專利名稱：仿真?zhèn)鹘y(tǒng)測試系統(tǒng)的行為的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本專利申請整體上涉及仿真?zhèn)鹘y(tǒng)測試系統(tǒng)的行為。
背景技術(shù)：
自動測試設(shè)備(ATE)在半導體器件和電路板組件的制造中起作用。制造商通常使 用自動測試設(shè)備，或“測試器”，在制造過程期間，驗證器件的操作。這些器件稱為“被測器 件”(DUT)或“被測單元”(UUT)。故障的早 期檢測消除了否則將會由于加工有缺陷器件導 致的成本，由此降低整個制造成本。制造商還使用ATE來分級各種規(guī)格。器件能根據(jù)性能 方面的不同等級，諸如速度，被測試和裝箱。器件能根據(jù)它們的實際性能級，被標記和出售。對此已經(jīng)開發(fā)出了測試程序，在此稱為“傳統(tǒng)”或預先存在的ATE。已經(jīng)開發(fā)出了 一些測試程序來解決在ATE的無效通信通道上出現(xiàn)的信號。無效通信通道可以包括已經(jīng)關(guān) 閉驅(qū)動器、檢測器、有源負載和/或PMU或使它們無效的通信通道。盡管無效，但一些通信 通道仍然能在ATE檢測器上記錄信號電平。這可能是由于例如來自ATE的驅(qū)動器的泄漏電 流或一些其他非計劃中的信號。不同類型的傳統(tǒng)ATE通常對無效通道顯示出一致的信號電 平。因此，已經(jīng)開發(fā)出了測試程序來預期這些信號并且在測試期間考慮這些預期的信號。對 這種測試程序，不能記錄來自無效通信通道的預期信號會導致DUT不能測試的表示，實際 上，故障表示僅是無效通信通道上的非預期信號的結(jié)果。近年來，已經(jīng)用更新、更高性能的ATE代替許多類型的傳統(tǒng)ATE。盡管這些更新的 測試器具有許多新的特性，但是在這些更新測試器上運行的許多測試程序已經(jīng)被編寫并且 依賴傳統(tǒng)ATE的性能特性。例如，當禁用驅(qū)動器和有源負載時(例如，因此，通信通道被無 效)，測試程序可以依賴于通信通道的預期偏置條件。然而，更新ATE可能不必要具有與傳 統(tǒng)ATE相同的性能特性。這可能影響在更新或后繼ATE使用現(xiàn)有的測試程序。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明申請描述用于仿真?zhèn)鹘y(tǒng)測試系統(tǒng)的行為的方法和包括電路的裝置。在此所述的是在對器件進行測試中所使用的系統(tǒng)和裝置，該裝置包括具有與之相 關(guān)的可編程參數(shù)集的通信通道?？删幊虆?shù)產(chǎn)生通信通道的偏置條件。偏置控制電路用來 影響由可編程參數(shù)產(chǎn)生的偏置條件以便仿真期望偏置條件。還描述了其他方面、特性和實 現(xiàn)。在附圖和下面的說明書中闡述了一個或多個例子的細節(jié)。更多的特性、方面和優(yōu) 點將從說明書、附圖和權(quán)利要求變得顯而易見。


圖1是可以用來產(chǎn)生在仿真期望偏置條件的通信通道上的偏置條件的ATE部件的 框圖。圖2是用于對器件進行測試的ATE的框圖。
圖3是用在ATE中的測試器的框圖。圖4是可以用來仿真?zhèn)鹘y(tǒng)ATE在ATE和DUT間的無效通信通道上的行為的電路圖。圖5示出了用來為可編程參數(shù)集確定無效通信通道的偏置電壓的圖的例子。不同附圖中相同的附圖標記表示相同的元件。
具體實施例方式圖1示出了可以是ATE1的一部分的部件的框圖。ATE1可以是傳統(tǒng)ATE的后繼，諸 如現(xiàn)有ATE的更新模型或ATE的全新模型。這些部件可以用在ATE1中來仿真?zhèn)鹘y(tǒng)ATE的 偏置條件，或任何其他期望偏置條件。偏置條件可以包括偏置電流，其可以是或包括泄漏電 流。偏置條件可以包括偏置電壓，其可以是或包括偏移(例如非零)電壓。測試程序2可 設(shè)計成與傳統(tǒng)ATE (未示出)一起使用。在ATE1中，測試程序2可用來對在通信通道3上 從DUT (未示出)接收的信號執(zhí)行測試。通過軟件、固件和/或硬件的組合實現(xiàn)的控制模塊 4控制ATE1上測試參數(shù)的編程。這些測試參數(shù)可以包括但不限于用于檢測器5的測試閾值 (例如高或￥ 電平，以及低或電平)、用來控制(多個)有源負載的電壓和/或電流輸 出的參數(shù)，和/或?qū)崿F(xiàn)用于其他電路元件7的其他功能的參數(shù)。