專利名稱：X射線檢查裝置及x射線檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及χ射線檢查方法及χ射線檢查裝置。特別涉及用于使用X射線照射來 檢查對(duì)象物的拍攝方法，即，可應(yīng)用于X射線檢查方法、X射線檢查裝置的技術(shù)。
背景技術(shù)：
近年，利用亞微米(sub micron)的微細(xì)加工技術(shù)，使 LSI (Large-ScaleIntegration 大規(guī)模集成電路)的高集成化進(jìn)一步發(fā)展，從前分成多個(gè) 封裝(package)的功能能夠集成在一個(gè)LSI上。在現(xiàn)有的QFP (Quad Flat Package:四面 扁平封裝)、PGA (Pin Grid Array 引腳陣列封裝)中，不能對(duì)應(yīng)因一個(gè)封裝中集成必要功 能導(dǎo)致的管腳數(shù)增加，因此，最近，特別使用BGA(BallGrid Array 球陣列封裝)、CSP (Chip Size Package:芯片級(jí)封裝)封裝的LSI。另外，在手機(jī)等的需要超小型化的設(shè)備中，即使 不那么需要管腳數(shù)，也使用BGA封裝。LSI的BGA及CSP封裝為超小型化作出很大貢獻(xiàn)，另一方面特征在于，焊料部分等 在裝配(assembly)后在外觀上用肉眼看不清。于是，檢查實(shí)際安裝了 BGA或CSP封裝的印 刷基板等時(shí)，通過對(duì)利用X射線照射檢查對(duì)象品所得到的透視圖像進(jìn)行分析，由此判定品 質(zhì)好壞。例如，在專利文獻(xiàn)1中，公開了將X射線平面檢測(cè)器用于檢測(cè)透過X射線由此能夠 得到清晰的X射線圖像的X射線斷層面檢查裝置。另外，在專利文獻(xiàn)2中，公開了任意選擇X射線的照射角度從而對(duì)傾斜三維X射線 CT (Computed Tomography 電子計(jì)算機(jī)X射線斷層掃描技術(shù))的圖像進(jìn)行重建所用的方法。另外，在專利文獻(xiàn)3中，公開了一種X射線檢查裝置，該X射線檢查裝置用平行X 射線檢測(cè)裝置取得的X射線圖像來實(shí)施二維檢查，并且基于用傾斜X射線檢測(cè)單元取得的 X射線圖像來進(jìn)行三維檢查，由此能夠高速地進(jìn)行雙方面的檢查。這里，有提到基于多個(gè)X 射線圖像來重建檢查對(duì)象品的三維圖像的技術(shù)。作為重建的方法，列舉了例如“濾波反投影 法”。另外，在專利文獻(xiàn)4中，公開了這樣的機(jī)構(gòu)在X射線斷層拍攝裝置中，為了進(jìn)行斷 層拍攝，使X射線源以直線軌道、圓軌道、螺旋軌道移動(dòng)時(shí)，該機(jī)構(gòu)能夠用一個(gè)馬達(dá)(motor) 驅(qū)動(dòng)該X射線源。其中，由于使X射線源移動(dòng)，如果X射線源的重量大，則難以實(shí)現(xiàn)用一個(gè) 馬達(dá)來驅(qū)動(dòng)的設(shè)計(jì)且難以高速移動(dòng)。并且，在一個(gè)拍攝系統(tǒng)中，為了實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)、直線、螺旋移 動(dòng)這三種移動(dòng)模式，而需要具有復(fù)雜的機(jī)構(gòu)，為了提高移動(dòng)速度，需要很多機(jī)構(gòu)改良，因此 設(shè)備難以高速化。并且，在一般的工業(yè)用X射線透視裝置中，在檢查對(duì)象微小的情況下，希望能夠得 到盡可能放大的X射線透視像。因此，作為X射線的產(chǎn)生區(qū)域的焦點(diǎn)的尺寸必須非常小。于 是，使用作為焦點(diǎn)尺寸為數(shù)μπι(微米)的透過型X射線源的微焦點(diǎn)(micron f0CUS)X射線 源。為了提高透視像的畫質(zhì)，在這樣的微焦點(diǎn)X射線源中，如果加大使X射線產(chǎn)生的電子束 電流(X射線源電流)，則由于靶(target)的電子碰撞部(焦點(diǎn))的發(fā)熱會(huì)導(dǎo)致靶局部熔化，因此通常要設(shè)定容許的極限值(容許負(fù)載)。專利文獻(xiàn)5中公開了為了使這樣的容許負(fù) 載增大，而使陽極(靶)為轉(zhuǎn)動(dòng)的圓板的微焦點(diǎn)X射線源。另一方面，專利文獻(xiàn)6公開了一種脈沖X射線源，該脈沖X射線源以延長(zhǎng)X射線源 的壽命等為目的，通過用偏轉(zhuǎn)用電磁線圈(coil)來使電子束間歇性地散開(defocus)，從 而能夠產(chǎn)生脈沖狀的X射線[X射線CT的圖像重建方法]如上所述，在X射線CT中，透過對(duì)象物之后，以用X射線檢測(cè)器所檢測(cè)到的測(cè)量值 為依據(jù)，至少重建對(duì)象物的截面圖像。此外，就對(duì)象物或?qū)ο笪锏囊徊糠侄?，因?yàn)槟軌虻?到三維的X射線的吸收率的分布，結(jié)果能夠重建對(duì)象物或?qū)ο笪锏囊徊糠值娜我獾慕孛鎴D 像，即，能夠重建與X射線檢測(cè)器的受光面交叉的面相關(guān)的圖像。作為這樣的重建方法，“解 析方法”和“迭代方法”為人們所知。下面，對(duì)這種圖像重建方法進(jìn)行簡(jiǎn)單歸納。(X射線的投影數(shù)據(jù)的說明)圖57是用于說明圖像重建方法的圖。X射線圖像重建是這樣的方法從多個(gè)角度 來計(jì)測(cè)檢查對(duì)象物吸收(衰減)了多少?gòu)臋z查對(duì)象物的外部照射的X射線，從而求得檢查 對(duì)象物內(nèi)部的X射線吸收系數(shù)的分布。此外，下面，對(duì)使用所謂的掃描型X射線源作為X射線源來進(jìn)行測(cè)定的情況進(jìn)行說 明。參照?qǐng)D57，從與X射線檢測(cè)器Da相對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)Fa發(fā)出的X射線透過檢查 對(duì)象(未圖示)而到達(dá)X射線檢測(cè)器Da的像素Pa。X射線透過檢查對(duì)象，因此，X射線量 (X射線強(qiáng)度)衰減的量與構(gòu)成檢查對(duì)象的零件等分別具有的固有X射線吸收系數(shù)相當(dāng)。將 X射線強(qiáng)度的衰減量作為檢測(cè)器像素Pa的像素值記錄下來。如果將從X射線焦點(diǎn)Fa發(fā)出的X射線強(qiáng)度作為I，將X射線從X射線焦點(diǎn)Fa到檢 測(cè)器像素Pa為止所通過的路徑作為t，將檢查對(duì)象的X射線吸收系數(shù)分布作為f(x，y, ζ)， 則到達(dá)了檢測(cè)器像素Pa的X射線的強(qiáng)度Ia用下面的式(1)表示。Ia = IXexpI- / f (x, y, ζ) dt} (1)如果對(duì)該式的兩邊取對(duì)數(shù)，則沿著路徑t的X射線吸收系數(shù)分布如下面的式(2) 所示，以線積分值來表示。將通過X射線檢測(cè)器計(jì)測(cè)出該X射線吸收系數(shù)分布的值叫做投 影數(shù)據(jù)。即，X射線檢測(cè)器檢測(cè)X射線衰減量分布(也可以和X射線強(qiáng)度分布置換)。/ f (x, y, z)dt = ln(I/Ia)(2)(解析方法(例如，F(xiàn)BP法(FilteredBack-Projection法)濾波反投影法)的 說明)如圖57所示，使用解析方法時(shí)，針對(duì)一個(gè)檢查對(duì)象物(或者檢查對(duì)象物的一個(gè)部 分)，對(duì)配置在與X射線檢測(cè)器Da的配置不同的位置的X射線檢測(cè)器Db，檢測(cè)從焦點(diǎn)Fb發(fā) 出而到達(dá)了的X射線強(qiáng)度Ib相關(guān)的投影數(shù)據(jù)。對(duì)于一個(gè)檢查對(duì)象物(或者檢查對(duì)象物的 一部分)，針對(duì)多個(gè)配置來實(shí)際地檢測(cè)這樣的投影數(shù)據(jù)，由此根據(jù)這些投影數(shù)據(jù)重建檢查對(duì) 象物的截面圖像。圖58是從上面看圖57所示的檢查對(duì)象物的視野F0V、視野FOV中的重建的運(yùn)算 對(duì)象的重建像素V、X射線焦點(diǎn)Fa、Fb及X射線檢測(cè)器Da、Db的配置的圖。透過了重建像 素V的部分的X射線在X射線檢測(cè)器Da、Db上形成像時(shí)，根據(jù)(從焦點(diǎn)到重建像素V的距離)對(duì)(在焦點(diǎn)到X射線檢測(cè)器的距離)的比而形成放大的像。菲爾德坎普(Feldkamp)等人提出了以該式(2)為依據(jù)用于進(jìn)行三維圖像重建的 重建算法。該算法(所謂的Feldkamp法)如非專利文獻(xiàn)1所示，因是公知技術(shù)所以這里不 詳細(xì)地說明。下面，對(duì)作為一般的方法之一的濾波反投影法進(jìn)行簡(jiǎn)單說明。將根據(jù)投影數(shù)據(jù)，沿著X射線通過的路徑t將投影數(shù)據(jù)相加以此求得X射線吸收 系數(shù)分布f( x，y，z)的操作，稱作反投影。其中，如果單純地將投影數(shù)據(jù)相加，由于拍攝系統(tǒng) 的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(point spread function)而產(chǎn)生成像模糊，因此對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理。 在該濾波處理中，使用例如“Sh印p-Logan濾波器”等的高頻增強(qiáng)濾波器。濾波處理的方向 優(yōu)選垂直于X射線的透過路徑的方向，但在Feldkamp法中，將投影數(shù)據(jù)的透過路徑的方向 近似為彼此都相同并進(jìn)行濾波處理，所以能夠重建可檢查的圖像。下面，示出本實(shí)施方式的圖像重建的步驟。首先，將對(duì)X射線檢測(cè)器Da的檢測(cè)器像 素Pa的投影數(shù)據(jù)pa進(jìn)行濾波處理而得到的值pa'與重建像素V的像素值ν相加。進(jìn)而， 將對(duì)X射線檢測(cè)器Db的檢測(cè)器像素Pb的投影數(shù)據(jù)pb進(jìn)行濾波處理而得到的值pb'與重 建像素V的像素值ν相加。于是，v = pa' +pb'。通過對(duì)全部的X射線檢測(cè)器或者部分 的X射線檢測(cè)器進(jìn)行該反投影操作，由此最終的重建像素V的像素值ν用下面的式(3)表不。ν=Σ (pa' +pb' +...) (3)通過對(duì)重建區(qū)域(視野)F0V內(nèi)的全部的重建像素V進(jìn)行該操作，由此求得檢查對(duì) 象的X射線吸收系數(shù)分布，從而得到重建圖像數(shù)據(jù)。圖59是表示這樣的濾波反投影法的處理步驟的流程圖。參照?qǐng)D59，解析方法的處理一開始(S5002)，首先，從拍攝到的多個(gè)投影數(shù)據(jù) 中的選擇成為處理對(duì)象的投影數(shù)據(jù)(S5004)。接著，對(duì)所選擇的投影數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理 (S5006)。進(jìn)而，選擇重建視野FOV中的未處理的重建像素V (S5008)，并求得與重建像素V相 對(duì)應(yīng)的檢測(cè)器像素(S5010)。接著，將重建像素V和濾波了像素值相加(S5012)，并判斷是否對(duì)全部的重建像素 進(jìn)行相加運(yùn)算(S5014)。如果沒有針對(duì)全部重建像素處理結(jié)束，則處理返回到步驟S5008， 如果結(jié)束，則處理轉(zhuǎn)移到步驟S5016。在步驟S5016中，判斷是否已對(duì)全部的投影數(shù)據(jù)進(jìn)行了處理。如果沒有針對(duì)全部 投影數(shù)據(jù)結(jié)束處理，則處理返回到步驟S5004。另一方面，如果針對(duì)全部投影數(shù)據(jù)已經(jīng)結(jié)束 處理，則重建圖像生成完畢(S5018)。(SART Simultaneous Algebraic Reconstruction Technique ^^^ 數(shù)迭代算法)的說明)迭代方法是將檢查對(duì)象的X射線吸收系數(shù)分布f(x，y，ζ)和投影數(shù)據(jù)ln(I/Ia)視 作方程式來重建的方法。圖60是表示使用掃描型X射線源的情況下用迭代方法處理的概念的概念圖。另 一方面，圖61是從上面看圖60的概念圖的俯視圖。下面，參照?qǐng)D60及圖61，對(duì)用迭代方法進(jìn)行重建的步驟進(jìn)行說明。用下面的式(4) 及式(5)表示將重建圖像的像素值排成一列的矢量(Vekton)V(為表示矢量而在頂部標(biāo)以“一”在下面的文本中，記作“V”)和將投影數(shù)據(jù)排成一列的矢量P (為表示矢量在頂部標(biāo)以 “一”在下面的文本中，記作“P”)。下面，例如，在將重建像素V的值假定為某值時(shí)，如果來自X射線焦點(diǎn)Fa的X射線 連結(jié)在X射線檢測(cè)器Da上，則把要計(jì)算的圖像相關(guān)的像素作為中間投影像素Qa，并將在X 射線檢測(cè)器Da上實(shí)際觀測(cè)到的像素稱作檢測(cè)器像素Pa。對(duì)于X射線檢測(cè)器Db也分別稱作 中間投影像素Qb、檢測(cè)器像素Pb。在迭代方法中，對(duì)于所假定的重建像素矢量ν和與之相對(duì)應(yīng)的中間投影數(shù)據(jù)矢量 q，如下所說明那樣，通過用于更新所假定的矢量ν的迭代運(yùn)算來求出解V，直到可以認(rèn)為中 間投影數(shù)據(jù)矢量q與實(shí)際所測(cè)定的檢測(cè)器像素值Pa或Pb的投影數(shù)據(jù)一致為止。v=(vi> V2,..., Vj)r(4)
p = (p], P2,-; PlY(5)其中，J是重建區(qū)域(視野)內(nèi)的像素?cái)?shù)，I是投影數(shù)據(jù)的像素?cái)?shù)。另外，T表示轉(zhuǎn) 置。用下面的式(6)的IXJ系數(shù)矩陣來表示用于決定ν和ρ之間關(guān)系的投影運(yùn)算。W = IwijI(6)此時(shí)，使用迭代方法的圖像重建，能夠公式化為解下面的式(7)的線性方程式從 而求得ν的問題。WV=p(7)S卩，將Vj對(duì)于pi的貢獻(xiàn)度設(shè)為wij。此外，W表示重建圖像的像素ν對(duì)于投影數(shù) 據(jù)的像素值P作出何種程度的貢獻(xiàn)，能夠根據(jù)X射線焦點(diǎn)和X射線檢測(cè)器的幾何學(xué)位置求 得，有時(shí)也稱作檢測(cè)概率或者權(quán)。在迭代方法中，提出了代數(shù)求解方程式的方法、考慮統(tǒng)計(jì)性的雜音的方法等， 下面，對(duì)作為一般使用的代數(shù)的方法的SART(Simultaneous AlgebraicReconstruction Technique 聯(lián)合代數(shù)迭代算法)進(jìn)行說明。詳細(xì)記載在非專利文獻(xiàn)2中。在SART中，最先，假定用下面的式(8)表示的初始重建圖像為表示矢量在頂 部標(biāo)以“一”在下面的文本中，記作“ V0”)口。(8)初始重建圖像v°可以是全部為0的數(shù)據(jù)，并且也可以假定從CAD (Computer Aided Design 計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì))數(shù)據(jù)等取得的數(shù)據(jù)。接著，使用投影運(yùn)算W來生成用下面的式(9)表示的中間投影數(shù)據(jù)q°(為表示矢 量在頂部標(biāo)以“一”在下面的文本中，記作“ q° ”)。=Wy(9)可以針對(duì)一個(gè)投影數(shù)據(jù)生成中間投影數(shù)據(jù)q°，并且也可以對(duì)多個(gè)投影數(shù)據(jù)生成中 間投影數(shù)據(jù)q°。下面說明對(duì)一個(gè)投影數(shù)據(jù)生成中間投影數(shù)據(jù)q°的情況。對(duì)生成的中間投影數(shù)據(jù)q°和由X射線檢測(cè)器所取得的投影數(shù)據(jù)P進(jìn)行比較。比 較方法有取差的方法和相除的方法，在SART中，取差(p_q°)。更新初始重建圖像v°。更新所用的式(迭代式)如式(10)。
此外，通過預(yù)先計(jì)算式(10)中的下面的式(11)及式(12)，能夠縮短更新的計(jì)算時(shí) 間將上述計(jì)算所生成的重建圖像作為初始圖像代入，并通過多次迭代相同處理，由 此得到重建圖像數(shù)據(jù)。圖62是用于說明迭代方法的處理的流程圖。參照?qǐng)D62，首先，迭代方法的處理一開始(S5102)，接著設(shè)定初始重建圖像 (S5104)。如上述，作為初始重建圖像，例如可以是全部為0的值。接著，從與多個(gè)X射線檢 測(cè)器位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)投影數(shù)據(jù)中選擇成為處理對(duì)象的投影數(shù)據(jù)(S5106)。生成中間投影數(shù)據(jù)。中間投影數(shù)據(jù)的生成方法如上述(S5108)。進(jìn)而，選擇重建視野FOV中的未處理的重建像素V (S5110)。求出與重建像素相對(duì) 應(yīng)的檢測(cè)器像素(S5112)。根據(jù)迭代式，更新重建像素V的值(S5114)。接著，判斷是否已對(duì)全部的重建像素進(jìn)行了更新(S5116)，如果對(duì)全部的重建像素 的處理沒有結(jié)束，則處理返回到步驟S5110，如果結(jié)束，則處理轉(zhuǎn)移到步驟S5118。在步驟S5118中，判斷是否已對(duì)全部的投影數(shù)據(jù)進(jìn)行了處理。如果針對(duì)全部的投 影數(shù)據(jù)沒有結(jié)束處理，則處理返回到步驟S5106。另一方面，如果針對(duì)全部的投影數(shù)據(jù)已結(jié) 束處理，則處理轉(zhuǎn)移到步驟S5120。在步驟S5120中，判斷是否進(jìn)行了規(guī)定的迭代次數(shù)的處理，如果未迭代到規(guī)定的 次數(shù)，則處理返回到步驟S5104并采用當(dāng)前的重建像素值作為初始重建圖像重復(fù)進(jìn)行處 理，如果處理迭代了規(guī)定次數(shù)，則生成重建圖像完畢(S5022)。如上所述，根據(jù)由X射線檢測(cè)器所取得的投影數(shù)據(jù)能夠重建檢查對(duì)象物的三維圖像。其中，在解析方法中，基于對(duì)X射線檢測(cè)器的各像素進(jìn)行濾波處理時(shí)的計(jì)算的容 易度等的理由，為了取得多個(gè)投影數(shù)據(jù)中的每一個(gè)投影數(shù)據(jù)，即使在變更了 X射線檢測(cè)器 及焦點(diǎn)和對(duì)象物之間的相對(duì)位置的情況下，也希望X射線的焦點(diǎn)和X射線檢測(cè)器之間的 相對(duì)的配置維持一定的關(guān)系。換言之，在從焦點(diǎn)看X射線檢測(cè)器時(shí)，即使被看穿的立體角 內(nèi)的對(duì)象物的視野所包括的部分的角度、對(duì)象物內(nèi)的位置等產(chǎn)生變化，也希望焦點(diǎn)和X射 線檢測(cè)器之間的位置關(guān)系保持一定。并且，在執(zhí)行上述的反投影法時(shí)，為了降低人為因素 (artifact)等，希望這樣取得多個(gè)投影數(shù)據(jù)，即，對(duì)對(duì)象物的視野所包括的部分，每隔等角 度而取得投影數(shù)據(jù)。
與之相對(duì)，迭代方法中，對(duì)這樣的X射線的焦點(diǎn)和X射線檢測(cè)器之間的相對(duì)配置沒有這樣的限制。專利文獻(xiàn)1 日本特開2000-46760號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2003-344316號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2006-162335號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特公平5-86218號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 日本特開2001-273860號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6 日本特開2005-347174號(hào)公報(bào)非專利文獻(xiàn) 1 :L. A. Feldkamp, L.C.Davis and J. W. Kress, "Practicalcone-beam algorithm，，，Jounrnal of the Optical Society oFamerica. A, 612-619 (1984)非專禾Ij文獻(xiàn) 2 :Α· H. Anderson and Α. C. Kak, "SIMULTANEOUSALGEBRAIC RECONSTRUCT10NTECHNIQUE (SART) :A SUPERI( IMPLEMENTATION OF THE ART ALG0ITHM”， ULTRASONIC IMAGING6,81-94(1984)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題然而，在工廠的生產(chǎn)線(in-line)的檢查中，需要對(duì)全部產(chǎn)品進(jìn)行檢查，根據(jù)制造 效率的觀點(diǎn)，需要縮短χ射線檢查需要的時(shí)間。另外，在上述現(xiàn)有的X射線檢查相關(guān)的X射線拍攝技術(shù)中，如果使能夠重建的檢查 區(qū)域的面積變大，拍攝及3D化(重建)運(yùn)算都需要時(shí)間。例如，為了檢查上述的印刷基板 等，大多不需要得到全部檢查對(duì)象的圖像，只需得到多個(gè)確定的部分的圖像即可。此時(shí)，就 檢查對(duì)象而言，在想檢查的部分以分散狀配置的情況下，就要準(zhǔn)備能夠?qū)ㄆ淙棵娣e (或體積)作為檢查對(duì)象的X射線檢測(cè)機(jī)，根據(jù)裝置的大型化、運(yùn)算負(fù)荷的增加等的觀點(diǎn)，并 不是有效率的。并且，在上述現(xiàn)有的X射線檢查相關(guān)的X射線拍攝技術(shù)中，為了改變檢查區(qū)域而需 要移動(dòng)拍攝系統(tǒng)或者檢查對(duì)象工件，增加可動(dòng)部分。這不僅關(guān)系到上述X射線檢查所需的 時(shí)間問題，還與用于制造驅(qū)動(dòng)部分的成本、可維護(hù)性、可靠性相關(guān)。例如，在檢查如上述的 印刷基板等時(shí)，成為檢查的對(duì)象的部分大多是放置在載物臺(tái)(Stage)上的印刷基板的一部 分。而且，此時(shí)，為了使得到的X射線像成為放大像，雖然可以在比較遠(yuǎn)離檢查對(duì)象的位置 驅(qū)動(dòng)X射線檢測(cè)器，但由于成為檢查對(duì)象的部分為微小部分，需要非常高精度地控制拍攝 系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)。因此，就拍攝系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)而言，必須以盡可能少的自由度來進(jìn)行必要圖像 的拍攝。因此，需要能夠選擇性地高速檢查檢查對(duì)象物的規(guī)定檢查區(qū)域的X射線檢查裝 置，及利用這種X射線拍攝方法的X射線檢查方法。另外，需要削減了可動(dòng)部分、低成本的，且可維護(hù)性及可靠性優(yōu)的X射線檢查裝置 及利用這種X射線拍攝方法的X射線檢查方法。另外，需要不使檢查對(duì)象物移動(dòng)移動(dòng)就能夠高速檢查出檢查對(duì)象物的多個(gè)部分的 X射線檢查裝置及這種X射線拍攝方法的X射線檢查方法。用于解決課題的手段
