專利名稱：測試裝置及校準方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種測試裝置及測試裝置的校準方法。本申請與下述美國申請相關聯(lián)，主張下述美國申請的優(yōu)先權。對允許通過文獻參 照而編入內容的指定國，通過參照而編入下述申請記載的內容，作為本申請的一部分。申請?zhí)?1/951，335申請日2007年12月6日
背景技術：
近年，伴隨著半導體電路等的高速發(fā)展，要求測試半導體電路的測試裝置要高速 化，能生成數(shù)GHz兆赫茲測試信號的測試裝置已經產品化。在這種測試裝置中，測試信號為 高頻率，因此有必要高精度地調整測試信號的占空比。為調整測試信號的占空比，首先要測 定測試信號的占空比。例如，通過使探針接觸測試裝置的輸出管腳來測定測試信號的各邊緣定時，可測 定測試信號的占空比。在測試裝置設置多個輸出管腳時，用該探針依次接觸各輸出管腳，可 測定來自各輸出管腳的測試信號。以下為相關的現(xiàn)有技術專利文獻專利文獻1，特開平11-306688號公報。

發(fā)明內容
但是，當測定數(shù)GHz的測試信號時，必須在數(shù)ρ S的時間誤差范圍內測定邊緣定 時，必須使用精度非常高的定時測定器。而且，必須使用信號劣化較小的探針。因此，提高 了測試費用。而且，根據(jù)半導體電路等的管腳數(shù)，測試裝置中設置有多個輸出管腳。因此，當使 探針依次接觸各管腳測定測試信號的占空比時，測試時間大大增加。本發(fā)明的一個方面，以提供可解決上述問題的測試裝置及校準方法為目的。該目 的可通過組合權利要求中獨立權利要求記載的特征達成。另外，從屬權利要求限定了本發(fā) 明的更有利的實施方式。本發(fā)明的第1實施方式中，提供一種測試被測試器件的測試裝置，所述測試裝置 包括驅動部，將測試信號提供給被測試器件的對應管腳；判斷部，根據(jù)被測試器件輸出的 與上述測試信號相對應的應答信號，判定被測試器件的好壞；電平測定部，用于檢測出驅動 部輸出的信號的直流電平；輸出側調整部，根據(jù)電平測定部檢出的直流電平，調整驅動部輸 出的信號的占空比。在第2實施方式中，提供一種校準方法，是調整測試裝置中的測試信號的占空比 的校準方法，所述測試裝置具有多個驅動部，將測試信號提供給各個被測試器件的對應管 腳，以及判斷部，根據(jù)被測試器件對應測試信號而輸出的信號，判斷被測試器件的好壞；所 述校準方法檢出驅動部輸出的信號的直流電平，并對應檢出的直流電平，調整驅動部輸出 的信號的占空比。另外，上述發(fā)明的概要并未列舉出本發(fā)明必要特征的全部，所述特征群的輔助組合也可構成發(fā)明。


圖1與被測試器件200—同示出的實施例涉及的測試裝置100的結構示意圖。圖2測試裝置100的動作例說明流程示意圖。圖3與圖2的S106相關聯(lián)的、預先取得目標值的方法說明示意圖。圖4另一預先取得目標值的方法說明示意圖。圖5電壓測定部20的結構示意圖。圖6驅動部18中輸入的差動測試信號的一例示意圖。圖7由輸出側調整部24調整了偏壓的測試信號的一例示意圖。圖8切換部22的另一例結構示意圖。圖9測試裝置100的另一例結構示意圖。符號說明10.信號生成部，12.圖像發(fā)生部，14.定時發(fā)生部，16.波形成形部，18.驅動部， 19.傳輸路徑，20.電壓測定部，22.切換部，24.輸出側調整部，26.低通濾波器，28. AD轉換 器，40.信號測定部，42.電平比較部，44.定時比較部，50.判斷部，60.占空測定部，70.測 定側調整部，80.校準板，100.測試裝置，200.被測試器件。