測試參數(shù)值影響通信通道上的偏置條件。即，用于測試參數(shù)的不同值能產(chǎn)生不同 的偏置條件。在一個例子中，將由用于傳統(tǒng)ATE通信通道上的這些參數(shù)的特定值產(chǎn)生的偏 置條件與為后繼(例如更現(xiàn)代)ATE上的相同參數(shù)值產(chǎn)生的偏置條件進行比較。偏置控制 器6 (如下所述)影響通信通道上的(多個)偏置條件，以便用于后繼ATE的(多個)偏置 條件與傳統(tǒng)ATE匹配。在ATE1的操作期間，可以將測試信號在通信通道3上從ATE1輸出到DUT。DUT通 過在通信通道3上提供響應信號來響應。例如可以由DUT響應由ATE提供的測試信號來產(chǎn) 生響應信號。另外，信號可以從DUT提供給通信通道3，而與測試信號無關(guān)。另外，DUT可以 從該通道一起斷開，而為了系統(tǒng)測試通過，測試程序可能預期始終維持偏置條件。在任一情 況下，諸如檢測器5的檢測器可以接收信號。可能每一通道有一個檢測器(在圖1中僅示 出了一個通道)。檢測器5可以包括一個或多個比較器和/或其他類型的硬件來實現(xiàn)測量功能。檢 測器5的至少一部分也可以用軟件實現(xiàn)。檢測器5電連接到通信通道3，并配置成從通信通 道接收信號，將那些信號與一個或多個閾值進行比較，以及將比較結(jié)果提供給測試程序2。 在此評價比較結(jié)果以便確定例如DUT是否通過特定測試。應注意，當在此使用時，電連接不 要求直接物理連接。電連接可以包括兩個部件間的中間部件。同樣地，電連接可以包括無 連線電連接，諸如由變壓器產(chǎn)生的。其他電路7，可以包括有源和/或無源負載，也可以電連接到通信通道3。該其他 電路可以用來例如將一個或多個加載條件提供給通信通道3。加載條件可以包括但不限于 至通信通道3的期望電壓和/或電流。ATE1還包括偏置控制器6。偏置控制器6可以用來在通信通道3上仿真期望偏置 條件，諸如傳統(tǒng)ATE的通信通道的偏置條件。偏置控制器6可以包括可編程、雙向(灌或 拉)偏置電源流8，盡管也可以使用其他類型的一編程和非編程的一信號源來代替電流源 8。由電流源8輸出的電流連同已經(jīng)在通信通道3上的電流和阻抗影響該通信通道上的現(xiàn)有偏置條件，以便在該通信通道上產(chǎn)生新的偏置條件(例如電壓)。例如，輸出電流可以改 變通信通道上的電壓，以便其等效于在相同通信通道上傳統(tǒng)ATE預期的偏置電壓。
偏置控制器6可以包括電壓源/阻抗電路9，其可以包括與阻抗電路9b結(jié)合的電 壓源9a。電壓源9a可以是或不是可編程的。阻抗電路9b可以是電阻、電阻網(wǎng)絡(luò)、可變電 阻、電容元件、電感元件、晶體管和/或這些或其他元件的一個或多個的組合。在操作中，該 電路傳遞去往/來自通信通道3的電流，由此在阻抗電路9b上產(chǎn)生電壓。當與來自源9a 的電壓和通信通道3的(多個)偏置條件結(jié)合時，該電壓產(chǎn)生仿真?zhèn)鹘y(tǒng)ATE將在通信通道 3上產(chǎn)生的偏置條件的偏置條件(例如電壓)。偏置控制器6可以包括可編程偏置電流源8和電壓源/阻抗電路9的組合。包括 這兩個元件的電路的例子在下文通過參考圖4進行描述。應注意到，偏置控制器6應當具 有足夠的可編程范圍來補償被仿真的傳統(tǒng)ATE和后繼ATE間的偏置差。如上所述，為傳統(tǒng)ATE設(shè)計的測試程序可能預期無效通信通道(例如禁用的或三 態(tài)的通信通道)上的某一電壓。一些測試程序可預期該通信通道上的某一電流或其他信號 電平，然而，下文描述預期某一電壓的例子。經(jīng)檢測器5檢測該電壓并傳遞到執(zhí)行測試程序 2的處理設(shè)備(例如計算機)。在操作中，可以控制(例如編程)偏置控制器6來向無效通信通道3提供信號(例 如電流)，以使在無效通信通道3上產(chǎn)生偏置條件(例如電流和/或電壓信號)與將在傳 統(tǒng)ATE的無效通信通道上出現(xiàn)的偏置條件相同或基本上相同。測試程序2預期偏置條件， 例如來自為其設(shè)計測試程序2的傳統(tǒng)ATE的電流和/或電壓信號。作為偏置控制器6在無 效通信通道3上仿真?zhèn)鹘y(tǒng)ATE的性能的結(jié)果，測試程序2將接收預期在無效通信通道3上 接收的信號，因此，測試程序2能在非傳統(tǒng)的，例如后續(xù)或現(xiàn)代的，ATE1上使用。現(xiàn)在參考圖2，該圖示出了在其上實現(xiàn)上述偏置條件仿真過程的系統(tǒng)的例子。