本發(fā)明一實(shí)施方式提供一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝，由此執(zhí)行檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具 有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且X射線檢測(cè)器的數(shù)目比檢測(cè)面 的數(shù)目少，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器與另一部分X射線 檢測(cè)器相獨(dú)立地移動(dòng)，X射線輸出部，與X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過檢查對(duì) 象區(qū)域的X射線入射到分別移動(dòng)到成為檢測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)X射線檢測(cè)器中，控 制部，對(duì)X射線檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制?？刂撇堪▓D像取得控制部，控制各X射線檢 測(cè)器的曝光時(shí)機(jī)和檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，χ射線輸出控制部，用于控制X射線輸出部，圖像重建處 理部，基于在多個(gè)檢測(cè)面上拍攝到的、透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重 建檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)。圖像取得控制部及X射線輸出控制部，并行地執(zhí)行第一處理和 第二處理，在所述第一處理中，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器在多個(gè)拍攝位 置中的第一位置進(jìn)行拍攝，在所述第二處理中，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的另一部分X射線檢 測(cè)器移動(dòng)到多個(gè)拍攝位置中的與第一位置不同的第二位置。優(yōu)選圖像取得控制部及X射線輸出控制部，針對(duì)一個(gè)對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域，為 了分多次在預(yù)先對(duì)圖像數(shù)據(jù)的重建所設(shè)定的個(gè)數(shù)的拍攝位置進(jìn)行拍攝，執(zhí)行以下處理使 多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器在第一位置進(jìn)行拍攝，以及，在進(jìn)行該拍攝后， 使一部分X射線檢測(cè)器向與第一位置不同的下一個(gè)第一位置移動(dòng)；與使一部分X射線檢測(cè) 器在第一位置進(jìn)行拍攝的處理并行地，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的另一部分X射線檢測(cè)器向 與第一位置、下一個(gè)第一位置及之前的第二位置都不相同且與下次拍攝相對(duì)應(yīng)的第二位置 移動(dòng)，以及，與使一部分X射線檢測(cè)器向下一個(gè)第一位置移動(dòng)的處理并行地，使另一部分X 射線檢測(cè)器在第二位置進(jìn)行拍攝。優(yōu)選X射線輸出控制部包括起點(diǎn)設(shè)定部，該起點(diǎn)設(shè)定部對(duì)多個(gè)檢測(cè)面設(shè)定放射X 射線的各起點(diǎn)位置，以使X射線通過檢查對(duì)象區(qū)域入射到各檢測(cè)面，X射線輸出部使X射線 源的X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)到各起點(diǎn)位置，產(chǎn)生X射線。優(yōu)選X射線輸出部通過使照射到作為X射線源的連續(xù)面的靶面上的電子束發(fā)生偏 轉(zhuǎn)，由此使X射線源焦點(diǎn)位置移動(dòng)。本發(fā)明另一實(shí)施方式提供一種一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象 物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝，由此執(zhí)行檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在 于，具有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且X射線檢測(cè)器的數(shù)目比檢 測(cè)面的數(shù)目少，單軸驅(qū)動(dòng)部，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器沿著規(guī)定的單軸 方向移動(dòng)，X射線輸出部，與X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射 線入射到分別移動(dòng)到成為檢測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)X射線檢測(cè)器中，控制部，對(duì)X射線 檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制?？刂撇堪▓D像取得控制部，控制各X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī) 和檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，X射線輸出控制部，用于控制X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè) 檢測(cè)面上拍攝到的、透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建檢查對(duì)象區(qū)域 的像數(shù)據(jù)。優(yōu)選單軸驅(qū)動(dòng)部使多個(gè)X射線檢測(cè)器在規(guī)定的平面內(nèi)平行移動(dòng)。優(yōu)選多個(gè)X射線檢測(cè)器的檢測(cè)面分別為矩形形狀，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部包括自轉(zhuǎn)部，該 自轉(zhuǎn)部使多個(gè)χ射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，以使多個(gè)χ射線檢測(cè)器的檢測(cè)面的一側(cè)端在各拍攝位置與朝向X射線輸出部的方向相交。優(yōu)選圖像重建處理部通過迭代方法重建檢查對(duì)象區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。優(yōu)選圖像重建處理部通過解析方法重建檢查對(duì)象區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。本發(fā)明另一實(shí)施方式提供一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的 檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝，由此執(zhí)行檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具 有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且X射線檢測(cè)器的數(shù)目比檢測(cè)面 的數(shù)目少，X射線輸出部，與X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射 線入射到分別移動(dòng)到成為檢測(cè)面的多個(gè)拍攝 位置的多個(gè)X射線檢測(cè)器中，控制部，對(duì)X射線 檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制?？刂撇堪▓D像取得控制部，控制各X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī) 和檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，X射線輸出控制部，用于控制X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè) 檢測(cè)面上拍攝到的、透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建檢查對(duì)象區(qū)域 的像數(shù)據(jù)。圖像取得控制部及X射線輸出控制部，并行地執(zhí)行第一處理和第二處理，在所述 第一處理中，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器在多個(gè)拍攝位置中的第一位置 進(jìn)行拍攝，在所述第二處理中，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的另一部分X射線檢測(cè)器移動(dòng)到多個(gè) 拍攝位置中的與第一位置不同的第二位置。X射線輸出部，對(duì)配置于拍攝位置的多個(gè)X射 線檢測(cè)器中的同時(shí)處于拍攝狀態(tài)的多個(gè)X射線檢測(cè)器，分別從所對(duì)應(yīng)的多個(gè)X射線焦點(diǎn)位 置發(fā)生X射線。還具有遮蔽構(gòu)件，該遮蔽構(gòu)件分別針對(duì)同時(shí)處于拍攝狀態(tài)的X射線檢測(cè)器， 選擇性地遮蔽來自X射線輸出部的X射線，使從所對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)位置透過檢查對(duì)象區(qū) 域而向各檢測(cè)面入射的X射線透過，另一方面，而遮蔽來自不對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)位置的X射 線。優(yōu)選X射線輸出部，通過使照射到作為X射線源的連續(xù)面的靶面上的電子束發(fā)生 偏轉(zhuǎn)，由此使X射線源焦點(diǎn)位置移動(dòng)，X射線輸出控制部對(duì)X射線輸出部進(jìn)行控制，以使X射 線分時(shí)入射到同時(shí)處于曝光狀態(tài)的各X射線檢測(cè)器。本發(fā)明另一實(shí)施方式提供一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的 檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝，由此執(zhí)行檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具 有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且X射線檢測(cè)器的數(shù)目比檢測(cè)面 的數(shù)目少，平行驅(qū)動(dòng)部，使多個(gè)X射線檢測(cè)器在規(guī)定的平面內(nèi)平行移動(dòng)，X射線輸出部，與X 射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出χ射線，以使透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射到分別移動(dòng)到成為檢 測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)X射線檢測(cè)器，控制部，對(duì)X射線檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制?？?制部包括圖像取得控制部，控制各χ射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī)和平行驅(qū)動(dòng)部，X射線輸出控 制部，用于控制X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè)檢測(cè)面上拍攝到的、透過檢查 對(duì)象區(qū)域的X射線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)。優(yōu)選檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部包括二軸驅(qū)動(dòng)部，該二軸驅(qū)動(dòng)部使多個(gè)X射線檢測(cè)器分別沿著 規(guī)定的二軸方向獨(dú)立移動(dòng)。本發(fā)明另一實(shí)施方式提供一種X射線檢查方法，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的 檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝，由此執(zhí)行檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具 有使各X射線檢測(cè)器獨(dú)立地移動(dòng)到所對(duì)應(yīng)的成為檢測(cè)面的拍攝位置的步驟，輸出X射線的 步驟，使透過檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射到分別移動(dòng)到多個(gè)拍攝位置的多個(gè)X射線檢測(cè)器 中，并行地執(zhí)行第一處理和第二處理的步驟，在所述第一處理中，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器在多個(gè)拍攝位置中的第一位置進(jìn)行拍攝，在所述第二處理中，使多個(gè)X 射線檢測(cè)器中的與一部分X射線檢測(cè)器不同的另一部分X射線檢測(cè)器移動(dòng)到多個(gè)拍攝位置 中的與第一位置不同的第二位置?；谠诙鄠€(gè)檢測(cè)面上拍攝到的、透過檢查對(duì)象區(qū)域的X 線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)的步驟。優(yōu)選在并 行地執(zhí)行第一處理和第二處理的步驟中，針對(duì)一個(gè)對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū) 域，為了分多次在預(yù)先對(duì)圖像數(shù)據(jù)的重建所設(shè)定的個(gè)數(shù)的拍攝位置進(jìn)行拍攝，執(zhí)行以下處 理使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器在第一位置進(jìn)行拍攝，以及，在進(jìn)行該拍 攝后，使一部分X射線檢測(cè)器向與第一位置不同的下一個(gè)第一位置移動(dòng)；與使一部分X射線 檢測(cè)器在第一位置進(jìn)行拍攝的處理并行地，使多個(gè)X射線檢測(cè)器中的另一部分X射線檢測(cè) 器向與第一位置、下一個(gè)第一位置及之前的第二位置都不相同的第二位置移動(dòng)，以及，與使 一部分X射線檢測(cè)器向下一個(gè)第一位置移動(dòng)的處理并行地，使另一部分X射線檢測(cè)器在第 二位置進(jìn)行拍攝。優(yōu)選在輸出X射線的步驟中，包括使照射到作為X射線源的連續(xù)面的靶面上的電 子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)以使X射線源焦點(diǎn)位置移動(dòng)的步驟。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明涉及的X射線檢查方法及X射線檢查裝置，能夠選擇性地高速地對(duì)檢 查對(duì)象物的規(guī)定檢查區(qū)域進(jìn)行檢查。另外，根據(jù)本發(fā)明涉及的X射線檢查方法及X射線檢查裝置，能夠削減可動(dòng)部分， 以低成本執(zhí)行可維護(hù)性及可靠性優(yōu)的χ射線檢查。另外，根據(jù)本發(fā)明涉及的X射線檢查方法及X射線檢查裝置，能夠高速檢查對(duì)象物 的多個(gè)部分。


圖1是本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置100的概略框圖。圖2是表示掃描型X射線源10的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3是表示第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例的概念圖。圖4是表示第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例的概念圖。圖5是表示第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例的概念圖。圖6是利用圖3 圖5中的任一個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行的重建圖像檢查所用的全部檢查 的流程圖。圖7是按照?qǐng)D6說明的流程圖的檢查的整體(全部)的時(shí)序圖。圖8是表示圖6說明的一個(gè)視野的CT拍攝的處理的流程圖。圖9是在圖8說明的一個(gè)視野的CT拍攝的處理中以多個(gè)方向進(jìn)行拍攝的處理的 時(shí)序圖。圖10是用于說明第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)的圖。圖IlA是表示圖10所示的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖IlB是表示圖10所示的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的移動(dòng)軌跡的俯視圖。
圖12是由第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100進(jìn)行的重建圖像檢查所用的全部 檢查的流程圖。圖13是圖12說明的步驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的流程圖。圖14是表示在圖13所示的檢查流程中沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射線焦 點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。圖15是說明第一實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)的圖。圖16是表示圖15所示的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖17是表示圖15所示的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的其他的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖18是如圖16或圖17那樣使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)從而進(jìn)行檢查時(shí)的檢查的流 程圖。 圖19是表示在圖18所示的檢查流程中，沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射線 焦點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。圖20是說明第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置104的結(jié)構(gòu)的圖。圖21是遮蔽體66的俯視圖。圖22是表示在圖20所示的X射線檢查裝置104的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃 描型X射線源的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖23是表示圖20所示的X射線檢查裝置104的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的其他的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖24如圖22或圖23那樣是表示使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)地進(jìn)行檢查時(shí)的檢查的 流程圖的圖。圖25是表示圖24所示的檢查流程中沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射線焦點(diǎn) 位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。圖26是用于說明為了使用解析方法來進(jìn)行圖像重建，針對(duì)一個(gè)視野利用CT拍攝 而能夠形成檢查區(qū)域的區(qū)域的概念圖。圖27是視野(檢查對(duì)象)轉(zhuǎn)動(dòng)的現(xiàn)有的拍攝系統(tǒng)的時(shí)序圖。圖28是對(duì)一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間進(jìn)行說明的圖。圖29是說明第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置106的結(jié)構(gòu)的圖。圖30是表示圖29所示的X射線檢查裝置106的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和檢查 對(duì)象的視野的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖31是使用平行移動(dòng)檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的CT拍攝流程圖。圖32是表示使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的檢查區(qū)域的概念圖。圖33是使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的時(shí)序圖。圖34是表示使用四個(gè)檢測(cè)器和掃描型X射線源進(jìn)行拍攝的X射線檢查裝置的結(jié) 構(gòu)的圖。圖35是圖34所示的X射線檢查裝置900的CT拍攝流程圖。圖36是表示在圖35所示的檢查流程中沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射線焦 點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
圖37是用于說明第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu)的框圖。圖38A是表示作為X射線檢測(cè)器23來使用的檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)的概念圖。
圖38B是表示作為X射線檢測(cè)器23來使用的檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)的概念圖。圖39是表示圖37所示的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖40是由圖37所示的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu)進(jìn)行的一個(gè)視野拍攝的流程圖。圖41是用于說明使用四個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4時(shí)的掃描型X射線源動(dòng)作 的時(shí)序圖。圖42是圖37所示的X射線檢查裝置110的一個(gè)視野拍攝的時(shí)序圖。圖43A是表示掃描型X射線源的結(jié)構(gòu)的概念圖。圖43B是表示掃描型X射線源的結(jié)構(gòu)的概念圖。圖44是用于說明第五實(shí)施方式的X射線檢查裝置120的結(jié)構(gòu)的框圖。圖45是表示使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。圖46是圖44及圖45說明的拍攝系統(tǒng)針對(duì)一個(gè)視野的檢查的處理的流程圖。圖47是圖44及圖45說明的拍攝系統(tǒng)針對(duì)一個(gè)視野的檢查時(shí)序圖。圖48是圖44及圖45說明的拍攝系統(tǒng)針對(duì)全部檢查的檢查時(shí)序圖。圖49是用于說明第五實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置122的結(jié)構(gòu)的圖。圖50是表示X射線檢查裝置122的使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的動(dòng) 作例的圖。圖51是使用圖49及圖50說明的直線移動(dòng)檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)針對(duì)一個(gè)視野的檢 查的處理的流程圖。圖52是圖49及圖50說明的拍攝系統(tǒng)針對(duì)一個(gè)視野的檢查時(shí)序圖。圖53是說明第六實(shí)施方式的X射線檢查裝置130的結(jié)構(gòu)的圖。圖54是表示圖53所示的X射線檢查裝置130的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描 型X射線源的移動(dòng)軌跡的俯視圖。圖55是使用圖53及圖54說明的直線移動(dòng)檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的檢查的處理的流 程圖。圖56是由圖53及圖54說明的拍攝系統(tǒng)針對(duì)一個(gè)視野的拍攝的檢查時(shí)序圖。圖57是用于說明圖像重建方法的圖。圖58是從上方看視野FOV中的重建的運(yùn)算對(duì)象的重建像素V、X射線焦點(diǎn)Fa、Fb 及X射線檢測(cè)器Da、Db的配置的圖。圖59是表示濾波反投影法的處理步驟的流程圖。圖60是表示使用掃描型X射線源時(shí)的迭代方法的處理的概念的概念圖。圖61是從上方看圖60的概念圖的俯視圖。圖62是用于說明迭代方法的處理的流程圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下10掃描型X射線源11 靶12偏轉(zhuǎn)線圈
13電子束會(huì)聚線圈14高壓電源15真空泵19電子槍16電子束17X射線焦點(diǎn)位置18X 射線20檢查對(duì)象22傳感器基座23X射線檢測(cè)器24滑塊(slider)25X射線模塊26X射線受光部27數(shù)據(jù)電纜28電源電纜29數(shù)據(jù)處理部30圖像取得控制機(jī)構(gòu)32轉(zhuǎn)動(dòng)角控制部34圖像數(shù)據(jù)取得部40輸入部50輸出部60掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)62電子束控制部70運(yùn)算部72掃描X射線源控制部74圖像取得控制部763D圖像重建部78好壞判定部80載物臺(tái)控制部82X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部84拍攝條件設(shè)定部90存儲(chǔ)器92X射線焦點(diǎn)位置信息94拍攝條件信息100X射線檢查裝置。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。在下面的說明中，相同的零件標(biāo)注相同的符號(hào)。它們的名稱及功能均相同。因此，不重復(fù)對(duì)它們進(jìn)行詳細(xì)說明。