具體實施例方式以下通過發(fā)明的實施方式對本發(fā)明進行說明，以下實施方式并非對權利要求所表 述的發(fā)明進行限定，并且實施方式中說明的特征的組合也并非全部為本發(fā)明的必要特征。圖1是與被測試器件200 —同示出的實施例涉及的測試裝置100的結構示意圖。 測試裝置100是測試半導體電路等被測試器件200的裝置，具備多個信號生成部10、多個信 號測定部40及多個判斷部50。測試裝置100通過測定各個信號生成部10所輸出的信號的直流電壓，而高精度地 檢出該信號的占空比。這里，直流電壓為直流電平的一例。然后，調整信號生成部10，使該 占空比達到規(guī)定值。由于采用上述結構，可高精度地調整各信號生成部10輸出的信號的占空比。首先，對測試裝置100的概要進行說明。各個信號生成部10連接在被測試器件 200的任一輸入管腳上。各個信號生成部10生成測試信號，并通過對應的輸入管腳提供給 被測試器件。測試信號可為下述信號，例如輸入被測試器件200的數(shù)字電路的數(shù)字信號、輸 入被測試器件200的模擬電路的模擬信號、輸入被測試器件200的控制電路的控制信號、輸 入被測試器件200的時鐘端子的時鐘信號，或驅動被測試器件200的電源電力而提供的信 號等。信號生成部10的結構及動作如后所述。被測試器件200對應所提供的測試信號而動作，輸出應答信號。應答信號可為數(shù) 字信號，也可為模擬信號。各個信號測定部40連接在被測試器件200的任一輸出管腳上。各個信號測定部 40測定從對應的輸出管腳輸出的應答信號。例如，信號測定部40可測定應答信號的邏輯圖 像，也可測定應答信號的模擬波形。此外，信號測定部40還可測定應答信號的邊緣定時等定時信息。多個判斷部50與多個信號測定部40 —一對應設置。各個判斷部50根據(jù)對應的信 號測定部40中的測定結果，判斷被測試器件200的好壞。例如，判斷部50，可根據(jù)信號測定 部40中測定的應答信號的邏輯圖像與規(guī)定的期待值圖像是否一致，來判斷被測試器件200 的好壞。以上就測試一個被測試器件200為例進行了說明，測試裝置100也可同時測試多 個被測試器件200。另外，對調整信號生成部10輸出的信號占空比的方法進行說明。各個信號生成部 10具有圖像發(fā)生部12、定時發(fā)生部14、波形成形部16、驅動部18、傳輸路徑19、電壓測定部 20、切換部22以及輸出側調整部24。此時，電壓測定部20為電平測定部的一例。圖像發(fā)生部12生成信號生成部10所輸出的信號應具有的邏輯圖像。例如，圖像 發(fā)生部12根據(jù)使用者等所給予的測試程序而動作，生成規(guī)定的邏輯圖像。定時發(fā)生部14生成信號生成部10所輸出的信號的定時信息。例如，定時發(fā)生部 14可生成規(guī)定信號生成部10所輸出的信號的周期或比特率的時鐘信息。波形成形部16根據(jù)圖像發(fā)生部12生成的邏輯圖像和定時發(fā)生部14生成的定時 信息，形成測試信號的波形。例如，波形成形部16具有與定時發(fā)生部14生成的時鐘大致相 同的比特率，并且，可生成具有圖像發(fā)生部12生成的邏輯圖像的測試信號。驅動部18將波形成形部16生成的測試信號提供給被測試器件200的對應輸入管 腳。驅動部18還可提供被測試器件200消耗的電流。而且，驅動部18還可接收來自波形 成形部16的差動測試信號，并將其轉換成單端的信號提供給被測試器件200。傳輸路徑19設置在驅動部18的輸出端子和被測試器件200的輸入端子之間，將 驅動部18輸出的測試信號傳送至被測試器件200。切換部22設置在傳輸路徑19和電壓測 定部20之間，切換使電壓測定部20與傳輸路徑19連接或斷開。電壓測定部20檢出驅動部18輸出的信號的直流電壓。信號的直流電壓根據(jù)信號 的占空比而決定。例如，占空比為50%的時鐘信號的直流電壓為H邏輯的信號電壓與L邏 輯的信號電壓的中間電壓。因此，通過由電壓測定部20檢出驅動部18輸出的信號的直流 電壓，可檢出該信號的占空比。