圖 2示出了用于測試諸如半導體器件的被測器件(DUT) 18的ATE系統(tǒng)10，其包括測試器12。 為控制測試器12，系統(tǒng)10包括計算機系統(tǒng)14，其通過硬布線連接16與測試器12對接。通 常，計算機系統(tǒng)14將命令發(fā)送到測試器12以便啟動用于測試DUT18的例程和功能的執(zhí)行。 這種執(zhí)行測試例程可以啟動到DUT18的測試信號的生成和傳送，以及從DUT收集響應。系 統(tǒng)10可測試各種DUT。例如，DUT可以是半導體器件，諸如集成電路(IC)芯片(例如存儲 器芯片、微處理器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器等等)。為提供測試信號和收集來自DUT的響應，測試器12連接到為DUT18的內(nèi)部電路提 供接口的一個或多個插腳。為測試一些DUT，例如，可以將多至64或128個插腳(或更多) 與測試器12對接。為示例目的，在該例子中，半導體器件測試器12經(jīng)硬布線連接，連接到 DUT18的一個插腳。導線20 (例如電纜)連接到管腳22并用來將測試信號(例如PMU測 試信號，PE測試信號等等)輸送到DUT18的內(nèi)部電路。導線20還感測管腳22上的由半導 體器件測試器12提供的響應于測試信號的信號。例如，響應于測試信號，可感測在管腳22 上的電壓信號或電流信號，并在導線20上發(fā)送到測試器12以用于分析。這種單端口測試 也可以在DUT18中包括的其他管腳上執(zhí)行。例如，測試器22可以將測試信號提供給其他管 腳，并且收集在導線(其輸送所提供的信號)上返回的相關(guān)信號。通過收集返回信號，可以 連同其他單端口測試量，特性化管腳的輸入阻抗。在其他測試情況下，數(shù)字信號可以在導線 20上發(fā)送到管腳22，以將數(shù)字值存儲在DUT18上。一旦存儲，可訪問DUT18以檢索所存儲的數(shù)字值并在導線20上發(fā)送到測試器12。然后，可識別檢索到的數(shù)字值以確定適當值是否 存儲在DUT18上。連同執(zhí)行一個端口測試，雙端口測試可以由半導體器件測試器12執(zhí)行。例如，可 以在導線20上將測試信號注入管腳22中，并且可以從DUT18的一個或多個其他管腳收集 響應信號。將該響應信號被提供給半導體器件測試器2以便確定量，諸如增益響應、相位響 應和其他吞吐量測量的量。參考圖3，為發(fā)送和收集來自DUT(或多個DUT)的多個插腳的測試信號，半導體器 件測試器12包括能與多個管腳通信的接口卡24。例如，接口卡24可以將測試信號傳送到 例如32，64，或128個管腳，以及收集相應的響應。至管腳的每一通信鏈路包括通道，通過 將測試信號提供給多個通道，由于同時執(zhí)行多個測試，減少了測試時間。連同接口卡上具有 許多通道，通過將多個接口卡包括在測試器12中，整個通道數(shù)增加，由此進一步減少測試 時間。在該例子中，示出了兩個附加的接口卡26和28以示范多個接口卡可組裝于測試器 12。每一接口卡包括用于執(zhí)行特定測試功能的專用的集成電路(IC)芯片(例如專用 集成電路(ASIC))。例如，接口卡24包括管腳電子(PE)臺34，包括用于執(zhí)行PE測試的電 路。PE臺34還可以包括用于執(zhí)行參數(shù)測量單元(PMU)測試的電路。另外，接口卡26和28 分別包括包含PE電路的PE臺36和38。典型地，PMU測試包含將(可編程)DC電壓或電流 信號提供給DUT，以便確定諸如輸入和輸出阻抗、電流泄漏和其他類型的DC性能特性的量。 PE測試包含將DC或AC測試信號或波形發(fā)送到DUT (例如DUT18)以及收集響應來進一步特 性化DUT的性能。例如，PE臺34可以(向DUT)傳送表示二進制值的矢量的AC測試信號， 以存儲在DUT上。一旦存儲了這些二進制值，可以由測試器12訪問DUT來確定是否已經(jīng)存 儲正確的二進制值。為將來自接口卡24的DC和AC測試信號傳遞給DUT18(圖2)，導電跡線40將PE 臺34連接到接口板連接器42，接口板連接器42允許在和不在接口卡24上傳遞信號。接口 板連接器42還連接到導線44，導線44連接到接口連接器46，接口連接器46允許向和從測 試器12傳遞信號。在該例子中，導線20連接到接口連接器46，用于測試器12和DUT18的 管腳22間的雙向信號通路。在一些配置中，可以使用接口設(shè)備來連接測試器12到DUT的 一個或多個導線。