[第一實(shí)施方式](1.本發(fā)明的結(jié)構(gòu))圖1是本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置100的概略框圖。參照?qǐng)D1，對(duì)本 發(fā)明涉及的X射線檢查裝置100進(jìn)行說明。其中，下面記載的結(jié)構(gòu)、 尺寸、形狀、其他的相對(duì)配置等，只要沒特定的記載，則就不是將該發(fā)明的范圍限定于此的
)固、οX射線檢查裝置100安裝有以中心軸作為軸21來輸出X射線的掃描型X射線源 10、多個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. N,并且如后面的說明，具有用于在所指定的位置驅(qū)動(dòng)各X 射線檢測(cè)器23. 1 23. N的X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22。另外，在掃描型X射線源10和X射線 檢測(cè)器23. 1 23. N之間配置有檢查對(duì)象20。X射線檢查裝置100還具有圖像取得控制 機(jī)構(gòu)30，其用于控制由X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22對(duì)各X射線檢測(cè)器23. 1 23. N進(jìn)行驅(qū)動(dòng)， 以及控制從X射線檢測(cè)器23. 1 23. N取得圖像數(shù)據(jù)；輸入部40，其用于接受來自用戶的 指示輸入等；輸出部50，其用于將測(cè)定結(jié)果等向外部輸出。另外，X射線檢查裝置100還具 有掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60、運(yùn)算部70、存儲(chǔ)器90。在這樣的結(jié)構(gòu)中，運(yùn)算部70執(zhí)行存儲(chǔ) 器90所存儲(chǔ)的未圖示的程序來控制各部，或者實(shí)施規(guī)定的運(yùn)算處理。掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60控制掃描型X射線源10對(duì)檢查對(duì)象20照射X射線。圖2是表示掃描型X射線源10的結(jié)構(gòu)的剖面圖。參照?qǐng)D2，再掃描型X射線源10中，從電子束控制部62所控制的電子槍19對(duì)鎢 (tungsten)等的靶11照射電子束16。然后，從電子束16與靶碰撞的位置(X射線焦點(diǎn)位 置17)產(chǎn)生并放射(輸出)出X射線18。此外，電子束系統(tǒng)放在真空容器9中。真空容器 9的內(nèi)部由真空泵15保持真空，并從電子槍19發(fā)射已被高壓電源14加速過的電子束16。在掃描型X射線源10中，電子束16被電子束會(huì)聚線圈13會(huì)聚之后，通過偏轉(zhuǎn)線 圈12使電子束16偏轉(zhuǎn)，由此能夠任意變更電子束16碰撞靶11的位置。例如，被偏轉(zhuǎn)線 圈12偏轉(zhuǎn)了的電子束16a與靶11碰撞，并從X射線焦點(diǎn)位置17a輸出X射線18a。另外， 同樣地，被偏轉(zhuǎn)線圈12偏轉(zhuǎn)了的電子束16b與靶11碰撞，并從X射線焦點(diǎn)位置17b輸出X 射線18b。此外，在沒有特別地講明時(shí)，在本申請(qǐng)發(fā)明中，掃描型X射線源10為透過型。另 夕卜，如后面的說明，希望靶是如下這樣的靶在從根據(jù)檢查對(duì)象物的檢查對(duì)象部分而設(shè)定的 成為放射X射線的起點(diǎn)的位置(下面，稱作“放射X射線的起點(diǎn)位置”)產(chǎn)生X射線時(shí)，為了 能夠提高其位置設(shè)定的自由度，希望不是環(huán)狀(ring)的靶，而是連續(xù)面的靶。另外，在下面 的說明中，在沒有特別區(qū)別位置來記載時(shí)，作為總稱，僅示出了 X射線焦點(diǎn)位置17。此外，為了使X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)到上述的X射線的放射的各起點(diǎn)位置，可以每次 使例如χ射線源自身的位置機(jī)械移動(dòng)。其中，若是圖2所示的結(jié)構(gòu)，在使X射線焦點(diǎn)位置移 動(dòng)到放射X射線的起點(diǎn)位置時(shí)，若在一定的范圍內(nèi)，則不必使X射線源機(jī)械移動(dòng)，就能夠?qū)?現(xiàn)可維護(hù)性及可靠性優(yōu)的X射線檢查裝置。此外，如后面的說明，設(shè)置多個(gè)X射線源，也能 夠按照起點(diǎn)位置切換使用。換言之，所謂的“放射X射線的起點(diǎn)位置”，如果確定是指用于拍攝的X射線檢測(cè)器 23. i (i為1 N中的所確定的一個(gè))的空間的位置和檢查對(duì)象20的檢查對(duì)象部的空間的 位置，則表示能夠確定空間的位置；所謂的X射線焦點(diǎn)位置，表示實(shí)際輸出X射線的靶上的 位置。因此，為了使X射線焦點(diǎn)位置位于“放射X射線的起點(diǎn)位置”，可以通過掃描型X射線源進(jìn)行電子束掃描，或者可以使X射線源自身機(jī)械移動(dòng)。返回圖1，掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60包括控制電子束輸出的電子束控制部62。電 子束控制部62從運(yùn)算部70接受X射線焦點(diǎn)位置、X射線能量(管電壓、管電流)的指定。 X射線能量根據(jù)檢查對(duì)象的結(jié)構(gòu)而不同。檢查對(duì)象20配置在掃描型X射線源10和X射線檢測(cè)器23 (下面，對(duì)X射線檢測(cè) 器23. 1 23. N總稱時(shí)，稱作X射線檢測(cè)器23)之間。在檢查對(duì)象20的位置移動(dòng)時(shí)，可以 用X-Y-Z載物臺(tái)移動(dòng)到任意位置，并且可以通過傳送帶(belt conbeyer)那樣向一個(gè)方向 移動(dòng)來配置在用于檢查的位置。此外，在檢查對(duì)象像印刷安裝基板那樣小的情況下，如上所 述，雖然可以固定掃描型X射線源10和X射線檢測(cè)器23而使檢查對(duì)象移動(dòng)，但在玻璃基板 等檢查對(duì)象面積大導(dǎo)致難以使檢查對(duì)象側(cè)任意移動(dòng)時(shí)，可以在固定掃描型X射線源10和X 射線檢測(cè)器23之間的相對(duì)位置的狀態(tài)下，使掃描型X射線源10及X射線檢測(cè)器23移動(dòng)。X射線檢測(cè)器23是二維X射線檢測(cè)器，其檢測(cè)從掃描型X射線源10輸出并透過檢 查對(duì)象2 0的X射線，并對(duì)其進(jìn)行圖像化處理。例如，CCD (Charge Coupled device:電荷耦 合器件)照相機(jī)，I. Klmage Intensifier 圖像增強(qiáng))管等。在本申請(qǐng)發(fā)明中，因?yàn)閄射線 檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22配置有多個(gè)X射線檢測(cè)器，所以希望是空間(space)效率好的FPD(Flat Panel Detector 平板探測(cè)器)。另外，為了能夠用于生產(chǎn)線檢查，希望具有高靈敏度，特別 希望是使用CdTe (碲化鎘)的直接變換方式的FPD。在后敘述X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。圖像取得控制機(jī)構(gòu)30包括檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32，其用于控制X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng) 部22，以使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)到運(yùn)算部70所指定的位置；圖像數(shù)據(jù)取得部34，其用于從 運(yùn)算部70取得所指定的X射線檢測(cè)器23的圖像數(shù)據(jù)。此外，作為從運(yùn)算部70取得圖像數(shù) 據(jù)的裝置而被同時(shí)指定的X射線檢測(cè)器，根據(jù)如后面的說明的拍攝的狀況，可以有一個(gè)的 情況和多個(gè)的情況。通過位置傳感器(未圖示)能夠得知由X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22所驅(qū)動(dòng)的X射線 檢測(cè)器23的位置，并能夠通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32將該位置輸入至運(yùn)算部70。另外，為了調(diào)整放大率，希望X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22能夠上下升降。此時(shí)，通過傳 感器(未圖示)能夠得知X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的上下方向的位置，并能夠通過檢測(cè)器驅(qū) 動(dòng)控制部32將該位置輸入至運(yùn)算部70。輸入部40是用于接受用戶的輸入的操作輸入設(shè)備。輸出部50是用于顯示在運(yùn)算部70中構(gòu)成的X射線圖像等的顯示器(display)。S卩，用戶能夠通過輸入部40執(zhí)行各種輸入，并在輸出部50上顯示根據(jù)運(yùn)算部70 的處理得到的各種運(yùn)算結(jié)果。輸出部50顯示的圖像，既可以為了由用戶進(jìn)行目視來判定好 壞而輸出，也可以作為后面說明的好壞判定部78的好壞判定結(jié)果而輸出。運(yùn)算部70包括掃描X射線源控制部72、圖像取得控制部74、3D圖像重建部76、好 壞判定部78、檢查對(duì)象位置控制部80、X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部82、拍攝條件設(shè)定部84。掃描X射線源控制部72決定X射線焦點(diǎn)位置、X射線能量，并且向掃描X射線源 控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送指令。圖像取得控制部74，在由X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22驅(qū)動(dòng)到指定位置的X射線檢測(cè)器 23中決定用于取得圖像的X射線檢測(cè)器23，并向圖像取得控制機(jī)構(gòu)30發(fā)送指令。另外，從圖像取得控制機(jī)構(gòu)30取得圖像數(shù)據(jù)。3D圖像重建部76根據(jù)由圖像取得控制部74所取得的多個(gè)圖像數(shù)據(jù)重建三維數(shù) 據(jù)。 好壞判定部78以由3D圖像重建部76所重建的3D的圖像數(shù)據(jù)或者透視數(shù)據(jù)為依 據(jù)，來判定檢查對(duì)象的好壞。例如，通過識(shí)別焊錫的形狀并判定該形狀是否在預(yù)定的容許范 圍內(nèi)等來進(jìn)行好壞判定。此外，進(jìn)行好壞判定的算法，或者對(duì)算法的輸入信息因檢查對(duì)象而 不同，因此根據(jù)拍攝條件信息94而獲得。檢查對(duì)稱位置控制部80是使檢查對(duì)象20移動(dòng)的機(jī)構(gòu)(未圖示)，例如，控制載物臺(tái)。X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部82在檢查存在檢查對(duì)象物20的檢查區(qū)域時(shí)，針對(duì)該檢查區(qū) 域計(jì)算χ射線焦點(diǎn)位置、照射角等。此外，在后面詳細(xì)敘述。拍攝條件設(shè)定部84根據(jù)檢查對(duì)象20來設(shè)定從掃描型X射線源10輸出X射線時(shí) 的條件。例如，對(duì)X射線源的施加電壓、拍攝時(shí)間等。存儲(chǔ)器90存儲(chǔ)有X射線焦點(diǎn)位置信息92，其存有由X射線焦點(diǎn)位置計(jì)算部82 所計(jì)算出的X射線焦點(diǎn)位置；由拍攝條件設(shè)定部84所設(shè)定的拍攝條件；進(jìn)行好壞判定的 算法相關(guān)信息等的拍攝條件信息94 ；用于實(shí)現(xiàn)上述運(yùn)算部70執(zhí)行的各功能的程序。此 夕卜，存儲(chǔ)器90只要能儲(chǔ)備數(shù)據(jù)即可，由RAM (Random Access Memory 隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、 EEPROM (ElectricalIyErasableand Programmable Read-Only Memory 電可擦除只讀存儲(chǔ) 且)、HDD(Hard Disc Drive 硬盤驅(qū)動(dòng)器)等的存儲(chǔ)裝置構(gòu)成。(X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的結(jié)構(gòu)1 用于檢測(cè)器獨(dú)立移動(dòng)的結(jié)構(gòu))在X射線檢查裝置100中，(X射線檢測(cè)器數(shù))<< (重建需要的拍攝張數(shù))。這是 因?yàn)橥ǔ腇PD所需要的成本的觀點(diǎn)出發(fā)，一次設(shè)置需要的拍攝張數(shù)的檢測(cè)器并不現(xiàn)實(shí)。 因此，在進(jìn)行超過X射線檢測(cè)器數(shù)的拍攝的時(shí)刻，需要使(X射線檢測(cè)器)/(X射線源(X射線 源))/(裝載檢查對(duì)象的載物臺(tái))機(jī)械地移動(dòng)，在這樣的機(jī)械地移動(dòng)中不能進(jìn)行拍攝處理。如以下說明，第一實(shí)施方式涉及的X射線檢查裝置100能夠削減對(duì)系統(tǒng)整體的高 速化不做出貢獻(xiàn)的該空閑時(shí)間。(由機(jī)械地移動(dòng)引起的拍攝處理時(shí)間消耗的問題點(diǎn))下面，作為說明第一實(shí)施方式涉及的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作的前提，在 能夠假定為其他X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)中，對(duì)使拍攝系統(tǒng)或檢查對(duì)象能夠進(jìn)行機(jī)械移動(dòng)的 移動(dòng)機(jī)構(gòu)部分的結(jié)構(gòu)概略和其問題點(diǎn)進(jìn)行說明。圖3是表示第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例的概念圖。在圖3中，X射線源35和X射線檢測(cè)器 36固定，視野37在載物臺(tái)38上機(jī)械地移動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng))，由此得到重建所需的多個(gè)拍攝張數(shù)。圖4是表示第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例的概念圖。在圖4中，在X-Y面內(nèi)機(jī)械地平行移動(dòng) X射線檢測(cè)器36，并轉(zhuǎn)動(dòng)θ方向，并且視野37(檢查對(duì)象的檢查部分)也在X-Y面內(nèi)平行 移動(dòng)，由此得到重建所需的多個(gè)拍攝張數(shù)。圖5是示出了第三移動(dòng)機(jī)構(gòu)的例的概念圖。在圖5中，使X射線檢測(cè)器36向θ 方向機(jī)械地轉(zhuǎn)動(dòng)，并且使視野37 (檢查對(duì)象的檢查部分)也在X-Y面內(nèi)平行移動(dòng)，由此得到 重建所需的多個(gè)拍攝張數(shù)。如下面的詳細(xì)說明，在上述圖3 圖5任一情況下，都為了得到多個(gè)拍攝數(shù)據(jù)，拍攝系統(tǒng)或檢查對(duì)象產(chǎn)生機(jī)械地移動(dòng)，但由于該移動(dòng)中不能進(jìn)行拍攝，因此該移動(dòng)時(shí)間妨礙 系統(tǒng)的高速化圖6是表示使用圖3 圖5的任一種移動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行重建圖像檢查所用的檢查的整 體(全部)的流程圖的圖。參照?qǐng)D6，首先，處理一開始(S100)，將檢查對(duì)象的檢查部分(視野)移動(dòng)到可拍 攝的位置(S102)。即，為了拍攝透視圖像，將裝載檢查對(duì)象的載物臺(tái)和X射線檢測(cè)器移動(dòng)到 規(guī)定的位置。在此基礎(chǔ)上，進(jìn)行透視圖像的拍攝(S104)，檢查透視圖像，并根據(jù)所取得的透視圖 像對(duì)檢查對(duì)象的視野(利用透視圖像拍攝的范圍)進(jìn)行好壞判定(S106)。接著，判斷是否需要根據(jù)重建圖像進(jìn)行檢查(S108)。在不需要根據(jù)重建圖像進(jìn)行檢查時(shí)，檢查結(jié)束(S118)。另一方面，在需要根據(jù)重建圖像進(jìn)行檢查時(shí)，接著對(duì)一個(gè)視野進(jìn)行CT拍攝 (S110)。在CT拍攝中，從多個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象內(nèi)的視野(重建區(qū)域或者與上述的透視圖 像拍攝范圍同樣的區(qū)域)。接著，根據(jù)多個(gè)方向的拍攝圖像生成重建圖像(S112)。接著，進(jìn)行根據(jù)重建圖像的 好壞判定(Si 14)。并且，判斷全部視野的檢查是否結(jié)束(S116)，如果未結(jié)束，則處理返回到步驟 S102。另一方面，若全部視野檢查結(jié)束，則本檢查結(jié)束(S118)。圖7是按照?qǐng)D6說明的流程圖的全部檢查的時(shí)序圖。在下面的說明中，將檢查對(duì) 象分割成M個(gè)(例如，四個(gè))視野，拍攝N張來作為CT拍攝。符號(hào)的定義在下面示出。此時(shí)，將拍攝全部檢查對(duì)象的時(shí)間作為Ti，將拍攝一個(gè)視野的時(shí)間作為Tv，將機(jī) 械的移動(dòng)(載物臺(tái)、X射線檢測(cè)器等的移動(dòng))所需要的時(shí)間作為Tm，將拍攝(X射線檢測(cè)器 的曝光)時(shí)間作為Ts。如圖7所示，因?yàn)槿繖z查對(duì)象的CT拍攝時(shí)間Ti是拍攝M個(gè)視野并進(jìn)行(M-I) 次機(jī)械移動(dòng)時(shí)間的Te (視野的移動(dòng)時(shí)間)的合計(jì)，所以用下面的式(13)表示。Ti = MTv+(M-I) Te (13)圖8是表示圖6說明的一個(gè)視野的CT拍攝的處理的流程圖。參照?qǐng)D8，一個(gè)視野的CT拍攝一開始(S200)，首先，將拍攝系統(tǒng)及/或檢查對(duì)象移 動(dòng)到當(dāng)前的視野相關(guān)的拍攝位置(S202)。能夠根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息自動(dòng)的計(jì)算拍攝 位置。檢查對(duì)象由于裝載在載物臺(tái)上，因此能夠與載物臺(tái)的移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)一起移動(dòng)視野。接著，拍攝檢查對(duì)象的視野部分(S204)。通過從X射線源照射X射線并使X射線 檢測(cè)器曝光而得到檢查對(duì)象的拍攝數(shù)據(jù)。能夠根據(jù)檢查對(duì)象的尺寸、X射線源產(chǎn)生的X射 線的強(qiáng)度預(yù)先決定曝光時(shí)間。接著，用X射線檢測(cè)器將拍攝到的圖像數(shù)據(jù)傳送至運(yùn)算部(S206)。即，為了重建拍 攝圖像數(shù)據(jù)，將其傳送至進(jìn)行重建處理的運(yùn)算部。并且，接著，判斷是否已拍攝到規(guī)定張數(shù)(S208)。規(guī)定張數(shù)可以在檢查之前根據(jù) CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息來決定，并且也可以由作業(yè)者通過目視來判斷。達(dá)到規(guī)定張數(shù)時(shí)，CT 拍攝結(jié)束(S210)，并進(jìn)行圖像重建處理(圖6的S112)。另一方面，未達(dá)到規(guī)定張數(shù)時(shí)，處 理返回到步驟S202，并且為了從下一個(gè)拍攝位置拍攝視野，再次移動(dòng)拍攝系統(tǒng)及/或檢查對(duì)象。圖9是圖8說明的一個(gè)視野的CT拍攝的處理中對(duì)在多個(gè)方向進(jìn)行拍攝的處理的 時(shí)序圖。這里，例如，在如圖5所示的結(jié)構(gòu)中，存在S個(gè)安裝于一個(gè)圓轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的X射線 檢測(cè)器，并且其隨檢測(cè)器轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)一體地轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，在一次拍攝中，由每一個(gè)X射線檢測(cè) 器進(jìn)行拍攝。此時(shí)，如圖9所示，由X射線檢測(cè)器進(jìn)行的一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間Tv是N次拍攝 時(shí)間Ts(圖中，用Si，S2, ... , SN示出)和需要的機(jī)械移動(dòng)的時(shí)間的合計(jì)，所以，例如用下 面的式(14)表示。檢測(cè)器為S 張時(shí)Tv = NTs+(N/S-l)Tm檢測(cè)器為1 張時(shí)Tv = NTs+(N-I) Tm (14)此外，此時(shí)，拍攝圖像的數(shù)據(jù)傳送與機(jī)械的移動(dòng)同時(shí)進(jìn)行。例如，想要用一個(gè)檢測(cè) 器拍攝 16 張時(shí)，Tv = 16Ts+15Tm。(第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作)下面，對(duì)第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作進(jìn)行說明。在第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100中，如下面的說明，視野(在拍攝時(shí))不機(jī) 械地移動(dòng)。因此，為了得到多個(gè)角度的拍攝數(shù)據(jù)，需要改變X射線焦點(diǎn)位置和X射線檢測(cè)器 位置。對(duì)X射線焦點(diǎn)位置高速移動(dòng)使用掃描型X射線源。此外，如后面的變形例的說明， 也可以使用多個(gè)焦點(diǎn)固定型X射線源。就X射線檢測(cè)器23的位置移動(dòng)而言使用下述的結(jié) 構(gòu)。1)至少設(shè)置兩個(gè)以上X射線檢測(cè)器23，并且可獨(dú)立移動(dòng)地構(gòu)成X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng) 部22。2)在使用X射線檢測(cè)器23. 1的拍攝中，為了拍攝準(zhǔn)備而使其他X射線檢測(cè)器23. 2 移動(dòng)到規(guī)定的位置。通過以上處理，因?yàn)樵谶M(jìn)行拍攝時(shí)，X射線檢測(cè)器23. 2已經(jīng)移動(dòng)到規(guī)定的位置，所 以通過使X射線焦點(diǎn)位置高速移動(dòng)，能夠削減機(jī)械移動(dòng)浪費(fèi)的時(shí)間。圖10用于說明第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)的圖。此外，對(duì)與圖1 相同部標(biāo)注相同符號(hào)，并且，對(duì)X射線焦點(diǎn)位置的控制、X射線檢測(cè)器位置的控制、檢查對(duì)象 位置的控制等由直接關(guān)系的部分中，提取記載必須說明的部分。參照?qǐng)D10，X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22成為能夠分別以XY θ的自由度驅(qū)動(dòng)X射線檢 測(cè)器23. 1及23. 2的XY θ動(dòng)作機(jī)構(gòu)，作為X射線源10，使用掃描型X射線源。在圖10所示的結(jié)構(gòu)中，為了變動(dòng)檢查對(duì)象的位置，設(shè)置檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 1020 (例如，X-Y載物臺(tái))、檢查對(duì)象位置控制部80。另外，在圖10中，使用兩個(gè)能夠獨(dú)立移動(dòng)的X射線檢測(cè)器，但也可以設(shè)置兩個(gè)以上 的X射線檢測(cè)器。