所述探針包括 確定第一表面的支撐體；
從與所述第一表面共面的支撐體延伸的多個(gè)懸臂，所述多個(gè)懸臂彼此大致平 行i4^f申，所述多個(gè)懸臂的每一個(gè)包括一個(gè)電傳導(dǎo)的端部，所述端部通過將與測(cè) i勁羊品表面相應(yīng)的探針移動(dòng)到所述特定方向內(nèi)以接觸所述測(cè)試樣品的所述表面， 以及
A^斤述支撐體延伸的接觸探測(cè)器，所述接觸探測(cè)器設(shè)置Aii行上述移動(dòng)時(shí)在 接觸所述測(cè)試樣品所述表面的所述多個(gè)懸臂的任一個(gè)之前或同時(shí)接觸所述測(cè)試 才羊品的所i^4面；
所述系統(tǒng)進(jìn)一步包括電連接到所述探針電，端部的電信號(hào)發(fā)生器以及電 連接到所述接觸探測(cè)器的接觸探測(cè)電路；
當(dāng)相對(duì)于所述測(cè)^^羊品的所ii4面移動(dòng)所述探針時(shí)，所述接觸探測(cè)電5^彩則 所述測(cè)試樣品的所ii4面接觸所述接觸探測(cè)器的標(biāo)示，其中所述接觸4罙測(cè)器是一 個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器，其包括
在自身基座處分成兩^4苗臂的柔性臂，以及從其中一^苗臂傳輸?shù)饺嵝员鄄?由另外一^N苗臂傳輸回來的非壓阻材料的電學(xué)通路。
才瞎本發(fā)明第三方面的系統(tǒng)可用于^f僻財(cái)居本發(fā)明第二方面的方法，也可包 括根據(jù)本發(fā)明第一方面的探針。所述探針可包括本發(fā)明第一或第二方面所述的任 一特征。
根據(jù)本發(fā)明的教導(dǎo)，^i )探針時(shí)，尤其具有的優(yōu)點(diǎn)是，在接肚tt于懸臂 的裝置的表面時(shí)，所ii4面接觸探測(cè)器的一個(gè)或多個(gè)懸臂將產(chǎn)生偏移撞到所ii4 面上。所述偏移將導(dǎo)致被測(cè)電信號(hào)變化，使得至少在一個(gè)方向內(nèi)能探測(cè)物體表面
的位置。同時(shí)，與所ii4面相應(yīng)的多懸臂探針的位置能故高度準(zhǔn)確地測(cè)定，至少
在一個(gè)方向內(nèi)優(yōu)于土2戶。在本發(fā)明的伏選實(shí)施例中，所述多懸臂探針位于所述探針的間隔內(nèi)，且所述
表面探測(cè)傳感器育^皮很好^y空制在至少在一個(gè)方向內(nèi)優(yōu)于± 2戶。上述能通#
相同的J4l內(nèi)(如硅、石英、詢資或聚^4勿)或半組裝、高準(zhǔn)確度的組裝技術(shù)組
裝的兩個(gè)i^反內(nèi)制造探針和傳感器來實(shí)現(xiàn)。這種高準(zhǔn)確度的組裝可采用MEMS或 NEMS制it才支術(shù)來實(shí)現(xiàn)。
現(xiàn)結(jié)合本發(fā)明的實(shí)施例參照附圖來說明上述各優(yōu)點(diǎn)和實(shí)現(xiàn)方式，其中


圖1是有四個(gè)懸臂和一個(gè)接觸探測(cè)器的探針的第一實(shí)施例的示意圖； 圖2是有四個(gè)懸臂和兩個(gè)接觸探測(cè)器的探針的第二實(shí)施例的示意圖； 圖3是惠斯登電橋結(jié)構(gòu)中應(yīng)變計(jì)的簡(jiǎn)單示意圖； 圖4是惠斯登電橋被測(cè)輸出電壓/應(yīng)變傳感^f立移的示意圖，以及 圖5 Ai笨4十第三實(shí)施例的示意圖。
脅實(shí)施方式
圖1是具有由數(shù)字12表示的四個(gè)懸臂和接觸探測(cè)器14的探針10的第一實(shí) 施例的部分示意圖。懸臂12和接觸探測(cè)器14從探針10向探針10的表面18的 邊緣16以上^4伸。
接觸探測(cè)器可用于探測(cè)測(cè)^f羊品表面上或表面內(nèi)的障礙物和變形，或?qū)μ结?br> 和測(cè)試樣品的表面接觸進(jìn)行簡(jiǎn)單^y彩則。