例如，DUT可以連接到接口測試適配器(ITA)，其與測試器相連的接口連 接適配器(ICA)對接?？梢詫UT(例如DUT18)裝配在設(shè)備接口板(DIB)上，以提供至每 一 DUT管腳的通路。在這種配置中，導線20可以連接到DIB，以將測試信號置于DUT的適當 (多個)管腳上(例如管腳22)。在該例子中，僅導電跡線40和導線44分別連接PE臺34和接口板24，以輸送和收 集信號。然而，PE臺34(連同PE臺36和38)典型地具有分別與多個導電跡線和相應的導 線連接的多個管腳(例如，8個、16個等等)，以(經(jīng)DIB)提供和收集來自DUT的信號。另 夕卜，在一些配置中，測試器12可以連接到兩個或多個DIB，以將由接口卡24、26和28提供的 通道對接到一個或多個被測器件。為啟動和控制由接口卡24、26和28執(zhí)行的測試，測試器12包括提供用于產(chǎn)生測 試信號和分析DUT響應的測試參數(shù)(例如測試信號電壓級、測試信號電流級、數(shù)字值等等) 的PE控制電路50。PE控制電路可以使用一個或多個處理設(shè)備來實現(xiàn)。處理設(shè)備的例子包括但不限于微處理器、微控制器、可編程邏輯(例如現(xiàn)場可編程門陣列)和/或其組合。測試器12還包括計算機接口 52，其允許計算機系統(tǒng)14控制由測試器12執(zhí)行的操 作，以及還允許在測試器12和計算機系統(tǒng)14間傳遞數(shù)據(jù)(例如測試參數(shù)、DUT響應等等)。計算機14或用在ATE10上或與ATE10有關(guān)的另一處理設(shè)備可配置成通過ATE執(zhí) 行測試程序以測試有效通信通道上的DUT。測試程序可配置成預期一個或多個無效通信通 道上的某一電壓。因此，ATE10包括硬件(例如電路)和/或軟件以生成(多個)無效通 信通道上的預期偏置條件?？梢允褂萌魏晤愋偷碾娐穪韴?zhí)行該功能，包括但不限于一個或 多個PMU。在圖4中示出了可以用來仿真?zhèn)鹘y(tǒng)ATE的偏置條件的電路的例子，其可以包含在 ATE系統(tǒng)10中。例如，該電路可以是上述管腳電子設(shè)備或接口卡的一部分。參考圖4，ATE10包括在通信通道56上將測試信號輸出到諸如DUT18的DUT的驅(qū) 動器55，以及在通信通道56上從該DUT接收信號的檢測器(或接收器)57。檢測器57可 以包括一個或多個比較器和/或其他類型的檢測電路。接收信號可以是由DUT響應于由驅(qū) 動器56提供的測試信號而產(chǎn)生的輸出結(jié)果，或它們可以是由DUT提供的與由驅(qū)動器55提 供的信號無關(guān)的信號。負載59可以是向通信通道56施用加載條件的有源負載。在該例子 中，負載59是可控的(例如可編程)以向通信通道提供多個負載條件中的一個?？梢酝ㄟ^ 編程I 和4電流值來控制有源負載電流。整流電壓(VOT)是可編程的并且為電流源
和提供電壓以將通道56拉到特定電壓?？梢允褂玫钠渌撦d可以是不可編程的。緩沖器60可用來將負載電阻從電壓源63 (VC0M)提供給通信通道56。在一種實現(xiàn) 中，緩沖器60的輸入可以與^ 無關(guān)。使能信號58(Rpull Enable)通過緩沖器60控制電壓，例
的通路。使能信號可以由PE控制電路50輸出，并由諸如計算機14的處理設(shè)備設(shè)定。 電路元件61可以電連接在負載59和通信通道56間。在該例子中，電路元件61是電阻元 件(例如電阻Rpull)；然而，代替電阻，或除電阻外，可以使用其他類型的電路元件。上面已 經(jīng)參考圖1描述了可以使用的電路元件的例子。具有一個或多個輸入的緩沖器60 的多個實例也可以電連接到通道56來實現(xiàn)在此所述的功能。信號源62 (在圖4中標記為BLAS_CTRL電流)電連接到通信通道56。如上參考圖 1所述的情形，信號源62是可編程、雙向(灌或拉)偏置電流源，盡管代替信號源62，可以 使用其他類型的一可編程和不可編程的一源電流。在該例子中，信號源62可以到或往通 信通道灌或拉至200微安(y A)。如下所述，諸如計算機14的與ATE10有關(guān)的處理設(shè)備可 以用來編程信號源62以生成獲得通信通道56上的某一電流和電壓所需的電流量。處理設(shè) 備可以引用存儲諸如高和低閾值電壓和有源負載電壓的參數(shù)的存儲器，以確定用于信號源 62的編程。上述電路元件60、61、62是偏置控制電路75的一部分(在圖4中標記為BIAS_CTRL 電路)，如所述，其可以配置成基本上執(zhí)行與圖1的偏置控制器6的相同的功能。如上所述，為傳統(tǒng)ATE設(shè)計的測試程序可以預期無效通信通道(例如使其來源 (sourcing)元件三態(tài)或禁用的通信通道)上的某一電壓。一些測試程序可預期通信通道上 的一些電流或其他信號電平，然而，下文描述預期電壓的例子。該電壓經(jīng)檢測器57檢測并 傳遞給執(zhí)行測試程序的處理設(shè)備(例如計算機14)。在該例子中，檢測器57可以包括高檢 測閾值1和低檢測閾值V…可編程兩者以檢測通信通道上的高和低信號電平。盡管可以