X射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2能夠獨(dú)立地進(jìn)行Χ_Υ_ θ動(dòng)作。此外，如 后面的說明，利用X射線檢測(cè)器23的驅(qū)動(dòng)的方法，不一定非要設(shè)置θ轉(zhuǎn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22 具有垂直類型的二軸的機(jī)械臂(robot arm) 22. 1、帶有轉(zhuǎn)動(dòng)軸的檢測(cè)器支持部22. 2，使X射線檢測(cè)器23進(jìn)行移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)。其中，這種結(jié)構(gòu)能夠在X-Y 方向上移動(dòng)或在X-Y平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，只要是能夠相對(duì)于X射線檢測(cè)器23的移動(dòng)而具有同樣的 功能的X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，則也可以使用除此之外的機(jī)構(gòu)。另外，通過由運(yùn)算部70內(nèi)的檢查對(duì)象位置控制部80所控制的檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)1020，能夠使檢查對(duì)象的視野37與上述X射線檢測(cè)器23. 1或23. 2相互獨(dú)立地進(jìn)行 X-Y動(dòng)作。并且，如上所述，X射線源10的掃描型X射線源能夠使X射線焦點(diǎn)位置17高速 地向X射線靶上的任意的位置移動(dòng)。運(yùn)算部70向檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32、圖像數(shù)據(jù)取得部(X射線檢測(cè)器控制器 (C0ntr0ller))34、掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送命令，并執(zhí)行如后說明的檢查處理所用的 流程圖所示的程序。另外，通過來自輸入部40的輸入來控制檢查裝置的動(dòng)作，并且能夠通 過輸出部50輸出各部的狀態(tài)或檢查結(jié)果。檢查對(duì)象位置控制機(jī)構(gòu)1020具有對(duì)促動(dòng)器(actuator)和檢查對(duì)象進(jìn)行固定的機(jī) 構(gòu)，并且根據(jù)來自檢查對(duì)象位置控制部80的命令使檢查對(duì)象移動(dòng)。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22具有垂直類型的二軸的機(jī)械臂22. 1、帶有轉(zhuǎn)動(dòng)軸的檢測(cè)器 支持部 22. 2，并且通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32，根據(jù)來自運(yùn)算部70的命令使X射線檢測(cè)器23 移動(dòng)到所指定的位置。另外，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32將該時(shí)刻的X射線檢測(cè)器23的位置信 息發(fā)送到運(yùn)算部70。運(yùn)算部70在接收到通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32發(fā)送來的命令的指示時(shí)，取得X射 線透視圖像并傳送拍攝數(shù)據(jù)。X射線源10按照從運(yùn)算部70通過掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送來的命令，而產(chǎn) 生電子束，并且通過電子束會(huì)聚線圈13及偏轉(zhuǎn)線圈12使電子束會(huì)聚到靶上的指定的位置， 并使X射線焦點(diǎn)17高速地移動(dòng)。圖IlA及圖IlB是將圖10所示的X射線檢查裝置100的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23 和掃描型X射線源的移動(dòng)軌跡以俯視圖所示的圖。圖IlA所示的動(dòng)作例1，表示從上方看圖10所示的結(jié)構(gòu)，表示進(jìn)行XY θ動(dòng)作的拍 攝位置移動(dòng)，并假定以等角度拍攝16張X射線透視圖像。動(dòng)作例1適于使用菲爾德坎普等 方法代表的解析方法。如上所述，那是通常在解析方法中，對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理，但希 望濾除方向相對(duì)X射線的透過路徑的方向?yàn)榇怪狈较?。因此，為了使用解析方法，較為理想 的是，使X射線檢測(cè)器垂直于X射線的透過路徑，即，使X射線檢測(cè)器朝向視野進(jìn)行拍攝。圖IlB示出了動(dòng)作例2表示XY動(dòng)作引起的拍攝位置移動(dòng)，適于使用迭代方法、層 析(tomosynthesis)等的重建方法。這是由于迭代方法或?qū)游瞿軌蚺cX射線檢測(cè)器的方向 無關(guān)地進(jìn)行重建。進(jìn)行該動(dòng)作時(shí)，無需使X射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，因此能夠進(jìn)一步簡(jiǎn)化X射線檢 測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。進(jìn)一步對(duì)圖IlA及圖IlB所示的動(dòng)作例(移動(dòng)軌跡)進(jìn)行詳細(xì)的說明，如下面所
7J\ οX射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2能夠獨(dú)立動(dòng)作的范圍相互區(qū)分開來。圖 IlA及圖IlB中的位置A1、B1分別作為X射線檢測(cè)器23. 1及23. 2的初始位置。位置Al A8、位置Bl B8分別作為取得圖像重建所需的透視圖像的X射線檢測(cè)器23. 1及23. 2的位置。
在圖IlA及圖IlB所示的動(dòng)作例中，X射線檢測(cè)器23. 1及23. 2以拍攝系統(tǒng)的原 點(diǎn)為中心而移動(dòng)一定距離。其結(jié)果，在從上方看拍攝系統(tǒng)時(shí)，分別具有半圓的軌跡。位置al、a2、a3、bl、b2為X射線靶上的焦點(diǎn)位置，并分別處于視野與X射線檢測(cè) 器位置Al、A2、A3、Bi、B2相連接的直線上。開始拍攝時(shí)，X射線檢測(cè)器23. 1及23. 2分別靜止于位置Al、Bii)從X射線焦點(diǎn)位置al產(chǎn)生X射線，并用X射線檢測(cè)器23. 1 (位置Al)進(jìn)行拍攝。ii)接著，從X射線焦點(diǎn)位置bl產(chǎn)生X射線，并用X射線檢測(cè)器23. 2 (位置Bi)開 始拍攝。在位置Bl拍攝過程中，X射線檢測(cè)器23. 1開始移動(dòng)到預(yù)先決定的位置A2。iii)如果X射線檢測(cè)器23. 2 (位置Bi)的拍攝和X射線檢測(cè)器23. 1的移動(dòng)完畢， 則直接使X射線的焦點(diǎn)位置移動(dòng)到位置A2，并用X射線檢測(cè)器23. 1 (位置A2)進(jìn)行拍攝。 該拍攝中，X射線檢測(cè)器23. 2向預(yù)先決定的位置B2移動(dòng)。重復(fù)以上動(dòng)作，能夠削減伴隨X射線檢測(cè)器的移動(dòng)時(shí)間的X射線源的休止時(shí)間，且 能夠得到圖像重建所需的拍攝張數(shù)。圖12是表示第一實(shí)施方式的X射線檢查裝置100進(jìn)行的重建圖像檢查所用的檢 查的整體(全部)流程圖的圖。參照?qǐng)D12，首先，處理一開始(S300)，根據(jù)來自運(yùn)算部70的檢查對(duì)象位置控制部 80的命令，檢查對(duì)象位置控制機(jī)構(gòu)將檢查對(duì)象的檢查部分(視野)移動(dòng)到拍攝可能的位置 (S302)，即，為了拍攝透視圖像，將裝載檢查對(duì)象的載物臺(tái)和X射線檢測(cè)器移動(dòng)到規(guī)定的位 置。通常，在檢查中，為了確定檢查位置而搭載光學(xué)照相機(jī)(未圖示)，因此能夠以光學(xué)照相 機(jī)的圖像為依據(jù)來決定位置。作為其他的方法，可以以檢查對(duì)象的CAD數(shù)據(jù)為依據(jù)來自動(dòng) 地決定，且作業(yè)者也可以目視決定。在此基礎(chǔ)上，首先拍攝透視圖像(S304)，運(yùn)算部70的好壞判定部78檢查透視圖 像，并根據(jù)所取得的透視圖像對(duì)檢查對(duì)象的視野(以透視圖像拍攝的范圍)進(jìn)行好壞判定 (S306)。好壞判定方法提出各種方法，因?yàn)槭枪赃@里不記述詳細(xì)。例如，作為最基本 的檢查，將透視圖像以一定的值2值化，并將其與CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息進(jìn)行比較，根據(jù)面 積判斷在透視圖像上的規(guī)定的位置上是否有零件。接著，運(yùn)算部70判斷是否需要根據(jù)重建圖像進(jìn)行檢查(S308)。能夠以CAD數(shù)據(jù)等 的設(shè)計(jì)信息為依據(jù)來預(yù)先設(shè)定判斷的基準(zhǔn)，并且也能夠根據(jù)透視圖像的好壞判定結(jié)果進(jìn)行 判斷。例如，在安裝基板的檢查中，僅在單面安裝零件時(shí)，由于能夠用透視圖像來進(jìn)行好壞 判定，因此有時(shí)無需根據(jù)重建圖像進(jìn)行好壞判定。在無需根據(jù)重建圖像的檢查時(shí)，運(yùn)算部70使檢查結(jié)束(S318)。另一方面，在需要根據(jù)重建圖像的檢查時(shí)，運(yùn)算部70接著對(duì)一個(gè)視野進(jìn)行CT拍攝 (S310)。在CT拍攝中，從多個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象內(nèi)的視野(重建區(qū)域或者與上述透視圖像 拍攝范圍同樣的區(qū)域)。CT拍攝的詳細(xì)說明在后闡述。接著，運(yùn)算部70的3D圖像重建部76根據(jù)多個(gè)方向的拍攝圖像生成重建圖像 (S312)。重建處理提出了各種方法，例如，能夠使用上述的菲爾德坎普法。接著，運(yùn)算部70的好壞判定部78根據(jù)重建圖像進(jìn)行好壞判定(S314)。好壞判定的 方法有直接使用三維數(shù)據(jù)的方法、使用二維數(shù)據(jù)(斷層圖像)、一維數(shù)據(jù)(曲線(profile))等的方法。由于這些好壞判定方法是公知的，只要使用適合檢查項(xiàng)目的好壞判定方法即可， 這里不重復(fù)詳細(xì)的說明。下面，對(duì)好壞判定的一例進(jìn)行說明。首先，對(duì)三維重建圖像以一定 的值進(jìn)行2值化。根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息確定重建圖像內(nèi)零件(例如，BGA的焊錫)的 存在的位置。根據(jù)2值化圖像計(jì)算與零件存在的位置相鄰的像素的體積，并能夠判斷零件 的有無。
進(jìn)而，運(yùn)算部70判斷全部視野的檢查是否結(jié)束(S316)，沒結(jié)束時(shí)，處理返回到步 驟S102。另一方面，如果就全部視野檢查結(jié)束，則運(yùn)算部70使本檢查結(jié)束(S318)。此外，在圖12中，用透視圖像和重建圖像進(jìn)行檢查，但也可以不進(jìn)行根據(jù)透視圖 像的檢查，而只進(jìn)行根據(jù)重建圖像的檢查。其中，通常，重建處理需要比較多的時(shí)間，因此在 根據(jù)重建圖像的檢查之前，通過用透視圖像進(jìn)行好壞判定能夠使整體(全部)的檢查時(shí)間 變短。圖13是表示圖12說明的步驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的流程圖的圖。另外，圖14是表示圖13所示的檢查流程中，沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射 線焦點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。此外，在圖13中，就流程圖分叉成的三個(gè)部分而言，左列表示X射線源的動(dòng)作，中 央列表示X射線檢測(cè)器23. 1的動(dòng)作，右列表示X射線檢測(cè)器23. 2的動(dòng)作，排列在橫向的處 理表示同時(shí)進(jìn)行。下面，參照?qǐng)D13及圖14，首先，一個(gè)視野的CT拍攝處理一開始(S400)，運(yùn)算部70 為了使想檢查的視野移動(dòng)到理想的位置而使檢查對(duì)象移動(dòng)。進(jìn)而，運(yùn)算部70也將X射線檢 測(cè)器23移動(dòng)到初始位置?？梢杂么钶d在X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22、檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) (例如，X-Y載物臺(tái))上的編碼器(encoder)，來設(shè)定X射線檢測(cè)器23的位置、檢查對(duì)象的 位置，也可以使用廣泛使用的檢測(cè)器(激光變位器等)來設(shè)定。接著，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 1相對(duì)應(yīng)的位置并照射 X射線(S402)，用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝(S412)。X射線焦點(diǎn)位置的設(shè)定可以是上述 的方法。拍攝時(shí)間(檢測(cè)器的曝光時(shí)間)可以預(yù)先設(shè)定，用戶也能夠通過目視來設(shè)定所希 望的時(shí)間。并行地，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置，并且為了在3D 圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將由X射線檢測(cè)器23. 1得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器 90(S422)。接著，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 2相對(duì)應(yīng)的位置并照射X 射線(S404)，并用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝(S424)。并行地，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè) 器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置，并且為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將由X射線 檢測(cè)器23. 2得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90 (S414)。接著，運(yùn)算部70判定拍攝是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)(S430)。若沒有達(dá)到圖像重建的規(guī)定 張數(shù)，運(yùn)算部70將處理返回到步驟S402、412、422。另一方面，若達(dá)到規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70 結(jié)束一個(gè)視野的CT拍攝處理(S432)，并使處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。此外，在流程圖上，在數(shù)據(jù)傳送后判斷是否拍攝到規(guī)定張數(shù)，但優(yōu)選與數(shù)據(jù)傳送同 時(shí)地判斷拍攝張數(shù)。其原因是，數(shù)據(jù)傳送例如需要200ms左右的時(shí)間，因此向下一個(gè)拍攝位 置的移動(dòng)會(huì)延遲。因此，每次拍攝都產(chǎn)生延遲。為了縮短該延遲時(shí)間并實(shí)現(xiàn)高速化，優(yōu)選與 數(shù)據(jù)傳送同時(shí)地判斷規(guī)定張數(shù)以及移動(dòng)檢查對(duì)象、X射線檢測(cè)器。
進(jìn)而，如圖14所示，在使用第一實(shí)施方式的拍攝方式時(shí)，一個(gè)視野的拍攝時(shí)間能夠用下面的式(15)及式(16)表示。Ts > Tm 時(shí)Tv = NTs(15)Ts < Tm 時(shí)Tv = Ts+(N-I) Tm (16)此外，各符號(hào)的含義如下。N 拍攝張數(shù)(X射線檢測(cè)器數(shù)目的整數(shù)倍)Tv 拍攝一個(gè)視野的時(shí)間Tm:移動(dòng)機(jī)構(gòu)(載物臺(tái)、X射線檢測(cè)器)移動(dòng)的時(shí)間Ts 拍攝(X射線檢測(cè)器的曝光)時(shí)間此外，就拍攝張數(shù)N而言，為了以后的說明的易懂性，定為X射線檢測(cè)器數(shù)目的整 數(shù)倍，但并不是必須限定為整數(shù)倍。在圖14中，示出了 Ts < Tm的情況。將圖像的重建需要的透視圖像的拍攝張數(shù)假定為16張，在使用第一實(shí)施方式的 拍攝方式時(shí)，為了得到重建需要的張數(shù)=16張的圖像需要的時(shí)間，在Ts > Tm的情況下該 時(shí)間為16Ts，在Ts < Tm的情況下該時(shí)間為Ts+15Tm，與用圖9說明的方式來使用一個(gè)檢測(cè) 器時(shí)的(16Ts+15Tm)相比較，上述兩種情況都能夠縮短拍攝時(shí)間。此外，如果提高X射線源的X射線的強(qiáng)度，X射線檢測(cè)器的高靈敏度化發(fā)展，則拍攝 需要的X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)間變短。因此，在某X射線檢測(cè)器拍攝過程中，為了使別的X 射線檢測(cè)器移動(dòng)到規(guī)定的拍攝位置，需要高速的機(jī)械機(jī)構(gòu)，根據(jù)情況，有時(shí)即使某X射線檢 測(cè)器的拍攝結(jié)束，X射線檢測(cè)器的移動(dòng)仍未結(jié)束。然而，總之，在某X射線檢測(cè)器拍攝處理中，并行地進(jìn)行移動(dòng)處理，來將別的X射線 檢測(cè)器移動(dòng)到規(guī)定的拍攝位置，或進(jìn)行傳送處理，來傳送所移動(dòng)的該X射線檢測(cè)器的拍攝 數(shù)據(jù)，由此，能夠縮短整體(全部)的處理時(shí)間。另外，在一個(gè)視野的全部處理中重復(fù)執(zhí)行 這樣的並行處理，能夠縮短一個(gè)視野的處理時(shí)間。[第一實(shí)施方式的變形例]圖15是說明第一實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)的圖。X射線檢 查裝置102使用直線移動(dòng)型的X射線檢測(cè)器和作為X射線源10的掃描型X射線源。S卩，在X射線檢查裝置102中，三個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3能夠分別獨(dú) 立地進(jìn)行Y移動(dòng)及θ轉(zhuǎn)動(dòng)。在圖15中，示出了 X射線檢測(cè)器支持部22. 3能夠自轉(zhuǎn)，并且 能夠在導(dǎo)軌(rail)上沿著Y方向移動(dòng)的X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的動(dòng)作機(jī)構(gòu)。其中，如果 是具有同樣的功能的結(jié)構(gòu)，即使是圖15所示以外的機(jī)構(gòu)也沒有問題。另外，如后面的說明， 自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)不是必須的。作為X射線源10的掃描型X射線源，能夠使X射線焦點(diǎn)位置高速地向X射線靶上 的任意的位置移動(dòng)。其他，對(duì)與圖1、圖10相同部分標(biāo)注相同符號(hào)。另夕卜，圖15中也在與X射線焦點(diǎn)位 置的控制、X射線檢測(cè)器位置的控制、檢查對(duì)象位置的控制等有直接關(guān)系的部分中提取說明 所需的部分記載。在圖15中，使用三個(gè)能夠獨(dú)立地移動(dòng)的X射線檢測(cè)器，但作為X射線檢測(cè)器的個(gè) 數(shù)，只要是兩個(gè)以上即可。此外，在X射線檢測(cè)器的個(gè)數(shù)為奇數(shù)時(shí)，因?yàn)橛邢旅嬲f明的優(yōu)點(diǎn)，所以希望X射線檢測(cè)器設(shè)置成三個(gè)以上的奇數(shù)個(gè)。即，通過設(shè)置奇數(shù)個(gè)X射線檢測(cè)器，用在 正中的導(dǎo)軌上移動(dòng)的X射線檢測(cè)器能夠從正上方拍攝檢查對(duì)象。例如按照?qǐng)D12說明的流 程圖動(dòng)作時(shí)，這對(duì)拍攝透視圖像是理想的。其中，將檢測(cè)器的個(gè)數(shù)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)的個(gè)數(shù)抑制到 最低限這點(diǎn)，從成本的觀點(diǎn)開看，希望是三個(gè)。在圖15所示的結(jié)構(gòu)中，X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22具有能夠在導(dǎo)軌上(沿著Y方向 移動(dòng)X射線檢測(cè)器且相對(duì)于自轉(zhuǎn)軸能夠自轉(zhuǎn)的檢測(cè)器支持部22. 3，能夠使X射線檢測(cè)器23 移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，與圖10所示的結(jié)構(gòu)同樣地，通過運(yùn)算部70內(nèi)的檢查對(duì)象位置控制部80所 控制的檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1020 (裝載檢查對(duì)象的X-Y載物臺(tái)等)，能夠使檢查對(duì)象的視 野與上述X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3相獨(dú)立地進(jìn)行X-Y動(dòng)作。并且，如上述，X射線源 10的掃描型X射線源能夠使X射線焦點(diǎn)位置17高速地向X射線靶上的任意的位置移動(dòng)。運(yùn)算部70向檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32、圖像數(shù)據(jù)取得部(X射線檢測(cè)器控制器)34、掃 描X射線源控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送命令，并執(zhí)行如后說明的檢查處理所用的流程圖所示的程序。 另外，通過來自輸入部40的輸入能夠控制檢查裝置的動(dòng)作，并且能夠通過輸出部50來輸出 各部的狀態(tài)或檢查結(jié)果。檢查對(duì)象位置控制機(jī)構(gòu)1020具有固定促動(dòng)器和檢查對(duì)象的機(jī)構(gòu)，并按照來自檢 查對(duì)象位置控制部80的命令使檢查對(duì)象移動(dòng)。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22，通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32，按照來自運(yùn)算部70的命令使 X射線檢測(cè)器23移動(dòng)到所指定的位置。另外，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32將該時(shí)刻的X射線檢測(cè) 器23的位置信息發(fā)送到運(yùn)算部70。運(yùn)算部70在由通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32的命令指示的時(shí)刻，取得X射線透視圖 像以及傳送拍攝數(shù)據(jù)。X射線源10按照來自通過掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60的運(yùn)算部70的命令而產(chǎn)生電 子束，并通過電子束會(huì)聚線圈13及偏轉(zhuǎn)線圈12使電子束會(huì)聚到靶上的指定位置，使X射線 焦點(diǎn)17高速地移動(dòng)。圖16是將圖15所示的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描型 X射線源的移動(dòng)軌跡作為俯視圖所示的圖。圖16所示的動(dòng)作例1假定從上方看圖15的結(jié)構(gòu)，從不同的角度拍攝18張X射線 透視圖像。在圖16中，如上述，X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3分別具有能夠在導(dǎo)軌上直線 地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。進(jìn)而，X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3分別具有能夠?qū)射線檢測(cè)器的中 心作為中心來進(jìn)行自轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。X射線源10是掃描型X射線源。另外，X射線檢測(cè)器23的拍攝位置并不僅限定于 圖16的配置，也可以為等間隔的角度。并且，拍攝張數(shù)并不僅限定于18張，只要是指定能 夠檢查的拍攝張數(shù)即可。拍攝張數(shù)的指定，可以根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息來計(jì)算，也可以 由作業(yè)者目視決定。在圖16中，位置Al A6、Bl B6、Cl C6，分別是用于取得圖像重建所需的透 視圖像的X射線檢測(cè)器23. 1,23. 2及23. 3的位置。位置附帶的1 6的編號(hào)表示拍攝的 順序，最先在Al的位置拍攝，最后在A6的位置拍攝。