懸臂12 /Ai^i彖16鉢平行地自由延伸。接觸探測(cè)器14 ^Ji緣16自由延 伸。所示接觸探測(cè)器為具有柔性臂21的懸臂結(jié)構(gòu)。柔性臂21以基本平行于懸臂 的方向^4伸。
柔性臂21通過錨臂20和錨臂22附著在探針10上。所述臂涂覆了導(dǎo)電非壓 阻金屬層，由此可用作探測(cè)接觸探測(cè)器偏移的應(yīng)變計(jì)式傳感器。
柔性臂21電連接到用于探測(cè)由柔性臂21的偏移引起電壓/電阻變化的,桑浙 登電橋電路24中。在^i可惠斯登結(jié)構(gòu)中，電路24包含三個(gè)已知阻值的電阻。由 柔性臂21的臂20和臂22形成的應(yīng)變計(jì)部分的電阻用于測(cè)量柔性臂21的偏移。 應(yīng)變計(jì)由支撐硅層或結(jié)構(gòu)上的非壓阻金屬層形成。該石A^形成支撐體，例如 探針體IO。在接觸探測(cè)器14的柔性臂21中^f躺非壓阻金屬層或非壓阻電學(xué)^4圣的優(yōu)點(diǎn) 較易地能由圖l解釋。為簡(jiǎn)化問題，圖l中建立了坐標(biāo)系統(tǒng)，其中z軸平行于紙 面的主平面，y軸平行于柔性臂21且位于紙面內(nèi)，x軸垂直于柔性臂21且位于 紙面內(nèi)。假設(shè)沿z軸的力作用在柔性臂48的端部，導(dǎo)致柔性臂48產(chǎn)生偏移。根 據(jù)金屬層位于支撐體的哪一邊，偏移壓縮涂層或Ai立伸涂層。對(duì)于一樣縮的涂層， 導(dǎo)電金屬的橫截面積增加，同時(shí)導(dǎo)電鴻、徑的"^JL減少。這兩種效應(yīng)者P^導(dǎo)致電阻 值的減少。對(duì)于被拉伸的涂層，導(dǎo)電金屬的橫截面積減小，同時(shí)導(dǎo)電路徑的長(zhǎng)度 增加，從而導(dǎo)致電阻值的增加。
假設(shè)將外力替換為沿x軸的方向作用在圖1右方的柔性臂21的端部。由于 作用時(shí)錨臂20會(huì)祝醫(yī)縮，而另一個(gè)錨臂22會(huì)被拉伸。和沒有被作用的接觸探測(cè) 器相比，從第1臂20到柔性臂21產(chǎn)生電學(xué)通路時(shí)，電阻值l^f氐，而從柔性臂 21通過錨臂22傳輸回時(shí)，電阻值增加。由此可見作用力會(huì)導(dǎo)致第一錨臂20的橫 截面積增力o，而第二錨臂22的橫截面積減少。進(jìn)而，第一錨臂20的長(zhǎng)度會(huì)減少， 而第二錨臂22的長(zhǎng)度會(huì)增加。對(duì)于適度的偏移，橫截面積的變化和長(zhǎng)度的變化 將彼jtU氐消，從而導(dǎo)致接觸探測(cè)器電路24的電阻值幾乎近似沒有變化。但是， 如果錨臂20和錨臂22;l^卩ibH"料，由于電卩JL^應(yīng)作用力的非線性，接觸探測(cè)器 電路24的電阻值將明顯改變，即使乘性臂21發(fā)生ii^的偏移。因此，為了i^ 沿x軸的分力產(chǎn)生探測(cè)信號(hào)，對(duì)于》t^這里的基于上述特征的4彩則器應(yīng)該具有非 壓P且材料的錨臂20和錨臂22。應(yīng)該注意的是，圖1中的接觸探測(cè)器對(duì)沿x軸的 分力不敏感。由此可見，在此種情況下，柔性臂21不能用作在臂上的基座獨(dú)立 于長(zhǎng)^向的操作桿。
圖中所示的實(shí)施例包括鄰近或位于接觸結(jié)構(gòu)的惠斯登電橋，例如探針10 體的頂部。在其他的實(shí)施例中，該電路可s^敖被脊氏。例如在測(cè)試設(shè)備中或其 他，或僅^f訪探針10的其他部分。
接觸探測(cè)器14起^卜償?shù)淖饔?，稱為誤差作用。如果柔性臂21斷開，通過錨 臂20和錨臂22定義的電劇夸斷開，因此電阻值會(huì)增加大無(wú)窮大，或至少很大。