9使用其他閾值電壓，可以預期的電壓可以在和間。為使測試程序能夠與不具有與傳統(tǒng)的ATE相同性能特性的ATE —起使用，可以控 制(例如編程)信號源62以向無效通信通道56提供信號(例如電流)，并且可以通過使能 緩沖器60來激活Rpull61以便使得用于無效通信通道上的信號的電流、電壓和/或阻抗基本 上與將在傳統(tǒng)的ATE的無效通信通道上出現(xiàn)的相同。通過以這種方式模擬傳統(tǒng)ATE的偏置 條件，為傳統(tǒng)的ATE設(shè)計的測試程序能夠用在不具有相同性能特性的ATE上。如圖4所示，當驅(qū)動器55和負載59無效(例如，關(guān)閉或禁用)時，檢測器57仍然 配置成檢測通信通道56上的信號。此外，DUT也可以測量通信通道上的信號。如果DUT弱 源或無源地驅(qū)動通信通道，那么當通信通道56無效時，驅(qū)動器55和有源負載59的無效狀 態(tài)行為，連同檢測器57(以及電連接到通信通道上的任何其他檢測器)的輸入特性將限定 通信通道56上的偏置條件，例如電壓。例如，當禁用驅(qū)動器55時，泄漏電流仍然通過驅(qū)動器55傳遞到通信通道56。泄 漏電流也可以經(jīng)由檢測器和/或包括信號源62的電連接到通信通道的其他電路元件產(chǎn)生。 驅(qū)動器和檢測器的高和低閾值會影響由這些元件產(chǎn)生的泄漏電流量。該泄漏電流，連同通 信通道56上的其他電流流過通信通道56上的阻抗并在通信通道56上產(chǎn)生電壓。如果使 能緩沖器60，通信通道56上的阻抗是元件(例如驅(qū)動器、有源負載)的截止態(tài)阻抗和 的并聯(lián)組合。為模擬傳統(tǒng)ATE系統(tǒng)的電壓，可以編程信號源62以產(chǎn)生流過通道56上的阻 抗的偏置電流，當與已經(jīng)在該通信通道56上的電流結(jié)合時，產(chǎn)生通信通道56上的電壓，該 電壓基本上與已經(jīng)由傳統(tǒng)的ATE產(chǎn)生的通信通道56上的電壓相同。該電壓將由檢測器57 檢測，并由測試程序處理。由于無效通信通道上的電壓將是測試程序所預期的，由該測試程 序產(chǎn)生的測試結(jié)果將不會受后續(xù)的非傳統(tǒng)ATE不利地影響。在該例子中，為在通信通道56上產(chǎn)生期望電壓，編程信號源62來產(chǎn)生偏置電流。 該偏置電流與已經(jīng)在通信通道上的電流(例如泄漏電流)結(jié)合(例如增加)。使能信號58 設(shè)定為允許電壓流向緩沖器60的輸出并使電路元件(Rpull)61，在此是電阻，影響線路上的 阻抗，同時將通道上的電壓拉向VTOM。由通道56上的元件引起的偏置/泄漏電流產(chǎn)生Rpull 兩端的電壓以便在與VTOM有關(guān)的通道上形成電壓。如果適當?shù)鼐幊绦盘栐?2，在通信通道 上產(chǎn)生的電壓對應于將在傳統(tǒng)的ATE的無效通信通道上出現(xiàn)的電壓。檢測器57檢測該電 壓，并沿路徑將其傳遞到處理設(shè)備，以由測試程序使用。在一個例子中，將整流電壓(VeJ編程到2伏(V)，電阻Rpull具有值230KQ，并且 信號源能產(chǎn)生-40微安(yA)至40(yA)間的可編程電流。然而，應注意，這些值僅僅是例 子，可以使用任何值。圖5示出了為示例設(shè)備/儀器基于參數(shù)集來確定偏置條件的圖形例子。在圖5中， 曲線70示出了對示例傳統(tǒng)ATE的特定可編程參數(shù)集，在電路元件Rpull61兩端產(chǎn)生的泄漏 電流作用?；赗pull、VTOM和通道的值，確定曲線70-該例子中的線一的特性。對于曲線 70，VC0M確定其X軸截距，以及Rpull確定其斜率。曲線71示出了對用來產(chǎn)生曲線70的相同可編程參數(shù)集，在示例傳統(tǒng)ATE的通信 通道上檢測器57的泄漏電流作用。