專利名稱：檢查裝置的制作方法
檢查裝置本發(fā)明涉及一種用于檢查接觸敏感的平面材料或者工件，例如半導(dǎo)體工業(yè)的晶片、太陽能電池、玻璃、FPD基片或者生物傳感器的生物活性基片以及具有接觸敏感的彎曲表面的材料的檢查裝置。下面把各種材料或者工件都稱為材料。所述材料的表面由多種多樣的工序加工，在此加工例如是蒸發(fā)或者構(gòu)圖。在加工之后檢查加工結(jié)果。為此例如可以采用帶有圖像識別和分析程序的照相機。用之既加工材料頂面也加工材料底面的技術(shù)也要求雙面檢查。檢測頂面可以方便地進行，因為材料放在檢查臺上或者傳送帶上，因而可以隨意地看到頂面。同時地檢查材料底面卻很困難，因為材料底面至少部分地被支撐面遮擋，從而例如照相機無法掃描整個底例如，如果傳送其底面對機械接觸非常敏感的太陽能電池，則將該太陽能電池放在多個窄的傳送帶上。而利用照相機從下方卻只能檢查太陽能電池的沒有被傳送帶遮擋的平面段。然而如果要求檢查整個底面，就必須從傳送帶取下并翻轉(zhuǎn)太陽能電池，但這對于連續(xù)運行的過程來說卻很繁瑣，并且容易受到干擾。為了解決該問題，由現(xiàn)有技術(shù)公知，把傳送道劃分成各由一個間隙分隔開的多個段，從而進行從一個段到另一個段的材料過渡。在該過渡間隙上，材料不受支撐，從而可以掃描其整個寬度。然而問題是，有時必須使過渡間隙非常狹窄，因為材料的固有強度很小。 因而有時無法再進行不受妨礙的掃描。因此本發(fā)明的目的是，提出一種方案，使得能夠光學(xué)地完全檢查在傳送路段上傳送的接觸敏感的材料的底面，也就是說，對材料支撐面的檢查不會受到遮擋的妨礙。該目的通過一種根據(jù)權(quán)利要求1的檢查裝置和一種根據(jù)權(quán)利要求5的傳送和檢查裝置得以實現(xiàn)。根據(jù)權(quán)利要求1，本發(fā)明涉及一種檢查裝置，其具有用于承載待受檢查的材料的承載體。在該承載體上耦連一種振動發(fā)生器，其使所述承載體發(fā)生振動，其中振動頻率和幅度選擇得使所述承載體頂面上的待受檢查的材料由于超聲波懸浮作用而保持懸浮。所述承載體具有匹配于材料底面幾何形狀的表面形狀。根據(jù)本發(fā)明，所述承載體是透光的，從而可以借助于光學(xué)傳感器例如照相機、干涉儀、斑紋測量器或者逐行掃描照相機檢查即光學(xué)地掃描所述材料的底面。從而可以使接觸敏感的材料例如晶片或者太陽能電池在檢查底面期間保持不接觸，并且完全地檢查底面。依據(jù)檢查采用的光，根據(jù)權(quán)利要求2至4，所述承載體最好由玻璃、透光的陶瓷例如藍(lán)寶石或者可振動的透光塑料構(gòu)成。本領(lǐng)域技術(shù)人員知道，所述承載體的光學(xué)特性既取決于構(gòu)成所述承載體的材料， 也取決于所述承載體的幾何形狀和所使用的光波長。例如，為傳送晶片，將所述承載體的表面構(gòu)造成平坦的，并且將所述承載體構(gòu)造成為平面平行的板。因此，設(shè)計光學(xué)系統(tǒng)的本領(lǐng)域技術(shù)人員在設(shè)計光學(xué)傳感器時要在光折射方面考慮平面平行板的光學(xué)特性。
相反，如果要保持不接觸且檢查具有圓形橫截面的棒材，則將棒材放在承載體的半圓形凹槽中，在此所述凹槽的半徑對應(yīng)于所述棒材的半徑。該承載體的光學(xué)特性不同于平面平行的板，所以本領(lǐng)域技術(shù)人員要考慮曲面的折射特性和反射特性，不論是設(shè)計光學(xué)傳感器還是設(shè)計照射裝置都是這樣。從而把所述承載體看成光學(xué)元件，并且可以采用所有用于制造和涂層光學(xué)元件的公知技術(shù)來制造。根據(jù)權(quán)利要求5，制備沿傳送道在其上傳送材料的傳送和檢查裝置。在所述傳送道的某一位置上設(shè)有根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項的檢查裝置。