如果接觸探測(cè)器14的柔性臂21 itA測(cè)^f羊品表面內(nèi)，應(yīng)變計(jì)的電P且值會(huì)變 化。當(dāng)應(yīng)變計(jì)的電阻值或電阻值的相關(guān)變量超過預(yù)定值，系統(tǒng)##止探針的移動(dòng)。 如果接觸探測(cè)器在錨臂20或錨臂22處斷開，相比幾乎平衡的恚浙登電橋而言， 電阻值會(huì)有略微的增加。圖2是具有多個(gè)，如4個(gè)懸臂28、 30、 32、 34的4笨針I(yè)O，的第二實(shí)施例的示 意圖。其中每個(gè)臂包括一個(gè)用于與測(cè)^#品表面區(qū)域進(jìn)行電接觸的電*端部。探針10，還包括兩個(gè)接觸探測(cè)器36、 38。接觸4笨測(cè)器36、 38與圖1所述的接 觸探測(cè)器的類型相同。圖3為惠斯登電橋結(jié)構(gòu)中應(yīng)變計(jì)數(shù)的示意圖。該惠斯登電橋由三個(gè)具有固定 阻值的電阻42、 44、 46組成。該阻值可隨溫度變化而變化，但_大體上不可變。 柔性臂48包括一個(gè)用于組成電路的金屬層而形成的應(yīng)變計(jì)凄^L件。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，點(diǎn)50和54之間提供電流。點(diǎn)52和56間的輸出 電壓i^才妄時(shí)凈皮連續(xù)監(jiān)測(cè)，如探針與測(cè)^#品表面接觸時(shí)。對(duì)于之前的連4妄，參考值被測(cè)量，定義為Vref。為了計(jì)算輸出值相應(yīng)的變化， 在點(diǎn)54和56之間提供電流時(shí)，測(cè)量點(diǎn)50和52之間的輸出電壓。通iiM續(xù)監(jiān)測(cè)輸出電壓相應(yīng)的變化，得出(F^-j^e/)/F0，可探測(cè)出具有 應(yīng)變計(jì)凄t^件的懸臂的接觸點(diǎn)。接下來直##探針朝該表面移動(dòng)，當(dāng)輸出電壓的 相應(yīng)變^^￡出預(yù)定值時(shí)，該系統(tǒng)#^亭止應(yīng)變計(jì) 置的移動(dòng)。如果應(yīng)變計(jì)的懸臂 斷開，電阻值相對(duì)于接近平衡的的,慈^f登電橋會(huì)少量;W曾加。然后系統(tǒng)將簡(jiǎn)單地 中止測(cè)量以防止4果針撞A/斤i^面。圖4是作為應(yīng)變傳感器的替代作用的恚浙登電橋輸出電壓測(cè)試圖，如表面 #笨測(cè)器，在一個(gè)方向內(nèi)，如沿Z軸。電流設(shè)定為500^。在探測(cè)樣品表面前，可 得到連續(xù)的輸出電壓。懸臂的端部與表面接觸時(shí)，將外力 口到懸臂，該懸臂包 括傳感器中的一個(gè)應(yīng)變計(jì)，tt輸出電壓的變化而變化。懸臂沿z軸移動(dòng)與輸出 電壓線性變化，由于在電路中^J ]了壓E^才料，因jtbil些是可以預(yù)料的。圖5是第三實(shí)施例探針I(yè)O，，的示意圖。第三實(shí)施例的4笨針I(yè)O"不同于上述圖2 所示的第二實(shí)施例中的探針。其中，電p且也由同樣包含接觸探測(cè)器的惠浙登電橋 的第一分支組成。位于懸臂28，、懸臂30'、懸臂32，和懸臂34，的左邊和右邊的接 觸探測(cè)器由附圖標(biāo)記36，和38，表示。依次連接到接觸探測(cè)器的相仿接觸探測(cè)器由 附圖考標(biāo)記36，，和38，，表示。該兩個(gè)相仿接觸探測(cè)器36，，和38，，位于基底對(duì)應(yīng)的入 口。該入口由58和60表示，其分別用于防iM目仿接觸探測(cè)器36"和38"與測(cè)試 樣品的表面接觸。由itb4目仿接觸探測(cè)器構(gòu)成了與接觸探測(cè)器具有相同電阻值的參 考探測(cè)器，以得到更高的精度。因?yàn)閮蓚€(gè)惠斯登電橋的每一個(gè)的第一分支均由確 定電阻率的元件組成，其中之一為接觸探測(cè)器，如上所述，用于顯示導(dǎo)致接觸探16測(cè)器的錨臂的電阻率變化的枳^成彎曲，其中錨臂的電阻率變化用于探測(cè)接觸探測(cè) 器和測(cè)^f羊品表面間建立接觸。