參考圖5，階梯77對應于通信通道上的靜態(tài)泄漏電流。 階梯78和79的X軸位置基于閾值電壓Vra和的值。當橫跨兩個閾值Vra或的一個時， 從階梯77過渡到78，以及當橫跨另一閾值Vra或時，從階梯78過渡到79。在圖5所示的例子中，閾值電壓約在每一階梯的斜坡中間。階梯的電流的大小基于檢測器57的特性。兩條曲線70和71的交點，即點74，對應于將在示例傳統(tǒng)ATE上出現(xiàn)并且新(現(xiàn) 代)ATE必須實現(xiàn)以達到兼容性的偏置電壓80。如上所述，新的ATE可以經(jīng)偏置控制電路 75，實現(xiàn)該偏置電壓80。在一個例子中，直線70示出了流過Rpull61進入通道56中的電流。 曲線71示出了對于閾值集進入檢測器57的泄漏電流(階躍電流)。交點74對應于那兩個 電流抵消(例如，大小相等和方向相反)的點，其被指定為平衡點。在這一點上，通信通道 56上的電壓浮動到平衡點的電壓80。這是可以通過偏置控制電路75的元件，在現(xiàn)代測試 器中實現(xiàn)的傳統(tǒng)測試器的電壓偏置。不同可編程參數(shù)，例如Vffl，V0L, VroM將產(chǎn)生與70和71 的相應的，但不同的曲線，以及不同的交點。如上所述，可以控制偏置控制電路75以獲得不 同的電壓。總而言之，流過Rpull的電流由VOT和通道電壓產(chǎn)生。平衡點上的電壓80是當電流 處于平衡(交叉點74)時，通信通道浮動到的電壓。該點是“未知的”，該圖有助于解答，以 便確定偏置條件需要在“現(xiàn)代”ATE中所實現(xiàn)的(由此，如何編程偏置電流)?？梢允褂门c圖4中所示類似的制圖技術(shù)來確定現(xiàn)代ATE的可編程參數(shù)和平衡點 80間的關(guān)系。這些可編程參數(shù)包括與偏置控制電路75 (圖4)有關(guān)的可編程參數(shù)。該圖可 使用與現(xiàn)代ATE的通信通道上的元件有關(guān)的相同可編程參數(shù)來生成。該圖可以具有與傳統(tǒng) 的ATE相同的元件有關(guān)的曲線以及可以具有與現(xiàn)代ATE上的元件有關(guān)的曲線。在任一情況 下，可以調(diào)整偏置控制電路75來產(chǎn)生現(xiàn)代ATE的通信通道上的平衡點80以便與示例性傳 統(tǒng)ATE匹配。應注意，圖5僅示出了確定如何編程偏置電流源的一種方法?？梢允褂镁幊淘撈?置電流源的其他方法，包括但不限于，使用作為Vffl、和負載電壓的函數(shù)的數(shù)學過程?？赡艽嬖趯TE的每一通信通道執(zhí)行上述函數(shù)的仿真電路。可以編程每一這種電 路以便其相應的通道仿真?zhèn)鹘y(tǒng)ATE的無效通信通道的偏置條件(例如電壓和電流)。如果 相應的通信通道是有效通道，那么可以相應地編程信號源62。此處的偏置控制電路不限于與硬件一起使用以及如上所述來使用。在此所述的 ATE可以使用包括PMU的任何硬件實現(xiàn)。由于PMU通常能驅(qū)動可編程電流，PMU可以提供校 正偏置條件所需的能力，而且包含PMU的管腳電子設(shè)備不需要額外的偏置控制電路。在此所述的ATE不限于與在此所述的硬件和軟件一起使用。在此所述的ATE可使 用任何硬件和/或軟件來實現(xiàn)。例如，在此所述的ATE或其一部分能夠至少部分地使用數(shù) 字電子電路、或以計算機硬件、固件、軟件或其組合來實現(xiàn)。在此所述的ATE (例如由處理設(shè)備執(zhí)行的功能)能夠至少部分地經(jīng)計算機程序產(chǎn) 品，即在信息載體(例如在一個或多個機器可讀介質(zhì)中或在傳播信號中)中有形實現(xiàn)的計 算機程序，來實現(xiàn)，用于由數(shù)據(jù)處理裝置(例如可編程處理器、計算機或多個計算機)執(zhí)行 或控制其操作。計算機程序能夠以任何形式的編程語言來編寫，其中包括編譯或解釋語言， 以及能以任何形式來配置，其中包括作為獨立程序或作為模塊、部件、子例程或適用于用在 計算環(huán)境中的其他單元。計算機程序能夠配置成在一個計算機或在一個站點或分布式交叉 多個站點的并由通信網(wǎng)絡(luò)互連的多個計算機上執(zhí)行。與實現(xiàn)ATE有關(guān)的動作能由執(zhí)行一個或多個計算機程序的一個或多個可編程處 理器執(zhí)行以便執(zhí)行在此所述的ATE的功能。能將所有或部分ATE實現(xiàn)為專用邏輯電路，例如FPGA(現(xiàn)場可編程門陣列)和/或ASIC(專用集成電路)。