另外，位置al、a2、bl、b2、Cl、c2是X射線靶上的焦點(diǎn)位置，分別與X射線檢測(cè)器 位置在位置々132、81、82、(1、〇2時(shí)相對(duì)應(yīng)。圖16的動(dòng)作例1適于使用菲爾德坎普方法代表的解析方法。與圖IlA的情況同 樣地，通常在解析方法中，對(duì)投影數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理，但希望濾除方向是相對(duì)于X射線的透 過路徑的方向垂直的方向。因此，為了使用解析方法，優(yōu)選使X射線檢測(cè)器垂直于X射線的 透過路徑，即，使X射線檢測(cè)器朝向視野而拍攝。圖17是將圖15所示的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描型 X射線源的其他的移動(dòng)軌跡作為俯視圖來顯示的圖。在圖17所示的動(dòng)作例2中，X射線檢測(cè)器23不自轉(zhuǎn)，在X-Y平面內(nèi)平行移動(dòng)。這 樣的動(dòng)作例2，適于使用迭代方法或?qū)游龅鹊闹亟ǚ椒?。因?yàn)榈椒ɑ驅(qū)游瞿軌蚺cX射線 檢測(cè)器的方向無關(guān)地進(jìn)行重建。在進(jìn)行該動(dòng)作時(shí)，由于不必使X射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，能夠進(jìn)一步簡(jiǎn)化X射線檢測(cè)器驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)，并能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。圖18是如圖16或圖17那樣示出了使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)并進(jìn)行檢查時(shí)的檢查 的流程圖的圖。全部檢查的流程因?yàn)榕c圖12所示的流程同樣，所以圖18中示出了圖12的步驟 S310的一個(gè)視野的CT拍攝的一部分。圖18表示圖12所說明的步驟S310中的一個(gè)視野的CT拍攝的流程圖的圖。此外， 就圖18的流程圖的分叉成四個(gè)的部分而言，最左列表示X射線源的動(dòng)作，中央偏左的列表 示X射線檢測(cè)器23. 1的動(dòng)作，中央偏右的列表示X射線檢測(cè)器23. 2的動(dòng)作，最右列表示X 射線檢測(cè)器23. 3的動(dòng)作，排列在橫向的處理表示同時(shí)進(jìn)行。另外，圖19是表示圖18所示的檢查流程中，沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射 線焦點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。下面，參照?qǐng)D18及圖19，首先，一個(gè)視野的CT拍攝處理一開始(S500)，運(yùn)算部70 為了使想要檢查的視野移動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢枚箼z查對(duì)象移動(dòng)。并且，運(yùn)算部70也將X射線 檢測(cè)器23移動(dòng)到初始位置。對(duì)于X射線檢測(cè)器23的位置、檢查對(duì)象的位置，可以使用X射 線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22、檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如，X-Y載物臺(tái))所搭載的編碼器來設(shè)定， 也可以使用廣泛使用的檢測(cè)器(激光變位計(jì)等)來設(shè)定。因此，在圖19的時(shí)序圖中，X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3分別從位于初始位置 Al、Bi、Cl的狀態(tài)開始執(zhí)行處理。接著，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 1相對(duì)應(yīng)的位置并照射 X射線(S502)，用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝(S512)。X射線焦點(diǎn)位置的設(shè)定可以是上述 的方法。拍攝時(shí)間(X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)間)的設(shè)定與第一實(shí)施方式相同。接著，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到X射線檢測(cè)器23. 1拍攝三次后的位置，并且 為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將由X射線檢測(cè)器23. 1得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例 如存儲(chǔ)器90(S514)。并行地，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 2相對(duì)應(yīng)的位置并照 射X射線(S504)，用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝(S524)。接著，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)移 動(dòng)到X射線檢測(cè)器23. 2拍攝3次后的位置，并且為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將由X射線檢測(cè)器23. 2得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90 (S526)。并行地，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 3相對(duì)應(yīng)的位置并照 射X射線(S506)，用X射線檢測(cè)器23. 3進(jìn)行拍攝(S534)。運(yùn)算部70判斷拍攝是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)(S540)，若未達(dá)到，則使處理返回到步驟 S532。接著，運(yùn)算部70進(jìn)一步使X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到使X射線檢測(cè)器23. 3拍攝3次后的 位置，并且為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將由X射線檢測(cè)器23. 3得到的拍攝數(shù) 據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90 (S532)。下面，同樣地，重復(fù)進(jìn)行處理直到規(guī)定張數(shù)的拍攝結(jié)束。進(jìn)而，如果最后X射線檢測(cè)器23. 3的拍攝結(jié)束，為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重 建處理，將由X射線檢測(cè)器23. 3得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90(S514)。若拍攝到的張數(shù)達(dá)到規(guī)定張數(shù)，則運(yùn)算部70結(jié)束一個(gè)視野的CT拍攝處理(S542)， 并使處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。此外，在圖18的流程圖上，為了便于流程的說明，記載了運(yùn)算部70在數(shù)據(jù)傳送后 判斷是否拍攝到規(guī)定張數(shù)，但實(shí)際上，與數(shù)據(jù)傳送同時(shí)地判斷拍攝張數(shù)。另外，如圖19的時(shí)序圖所示，拍攝時(shí)間和檢測(cè)器的移動(dòng)需要的時(shí)間分別為Ts、Tm， 如下所示。2Ts = > Tm 時(shí)Tv = NTs2Ts < Tm 時(shí)Tv = (N/3-1) (Ts+Tm) +3Ts此外，各符號(hào)的含義如下。N 拍攝張數(shù)(X射線檢測(cè)器數(shù)目的整數(shù)倍)Tv 拍攝一個(gè)視野的時(shí)間Tm:移動(dòng)機(jī)構(gòu)(載物臺(tái)、X射線檢測(cè)器)移動(dòng)的時(shí)間Ts 拍攝(X射線檢測(cè)器的曝光)時(shí)間此外，就拍攝張數(shù)N而言，為了以后的說明的易懂性，取X射線檢測(cè)器數(shù)目的整數(shù) 倍，但并不是必須限定為整數(shù)倍。這里，將圖像的重建需要的透視圖像的拍攝張數(shù)假定為18張，并且在使用圖15所 示的X射線檢查裝置102的拍攝方式(交替使用三個(gè)X射線檢測(cè)器)時(shí)，為了得到重建需 要的張數(shù)為18張的圖像需要的時(shí)間，在2Ts > Tm時(shí)該時(shí)間為18Ts，在2Ts < Tm時(shí)該時(shí)間 為8Ts+5Tm，與使用一個(gè)檢測(cè)器時(shí)的(16Ts+15Tm)相比較，上述兩種情況都能夠縮短拍攝時(shí) 間。進(jìn)而，在圖9所示的方式中，比在使用三個(gè)X射線檢測(cè)器時(shí)的Tv = NTs+(N/S-l)Tm = 18Ts+5Tm更高速。在第一實(shí)施方式的變形例中，與第一實(shí)施方式同樣地，在拍攝時(shí)間的縮短上，不是 使大且重的X射線源移動(dòng)，而是使能夠比較高速移動(dòng)的X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象移動(dòng)。進(jìn) 而，通過各結(jié)構(gòu)要素的移動(dòng)為直線的這一簡(jiǎn)單的機(jī)械機(jī)構(gòu)，能夠使X射線檢測(cè)器移動(dòng)到規(guī) 定位置的距離變短，并且移動(dòng)速度變大，因此能夠縮短機(jī)械的移動(dòng)時(shí)間，并且能夠?qū)崿F(xiàn)高速 的檢查。[第二實(shí)施方式]第一實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置102是使用直線移動(dòng)型的X射線檢測(cè)器且用掃描型X射線源作X射線源10的結(jié)構(gòu)。第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置104使用多個(gè)固定焦點(diǎn)型的X射線源代替掃描型 X射線源來作為X射線源10。圖20是說明這樣的第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置104的結(jié)構(gòu)的圖。在X射線檢查裝置104中，設(shè)置三個(gè)X射線檢測(cè)器23，分別為X射線檢測(cè)器23. 1 23. 3，與之相對(duì)應(yīng)，設(shè)置三個(gè)固定焦點(diǎn)型的X射線源作為X射線源10。并且，從這三個(gè)固定焦點(diǎn)型的X射線源同時(shí)對(duì)檢查對(duì)象的相同視野照射X射線。此 時(shí)，設(shè)置遮蔽體66，以使從應(yīng)該對(duì)一個(gè)X射線檢測(cè)器入射X射線的X射線源出射的X射線 不會(huì)入射到其他X射線檢測(cè)器，并且為了控制X射線源，設(shè)置X射線源控制機(jī)構(gòu)64來代替 掃描X射線源控制機(jī)構(gòu)60。X射線源控制機(jī)構(gòu)64與掃描型X射線源控制機(jī)構(gòu)60的不同點(diǎn) 在，前者不進(jìn)行電子束的偏轉(zhuǎn)控制，代之對(duì)三個(gè)X射線源同時(shí)進(jìn)行控制。此外，與圖15的X射線檢查裝置102的情況同樣地，可以設(shè)置5個(gè)以上的奇數(shù)個(gè)X 射線檢測(cè)器。通過設(shè)置奇數(shù)個(gè)X射線檢測(cè)器，用在正中的導(dǎo)軌上移動(dòng)的X射線檢測(cè)器能夠 從正上方拍攝檢查對(duì)象。例如，按照?qǐng)D12說明的流程圖動(dòng)作時(shí)，這對(duì)拍攝透視圖像是理想 的。就驅(qū)動(dòng)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 3的機(jī)構(gòu)而言，基本上與圖15說明的第一實(shí)施方 式的變形例的X射線檢查裝置102相同。其中，在X射線檢查裝置104中，如下面的說明， X射線檢測(cè)器23. 1 23. 3的移動(dòng)的狀態(tài)與圖15說明X射線檢查裝置102不同?？墒?，第二實(shí)施方式的X射線檢查裝置104，也與第一實(shí)施方式的變形例的X射線 檢查裝置102同樣地，通過將各結(jié)構(gòu)要素的移動(dòng)變?yōu)橹本€這一簡(jiǎn)單的機(jī)械的機(jī)構(gòu)，使X射線 檢測(cè)器移動(dòng)規(guī)定位置的距離變短，而且移動(dòng)速度變大，因此能夠縮短機(jī)械的移動(dòng)時(shí)間，并且 能夠?qū)崿F(xiàn)高速的檢查。圖21是遮蔽體66的俯視圖。如上所述，與設(shè)置三個(gè)X射線檢測(cè)器23相對(duì)應(yīng)，設(shè) 置三個(gè)開口部2110、2120、2130，并且設(shè)置它們的位置，以便在三個(gè)X射線源同時(shí)動(dòng)作時(shí)，使 從應(yīng)該對(duì)一個(gè)X射線檢測(cè)器入射X射線源射出的X射線不會(huì)入射到其他的X射線檢測(cè)器。以可充分遮蔽X射線的材質(zhì)、厚度來作成遮蔽體66，較為理想的是鉛等。由于X射 線檢測(cè)器直線移動(dòng)，因此遮蔽體的開口部為矩形(或者槽(slit))。另外，遮蔽體66的尺寸 大小設(shè)定為，使X射線源CA的X射線不進(jìn)入到X射線檢測(cè)器CC。遮蔽體66的開口部的尺 寸大小設(shè)定為，使X射線源CA的X射線充分進(jìn)入到X射線檢測(cè)器23. 1，并且遮蔽射向X射 線檢測(cè)器23. 2的X射線。圖22是將圖20所示的X射線檢查裝置104的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描型 X射線源的移動(dòng)軌跡作為俯視圖來顯示的圖。圖22所示的動(dòng)作例1是假定從上方看圖20的結(jié)構(gòu)，并從不同的角度拍攝18張X 射線透視圖像的動(dòng)作例。在圖22中，如上述，X射線檢測(cè)器23. 1,23. 2及23. 3分別具有能夠在導(dǎo)軌上直線 移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。進(jìn)而，X射線檢測(cè)器23. 1,23. 2及23. 3分別具有能夠以X射線檢測(cè)器的中心 為中心進(jìn)行自轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如上述，X射線源10不是掃描型X射線源，而是由多個(gè)例如三個(gè)固定焦點(diǎn)的X射 線源構(gòu)成的拍攝系統(tǒng)。
與圖15的X射線檢查裝置102不同，X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3 —體地進(jìn)
行直線動(dòng)作。利用來自三個(gè)X射線源的X射線，由X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3同時(shí)進(jìn)行拍 攝之后，X射線檢測(cè)器23. 1,23. 2及23. 3變?yōu)橐惑w，直線移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置。另外，使 檢查對(duì)象與X射線檢測(cè)器23. 1,23. 2及23. 3同步地從位置Tl移動(dòng)到位置T6，從而使得重 建區(qū)域相同。并且，拍攝張數(shù)并不限定于18張，只要是指定能夠檢查的拍攝張數(shù)即可。拍攝張 數(shù)的指定可以根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息來計(jì)算，也可以由作業(yè)者目視決定。在圖22中，位置Al A6、B1 B6、C1 C6分別為用于取得圖像重建需要的透視 圖像的X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3的位置。位置附帶的1 6的編號(hào)表示拍攝順序， 最先在Al的位置拍攝，最后在A6的位置拍攝。另外，位置Sa、Sb、Sc是X射線源CA、CB、CC各自的焦點(diǎn)位置。因?yàn)榕c第一實(shí)施方式同樣的理由，圖22的動(dòng)作例1也適于使用菲爾德坎普方法代 表的解析方法。圖23是將圖20所示的X射線檢查裝置104的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描型 X射線源的其他的移動(dòng)軌跡作為俯視圖所示的圖。在圖23所示的動(dòng)作例2中，X射線檢測(cè)器23并不自轉(zhuǎn)，而是在X_Y平面內(nèi)平行移 動(dòng)。因?yàn)榕c第一實(shí)施方式同樣的理由，這樣的動(dòng)作例2適于使用迭代方法或?qū)游龅鹊闹亟?方法。在進(jìn)行該動(dòng)作時(shí)，由于不必使X射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，能夠進(jìn)一步簡(jiǎn)化X射線檢測(cè)器驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)，并能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。此外，這里，對(duì)X射線焦點(diǎn)的位置和X射線檢測(cè)器的位置關(guān)系進(jìn)行說明。在以CT重建的視野的中心為原點(diǎn)時(shí)，如果從視野的中心到X射線焦點(diǎn)為止的距離 為L(zhǎng)f，從視野的中心到X射線檢測(cè)器的中心為止的距離為L(zhǎng)s，則下面的關(guān)系式成立。Ls = -LfX (M-I)符號(hào)為負(fù)表示方向相反。其中，M表示放大率，并且放大率用下式表示。M = Hs/Ho其中，Hs表示從X射線焦點(diǎn)到X射線檢測(cè)器為止的高度，Ho表示從X射線焦點(diǎn)到 視野的中心為止的高度。該關(guān)系自身即使在其他的實(shí)施方式中也同樣地成立。圖24是表示如圖22或圖23那樣使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)來進(jìn)行檢查時(shí)的檢查的 流程圖的圖。這里，全部檢查的流程與圖12所示的流程同樣，所以圖24中示出了圖12的步驟 S310的一個(gè)視野的CT拍攝的一部分。因此，圖24是表示圖12說明的步驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的流程圖的圖。另外，圖25是表示圖24所示的檢查流程中，沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射 線焦點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。下面，參照?qǐng)D24及圖25，首先，一個(gè)視野的CT拍攝處理一開始(S600)，運(yùn)算部70 為了使想要檢查的視野移動(dòng)到理想的位置，而使檢查對(duì)象在X-Y平面內(nèi)移動(dòng)。并且，運(yùn)算部 70也使X射線檢測(cè)器23. 1、23· 2及23. 3直線移動(dòng)到初始位置(S602)。
接著，運(yùn)算部70使X射線焦點(diǎn)Fa、Fb, Fc同時(shí)分別對(duì)X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及 23. 3照射X射線，并用X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3同時(shí)進(jìn)行拍攝(S604)。拍攝時(shí)間 (X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)間)可以預(yù)先設(shè)定，也可以有用戶通過目視設(shè)定所希望的時(shí)間。接著，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置，并且 為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3得到的拍攝數(shù) 據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90 (S606)接著，運(yùn)算部70判定拍攝是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)(S608)。若沒有達(dá)到圖像重建所用的 規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70將處理返回到步驟S602。另一方面，若達(dá)到規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70結(jié)束 一個(gè)視野的CT拍攝處理(S610)，并使處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。此外，這里，在流程圖上，在數(shù)據(jù)傳送之后判斷是否拍攝到規(guī)定張數(shù)，但因?yàn)榕c第 一實(shí)施方式同樣的理由，優(yōu)選與數(shù)據(jù)傳送同時(shí)地判斷拍攝張數(shù)。進(jìn)而，如圖25所示，進(jìn)一步對(duì)使用第二實(shí)施方式的拍攝方式時(shí)的一個(gè)視野的拍攝 時(shí)間進(jìn)行說明。一般地，下式成立。Tv = (N/S)Ts+(N/S-l)Tt符號(hào)的定義在下面示出。Tv 拍攝一個(gè)視野的時(shí)間Tm 在相同視野內(nèi)移動(dòng)拍攝位置(載物臺(tái)、X射線檢測(cè)器)的時(shí)間Ts 拍攝(X射線檢測(cè)器的曝光)時(shí)間Tt 拍攝數(shù)據(jù)傳送時(shí)間另外，通過使X射線檢測(cè)器直線移動(dòng)，從而使X射線檢測(cè)器的移動(dòng)時(shí)間縮短，并且 由于視野的移動(dòng)距離與X射線檢測(cè)器的移動(dòng)相比大幅縮短(與放大率成反比例，因此通常 的10分之1左右)，使Tm < Tt。在下面的說明中，將檢查對(duì)象分割成M個(gè)(例如，四個(gè))視野，拍攝18張作為CT 拍攝。就一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間而言，在多X射線源的情況下，一次拍攝能夠同時(shí)取得 3張拍攝圖像。因此，一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間Tv為，進(jìn)行6次拍攝和進(jìn)行5次拍攝數(shù)據(jù)傳 送的時(shí)間的合計(jì)，所以用下面的式(17)表示。此時(shí)，拍攝圖像的數(shù)據(jù)傳送與X射線檢測(cè)器 23及檢查對(duì)象的機(jī)械移動(dòng)同時(shí)進(jìn)行。Tv = 6Ts+5Tt(17)因此，與上述的使用一個(gè)檢測(cè)器時(shí)的(16Ts+15Tm)相比，能夠縮短拍攝時(shí)間。此外，如果X射線源的X射線的強(qiáng)度提高，X射線檢測(cè)器向高靈敏度發(fā)展，則拍攝所 需要的X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)間變短，所以作為CT方法，較為理想的不是Feldkamp方法， 而是迭代方法，這點(diǎn)是相同的。[第三實(shí)施方式]在以上的說明中，在第一實(shí)施方式或第二實(shí)施方式中，根據(jù)X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部 22的結(jié)構(gòu)，主要從對(duì)一個(gè)視野進(jìn)行CT拍攝的X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì)象的移動(dòng)時(shí)間的觀 點(diǎn)，對(duì)能夠縮短檢查時(shí)間的效果進(jìn)行了說明。