輸出側調整部24，根據(jù)電壓測定部20檢出的直流電壓，調整驅動部18輸出的信號 的占空比。例如，輸出側調整部24可調整驅動部18輸出的信號的占空比，使得電壓測定部 20檢出的直流電壓和預先設定的目標值之間的差減小。輸出側調整部24，可通過調整驅動部18來調整該占空比，或者通過調整驅動部18 中輸入的信號來調整該占空比。一般來說，圖像發(fā)生部12及定時發(fā)生部14即使以占空比 50%的設定生成測試信號，由于電路內的誤差及噪聲等影響，有時生成的測試信號的占空 比達不到50%。輸出側調整部24也可調整相關的占空比的誤差。另外，優(yōu)選各個電壓測定部20與進行電流外加電壓測定時使用的電路為公共的 電路。即設定為，當被測試器件200中被提供規(guī)定的電流時，電壓測定部20可測定被測試 器件200上外加的電壓電平，在測定電流外加電壓時，判斷部50可根據(jù)電壓測定部20測定 的電壓電平，判斷被測試器件200的好壞。 如上所述，通過在各個信號生成部10中設置電壓測定部20及輸出側調整部24，可 同時測定并調整各個信號生成部10輸出的信號的占空比。即，即使不用測定探針等依次接觸各個信號生成部10，也可測定各個信號生成部10生成的信號的占空比。此時，各個圖像發(fā)生部12及定時發(fā)生部14，向對應的驅動部18大致同時輸出調整 用信號，并且各個電壓測定部20，大致同時檢出對應的驅動部18輸出的調整用信號的直流 電壓。另外，在電壓測定部20中，通過檢出信號的直流電壓而測定信號的占空比，所以可以用簡單的結構高精度地測定該占空比。例如，在測定H邏輯的電壓電平VH為IV、L邏 輯的電壓電平VL為OV以及周期T為308ps(3. 25GHz)的信號時，電壓測定部20的電壓測 定分辨率為lmV。此時的占空測定的時間分辨率為T/ (VH-VL) = 308/(1000-0) = 0. 308ps可高精度地測定信號的占空。另外，從上式可知，在用檢出信號的直流電壓來測定占空比的情況下，信號的周 期T越小，占空比測定的時間分辨率越精細，即可高精度地測定占空比，即本例的測試裝置 100，越是高頻的信號測定占空比的精度越高。如上所述，電壓測定部20可與進行電流外加電壓測定的電路通用化。因此可不增 大測試裝置100的電路結構，使占空比的調整簡便易行。另外，在被測試器件200進行測試前，輸出側調整部24預先調整占空比。而且，向 被測試器件200提供的測試信號，例如時鐘信號這種具有重復的圖像時，輸出側調整部24 也可在被測試器件200的測試中調整占空比。另外，因為電壓測定部20只要能檢出信號的 直流電壓即可，切換部22也可不通過寬帶的信號。另外，圖1示出了電壓測定部20直接控制輸出側調整部24的結構，電壓測定部 20也可借助控制系統(tǒng)及計算機等控制輸出側調整部24。此時，該計算機在進行被測試器件 200的測試前，從控制系統(tǒng)接收電壓測定部20測定的調整用信號的直流電壓值。然后，該計算機從接收的直流電壓值生成應給予輸出側調整部24的修正數(shù)據(jù)，借 助控制系統(tǒng)在輸出側調整部24中進行設定。輸出側調整部24根據(jù)接收的修正數(shù)據(jù)，調整 驅動部18輸出的信號的占空比。另外，在進行被測試器件200的測試前，控制系統(tǒng)及計算機等可預先調整驅動部 18輸出的信號的占空比。以下用省略了上述控制系統(tǒng)及計算機等的結構對測試裝置100的 功能進行說明。另外，對在進行被測試器件200的測試前預先校準驅動部18中占空比的情 況加以說明。圖2為測試裝置100的動作例說明流程示意圖。在進行被測試器件200的測試前， 本例的測試裝置100預先調整驅動部18輸出的信號的占空比。首先，在驅動部18向被測試器件200提供測試信號前，各個信號生成部10中，圖 像發(fā)生部12、定時發(fā)生部14及波形成形部16，向驅動部18輸出預先設定的圖像的調整用 信號(S102)。該調整用信號，例如可以為具有與被測試器件200在測試時應生成的測試信 號大致相同的周期的時鐘信號。而后，電壓測定部20檢出驅動部18輸出的調整用信號的直流電壓(S104)。隨后， 輸出側調整部24，判斷驅動部18在輸出調整用信號時電壓測定部20檢出的直流電壓與目 標值是否一致(S106)。此時，目標值可以是根據(jù)應設定的占空比由使用者等預先設定的值， 也可以是測試裝置100預先測定的值。