屬于兩個(gè)接觸探測(cè)器36，和38，的惠浙登電橋還包括參考電阻42'、 44，和^# 電阻42"、 44"。其分別構(gòu)成兩個(gè)接觸探測(cè)器36，和38，中^"-個(gè)的惠斯登電橋的 第二分支。圖5所示的第三實(shí)施例大致提供了一種將惠斯登電橋第一分支相同電阻的 高度集成的情況。接觸探測(cè)器36，和38，分別復(fù)制成虛擬電阻36"和38"。先確定 兩個(gè)惠斯登電橋的接觸探測(cè)器和虛擬接觸探測(cè)器的測(cè)試的性負(fù)W目同，然后提供一 個(gè)簡(jiǎn)單地將接觸探測(cè)器復(fù)制成與惠斯登電橋相同的參考探測(cè)器來制造探針的簡(jiǎn) 勒支術(shù)。雖然參照說明書和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了上述描述，^L^領(lǐng)域技術(shù)人員 在不超出本申請(qǐng)的保護(hù)范圍內(nèi)做出變形和改變。
權(quán)利要求
1、一種測(cè)定測(cè)試樣品表面區(qū)域電學(xué)特性的探針，所述探針相對(duì)于所述測(cè)試樣品處于特定方向，所述探針包括確定第一表面的支撐體；從與所述第一表面共面的所述支撐體延伸的多個(gè)懸臂，所述多個(gè)懸臂彼此大致平行地延伸，所述多個(gè)懸臂的每一個(gè)包括一個(gè)電傳導(dǎo)的端部，所述端部通過將與測(cè)試樣品的所述表面相應(yīng)的所述探針移動(dòng)到所述特定方向內(nèi)以接觸所述測(cè)試樣品的所述表面，以及從所述支撐體延伸的接觸探測(cè)器，所述接觸探測(cè)器設(shè)置成進(jìn)行上述移動(dòng)時(shí)在接觸所述測(cè)試樣品所述表面的所述多個(gè)懸臂的任一個(gè)之前或同時(shí)接觸所述測(cè)試樣品的所述表面，其中所述接觸探測(cè)器是一個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器，包括在自身基座處分成兩個(gè)錨臂的柔性臂，以及從所述錨臂中的一個(gè)描臂傳輸?shù)饺嵝员鄄⒂伤鲥^臂的另外一個(gè)錨臂傳輸回來的非壓阻材料的電學(xué)通路。
2、 如權(quán)利要求1所述的探針，其中所述探針進(jìn)一步包括用于探測(cè)所述接觸 探測(cè)器信號(hào)變化的電學(xué)探測(cè)電路。
3、 如權(quán)利要求2所述的探針，其中所述測(cè)試樣品的所i^4面是通過測(cè)量所 述柔性臂的偏移來#1測(cè)的。
4、 如權(quán)利要求2或3所述的探針，其中所述電學(xué)探測(cè)電路包括惠斯登電橋， 或可選擇'hii也包括四線歐姆電路。
5、 如;f又利要求1-4任一項(xiàng)所述的探針，其中所述接觸探測(cè)器以與所述多個(gè) 懸臂的特定角度延伸。
6、 ^f又利要求5所述的探針，其中特定角MO度、45度或90度。
7、 如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的探針，其中所述多個(gè)懸臂從所述支撐體延 伸以定義第一長(zhǎng)度，所述接觸探測(cè)器從所述支撐體延伸以定義不同于所述第一長(zhǎng) 度的第二長(zhǎng)度。
8、 如權(quán)利要求7所述的探針，其中所述第二長(zhǎng)度大于所述第一長(zhǎng)度，或可 選擇地，所述第二M小于所述第一長(zhǎng)度。
9、 如權(quán)利要求7或8所述的^罙針，其中接觸探測(cè)器的所述第二長(zhǎng)度沿接觸 探測(cè)器的縱向構(gòu)成接觸探測(cè)器的總體長(zhǎng)度，其中自由分臂定義分臂孑L4么所分臂孔徑沿縱向定義分臂長(zhǎng)度，且其中分臂長(zhǎng)度組成所迷第二長(zhǎng)度的百分比，如10—99%、 15—75%、 20-30%、 25—40%或選擇10—15%、 15-20%、 20%-25%、 25-3 00/" 30—35%、 35-40%、 40-45°/" 45-50%、 50—55%、 55—60%、 60—65%、 65—70°/。、 70—75°/" 75-80%、 80-85%、 85-90°/" 90-95°/" 95—99%。