接著，在第三實(shí)施方式中，針對(duì)縮短對(duì)相同檢查對(duì)象的多個(gè)視野(檢查部分)按順序進(jìn)行檢查的情況下的檢查時(shí)間進(jìn)行說明。(視野(檢查對(duì)象)或X射線檢測(cè)器轉(zhuǎn)動(dòng)著進(jìn)行拍攝時(shí)的問題點(diǎn))在考慮使用解析方法的拍攝系統(tǒng)的情況下，優(yōu)選根據(jù)用于重建的濾波處理的關(guān) 系，使X射線檢測(cè)器的方向沿著以重建區(qū)域?yàn)橹行牡膱A軌道的方向。因此，就用于從多個(gè)角度的拍攝的X射線檢測(cè)器的移動(dòng)而言，i)以將重建部分為 中心的圓軌道移動(dòng)，ii)考慮用X-Y- θ載物臺(tái)來移動(dòng)等。因此，有以下趨勢(shì)機(jī)構(gòu)變得復(fù)雜， 且在X射線檢測(cè)器、載物臺(tái)高速移動(dòng)時(shí)成本相對(duì)變高。進(jìn)而，優(yōu)選檢查所用的斷層圖像為矩形。其原因是，檢查算法是將圖像為矩形作為 前提來設(shè)計(jì)的。進(jìn)而原因如下檢查對(duì)象比一次CT拍攝得到的重建區(qū)域(視野)寬，視野 分割后將多個(gè)視野連接起會(huì)成為寬區(qū)域，通過將矩形的視野連接起來能夠高效地包含檢查 對(duì)象。圖26用于說明為了使用解析方法來進(jìn)行圖像重建，在視野(檢查對(duì)象)或X射線 檢測(cè)器23. N轉(zhuǎn)動(dòng)的情況下進(jìn)行拍攝時(shí)，通過對(duì)一個(gè)視野進(jìn)行CT拍攝來形成檢查區(qū)域2600 的區(qū)域的概念圖。如果使用解析方法進(jìn)行重建，則在重建像所在的截面中，檢查可使用的區(qū)域成為 圓。這是因?yàn)?，例如，在解析算法中，為了使用上述被稱作反投影的方法，如果在各拍攝位置 將X射線檢測(cè)器所檢測(cè)到的圖像進(jìn)行反投影，則被有效反投影的區(qū)域?yàn)閳A。此時(shí)，如果從用 解析方法所得到的圓形的重建區(qū)域2610中切割出矩形部分，則一個(gè)視野面積變小，對(duì)檢查 寬檢查區(qū)域來說需要時(shí)間。重建區(qū)域(視野)的形狀是用X射線檢測(cè)器所拍攝的矩形的圖像重疊的部分。在 視野(檢查對(duì)象)轉(zhuǎn)動(dòng)的拍攝系統(tǒng)中，由于矩形從多個(gè)角度重疊而成為圓形。由于能夠適 用檢查算法的區(qū)域?yàn)榫匦?，因此如果重建區(qū)域?yàn)閳A形，則只能檢查圓內(nèi)部的矩形部分，一次 能夠檢查的范圍是內(nèi)接于圓的矩形。例如，如果用X射線檢測(cè)器能夠拍攝的視野的截面的一邊的長(zhǎng)度為2L，則被重建 的區(qū)域是半徑為L(zhǎng)的圓。內(nèi)接于該圓的正方形是一邊的長(zhǎng)度為V^L的正方形。該正方形為 能夠檢查的區(qū)域。因此，現(xiàn)有拍攝系統(tǒng)的能夠檢查的區(qū)域的面積為2L2。因此，用現(xiàn)有的拍攝系統(tǒng)重建的圖像只能利用X射線檢測(cè)器所拍攝到的圖像數(shù)據(jù) 的一部分。因此，一個(gè)視野的尺寸變小，需要對(duì)數(shù)量多的視野進(jìn)行拍攝。進(jìn)而，在用于生產(chǎn)線檢查高速化這一觀點(diǎn)中，CT拍攝的拍攝張數(shù)越少越能實(shí)現(xiàn)高 速化。然而，在解析方法中，在拍攝張數(shù)少時(shí)，存在以下問題產(chǎn)生人為因素等的很多的噪聲 (干擾)，并且作為用于檢查的圖像不恰當(dāng)。這里，例如，用圖3所示的X射線檢測(cè)器和X射線源的配置，即，X射線源和X射線 檢測(cè)器固定，視野機(jī)械地移動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng))，由此在得到重建所需的多個(gè)拍攝張數(shù)的情況下，如 果研究全部檢查所需要的時(shí)間，則如下所示。圖27是視野(檢查對(duì)象)轉(zhuǎn)動(dòng)的現(xiàn)有的拍攝系統(tǒng)的時(shí)序圖。此外，全部檢查的流程與例如圖6說明的流程相同。在下面的說明中，將檢查對(duì)象分割成M個(gè)(例如，四個(gè))視野，并且進(jìn)行N張拍攝 來作為CT拍攝。關(guān)于符號(hào)，與上述定義相同。全部檢查對(duì)象的CT拍攝時(shí)間Ti是拍攝M個(gè)視野并進(jìn)行(M-I)次的設(shè)備移動(dòng)時(shí)間的合計(jì)，所以用下式(18)表示。Ti = M(Tv+Te)(18)接著，圖28是對(duì)一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間進(jìn)行說明的圖。如果參照?qǐng)D28，一個(gè)視 野的CT拍攝時(shí)間Tv是進(jìn)行N次拍攝并進(jìn)行N次設(shè)備移動(dòng)的時(shí)間的合計(jì)，所以用下面的式 (19)表示。此時(shí)，拍攝圖像的數(shù)據(jù)傳送與設(shè)備移動(dòng)同時(shí)進(jìn)行。Tv = NTs+(N-I) Tm (19)(第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置106的結(jié)構(gòu))如以下說明，在第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置中，首先第一，通過平行配置X射 線檢測(cè)器并使用迭代方法，由此，脫離X射線檢測(cè)器的圓軌道的制約而實(shí)現(xiàn)高速化。第二， 在X射線檢查裝置106中，通過平行配置X射線檢測(cè)器23并且使用迭代方法來使有效矩形 區(qū)域變大，并使視野分割數(shù)變少，以此實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高速化。第三，通過使用迭代方法，即使利 用少的拍攝張數(shù)也能夠生成高精度的重建圖像，由此實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高速化。S卩，在X射線檢查裝置106中，X射線檢測(cè)器23為一個(gè)以上，平行配置于作為檢查 對(duì)象的各檢查區(qū)域(視野)所要的矩形區(qū)域內(nèi)。X射線檢測(cè)器23在與X射線檢測(cè)器的檢測(cè) 面相同平面內(nèi)平行移動(dòng)。用于圖像重建的重建方法使用迭代方法。這里，作為X射線源10的X射線源可以不是掃描型X射線源?？梢允且粋€(gè)固定焦 點(diǎn)X射線源，也可以是多個(gè)X射線源。圖29是說明這樣的第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置106的結(jié)構(gòu)的圖。此外，對(duì)與 圖1相同部分標(biāo)注相同符號(hào)，并且提取對(duì)X射線焦點(diǎn)位置的控制、X射線檢測(cè)器位置的控制、 檢查對(duì)象位置的控制等有直接關(guān)系的部分中需要說明的部分進(jìn)行記載。參照?qǐng)D29，X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22具有能夠在X_Y平面內(nèi)對(duì)X射線檢測(cè)器23. 1 進(jìn)行平行驅(qū)動(dòng)的機(jī)械臂。此外，在圖29的例中，使用固定焦點(diǎn)型X射線源作為X射線源10。在圖29所示的結(jié)構(gòu)中，為了使檢查對(duì)象的位置獨(dú)立于X射線檢測(cè)器23. 1而在X-Y 平面內(nèi)移動(dòng)，設(shè)置檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1020 (例如，X-Y載物臺(tái))、檢查對(duì)象位置控制部 80。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22具有，垂直型的二軸的機(jī)械臂22. 1和檢測(cè)器支持部22. 2， 通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32，按照來運(yùn)算部70的命令，使X射線檢測(cè)器23移動(dòng)到所指定的位 置。另外，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32將在該時(shí)刻的X射線檢測(cè)器23的位置信息發(fā)送到運(yùn)算部 70。其中，這樣的能夠在X-Y方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，只要對(duì)X射線檢測(cè)器23的移動(dòng)具有同樣的 功能，則能夠使用除此之外的機(jī)構(gòu)。運(yùn)算部70向檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32、圖像數(shù)據(jù)取得部(X射線檢測(cè)器控制器)34、掃 描X射線源控制機(jī)構(gòu)60發(fā)送命令，并執(zhí)行如后說明的用于檢查處理的程序。檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1020具有固定促動(dòng)器和檢查對(duì)象的機(jī)構(gòu)，并按照來自檢 查對(duì)象位置控制部80的命令使檢查對(duì)象移動(dòng)。運(yùn)算部70在由通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)控制部32的命令指示的時(shí)刻，取得X射線透視圖 像以及傳送拍攝數(shù)據(jù)。圖30是將圖29所示的X射線檢查裝置106的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和檢查對(duì) 象的視野的移動(dòng)軌跡作為俯視圖表示的圖。圖30所示的動(dòng)作例1示出了假定從上方看圖29所示的結(jié)構(gòu)，并從等角度拍攝16張X射線透視圖像的動(dòng)作例。該動(dòng)作例如上述，適于使用迭代方法或?qū)游龅鹊闹亟ǚ椒?。這 是因?yàn)榈椒ɑ驅(qū)游瞿軌蚺cX射線檢測(cè)器的方向無關(guān)地進(jìn)行重建。該動(dòng)作時(shí)，由于不必使X射線檢測(cè)器23自轉(zhuǎn)，因此能夠簡(jiǎn)化X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部 22的結(jié)構(gòu)，并能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。X射線檢測(cè)器23. 1在以X射線源的焦點(diǎn)17為原點(diǎn)的一定距離移動(dòng)。其結(jié)果，從上 方看拍攝系統(tǒng)時(shí)，以X射線檢測(cè)器23. 1為中心的軌跡為圓。在圖30中，位置Tl、T2是視野的位置，分別與X射線檢測(cè)器位置Si、S2相對(duì)應(yīng)。圖31是使用平行移動(dòng)檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的CT拍攝流程圖。這里，全部檢查的流程與圖12所示的流程相同，所以在圖31中示出了圖12的步 驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的部分。因此，圖31是表示圖12說明的步驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的流程圖的圖。首先，一個(gè)視野的CT拍攝處理一開始(S700)，運(yùn)算部70為了將想檢查的視野移動(dòng) 到理想的位置而使檢查對(duì)象在X-Y平面內(nèi)移動(dòng)。進(jìn)而，運(yùn)算部70也使X射線檢測(cè)器23. 1 移動(dòng)到初始位置(S702)。拍攝位置能夠根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息自動(dòng)地計(jì)算出來。由于 檢查對(duì)象裝載在載物臺(tái)上，所以能夠使視野與載物臺(tái)一起移動(dòng)。接著，運(yùn)算部70從X射線焦點(diǎn)17將X射線照射到X射線檢測(cè)器23. 1，并用X射線 檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝(S704)。拍攝時(shí)間(X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)間)可以預(yù)先設(shè)定，也可 以由用戶通過目視設(shè)定所希望的時(shí)間。接著，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置，并且，為了在3D 圖像重建部78進(jìn)行重建處理，將由X射線檢測(cè)器23. 1得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器 90(S706)。接著，運(yùn)算部70判定拍攝是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)(S708)。規(guī)定張數(shù)可以在進(jìn)行檢查之 前根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息來決定，也可以由作業(yè)者通過目視來判斷。若沒有達(dá)到用于 圖像重建的規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70將處理返回到步驟S702。另一方面，若達(dá)到規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算 部70結(jié)束一個(gè)視野的CT拍攝處理(S710)，并使處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。此外，這里，在流程圖上，在數(shù)據(jù)傳送之后判斷是否拍攝到規(guī)定張數(shù)，因?yàn)榕c第一 實(shí)施方式同樣的理由，優(yōu)選與數(shù)據(jù)傳送同時(shí)地判斷拍攝張數(shù)。圖32是表示使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的檢查區(qū)域的概念圖。重建區(qū)域(視野)3210的形狀是矩形的X射線檢測(cè)器23. N所拍攝的圖像重疊的 部分。在圖26的拍攝系統(tǒng)中，因矩形從多個(gè)角度重疊而成為圓形，但在圖32中，由于X射 線檢測(cè)器全部朝向相同方向，因此重疊部分為矩形。重建區(qū)域?yàn)閳A形時(shí)，由于能夠適用檢查算法的區(qū)域?yàn)榫匦危虼酥荒軌蚴褂脠A內(nèi) 部的矩形部分，一次能夠檢查的范圍小。另一方面，在圖32所示的情況下，由于重建區(qū)域 3210為矩形，因此重建區(qū)域3210內(nèi)能夠檢查的范圍比較寬。因此，因?yàn)槟軌蚴箍偱臄z張數(shù) 變少，所以能夠縮短檢查時(shí)間。進(jìn)而，無間隙排列矩形的數(shù)目比無間隙排列圓形的數(shù)目少。 即，由于總拍攝張數(shù)變少，能夠縮短檢查時(shí)間。如果能夠用X射線檢測(cè)器拍攝的視野的截面的一邊的長(zhǎng)度為2L，則重建的區(qū)域成 為一邊的長(zhǎng)度為2L的正方形。因此，如圖32所示在配置有檢查區(qū)域3200的情況下，能夠 檢查的區(qū)域的面積為4L2。因?yàn)閳D26的拍攝系統(tǒng)能夠檢查的區(qū)域的面積為2L2，所以在一個(gè)視野中能夠檢查的區(qū)域面積是現(xiàn)有的拍攝系統(tǒng)能夠檢查的面積的2倍。即，能夠使視野 的分割個(gè)數(shù)減半。若上述的效果是X射線檢測(cè)器平行移動(dòng)達(dá)成的，則也可以直線移動(dòng)，并且也可以 是多個(gè)X射線檢測(cè)器。當(dāng)然，X射線源可以是固定焦點(diǎn)X射線源，也可以是掃描型X射線源。圖33是使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的時(shí)序圖。在下面的說明中，在拍攝系統(tǒng)中將檢查對(duì)象分割成M個(gè)視野，并且拍攝N張作為CT 拍攝。符號(hào)的定義如上述。在圖29的X射線檢查裝置106中，相對(duì)于如圖26說明的拍攝系統(tǒng)，視野的分割個(gè) 數(shù)能夠減半，所以視野的數(shù)目為M/2。全部檢查對(duì)象的CT拍攝時(shí)間Ti是拍攝M/兩個(gè)視野并進(jìn)行M/2次的機(jī)械的移動(dòng) 時(shí)間的合計(jì)，所以用式(20)表示。Ti = M/2 (Tv+Te)(20)如以上說明，在第三實(shí)施方式的X射線檢查裝置中，在進(jìn)行CT重建所用的拍攝時(shí)， X射線檢測(cè)器的移動(dòng)范圍在相同平面內(nèi)被拍攝，并且X射線檢測(cè)器的向?yàn)橄嗤较?。并且?通過將X射線檢測(cè)器及檢查對(duì)象(載物臺(tái))的移動(dòng)模式限定在X-Y 二軸，以此簡(jiǎn)化移動(dòng)手 段的機(jī)構(gòu)，力求實(shí)現(xiàn)實(shí)線移動(dòng)速度的高速化。并且，通過使X射線檢測(cè)器和檢查對(duì)象相對(duì)地 平行移動(dòng)來使CT重建視野為矩形，并擴(kuò)展對(duì)自動(dòng)檢查有效的范圍，由此實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢查系統(tǒng) 的高速化。[第四實(shí)施方式]在以上說明的第一實(shí)施方式 第三實(shí)施方式中，對(duì)能夠降低使X射線檢測(cè)器23或 檢查對(duì)象機(jī)械移動(dòng)的時(shí)間導(dǎo)致的檢查時(shí)間消耗的X射線檢查裝置進(jìn)行了說明。在第四實(shí)施方式中，對(duì)X射線源進(jìn)行脈沖驅(qū)動(dòng)帶來的檢查時(shí)間的縮短進(jìn)行說明。S卩，為了進(jìn)行高速拍攝，X射線的強(qiáng)度盡可能的強(qiáng)為好。然而，如果為了提高X射 線強(qiáng)度而使電子束的電流變大，則靶會(huì)因受到電子束碰撞而受到熱損傷。因此，在使電子束 的電流變大時(shí)，只能在達(dá)到可能會(huì)受到熱損傷的溫度之前的短暫的時(shí)間內(nèi)使電子束打在靶 上。在第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置中，如下面的說明，通過使用“多個(gè)X射線檢測(cè)器”和 “焦點(diǎn)掃描型X射線源”來解決熱課題并提高X射線強(qiáng)度，由此實(shí)現(xiàn)高速拍攝。(使用多個(gè)X射線檢測(cè)器和掃描型X射線源來進(jìn)行CT拍攝時(shí)的問題點(diǎn))下面，作為用于說明第四實(shí)施方式的X射線檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作的前提，對(duì)使 用多個(gè)X射線檢測(cè)器和掃描型X射線源來進(jìn)行CT拍攝時(shí)的問題點(diǎn)進(jìn)行說明。圖34是表示使用四個(gè)檢測(cè)器和掃描型X射線源進(jìn)行拍攝的X射線檢查裝置的結(jié) 構(gòu)的圖。此外，除了對(duì)與圖1相同部分標(biāo)注相同符號(hào)之外，在圖34中，對(duì)需要直接說明的部 分以外的部分，省略圖示。使用掃描型X射線源10和四個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4來構(gòu)成圖34所示的X 射線檢查裝置900。X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4固定在檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22上。由于在圖34中假定拍 攝16張，因此檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22隨著拍攝而從位置1移動(dòng)到位置4。檢查對(duì)象位置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1020能夠使檢查對(duì)象中的視野37能夠獨(dú)立于X射線檢測(cè) 器23. 1 23. 4、X射線源而進(jìn)行X-Y移動(dòng)。在圖34的結(jié)構(gòu)中，由于能夠通過利用X射線焦點(diǎn)進(jìn)行掃描從而從不同的角度向一個(gè)視野照射X射線，所以能夠在不移動(dòng)檢查對(duì)象的狀態(tài) 下從一個(gè)視野的多個(gè)方向拍攝透視圖像。作為拍攝時(shí)的動(dòng)作，如下述。用一個(gè)X射線檢測(cè)器23拍攝的過程中，不使X射線焦點(diǎn)位置17移動(dòng)。用四個(gè)X 射線檢測(cè)器23. 1 23. 4按順序拍攝，并且此時(shí)，X射線焦點(diǎn)17位于靶和連結(jié)各自的檢測(cè) 器中心及視野中心的直線相交的點(diǎn)上。如果四個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4拍攝結(jié)束，則通過檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22使四個(gè)檢 測(cè)器位置同時(shí)向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)。圖35是圖34所示的X射線檢查裝置900的CT拍攝流程圖。這里，因?yàn)槿繖z查的流程與圖12所示的流程相同，所以在圖35中示出了圖12 的步驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的一部分。因此，圖35是表示圖12說明的步驟S310的一個(gè)視野的CT拍攝的流程圖的圖。另外，圖36是表示圖35所示的檢查流程中，沿著檢查時(shí)間的X射線檢測(cè)器和X射 線焦點(diǎn)位置的動(dòng)作的時(shí)序圖。下面，參照?qǐng)D35及圖36，首先，一個(gè)視野的CT拍攝處理一開始(S800)，運(yùn)算部70 為了將想要檢查的視野移動(dòng)到恰當(dāng)?shù)奈恢?，而使檢查對(duì)象在X-Y平面內(nèi)移動(dòng)。并且，運(yùn)算部 70也使X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22移動(dòng)到規(guī)定的位置(此時(shí)為位置1)，并從X射線焦點(diǎn)17 將X射線照射到X射線檢測(cè)器23. 1，并用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝(S802)。接著，運(yùn)算部70從X射線焦點(diǎn)17將X射線照射到X射線檢測(cè)器23. 2，并用X射線 檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝(S804)。接著，運(yùn)算部70從X射線焦點(diǎn)17將X射線照射到X射線檢測(cè)器23. 3，用X射線檢 測(cè)器23. 3進(jìn)行拍攝(S806)。接著，運(yùn)算部70從X射線焦點(diǎn)17將X射線照射到X射線檢測(cè)器23. 4，用X射線檢 測(cè)器23. 4進(jìn)行拍攝(S808)。接著，為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，運(yùn)算部70將由X射線檢測(cè)器 23. 1 23. 4得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90(S810)。接著，運(yùn)算部70判定拍攝是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)(S812)。若沒有達(dá)到用于圖像重建的 規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70將處理轉(zhuǎn)移到步驟S814。另一方面，若達(dá)到規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70結(jié)束 一個(gè)視野的CT拍攝處理(S816)，并使處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。在步驟S814中，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)22移動(dòng)到下一個(gè)規(guī)定的位置 (此時(shí)為位置2)，并將處理轉(zhuǎn)移到步驟S802。下面，重復(fù)進(jìn)行步驟S802 S810及S814的處理，直到在步驟S812中判定為達(dá)到 規(guī)定張數(shù)為止。參照?qǐng)D36的一個(gè)視野的多個(gè)方向拍攝時(shí)序圖，將檢查對(duì)象分割成M個(gè)(例如，四 個(gè))視野，并進(jìn)行N張拍攝來作為CT拍攝。符號(hào)的定義如上述。此時(shí)，全部檢查對(duì)象的CT拍攝時(shí)間Ti是拍攝M個(gè)視野并進(jìn)行(M-I)次的設(shè)備移 動(dòng)時(shí)間的合計(jì)，用式(21)表示。Ti = MTv+(M-I) Tm(21)接著，對(duì)一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間進(jìn)行說明。