S106中直流電壓與目標值不一致時，輸出側調整部24調整驅動部18輸出的調整 用信號的占空比(S108)，重復從S104的處理。另外，S106中直流電壓與目標值一致時，測 試裝置100終結占空比的調整，開始被測試器件200的測試(SllO)。通過如上動作，可預先 調整驅動部18輸出的信號的占空比。圖3為與圖2的S106相關聯(lián)的、預先取得目標值的方法說明示意圖。本例中圖像 發(fā)生部12及定時發(fā)生部14，向驅動部18依次輸出被H邏輯固定的H固定調整用信號、被L 邏輯固定的L固定調整用信號以及H邏輯及L邏輯交替重復的基準調整用信號。圖3中以 實線表示基準調整用信號。電壓測定部20，預先測定H固定調整用信號及L固定調整用信號的信號電壓(H電 壓及L電壓)。而后，輸出側調整部24調整驅動部18中的占空比，使得相對于基準調整用 信號，電壓測定部20檢出的直流電壓對于H電壓及L電壓成為規(guī)定的相對電平。例如，將 占空比設定為50%時，輸出側調整部24調整驅動部18的占空比，使得基準調整用信號的直 流電壓為H電壓及L電壓的大致中間的電平。圖4為預先取得目標值的方法的另一例示意圖。本例中，圖像發(fā)生部12及定時發(fā) 生部14，向驅動部18依次輸出頻率比應提供給被測試器件200的測試信號的頻率低且與測 試信號的占空比大致相同的低頻調整用信號，及頻率與應提供給被測試器件200的測試信 號的頻率大致相同的基準調整用信號。電壓測定部20預先測定低頻調整用信號的直流電壓Vref，而后，輸出側調整部24 調整驅動部18的占空比，使得相對于基準調整用信號，電壓測定部20測定的直流電壓Vdc 與低頻調整用信號的直流電壓Vref成為大致相同的電平。低頻信號中，對于信號周期的邊緣定時的誤差相對變小，因此由邊緣定時的誤差 產生的占空比的誤差變小。所以，通過將相對低頻的信號的直流電壓作為目標值，調整基準 調整用信號的直流電壓，可高精度地調整基準調整用信號的占空比。圖5為電壓測定部20的結構示意圖。本例的電壓測定部20具有低通濾波器26 及AD轉換器28。低通濾波器26分路接收傳輸路徑19傳送的調整用信號，通過包含直流成 分的低頻成分。低通濾波器26，可在預先設定的頻率范圍內使直流成分近旁的頻率成分通 過。AD轉換器28將通過低通濾波器26的模擬信號的信號電壓轉換為數(shù)字值。另外， AD轉換器28將轉換的數(shù)字值提供給輸出側調整部24。輸出側調整部24，根據(jù)由AD轉換器28接收的數(shù)字值，調整驅動部18輸出的信號 的占空比。本例的輸出側調整部24，根據(jù)由AD轉換器28接收的數(shù)字值，調整由波形成形部 16給予驅動部18的測試信號的偏壓。更具體而言，輸出側調整部24通過調整給予傳輸路 徑的偏置電流來調整測試信號的偏壓，所述傳輸路徑中由波形成形部16向驅動部18傳送 測試信號。此時偏壓為偏置電平的一例。另外，本例的驅動部18接收差動測試信號并將其轉換為單端的測試信號輸出。此 時，針對非反轉側的傳輸路徑以及反轉側的傳輸路徑分別設置輸出側調整部24，以調整各 個傳輸路徑中被給予的偏置電流。圖6為驅動部18中輸入的差動測試信號的一例示意圖。圖6中，測試信號的非反 轉側信號由實線表示，測試信號的反轉側信號由虛線表示。