10、 如權(quán)利要求7-9的任一項(xiàng)所述的探針，其中所述第一M和/或所述第 二長(zhǎng)度約為1;/W-1000，，如2^-500",例如5戶-100戶，或選擇為 1 //w -5 ^附、5戶-20戶、25戶-50聲、50戶-75戶、75戶-IOO戸、 100聲-150戶、150戶—200戶、200聲—300聲、300戶—500 ，、 500聲-1000戶。
11、 如權(quán)利要求1-10的^"-項(xiàng)所述的探針，其中所述多個(gè)懸臂具有共同表面。
12、 如權(quán)利要求11所述的探針，其中所述接觸探測(cè)器在第二表面，所述第 二表面位于所述共同表面內(nèi)或所述第二表面位于與所述共同表面平行的平面內(nèi)。
13、 才財(cái)居上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的探針，其中所述探針^JI] MEMS或NEMS 制造技術(shù)制成。
14、 根據(jù)上述^-"項(xiàng)權(quán)利要求所述的探針，其中所述接觸探測(cè)恭f立于所述懸 臂之間。
15、 如權(quán)利要求1-13任一項(xiàng)所述的探針，其中所述4笨針包括兩個(gè)平朽3文置 的接觸探測(cè)器，以使所述多個(gè)懸臂位于所述兩個(gè)接觸探測(cè)器之間。
16、 根據(jù)上述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的探針，包括構(gòu)成參考探測(cè)器的另一個(gè)接 觸才笨測(cè)器，所述參考探測(cè)器^/斤述支撐,蓋以防止所述參考探測(cè)器與所述測(cè)試 才羊品的所#面<|秦觸。
17、 如權(quán)利要求4-16 ^i可一項(xiàng)所述的探針，所述接觸探測(cè)器包含在所述惠斯登電橋的第一分支中，所述探針進(jìn)一步包括構(gòu)成所述急浙登電橋第二分支的參考電阻，所述第一分支的所述電P且值小于所述第二分支的電阻值至少兩倍，伏選 為至少小于所述第二分支的阻抗的一個(gè)10的數(shù)量級(jí)。
18、 一種獲得測(cè)試片羊品電學(xué)性能的方法，所述方法包括 "^供所述測(cè)"^^羊品、所述測(cè)^#品限定測(cè)"^4面；提供包括用于測(cè)定測(cè)試樣品表面區(qū)域電學(xué)性能的包含探針的測(cè)試設(shè)備，所述 探針位于相對(duì)于所述觀HW羊品特定角度內(nèi)，所述^笨針包括確定第一表面的支撐體；從與所述第一表面共面的所述支撐體延伸的多個(gè)懸臂，所述多個(gè)懸臂彼此大 致平行i^^l伸，所述多個(gè)懸臂的每一個(gè)包括一個(gè)電傳導(dǎo)的端部，所迷端部通過將 與測(cè)試》羊品的所ii^面相應(yīng)的所述4笨4十移動(dòng)到所述特定方向內(nèi)以接觸所述測(cè)試 樣品的所i!4面，以及,A^斤述支撐體延伸的接觸探測(cè)器，所述接觸探測(cè)器設(shè)置成進(jìn)行上述移動(dòng)時(shí)在 接觸所述測(cè)試樣品所述表面的所述多個(gè)懸臂的任一個(gè)之前或同時(shí)接觸所述測(cè)試 才羊品的所ii^面；所述設(shè)備進(jìn)一步包括電連接到所述探針電導(dǎo)體端部的電信號(hào)發(fā)生器， 電連接到所述接觸探測(cè)器的接觸探測(cè)電路，相對(duì)于所述測(cè)試樣品的所述表面移動(dòng)所述探針，監(jiān)測(cè)所述接觸探測(cè)電路以標(biāo) 示所述接觸探測(cè)器與所述測(cè)i^羊品的所錄面接觸的狀態(tài)，其中所述接觸探測(cè)器 ^^一個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器，包括在自身基座處分成兩個(gè)錨臂的柔性臂，以及從其中一個(gè)錨臂傳輸?shù)饺嵝员鄄⒂闪硗庖粋€(gè)錨臂傳輸回來的非壓阻材 料的電子通路。