在一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間Tv內(nèi)，使用S個(gè)的X射線檢測(cè)器來進(jìn)行N次拍攝，并進(jìn) 行N/S次移動(dòng)，因此用式(22)表示。此時(shí)，拍攝圖像的數(shù)據(jù)傳送與機(jī)械的移動(dòng)同時(shí)進(jìn)行。Tv = NTs+(N/S-l)Tm (22)因此，用圖34所示的現(xiàn)有方法從不同的角度對(duì)一個(gè)視野拍攝16張所需要時(shí)間Tv 為 Tv = 16Ts+3Tm。(第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu))如下面的說明，在第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置110中，通過具有下面說明結(jié) 構(gòu)，來縮短拍攝需要的時(shí)間。即，使用如圖34說明的焦點(diǎn)掃描型X射線源的拍攝方法，雖然在縮短X射線檢測(cè) 器的機(jī)械的移動(dòng)時(shí)間這一點(diǎn)上有效果，但從拍攝的高速化這一觀點(diǎn)來看，有如下的改善余 地。i)掃描型X射線源能夠使X射線焦點(diǎn)位置高速地移動(dòng)。然而，要從不同的角度拍 攝一個(gè)對(duì)象區(qū)域，則通過一個(gè)X射線檢測(cè)器是無法充分顯現(xiàn)其特征。其原因是，X射線檢測(cè) 器的機(jī)械移動(dòng)所需時(shí)間遠(yuǎn)比X射線焦點(diǎn)移動(dòng)所需時(shí)間長(zhǎng)。ii)另一方面，在X射線檢測(cè)器為多個(gè)的情況下，用掃描型X射線源按順序取得X 射線檢測(cè)器的拍攝數(shù)據(jù)的方法，由于拍攝使用的X射線檢測(cè)器以外的X射線檢測(cè)器不工作， 不能說多個(gè)X射線檢測(cè)器對(duì)高效高速化作出貢獻(xiàn)。iii)為了提高X射線強(qiáng)度，需要增加靶電流，但靶會(huì)受到熱損傷。因此，在使用大 的靶電流時(shí)，在靶的溫度上升達(dá)到靶會(huì)損傷的溫度之前使焦點(diǎn)移動(dòng)，即，需要縮短對(duì)一點(diǎn)照 射的時(shí)間。但在此時(shí)，由于X射線的放射時(shí)間短，導(dǎo)致X射線量不足以用X射線檢測(cè)器得到 圖像數(shù)據(jù)。在第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置中，與圖34的結(jié)構(gòu)有如下的變更點(diǎn)。1)增加靶電流。2)同時(shí)使用多個(gè)X射線檢測(cè)器。3)使電子束照射靶上的一處的時(shí)間變短。4)在X射線檢測(cè)器的一次曝光時(shí)間內(nèi)，對(duì)所對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)位置分多次照射強(qiáng) 電子束。通過對(duì)一個(gè)X射線焦點(diǎn)處分多次脈沖照射電子束，靶上的被X射線束照射的部分 能夠在為被電子束照射的時(shí)間中得以散熱冷卻。因此，即使在一定時(shí)間照射達(dá)到靶損傷的 溫度那種程度的強(qiáng)電子束，也會(huì)在靶溫度處于容許范圍的時(shí)間內(nèi)就移動(dòng)到下一個(gè)X射線焦 點(diǎn)位置，由此能夠使用該強(qiáng)電子束。另外，由于拍攝時(shí)能夠同時(shí)利用多個(gè)X射線檢測(cè)器，因 此整體(全部)的拍攝時(shí)間被縮短。圖37是用于說明第四實(shí)施方式的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu)的框圖。參照?qǐng)D37，在X射線檢查裝置110中，四個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4每隔90度 的角度固定在圓形的傳感器基座22. 6的同一圓周上。X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22使傳感器基 座22. 6轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定角度，從而與圖34同樣地使檢測(cè)器配置移動(dòng)到位置1 4。進(jìn)而，如后面的說明，四個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4同時(shí)運(yùn)行(active)，為了對(duì) X射線進(jìn)行感應(yīng)(sensing)，為了將X射線的照射僅限制在X射線焦點(diǎn)分別對(duì)應(yīng)的檢測(cè)器方 向，而設(shè)置遮蔽體66。
除此之外，對(duì)與圖1相同的結(jié)構(gòu)部分標(biāo)注相同的符號(hào)故不重復(fù)說明。另外，圖37 也對(duì)在圖1的結(jié)構(gòu)中與以后的說明不直接關(guān)聯(lián)的部分，省略圖示。此外，在圖37中，假定四個(gè)X射線檢測(cè)器是保持互相的位置關(guān)系的狀態(tài)下在相同 圓上移動(dòng)的系統(tǒng)，但也可以將各自的檢測(cè)器設(shè)置成能夠獨(dú)立地進(jìn)行位置控制的機(jī)構(gòu)。進(jìn)而， X射線檢測(cè)器23的張數(shù)可以是4張以上也可以是4張以下。同樣地，根據(jù)X射線檢測(cè)器23 的個(gè)數(shù)，X射線焦點(diǎn)位置也可以是四個(gè)以上也可以是四個(gè)以下。下面，說明動(dòng)作。在X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4同時(shí)進(jìn)行一次透視圖像拍攝期間，X射線焦點(diǎn)在與 各自的X射線檢測(cè)器相對(duì)應(yīng)的焦點(diǎn)位置a d上多次靜止。如果X射線檢測(cè)器23的拍攝結(jié)束，則通過X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22，使四個(gè)X射線 檢測(cè)器位置同時(shí)向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)。圖38A及圖38B是表示作為X射線檢測(cè)器23使用的檢測(cè)器的結(jié)構(gòu)的概念圖。作為X射線檢測(cè)器23，能夠使用如圖38A所示的平板檢測(cè)器所代表的電荷蓄積型 的X射線檢測(cè)器，或如圖38B所示的圖像增強(qiáng)器(imagintensif ier)。X射線檢測(cè)器23按照 各種方法將入射的X射線變換為電子，并通過使電子蓄積在CXD (Charge Coupled Device 電荷耦合器件)、CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor 互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo) 體)設(shè)備上，以此功能來記錄X射線的入射位置。由于電荷的蓄積時(shí)間為X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)間，若一次曝光時(shí)間中的X射線照 射量相同，則無論連續(xù)入射X射線還是多次脈沖照射X射線，都能夠取得相同的輸出(圖像 數(shù)據(jù))。通過該特性，實(shí)現(xiàn)X射線檢查裝置110的檢查方法。圖39是將圖37所示的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描型 X射線源的移動(dòng)軌跡作為俯視圖所示的圖。圖39所示的動(dòng)作例，是假定從上方看圖37的結(jié)構(gòu)，并從不同的角度拍攝16張X 射線透視圖像的動(dòng)作例。此外，遮蔽體66、X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22省略圖示。參照?qǐng)D39，拍攝一個(gè)視野時(shí)，X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4移動(dòng)的位置分別為Al A4、B1 B4、C1 C4、D1 D4。另外，將與X射線檢測(cè)器位置相對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)位置用 al、a2、bl、b2、cl、c2、dl、d2 等表示。此外，由于X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22是圓形的傳感器基座，因此，在圖39中，X射線 檢測(cè)器23相對(duì)于X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22的轉(zhuǎn)動(dòng)軸總是向相同方向移動(dòng)。然而，例如，用二 軸的機(jī)械臂等構(gòu)成X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22，并且使用迭代方法、層析等作為圖像重建方法 時(shí)，可以相對(duì)于移動(dòng)平面的XY軸保持相同的方向。圖40是圖37所示的X射線檢查裝置110的結(jié)構(gòu)的一個(gè)視野拍攝的流程圖。此外，作為說明該流程圖的動(dòng)作的前提，確認(rèn)以下事項(xiàng)。1)生成重建圖像，需要從多個(gè)從不同的角度拍攝到的視野的X射線透視圖像。2)視野被設(shè)置在X射線檢測(cè)器轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng)的軸上。3)使用兩個(gè)以上的X射線檢測(cè)器23(該例中為四個(gè))。4)X射線檢測(cè)器保持各自的相對(duì)的位置關(guān)系在圓軌道上移動(dòng)。
5) X射線檢測(cè)器在拍攝時(shí)靜止。
6)對(duì)于X射線源，使用能夠高速移動(dòng)X射線焦點(diǎn)的掃描型X射線源。7)對(duì)于X射線源，設(shè)置固定位置的遮蔽體66。參照?qǐng)D40，如果運(yùn)算部70判斷為需要根據(jù)視野的重建圖像的檢查并開始一個(gè)視 野的CT拍攝(S820)，則按照來自運(yùn)算部70的命令，全部X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4開始曝 光。與此同時(shí)，按照來自運(yùn)算部70的命令，掃描型X射線源從與X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4 的各位置相對(duì)應(yīng)的多處進(jìn)行脈沖照射。如果拍攝(曝光)結(jié)束，則運(yùn)算部70使X射線源停 止照射(S822)。接著，按照來自運(yùn)算部70的命令，全部X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4以傳感器基座
22.6的轉(zhuǎn)動(dòng)軸為中心，在圓軌道上移動(dòng)位置。此時(shí)，X射線檢測(cè)器23將之前取得的拍攝數(shù)據(jù) 通過圓殘部70向存儲(chǔ)器90傳送，并放出電荷，由此再度變?yōu)槟軌蜻M(jìn)行拍攝的狀態(tài)(S824)。接著，運(yùn)算部70判斷合計(jì)拍攝張數(shù)是否達(dá)到規(guī)定張數(shù)，并重復(fù)進(jìn)行步驟S822 S824的處理，直到達(dá)到規(guī)定張數(shù)為止(S826)。如果運(yùn)算部70判斷為拍攝完規(guī)定張數(shù)，則結(jié)束拍攝，并轉(zhuǎn)移到圖像的重建程序 (S312)。圖41是用于說明使用四個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4時(shí)的掃描型X射線源動(dòng)作 的時(shí)序圖。在圖41中，與曝光所需的時(shí)間相比，使X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)的時(shí)間短到能夠忽略。如時(shí)序圖(a)所示，將使用圖34說明的拍攝方法取得一張足夠的信息量的透視圖 像所需要的曝光時(shí)間、達(dá)到平衡溫度時(shí)能夠耐久的靶電流，分別記作Ts、I。如時(shí)序圖(b)所示，由于X射線的強(qiáng)度與靶電流成比例，如果使靶電流I變到2倍， 則能夠使取得圖像所需要的時(shí)間Ts變?yōu)門s/2。然而，由于利用強(qiáng)力電子束因溫度上升而產(chǎn) 生靶損傷，因此，實(shí)際上，如時(shí)序圖(b)所示，不能使用X射線源。靶的溫度因照射電子束而 上升，并且通過一定時(shí)間的照射而達(dá)到平衡狀態(tài)。由于此時(shí)的溫度與照射的電子束的電流 量成比例，所以產(chǎn)生該困難。于是，如時(shí)序圖(C)所示，以比靶溫度達(dá)到平衡的時(shí)間短很多的時(shí)間間隔，使X射 線焦點(diǎn)位置移動(dòng)。此外，在圖41中，所謂的a，表示與當(dāng)前的X射線檢測(cè)器23的位置相對(duì)應(yīng) 的焦點(diǎn)位置al a4中的一個(gè)。其他的b、c、d也同樣。如果使如時(shí)序圖(c)的電子束脈沖 狀地流動(dòng)，則在時(shí)序圖(b)的狀態(tài)下，能夠進(jìn)行有效地利用原本不能利用的大電流進(jìn)行拍攝。在對(duì)如時(shí)序圖(C)這樣的電子束進(jìn)行驅(qū)動(dòng)時(shí)，如果使發(fā)出X射線的瞬間的各X射 線焦點(diǎn)位置處的靶電流為21，則為了拍攝與特定圖像相同信息量的透視圖像所需要的曝光 時(shí)間為2Ts，其中，上述特定圖像是指在時(shí)序圖(a)的例中花費(fèi)4Ts用X射線檢測(cè)器23. 1
23.4所得到的圖像。X射線檢測(cè)器23. 1 23. 4的合計(jì)曝光時(shí)間與時(shí)序圖(b)的例相同， 但能夠不損傷靶而進(jìn)行拍攝。圖42是圖37所示的X射線檢查裝置110的一個(gè)視野拍攝的時(shí)序圖。如圖42所示，一個(gè)視野的拍攝時(shí)間能夠用式(23)表示。拍攝張數(shù)N為檢測(cè)器數(shù) 目的整數(shù)倍。Tv = (N/S)Tss+(N/S-l)Tss (23)此外，各符號(hào)的含義如下。
N 拍攝張數(shù)(X射線檢測(cè)器數(shù)目的整數(shù)倍)S =X射線檢測(cè)器數(shù)Tv 拍攝一個(gè)視野的時(shí)間Tm:設(shè)備(載物臺(tái)、X射線檢測(cè)器)移動(dòng)的時(shí)間Tss =S個(gè)的X射線檢測(cè)器同時(shí)曝光所用的拍攝(X射線檢測(cè)器的曝光)時(shí)間此外，為了以后的說明的易懂性，攝張數(shù)N為X射線檢測(cè)器數(shù)目的整數(shù)倍，但并不 是必須限定為整數(shù)倍。例如，將圖像的重建需要的透視圖像的拍攝張數(shù)假定為16張，并且在使用圖 37 圖41說明的拍攝方式時(shí)，為了得到作為重建需要的張數(shù)的16張的圖像花費(fèi)的時(shí)間為 4Tss+3Tm。由于Tss如前述，能夠提高X射線的強(qiáng)度，因此4Ts > Tss。因此，與圖34說明 的使用四個(gè)檢測(cè)器時(shí)的(16Ts+3Tm)相比較，能夠縮短拍攝時(shí)間。圖43A及圖43B是表示掃描型X射線源的結(jié)構(gòu)的概念圖。圖43A是透過型靶使用的X射線源的內(nèi)部結(jié)構(gòu)例，圖43B示出了反射型靶的例。如 下面的說明，由于掃描型X射線源是這種結(jié)構(gòu)，因此能夠進(jìn)行如第四實(shí)施方式的動(dòng)作。在掃描型X射線源中，由電子槍4330所放出的電子束透過柵格(grid) 4340之后， 通過會(huì)聚透鏡(lens) 4350來縮小電子束的光斑半徑(spot radii)。另外，從外部控制的偏 轉(zhuǎn)器4360使電子束向X方向、Y方向折曲，進(jìn)而與X射線靶上的任意的位置相碰撞(一般 將碰撞在靶4310、4320上的電子束稱作靶電流)。此時(shí)，碰撞到X射線靶的電子束的動(dòng)能的99%變?yōu)闊?，約變?yōu)橹苿?dòng)X射線。如上述，X射線靶有透過型(圖43A)和反射型(圖43B)。在透過型的情況下，一 般是在在鈹或鋁上蒸鍍鎢。此外，為了防止X射線焦點(diǎn)移動(dòng)中的曝光，變更電子束的位置(X射線焦點(diǎn)位置) 時(shí)，可以使電子束停止。例如，通過控制電子槍的柵格電壓來進(jìn)行電子束的發(fā)射(ON)/停止 (OFF)。[第五實(shí)施方式]在以上的說明了這樣的情況在變更檢查對(duì)象的視野時(shí)，通過檢查對(duì)象位置控制 機(jī)構(gòu)使檢查對(duì)象移動(dòng)。其中，使用掃描型X射線源時(shí)，若在一定范圍內(nèi)，不必使檢查對(duì)象移動(dòng)，能夠通過 調(diào)整X射線焦點(diǎn)位置17和X射線檢測(cè)器23的相對(duì)的位置關(guān)系來變更視野。此時(shí)，在一個(gè)視野中，拍攝圖像重建需要的多個(gè)圖像時(shí)的X射線靶上的焦點(diǎn)的軌 跡的中心偏離靶中心。于是，在下面的該說明書中，將這樣的CT拍攝稱作“偏心CT拍攝”。在第五實(shí)施方式的X射線檢查裝置中，做成將這種偏心CT拍攝與如第一實(shí)施方式 的變形例說明的X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22組合的結(jié)構(gòu)。S卩，一般地，由于檢查區(qū)域比CT圖像重建區(qū)域?qū)挘枰獙z查區(qū)域分割成多個(gè)視 野(一次CT拍攝的重建區(qū)域)。通常，從視野向視野的移動(dòng)是通過用X-Y載物臺(tái)等使檢查 對(duì)象機(jī)械的移動(dòng)來實(shí)現(xiàn)的。在第五實(shí)施方式的X射線檢查裝置中，通過X射線焦點(diǎn)位置的電 子的移動(dòng)，以靜止(motionless)方式實(shí)現(xiàn)從視野向視野的移動(dòng)，由此實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高速化。于是，使用掃描型X射線源，通過電氣控制來使X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)，由此能夠不 進(jìn)行機(jī)械移動(dòng)而高速地移動(dòng)拍攝位置。通過將多個(gè)X射線檢測(cè)器2預(yù)先配置在預(yù)定位置，能夠縮短X射線檢測(cè)器23的機(jī)械移動(dòng)時(shí)間。僅通過X射線焦點(diǎn)位置的移動(dòng)來進(jìn)行視野移 動(dòng)，由此使視野移動(dòng)高速化。圖44是用于說明該第五實(shí)施方式的X射線檢查裝置120的結(jié)構(gòu)的框圖。其中，X射線檢查裝置120的結(jié)構(gòu)，除了如下面說明的X射線檢測(cè)器23的位置的移 動(dòng)及X射線焦點(diǎn)17的位置的移動(dòng)的控制之外，其它都與圖10說明X射線檢查裝置100的 結(jié)構(gòu)相同，所以不充分對(duì)其結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。此外，如下面的說明，使X射線檢測(cè)器23自轉(zhuǎn)的 結(jié)構(gòu)在本實(shí)施方式中不是必須的，X射線檢測(cè)器23在X-Y平面內(nèi)平行移動(dòng)。圖45是表示使用平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的動(dòng)作例的圖。在圖45中示出了在無X射線檢測(cè)器23及檢查對(duì)象的機(jī)械的移動(dòng)的狀態(tài)下重建四 個(gè)視野的例子。圖45示出了假定從上方看圖44的結(jié)構(gòu)，從等角度拍攝8張透視圖像的動(dòng) 作例。圖45的動(dòng)作例適于使用迭代方法或?qū)游龅鹊闹亟ǚ椒āＲ驗(yàn)榈椒ɑ驅(qū)游瞿?夠與X射線檢測(cè)器的方向無關(guān)地進(jìn)行重建。該動(dòng)作時(shí)，由于不必使X射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，能夠 進(jìn)一步簡(jiǎn)化X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械的機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。為了能夠進(jìn)行如圖45的動(dòng)作，需要將X射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2能 夠獨(dú)立動(dòng)作的范圍區(qū)分開來。另外，在圖45中，位置Al、Bl分別作為X射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2 的初始位置。位置Al A4、B1 B4分別作為取得圖像重建需要的透視圖像的X射線檢測(cè) 器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2的位置。在圖45的例中，X射線檢測(cè)器23. 1和X射線檢測(cè)器23. 2以拍攝系統(tǒng)的原點(diǎn)為中 心移動(dòng)一定距離。其結(jié)果，從上方看拍攝系統(tǒng)時(shí)，分別具有半圓的軌跡。其中，X射線檢測(cè) 器23的移動(dòng)并不限于圓軌道。在圖45中，位置￡11-1、￡12-1、131-132-1為1射線靶上的焦點(diǎn)位置17。焦點(diǎn)位置 al-Ι示出了與拍攝視野1時(shí)的X射線檢測(cè)器位置Al相對(duì)的焦點(diǎn)，焦點(diǎn)位置a2-l示出了與 拍攝視野2時(shí)的X射線檢測(cè)器位置Al相對(duì)的焦點(diǎn)。在拍攝視野1時(shí)，根據(jù)X射線檢測(cè)器位 置Al A4，從焦點(diǎn)位置al-Ι開始，按順序使焦點(diǎn)位置al_2、al_3、al_4(未圖示)位于靶 上的如圖中的點(diǎn)線所示的圓軌道上，同樣地，對(duì)焦點(diǎn)位置a2-l而言，也同樣地，根據(jù)X射線 檢測(cè)器位置Al A4，從焦點(diǎn)位置a2-l開始，按順序地使焦點(diǎn)位置a2_2、a2_3、a2-4 (未圖 示)位于靶上的如圖中的點(diǎn)線所示的圓軌道上。焦點(diǎn)位置bl-Ι示出了針對(duì)拍攝視野1時(shí) X射線檢測(cè)器位置Bl的焦點(diǎn)，并且焦點(diǎn)位置b2-l示出了針對(duì)拍攝視野2時(shí)X射線檢測(cè)器 位置Bl的焦點(diǎn)。焦點(diǎn)位置bl-Ι及焦點(diǎn)位置b2-l也與焦點(diǎn)位置al-l、a2-l同樣地，根據(jù)X 射線檢測(cè)器位置Bl B4，在靶上移動(dòng)到如圖中的點(diǎn)線所示的圓軌道上的其他的焦點(diǎn)位置。如圖45那樣地伴隨X射線檢測(cè)器23及X射線焦點(diǎn)位置的移動(dòng)的檢查的整體(全 部)的流程與圖12所示的流程相同。其中，在第五實(shí)施方式的X射線檢查裝置120中，就第二個(gè)以后的視野而言，視野 的移動(dòng)的時(shí)間被縮短。其原因是，開始對(duì)一個(gè)視野的最后的拍攝的同時(shí)，使另一側(cè)的X射線 檢測(cè)器移動(dòng)到下一個(gè)視野的拍攝位置。此時(shí)，只變更X射線焦點(diǎn)位置即可，無需使載物臺(tái)移 動(dòng)。即，如圖45的動(dòng)作例所示，根據(jù)視野而所拍攝的角度不同。其中，如果進(jìn)行這樣的非等 間隔的拍攝，則有重建圖像劣化的可能性，但通過使用迭代方法能夠減輕劣化。