差動測試信號的占空比由非反轉側信號及反轉側信號的交叉的間隔比Tl T2決定。圖像發(fā)生部12及定時發(fā)生部14，即使在占空比為50% (Tl T2 = 1 1)的設 定下生成測試信號，由于電路內存在誤差的影響，有時如圖6所示占空比達不到50%。本例 的輸出側調整部24，通過根據(jù)電壓測定部20檢出的直流電壓，調整應給予反轉側信號及非 反轉側信號的偏壓的至少一方，以調整驅動部18輸出的信號的占空比。圖7由輸出側調整部24調整了偏壓的測試信號的一例示意圖。本例的輸出側調 整部24調整反轉側信號的偏壓。如圖7所示，通過調整差動信號的偏壓可將差動信號的占 空比調整至規(guī)定值。另外，在變更應提供給被測試器件200的測試信號的頻率時，在將該測試信號提 供給被測試器件200之前，輸出側調整部24可根據(jù)該頻率預先調整驅動部18輸出的信號 的占空比。例如，信號生成部10，在每次變更應提供給被測試器件200的測試信號的頻率 時，可使用針對該頻率的頻率調整用信號，調整驅動部18的占空比。另外，信號 生成部10也可預先生成表示各個頻率上輸出側調整部24應生成的偏 壓的表。電壓測定部20，例如也可使驅動部18依次輸出頻率不同的多個調整用信號、檢出 各個直流電壓，生成該表。另外，輸出側調整部24可進一步根據(jù)驅動部18的溫度，調整驅動部18輸出的信 號的占空比。例如，輸出側調整部24，也可根據(jù)在電壓測定部20的由AD轉換器28所給予 的數(shù)字值乘上針對驅動部18的溫度的系數(shù)的值，來調整差動信號的偏壓。圖8為切換部22的另一例結構示意圖。本例的切換部22，在調整驅動部18的占 空比時，使用低通濾波器26在電壓測定部20測定傳輸路徑19傳送的信號。另外，在電流 外加電壓測定中，測定被測試器件200上外加的直流電壓的電平時，不使用低通濾波器26 在電壓測定部20上測定傳輸路徑19傳送的信號。據(jù)此，可根據(jù)測定對象調整電壓測定部 20的頻率特性。另外，進行電流外加電壓測定時，AD轉換器28可將輸入的電壓電平轉換的 數(shù)字值提供給判斷部50。判斷部50可根據(jù)該數(shù)字值判斷被測試器件200的好壞。圖9為測試裝置100的另一例結構示意圖。本例的測試裝置100，比較信號測定部 40中輸入的波形的占空比，修正信號測定部40輸出的波形的占空比的誤差。具體而言，如 圖1至圖8的相關說明所述，從預先調整了占空比的信號生成部10對信號測定部40提供 給規(guī)定的占空比的調整用信號。而后，對信號測定部40進行調整，以使信號測定部40輸出 的波形的占空比與該規(guī)定的占空比大致相同。本例的測試裝置100，除了圖1至圖8的相關說明的測試裝置100結構之外還具有 多個占空測定部60、多個測定側調整部70以及校準板80。另外，信號測定部40具有電平 比較部42及定時比較部44。電平比較部42，測試時接收被測試器件200輸出的應答信號，根據(jù)接收的信號輸 出相應波形。例如，電平比較部42，可輸出表示接收信號的信號電壓與所給予的基準電壓的 比較結果的波形。更具體地說，電平比較部42，當接收信號的信號電壓大于等于基準電壓時，輸出顯 示H邏輯的波形；當接收信號的信號電壓小于基準電壓時，輸出顯示L邏輯的波形。另外， 電平比較部42，可接收單端的信號，將表示該信號的信號電壓與基準電壓的比較結果的波 形以差動波形輸出。