19、 如權(quán)利要求18所述的方法，其中所述探針包含權(quán)利要求l-17^-項(xiàng)的 特征。
20、 一種測(cè)定測(cè)試樣品表面區(qū)域電學(xué)性能的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括 用于容納所迷測(cè)試樣品的測(cè)試樣品容器；容納用于測(cè)定測(cè)i勁羊品表面區(qū)域電學(xué)性淑笨針的探針容器，所述纟笨針位于相 對(duì)于所述測(cè)^f羊品特定角度內(nèi)，所述探針包括 確^一表面的支撐體；從與所述第一表面共面的所述支撐體延伸的多個(gè)懸臂，所述多個(gè)懸臂彼此大 致平行^J^伸，所述多個(gè)懸臂的^-個(gè)包括一個(gè)電傳導(dǎo)的端部，所述端部通過將 與測(cè)試》羊品的所iC4面相應(yīng)的所述纟笨針移動(dòng)到所述特定方向內(nèi)以4秦觸所述測(cè)試 沖羊品的所述表面，以及A/J斤述支撐體延伸的接觸探測(cè)器，所述接觸探測(cè)器設(shè)置成進(jìn)行上i^多動(dòng)時(shí)在 "1妄觸所述測(cè)試樣品所*面的所述多個(gè)懸臂的任一個(gè)之_前或同時(shí)接觸所述測(cè)試 才羊品的所#面；所述系統(tǒng)進(jìn)一步包拾電連接到所述探針電^端部的電信號(hào)發(fā)生器以及電連接到所述接觸探測(cè)器的接觸探測(cè)電路；當(dāng)相對(duì)于所述測(cè)^f羊品的所ii^面移動(dòng)所述探針時(shí)，所述接觸探測(cè)電^斜罙測(cè) 所述接觸探測(cè)器與所述測(cè)試樣品所#面接觸的標(biāo)示，其中所述接觸探測(cè)器是一 個(gè)應(yīng)變計(jì)式傳感器，其包拾在自身基座處分成兩個(gè)錨臂的柔性臂，以及從其中一個(gè)錨臂傳輸?shù)饺嵝员鄄⒂闪硗庖粋€(gè)錨臂傳輸回來的非壓阻材 料的電子通路。
21、如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中所述探針包括權(quán)利要求1-17任一項(xiàng)所 述的特征。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于探測(cè)測(cè)試樣品表面區(qū)域電學(xué)性能的探針。所述探針位于與所述測(cè)試樣品相應(yīng)的特定方向內(nèi)。所述探針包含確定第一表面的支撐體，可從與第一表面共面的支撐體延伸的多個(gè)懸臂(12)。所述多個(gè)懸臂(12)可基本上彼此平行地延伸，且所述多個(gè)懸臂(12)的每一個(gè)包含將相對(duì)于測(cè)試樣品表面的所述探針移動(dòng)到所述特定方向來接觸所述測(cè)試樣品區(qū)域的電導(dǎo)體端部。所述探針還包括從支撐體延伸的接觸探測(cè)器(14)，使得在進(jìn)行上述移動(dòng)時(shí)，所述接觸探測(cè)器(14)先于接觸所述測(cè)試樣品所述表面的多個(gè)懸臂(12)的任一個(gè)之前接觸所述測(cè)試樣品的所述表面。
文檔編號(hào)G01R1/067GK101657729SQ200880011693
公開日2010年2月24日 申請(qǐng)日期2008年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月12日
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