適合于執(zhí)行計算機程序的處理器包括例如通用和專用微處理器、微控制器和任何 類型的數(shù)字計算機的任何一個或多個處理器。通常，處理器將從只讀存儲器或隨機存取存 儲器或兩者接收指令和數(shù)據(jù)。計算機的元件包括用于執(zhí)行指令的處理器和用于存儲指令和 數(shù)據(jù)的一個或多個存儲器設(shè)備。可以結(jié)合在此所述的不同實施例的元件來形成上文未特別闡述的其他實施例。在 此未特別描述的其他實施例也落在下述權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種在對器件進行測試中所使用的裝置，所述裝置包括通信通道，具有與其有關(guān)的可編程參數(shù)集，所述可編程參數(shù)在所述通信通道上產(chǎn)生偏置條件；以及偏置控制電路，影響由所述可編程參數(shù)產(chǎn)生的所述偏置條件以便仿真期望的偏置條件。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，進一步包括 檢測器，檢測所述通信通道上的信號；以及 有源負載，向所述通信通道施用加載條件；其中，所述可編程參數(shù)包括與檢測器和有源負載的至少一個有關(guān)的參數(shù)。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述可編程參數(shù)包括與檢測器有關(guān)的閾值電壓和 與所述有源負載有關(guān)的電壓的至少一個。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其中，所述可編程參數(shù)包括所述通信通道上的偏置控制 電流。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，期望的偏置條件對應于與除所述裝置外的設(shè)備有 關(guān)的偏置條件，所述設(shè)備用于執(zhí)行依賴于所述偏置條件的測試程序。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述偏置控制電路包括電流源，該電流源可控以便在所述通信通道上提供第一偏置電流，所述第一偏置電流 與當所述通信通道無效時出現(xiàn)在所述通信通道上的第二電流結(jié)合。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其中，所述第一和第二偏置電流的結(jié)合對應于如果測試 設(shè)備電連接到所述通信通道將由所述測試設(shè)備產(chǎn)生的偏置電流。
8.如權(quán)利要求1所述的裝置，進一步包括 檢測器，檢測所述通信通道上的測試信號； 處理設(shè)備，使用所述測試信號來執(zhí)行測試程序；其中，所述測試程序配置成當所述通信通道無效時，預期來自所述通信通道的電壓；以及其中，所述偏置控制電路配置成影響所述電壓。
9.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述偏置控制電路包括電路元件，電連接在電壓源和所述通信通道間，所述電路元件流過與所述電壓源和所 述通信通道相關(guān)的電流以便產(chǎn)生所述偏置條件。
10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述偏置控制電路包括參數(shù)測量單元(PMU)。
11.一種用于對器件進行測試的自動測試設(shè)備(ATE)，所述ATE包括 所述ATE和所述器件間的通信通道；處理設(shè)備，執(zhí)行測試程序以測試有效通信通道上所述器件，所述測試程序配置成預期 無效通信通道上的第一偏置條件；以及偏置控制器，影響所述無效通信通道上的第二偏置條件以便仿真所述第一偏置條件， 所述第二偏置條件是與所述通信通道有關(guān)的可編程參數(shù)的結(jié)果。
12.如權(quán)利要求11所述的ATE，進一步包括 檢測器，檢測所述通信通道上的信號；其中，所述可編程參數(shù)包括與所述檢測器有關(guān)的參數(shù)。
13.如權(quán)利要求11所述的ATE，進一步包括有源負載，向所述通信通道施用加載條件；其中，所述可編程參數(shù)包括與所述有源負載有關(guān)的參數(shù)。
14.如權(quán)利要求13所述的ATE，其中，所述可編程參數(shù)包括與檢測器有關(guān)的閾值電壓。