定時比較部44，用被依次給予的選通脈沖定時依次檢出電平比較部42輸出的波 形的邏輯值。判斷部50可以對定時比較部44檢出的邏輯圖像與期待值圖像進行比較。校準板80在被測試器件200測試前使用，連接信號生成部10與信號測定部40。 校準板80，在一個信號生成部10上可連接多個信號測定部40，也可一對一連接信號生成部 10及信號測定部40。信號生成部10，輸出由輸出側調整部24預先調整了占空比的調整用信號。信號生 成部10，可輸出與被測試器件200輸出的應答信號所應具有的頻率大致相同的頻率的調整 用信號。校準板80將信號生成部10輸出的調整用信號輸入電平比較部42，從電平比較部 42輸出與調整用信號對應的波形。占空測定部60測定電平比較部42輸出的波形的占空比。本例的占空測定部60， 根據(jù)定時比較部44輸出的邏輯圖像測定該占空比。更具體地說，占空測定部60，可由該邏 輯圖像中邏輯值躍遷的定時間隔測定該占空比。測定側調整部70調整電平比較部42輸出的波形的占空比，使得占空測定部60測 定的占空比與信號生成部10輸出的調整用信號的占空比大致相同。例如，測定側調整部 70，可具有與圖5及圖6中相關說明的輸出側調整部24同樣的功能和結構。又例如，測定 側調整部70，可通過調整電平比較部42輸出的差動信號的偏壓調整該占空比。通過上述結 構，也可容易地調整信號測定部40中的占空比。以上，使用本發(fā)明的具體實施方式
進行了說明，但本發(fā)明技術的范圍不限于上述具體實施方式
所記載的范圍。本領域技術人員清楚，在上述實施方式的基礎上可加以各種 變更和改進。由權利要求的記載可知，這種變更和改進的實施方式也包含在本發(fā)明的技術 范圍內。權利要求書、說明書及附圖中所示的裝置、系統(tǒng)、程序，方法中的動作、順序、步驟， 以及階段等的各處理的實行順序，沒有特別明示「更先」、「先于」等，另外，應注意只要前面 處理的輸出在后面的處理中不使用，就可以以任意順序實現(xiàn)。關于權利要求書、說明書及附 圖中的動作流程，為方便而使用「首先」、「而后」等進行了說明，并不意味著必須按照所述順 序實施。
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權利要求
一種用于測試被測試器件的測試裝置，其特征在于所述測試裝置包括驅動部，將測試信號提供給所述被測試器件的對應管腳；判斷部，根據(jù)所述被測試器件對輸出的與上述測試信號相對應的應答信號，判定所述被測試器件的好壞；電平測定部，用于檢測所述驅動部輸出的信號的直流電平；輸出側調整部，根據(jù)所述電平測定部檢測出的所述直流電平，調整所述驅動部輸出的信號的占空比。
2.根據(jù)權利要求1所述的測試裝置，其特征在于所述測試裝置包括多個信號生成部，所述信號生成部分別具有所述驅動部、所述電平測定部以及所述輸 出側調整部。
3.根據(jù)權利要求2所述的測試裝置，其特征在于各個所述電平測定部設置為在向所述被測試器件提供規(guī)定的電流時，能夠測定對所述 被測試器件外加的電壓電平。
4.根據(jù)權利要求3所述的測試裝置，其特征在于各個所述信號生成部還具有圖像發(fā)生部，其在所述驅動部向所述被測試器件提供所述 測試信號之前，輸出對應所述驅動部中預先規(guī)定的圖像的調整用信號；所述輸出側調整部，當所述驅動部輸出所述調整用信號時，根據(jù)所述電平測定部檢出 的所述直流電平，預先調整所述驅動部輸出的信號的占空比。
5.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述驅動部，將輸入的差動信號轉換為單端的信號并輸出；所述輸出側調整部，通過將應給予所述驅動部中輸入的反轉側信號及非反轉側信號的 偏置電平的至少一方，根據(jù)所述電平測定部檢出的所述直流電平進行調整，來調整所述驅 動部應輸出的所述測試信號的占空比。
6.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于各個所述圖像發(fā)生部，向對應的所述驅動部大致同時地輸出所述調整用信號；各個所述電平測定部，大致同時地檢測出對應的所述驅動部所輸出的所述調整用信號 的所述直流電平。