因為承載板取決于要承載的材料的形狀和大小，并且要檢查的平面可以是整個材料平面，或者也可以只是其一段，所以不可能對承載板的結(jié)構(gòu)和形狀進行具體的說明。本領(lǐng)域技術(shù)人員通過公開的技術(shù)文獻(xiàn)可知道，對于檢查只能利用承載板的不遮斷或者不干擾光線傳播的部分面。本領(lǐng)域技術(shù)人員知道如何分析由光學(xué)傳感器提供的信號。因為信號處理和分析不是本發(fā)明的主題，而是由現(xiàn)有技術(shù)公知的，所以對于本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要進行詳細(xì)說明。下面借助實施例并參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明。

圖1為帶有放在其上的平面材料的承載板的立體示意圖；圖2用側(cè)視圖示出帶有照相機的根據(jù)圖1的承載板。圖1用立體示意圖示出承載板1，其在旁側(cè)折起。側(cè)邊2與振動發(fā)生器(未示出) 耦連。雙箭頭表示振動發(fā)生。平面材料3是硅片，其懸浮在承載板1上方0.1mm處。圖2用側(cè)視圖示出根據(jù)圖1的結(jié)構(gòu)。在承載板1下方設(shè)有照相機4，利用該照相機檢查硅片的沒有貼放著的底面。所述承載板由光學(xué)玻璃構(gòu)成，并且在側(cè)下方受到照射。
權(quán)利要求
1.一種檢查裝置，具有-承載體(1)，其用于在承載體(1)的頂面上承載材料(3)；-至少一個振動發(fā)生器，其與所述承載體(1)連接，其中，所述振動發(fā)生器的振動頻率和幅度選擇得要使得所述承載體(1)上的材料( 保持懸??；和 -至少一個光學(xué)傳感器； 其中-所述承載體(1)由透光的材料構(gòu)成；和 -所述光學(xué)傳感器設(shè)置在所述承載體(1)的下方。
2.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，所述承載體(1)由玻璃構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，所述承載體(1)由透光的陶瓷構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，所述承載體(1)由可振動的透光塑料構(gòu)成。
5.一種用于待傳送和待檢查的材料的傳送和檢查裝置，所述材料借助于傳送機構(gòu)沿著傳送道移動，其特征在于，在所述傳送道上或內(nèi)設(shè)置有根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項的檢查直ο
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于檢查接觸敏感的平面材料或者工件，例如半導(dǎo)體工業(yè)的晶片、太陽能電池、玻璃、FPD基片或者生物傳感器的生物活性基片以及具有接觸敏感的彎曲表面的材料的裝置，其中，所述檢查裝置具有承載體(1)，其用于在承載體(1)的頂面上承載材料(3)；至少一個振動發(fā)生器，其與所述承載體(1)連接，其中，所述振動發(fā)生器的振動頻率和幅度選擇得要使得所述承載體(1)上的材料(3)保持懸??；和至少一個光學(xué)傳感器(4)，其中所述承載體(1)由透光的材料構(gòu)成，并且所述光學(xué)傳感器(4)設(shè)置在所述承載體(1)的下方。
文檔編號G01N21/01GK102239403SQ200880114314
公開日2011年11月9日 申請日期2008年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月1日
發(fā)明者A·齊茨曼, J·齊默爾曼, M·希爾普 申請人:齊默爾曼和席爾普搬運技術(shù)有限責(zé)任公司