15.如權(quán)利要求12所述的ATE，其中，所述可編程參數(shù)對應于所述通信通道上的偏置控 制電流。
16.如權(quán)利要求11所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括可編程電流發(fā)生器，生成用于輸出到所述通信通道的偏置電流，所述偏置電流與所述 無效通信通道上的現(xiàn)有電流結(jié)合以便影響所述第二偏置條件。
17.如權(quán)利要求11所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括電路元件，用于在使用所述通信通道上的電流生成所述第二偏置條件中使用。
18.如權(quán)利要求11所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括可編程電流發(fā)生器，生成用于輸出到所述通信通道的偏置電流，所述偏置電流與所述 無效通信通道上的現(xiàn)有電流結(jié)合；以及電路元件，用于在使用所述偏置電流和現(xiàn)有電流影響所述第二偏置電流中使用。
19.如權(quán)利要求18所述的ATE，其中，所述電路元件具有電阻，其中，所述現(xiàn)有電流和所 述偏置電流的結(jié)合流過所述電阻以產(chǎn)生第一電壓，所述第二偏置條件基于所述第一電壓。
20.如權(quán)利要求19所述的ATE，進一步包括電壓源，用于提供第二電壓，其中，所述第二偏置條件基于所述第一電壓和所述第二電壓。
21.如權(quán)利要求11所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括參數(shù)測量單元(PMU)。
22.—種在對器件進行測試中所使用的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括測試設(shè)備，將測試信號發(fā)送到所述器件并且從所述器件接收響應信號，所述響應信號 由所述測試信號的至少一些產(chǎn)生；處理設(shè)備，向所述測試設(shè)備提供控制信號，所述控制信號編程與所述測試設(shè)備和正測 試的所述器件間的通信通道有關(guān)的參數(shù)；其中，所述處理設(shè)備被配置成執(zhí)行一個或多個測試程序以分析所述響應信號的至少一 些，所述測試程序的至少一個被配置成預期無效通信通道上的預定信號電平；其中，所述參數(shù)在所述測試設(shè)備和正測試的所述器件間的無效通信通道上產(chǎn)生偏置條 件；以及偏置控制器，影響所述無效通信通道上的偏置條件，以便在所述無效通信通道上產(chǎn)生 預定信號電平的至少一個。
23.如權(quán)利要求22所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括可編程電流發(fā)生器，生成用于輸出到所述無效通信通道的偏置電流，所述偏置電流與 所述無效通信通道上的現(xiàn)有電流結(jié)合以便在所述無效通信通道上產(chǎn)生預定信號電平的至 少一個。
24.如權(quán)利要求22所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括電路元件，用于在使用所述無效通信通道上的電流在所述無效通信通道上產(chǎn)生所述預 定信號電平的至少一個中使用。
25.如權(quán)利要求22所述的ATE，其中，所述偏置控制器包括可編程電流發(fā)生器，生成用于輸出到所述通信通道的偏置電流，所述偏置電流與所述 無效通信通道上的現(xiàn)有電流結(jié)合；以及電路元件，用于在使用所述偏置電流和現(xiàn)有電流在所述無效通信通道上產(chǎn)生預定信號 電平的至少一個中使用。
全文摘要
在對器件進行測試中所使用的裝置包括具有與其相關(guān)的可編程參數(shù)集的通信通道(56)。可編程參數(shù)在通信通道上產(chǎn)生偏置條件。偏置控制電路(75)用來影響由可編程參數(shù)產(chǎn)生的偏置條件以便仿真期望的偏置條件。
文檔編號G01R31/319GK101821642SQ200880110371
公開日2010年9月1日 申請日期2008年10月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月4日
發(fā)明者勞埃德·K·弗里克, 圖沙爾·K·格赫爾 申請人:泰拉丁公司