7.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述輸出側調整部，在變更應向所述被測試器件提供給的所述測試信號的頻率時，根 據(jù)該頻率而預先調整所述驅動部輸出的信號的占空比。
8.根據(jù)權利要求7所述的測試裝置，其特征在于所述輸出側調整部，還根據(jù)所述驅動部的溫度，調整所述驅動部輸出的信號的占空比。
9.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述信號生成部還具有切換部，其用于切換是否將所述電平測定部連接在所述驅動部 及所述被測試器件之間的傳輸路徑上。
10.根據(jù)權利要求9所述的測試裝置，其特征在于所述切換部，在調整所述驅動部中的占空比時，使用低通濾波器，在所述電平測定部測 定所述傳輸路徑傳送的信號，在測定所述被測試器件外加的電壓電平時，不使用所述低通 濾波器，使所述電平測定部測定所述傳輸路徑中傳送的信號。
11.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述圖像發(fā)生部，向所述驅動部依次輸出被H邏輯固定的H固定調整用信號、被L邏輯 固定的L固定調整用信號以及H邏輯及L邏輯交替重復的基準調整用信號；所述輸出側調整部調整所述驅動部中的所述占空比，以使所述電平測定部針對所述基 準調整用信號所檢測出的所述直流電平，成為所述電平測定部針對所述H固定調整用信號 及所述L固定調整用信號所檢測出的所述直流電平的大致中間的電平。
12.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述圖像發(fā)生部，向所述驅動部依次輸出比應提供給所述被測試器件的所述測試信號 的頻率低的低頻調整用信號及與應提供給所述被測試器件的所述測試信號的頻率大致相 同頻率的基準調整用信號；所述輸出側調整部，調整所述驅動部的所述占空比，以使所述電平測定部針對所述基 準調整用信號所檢測出的所述直流電平，與所述電平測定部針對所述低頻調整用信號所檢 出的所述直流電平大致相同的電平。
13.根據(jù)權利要求4所述的測試裝置，其特征在于所述測試裝置還具有電平比較部，其輸出與所述被測試器件輸出的所述應答信號對應 的波形；所述信號生成部，對所述電平比較部輸入由所述輸出側調整部預先調整了占空比的調 整用信號，輸出與所述調整用信號對應的波形；所述測試裝置還具有測定側調整部，其調整所述電平比較部，以使所述電平比較部根 據(jù)所述調整用信號而輸出的波形的占空比，與所述信號生成部輸出的所述調整用信號的占 空比大致相同。
14.一種校準方法，是調整測試裝置中的測試信號的占空比的校準方法，所述測試裝 置具有多個驅動部，其將測試信號提供給各個被測試器件的對應管腳；以及判斷部，其根據(jù) 所述被測試器件對應所述測試信號而輸出的信號，判斷所述被測試器件的好壞；其特征在 于檢測所述驅動部輸出的信號的直流電平；對應所檢測出的所述直流電平，調整所述驅動部輸出的信號的占空比。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測試被測試器件的測試裝置，包括多個信號生成部和判斷被測試器件好壞的判斷部，各個信號生成部具有驅動部，將測試信號提供給被測試器件的對應管腳；電壓測定部，根據(jù)被測試器件對應測試信號輸出的信號，檢出驅動部輸出的信號的直流電壓；輸出側調整部，根據(jù)電壓測定部檢出的直流電壓，調整驅動部輸出的信號的占空比。當向被測試器件提供規(guī)定的電流時，各個電平測定部被設定為可測定被測試器件上外加的電壓電平。
文檔編號G01R31/28GK101889212SQ20088011949
公開日2010年11月17日 申請日期2008年12月3日 優(yōu)先權日2007年12月6日
發(fā)明者瀧澤茂樹 申請人:愛德萬測試株式會社