圖46是對(duì)圖44及圖45說明的拍攝系統(tǒng)的一個(gè)視野進(jìn)行檢查處理的流程圖。圖47是對(duì)圖44及圖45說明的拍攝系統(tǒng)的一個(gè)視野進(jìn)行檢查的時(shí)序圖。下面，參照?qǐng)D46及圖47說明對(duì)第五實(shí)施方式的X射線檢查裝置120的一個(gè)視野 的檢查處理。首先，在開始CT拍攝之前，視野(檢查對(duì)象)、X射線檢測(cè)器23位于規(guī)定的初始位 SAUBl0對(duì)一個(gè)視野的CT拍攝一開始(S900)，最先，運(yùn)算部70使X射線檢測(cè)器23. 1拍攝 檢查對(duì)象(S902)。即，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 1相對(duì)應(yīng)的位置 al-Ι并進(jìn)行拍攝。此外，由于電子進(jìn)行X射線焦點(diǎn)的移動(dòng)，因此與曝光時(shí)間、設(shè)備移動(dòng)時(shí)間 相比，X射線焦點(diǎn)的移動(dòng)高速到能夠忽略的程度。拍攝(檢測(cè)器的曝光)時(shí)間可以預(yù)先設(shè) 定，也可以以目視設(shè)定成任意的時(shí)間。通過從X射線源照射X射線并對(duì)X射線檢測(cè)器進(jìn)行 曝光，從而得到檢查對(duì)象的拍攝數(shù)據(jù)。能夠根據(jù)檢查對(duì)象的尺寸、X射線源產(chǎn)生的X射線的 強(qiáng)度，來預(yù)先決定曝光時(shí)間。接著，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器23. 1所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)傳送至運(yùn)算部 70(S906)。圖像取得控制機(jī)構(gòu)30將拍攝數(shù)據(jù)傳送到運(yùn)算部70所使用的存儲(chǔ)器90。與該數(shù)據(jù)傳送并行地，運(yùn)算部70在焦點(diǎn)位置bl-Ι照射X射線并用X射線檢測(cè)器 23.2拍攝檢查對(duì)象(S904)，同時(shí)，X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置(S906)。與上 述X射線檢測(cè)器23. 1的拍攝同樣地進(jìn)行X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝。此外，此時(shí)為了用X 射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝，需要使X射線焦點(diǎn)17移動(dòng)，但比其他處理高速。X射線檢測(cè)器 23. 1的下一個(gè)拍攝位置(A2)需要在檢查之前決定。通常，能夠在根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信 息決定拍攝張數(shù)時(shí)，決定X射線檢測(cè)器拍攝的位置。接著，在針對(duì)一個(gè)視野未拍攝到規(guī)定張數(shù)的情況下(S910)，運(yùn)算部70將X射線檢 測(cè)器23. 2拍攝到的圖像數(shù)據(jù)傳送到運(yùn)算部70(S912)。與該數(shù)據(jù)傳送并行地，運(yùn)算部70在 焦點(diǎn)位置al-2照射X射線并用X射線檢測(cè)器23. 1拍攝檢查對(duì)象(S910)，與此同時(shí)，使X射 線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置(B2)(S912)。同樣地，下一個(gè)拍攝位置(B2)也需要 在檢查前決定。下面同樣地，重復(fù)并行地進(jìn)行如下處理，直到拍攝張數(shù)達(dá)到規(guī)定張數(shù)為止，這些處 理是使用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝、從X射線檢測(cè)器23. 1傳送拍攝數(shù)據(jù)或使X射線檢 測(cè)器23. 1向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)?；蛘?，重復(fù)并行地進(jìn)行如下處理，直到拍攝張數(shù)達(dá)到規(guī) 定張數(shù)為止，這些處理是使用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝、從X射線檢測(cè)器23. 2傳送拍 攝數(shù)據(jù)或使X射線檢測(cè)器23. 2向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)。該點(diǎn)與圖14說明的第一實(shí)施方式 的動(dòng)作基本相同。然后，如果規(guī)定張數(shù)的拍攝結(jié)束(S908)，運(yùn)算部70從自X射線檢測(cè)器23. 2傳送拍 攝數(shù)據(jù)，并且使X射線檢測(cè)器23. 2向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)(S914)，結(jié)束一個(gè)視野的拍攝處 理(S916)，并將處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。接著，如果估計(jì)圖47的一個(gè)視野的CT拍攝所需要的時(shí)間，則為如下所示Tv = (N/S-l)Tm+STs如下述那樣定義各處理的時(shí)間。Tm 設(shè)備(X射線檢測(cè)器)移動(dòng)的時(shí)間
43
Ts 拍攝(X射線檢測(cè)器的曝光)時(shí)間由S個(gè)(例如兩個(gè))X射線檢測(cè)器23進(jìn)行的一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間Tv，是N次的 拍攝時(shí)間和N/S次的設(shè)備移動(dòng)時(shí)間的合計(jì)。其中，Tv根據(jù)各處理的花費(fèi)的時(shí)間而變化。下 面，考慮一般的拍攝時(shí)間，并作為Tm > Ts >> Tf (X射線焦點(diǎn)的移動(dòng)時(shí)間)(X射線焦點(diǎn)比 其他處理高速得多，因此能夠忽略)來進(jìn)行計(jì)算。并且，對(duì)X射線檢測(cè)器為兩個(gè)的情況進(jìn)行說明。首先，由于用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝，花費(fèi)Ts的時(shí)間。接著，由于移動(dòng)X射 線焦點(diǎn)，花費(fèi)Tf的時(shí)間，但同時(shí)將X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置A2。由于X射 線檢測(cè)器23. 2已經(jīng)配置在規(guī)定位置，能夠在不產(chǎn)生移動(dòng)時(shí)間而進(jìn)行拍攝，因此花費(fèi)Ts的時(shí) 間。X射線檢測(cè)器23. 2拍攝后，使X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)。接著，用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn) 行拍攝，但移動(dòng)還未結(jié)束。移動(dòng)結(jié)束是在從拍攝開始起經(jīng)過Ts+Tm后，而且在位置A2進(jìn)行X 射線檢測(cè)器23. 1的拍攝。接著，進(jìn)行X射線檢測(cè)器23.2的拍攝，但由于移動(dòng)未結(jié)束，拍攝 的開始時(shí)間是Ts+Tm之后。用X射線檢測(cè)器23. 2最先開始拍攝是Ts后，所以1周期的拍 攝時(shí)間為Tm。因此，1周期的拍攝時(shí)間Tm有(N/2-1)次，如果將X射線檢測(cè)器23. 1的最先 的拍攝(Al)時(shí)間Ts、X射線焦點(diǎn)移動(dòng)時(shí)間Tf、X射線檢測(cè)器23. 2的最后的拍攝相加，則求 得一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間，用式(24)表示。Tv = (N/2-l)Tm+2Ts (24)另外，向下一個(gè)視野的移動(dòng)時(shí)間是X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)視野的拍攝位 置的時(shí)間，所以變?yōu)闇p去X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝時(shí)間Ts的時(shí)間，因此，用式(25)表示。Te = Tm-Ts (25)圖48是圖44及圖45說明的拍攝系統(tǒng)的全部檢查的檢查時(shí)序圖。在圖48中，將檢查對(duì)象分割成M個(gè)(例如，四個(gè))視野，并進(jìn)行N張拍攝來作為CT 拍攝。符號(hào)的定義如下面示出。全部檢查對(duì)象的CT拍攝時(shí)間Ti是拍攝M個(gè)視野，且進(jìn)行(M-I)次的視野移動(dòng)時(shí) 間的合計(jì)，所以用式(26)表示。Ti = MTv+(M-I) Te (26)其中，符號(hào)的含義如下。Ti 拍攝全部檢查對(duì)象的時(shí)間Tv 拍攝一個(gè)視野的時(shí)間Te 視野的移動(dòng)時(shí)間在X射線檢查裝置120中，視野的移動(dòng)時(shí)間Te幾乎為移動(dòng)時(shí)間Tm和拍攝時(shí)間Ts 的差，因此移動(dòng)時(shí)間被大幅縮短。[第五實(shí)施方式的變形例]圖49是說明第五實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置122的結(jié)構(gòu)的圖。X射線檢 查裝置122使用直線移動(dòng)型的X射線檢測(cè)器、且使用掃描型X射線源作為X射線源10。其中，X射線檢查裝置122的結(jié)構(gòu)除了如下面說明的X射線檢測(cè)器23的位置的移 動(dòng)及X射線焦點(diǎn)17的位置的移動(dòng)的控制之外，與圖15說明的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu) 相同，所以不重對(duì)其結(jié)構(gòu)的說明。此外，如下面的說明，使X射線檢測(cè)器23自轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)在本 實(shí)施方式的變形例中不是必須的，X射線檢測(cè)器23在X-Y平面內(nèi)平行移動(dòng)。
圖50是表示使用X射線檢查裝置122的平行移動(dòng)X射線檢測(cè)器進(jìn)行拍攝系統(tǒng)的 動(dòng)作例的圖。圖50示出了在X射線檢測(cè)器23或檢查對(duì)象無機(jī)械移動(dòng)的狀態(tài)下重建四個(gè)視野的 例子。圖50是表示假定從上方看圖49的結(jié)構(gòu)，從等間隔的不同距離拍攝9張X射線透視 圖像的動(dòng)作例。X射線檢測(cè)器的位置Al A3、位置Bl B3、位置Cl C3分別是用于取得圖像 重建需要的透視圖像的X射線檢測(cè)器23. 1、X射線檢測(cè)器23. 2及X射線檢測(cè)器23. 3的位 置。位置的符號(hào)中1 3的編號(hào)表示拍攝順序，最先在Al的位置拍攝，最后在A3的位置拍 攝。但拍攝的順序可以不按此順序。此外，與X射線檢測(cè)器的位置Al A3相對(duì)應(yīng)的焦點(diǎn)的靶上的軌跡為如焦點(diǎn)軌跡 1那樣的直線，與X射線檢測(cè)器的位置Bl B3相對(duì)應(yīng)的焦點(diǎn)的靶上的軌跡為如焦點(diǎn)軌跡2 那樣的直線，與X射線檢測(cè)器的位置Cl C3相對(duì)應(yīng)的焦點(diǎn)的靶上的軌跡為如焦點(diǎn)軌跡3 那樣的直線。這樣的X射線檢測(cè)器的配置也適于使用迭代方法或?qū)游龅鹊闹亟ǚ椒?。并且，?動(dòng)作時(shí)，由于不必使X射線檢測(cè)器23自轉(zhuǎn)，能夠簡(jiǎn)化X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部22，并能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī) 械機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。圖51是對(duì)使用圖49及圖50說明的直線移動(dòng)檢測(cè)器拍攝系統(tǒng)的一個(gè)視野進(jìn)行檢 查處理的流程圖。圖52是對(duì)圖49及圖50說明的拍攝系統(tǒng)的一個(gè)視野的檢查時(shí)序圖。下面，參照?qǐng)D51及圖52，說明第五實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置122的一 個(gè)視野的檢查處理。首先，開始CT拍攝之前，視野(檢查對(duì)象)、X射線檢測(cè)器23在規(guī)定的初始位置 AUBUCIo一個(gè)視野的CT拍攝一開始(S920)，最先，運(yùn)算部70用X射線檢測(cè)器23. 1拍攝檢查 對(duì)象(S922)。即，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 1相對(duì)應(yīng)的位置al-1 進(jìn)行拍攝。此外，由于電子進(jìn)行X射線焦點(diǎn)的移動(dòng)，因此與曝光時(shí)間、設(shè)備移動(dòng)時(shí)間相比，X 射線焦點(diǎn)的移動(dòng)速度快而能夠忽略。拍攝(檢測(cè)器的曝光)時(shí)間可以預(yù)先設(shè)定，也能夠目 視來設(shè)定成任意的時(shí)間。通過從X射線源照射X射線并曝光X射線檢測(cè)器而得到檢查對(duì)象 的拍攝數(shù)據(jù)。能夠根據(jù)檢查對(duì)象的尺寸、X射線源產(chǎn)生的X射線的強(qiáng)度來預(yù)先決定曝光時(shí) 間。接著，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器23. 1拍攝到的圖像數(shù)據(jù)傳送到運(yùn)算部70 (S926)。 通過圖像取得控制機(jī)構(gòu)30，將拍攝數(shù)據(jù)傳送到運(yùn)算部70所使用的存儲(chǔ)器90。與該數(shù)據(jù)傳送并行地，運(yùn)算部70在焦點(diǎn)位置bl-Ι照射X射線并用X射線檢測(cè)器 23. 2拍攝檢查對(duì)象(S924)，與此同時(shí)，將X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置(A2) (S926)。X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝與上述X射線檢測(cè)器23. 1的拍攝同樣地進(jìn)行。此外，為 了此時(shí)用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝，需要使X射線焦點(diǎn)17移動(dòng)，但與其他的處理相比，X 射線焦點(diǎn)17移動(dòng)是高速的。需要在檢查前決定X射線檢測(cè)器23. 1的下一個(gè)拍攝位置(A2)。 通常，能夠在根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息決定拍攝張數(shù)時(shí)，來決定用X射線檢測(cè)器進(jìn)行拍攝 的位置。
45
接著，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器23. 2拍攝到的圖像數(shù)據(jù)傳送到運(yùn)算部70所使用 的存儲(chǔ)器90 (S930)。與該數(shù)據(jù)傳送并行地，運(yùn)算部70在焦點(diǎn)位置cl-1照射X射線并用X射線檢測(cè)器 23. 3拍攝檢查對(duì)象(S928)，與此同時(shí)，將X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置(B2) (S930)。X射線檢測(cè)器23. 3的拍攝也與上述的X射線檢測(cè)器23. 1的拍攝同樣地進(jìn)行。接著，在對(duì)一個(gè)視野的拍攝未達(dá)到規(guī)定張數(shù)時(shí)(S932)，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器 23. 3拍攝到的圖像數(shù)據(jù)傳送到運(yùn)算部70使用的存儲(chǔ)器70(S936)。與該數(shù)據(jù)傳送并行地， 運(yùn)算部70在焦點(diǎn)位置al-2照射X射線并用X射線檢測(cè)器23. 1拍攝檢查對(duì)象(S934)，與 此同時(shí)，將X射線檢測(cè)器23. 3移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置(C2)(S936)。同樣，下一個(gè)拍攝位置 (C2也需要在檢查前決定。下面同樣地，重復(fù)并行地進(jìn)行以下處理，直到拍攝張數(shù)達(dá)到規(guī)定張數(shù)為止，這些處 理是用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝、從來自X射線檢測(cè)器23. 1傳送拍攝數(shù)據(jù)或使X射線 檢測(cè)器23. 1向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)?；蛘?，重復(fù)并行地進(jìn)行以下處理，直到拍攝張數(shù)達(dá)到 規(guī)定張數(shù)為止，這些處理是用X射線檢測(cè)器23. 3進(jìn)行拍攝、從X射線檢測(cè)器23. 2傳送拍 攝數(shù)據(jù)或使X射線檢測(cè)器23. 2向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)?；蛘?，重復(fù)并行地進(jìn)行以下處理， 直到拍攝張數(shù)達(dá)到規(guī)定張數(shù)為止，這些處理是用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝、從X射線檢 測(cè)器23. 3傳送拍攝數(shù)據(jù)或使X射線檢測(cè)器23. 3向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)。該點(diǎn)與圖14說 明的第一實(shí)施方式的動(dòng)作基本相同。并且，如果規(guī)定張數(shù)的拍攝結(jié)束(S932)，運(yùn)算部70從X射線檢測(cè)器23. 3傳送拍攝 數(shù)據(jù)的傳送，以及使X射線檢測(cè)器23. 3向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)(S938)，結(jié)束一個(gè)視野的拍 攝處理(S940)，將處理轉(zhuǎn)移到步驟S312。接著，如圖52，如果估計(jì)使用直線移動(dòng)檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的一個(gè)視野的CT拍攝所 需要時(shí)間，如下所示。此外，各處理的時(shí)間的定義如上述。由S個(gè)(例如三個(gè))X射線檢測(cè)器拍攝一個(gè)視野的CT拍攝時(shí)間Tv，是N次的拍攝 時(shí)間和N/S次的設(shè)備移動(dòng)時(shí)間的合計(jì)。其中，Tv根據(jù)各處理花費(fèi)的時(shí)間而變化。下面，考 慮一般的拍攝時(shí)間，作為2Ts > Tm >> Tf(X射線焦點(diǎn)的移動(dòng)速度遠(yuǎn)大于其他處理)來進(jìn) 行計(jì)算。并且，下面，對(duì)X射線檢測(cè)器為三個(gè)時(shí)進(jìn)行說明。首先，為了用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝，花費(fèi)Ts的時(shí)間。接著，為了移動(dòng)X射 線焦點(diǎn)，花費(fèi)Tf的時(shí)間，同時(shí)使X射線檢測(cè)器23. 1移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置A2。由于X射線 檢測(cè)器23.2已經(jīng)配置在規(guī)定位置，能夠不產(chǎn)生移動(dòng)時(shí)間而進(jìn)行拍攝，因此花費(fèi)Ts的時(shí)間。 用X射線檢測(cè)器23. 2拍攝之后，使X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)。接著，用X射線檢測(cè)器23. 3進(jìn) 行拍攝。由于X射線檢測(cè)器23. 3已經(jīng)配置在規(guī)定位置，能夠不產(chǎn)生移動(dòng)時(shí)間而進(jìn)行拍攝， 因此花費(fèi)Ts的時(shí)間。接著，用X射線檢測(cè)器23. 1進(jìn)行拍攝。由于移動(dòng)已經(jīng)完成，1周期的拍攝時(shí)間為 3Ts。因此，一個(gè)視野的拍攝時(shí)間Tv用下式表示。Tv = NTs另外，向下一個(gè)視野移動(dòng)的時(shí)間只是X射線焦點(diǎn)的移動(dòng)時(shí)間，所以變?yōu)橄率健?br> Te = Tf因此，能夠進(jìn)行比通常的拍攝高速的拍攝。[第六實(shí)施方式]在用X射線檢查焊接安裝了零件的印刷基板時(shí)，印刷基板上混雜有如BGA那樣的 需要進(jìn)行根據(jù)重建圖像的檢查的零件和僅進(jìn)行透視圖像的檢查即可的零件，因此希望能夠 用下面的兩種方法進(jìn)行拍攝的X射線檢查裝置。1)為了重建檢查用圖像，能夠從多個(gè)不同方向拍攝零件。2)能夠?qū)z查物置于X射線源的正上方進(jìn)行透視圖像拍攝。然而，適于解析的圖像重建方法的X射線檢測(cè)器配置在與檢查對(duì)象的垂直軸離開 一定距離的圓軌道上，不支持垂直方向的透視圖像檢查。因此，能夠進(jìn)行垂直方向的透視圖 像拍攝和視圖像拍攝著兩者的裝置，需要具有利用X-Y移動(dòng)而使X射線檢測(cè)器移動(dòng)到透視 圖像拍攝位置的機(jī)構(gòu)，或者需要追加配置透視圖像拍攝專用的X射線檢測(cè)器。但是，即使在具有利用X-Y移動(dòng)而使X射線檢測(cè)器移動(dòng)到透視圖像拍攝位置的機(jī) 構(gòu)的情況下，從移動(dòng)精度、維護(hù)等觀點(diǎn)出發(fā)，也希望這樣的移動(dòng)機(jī)構(gòu)在機(jī)械上具有盡可能簡(jiǎn) 單的結(jié)構(gòu)。另外，若設(shè)置透視圖像拍攝專用的X射線檢測(cè)器，額外需要該檢測(cè)器的成本。于是，如下面的說明，第六實(shí)施方式的X射線檢查裝置中具有如下的結(jié)構(gòu)。i)設(shè)置能夠使X射線檢測(cè)器的位置在直線上獨(dú)立地地移動(dòng)的三個(gè)X射線檢測(cè)器 移動(dòng)機(jī)構(gòu)和與X射線檢測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的三個(gè)X射線檢測(cè)器(檢測(cè)器)。此外，作為X 射線檢測(cè)器的個(gè)數(shù)，只要兩個(gè)以上即可。此外，在X射線檢測(cè)器的個(gè)數(shù)為奇數(shù)時(shí)，具有能夠 用在正中導(dǎo)軌上移動(dòng)的X射線檢測(cè)器從正上方拍攝檢查對(duì)象的優(yōu)點(diǎn)，所以希望設(shè)置三個(gè)以 上的奇數(shù)個(gè)X射線檢測(cè)器。其中，從成本的觀點(diǎn)看，因?yàn)橐獙z測(cè)器的個(gè)數(shù)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)的個(gè) 數(shù)抑制到最低限，所以希望是三個(gè)。ii)三個(gè)X射線檢測(cè)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)中的一個(gè)，設(shè)置成能夠使X射線檢測(cè)器位于X射線 源及檢查對(duì)象的正上方的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。如上述，通過設(shè)置奇數(shù)個(gè)X射線檢測(cè)器，能夠用在正中的導(dǎo)軌上移動(dòng)的X射線檢測(cè) 器從正上方拍攝檢查對(duì)象。這適合于，例如在按照后面說明的流程圖動(dòng)作時(shí)，拍攝用于判斷 是否需要根據(jù)重建圖像進(jìn)行檢查的透視圖像。iii)拍攝時(shí)，在曝光中央的X射線檢測(cè)器期間，使未曝光的兩端的X射線檢測(cè)器移 動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置。另外，在曝光兩端的兩個(gè)X射線檢測(cè)器期間，使未曝光的中央的X射 線檢測(cè)器移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置。iv)在同時(shí)曝光兩個(gè)X射線檢測(cè)器時(shí)，在與兩個(gè)檢測(cè)器相對(duì)應(yīng)的位置，相對(duì)于曝光 時(shí)間而以短的時(shí)間間隔使X射線焦點(diǎn)進(jìn)行分時(shí)照射(脈沖照射)。ν)作為圖像的重建的方法，通過迭代方法或?qū)游鲞M(jìn)行圖像重建，由此在重建時(shí)使 用來自不是圓軌道上(直線上的)的拍攝位置的圖像。下面，對(duì)第六實(shí)施方式的X射線檢查裝置的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作進(jìn)行說明。圖53是說明第六實(shí)施方式的X射線檢查裝置130的結(jié)構(gòu)的圖。X射線檢查裝置 130使用直線移動(dòng)型的X射線檢測(cè)器、并使用掃描型X射線源作為X射線源10。對(duì)一個(gè)視 野進(jìn)行拍攝過程中，檢查對(duì)象不需要移動(dòng)。進(jìn)而，如后面的說明，為了使X射線源10脈沖動(dòng)作，設(shè)置與圖21所示的同樣的遮蔽體66。與圖21的情況同樣地，以能夠充分遮蔽X射線的材質(zhì)、厚度作成遮蔽體66，優(yōu)選鉛 等。由于X射線檢測(cè)器23直線移動(dòng)，因此遮蔽體66的開口部為矩形(或者槽)。遮蔽體 66的尺寸設(shè)定為，使來自X射線檢測(cè)器23. 1所用的焦點(diǎn)位置的X射線不進(jìn)入到X射線檢測(cè) 器23. 3。另外，遮蔽體66的開口部的尺寸設(shè)定為，使來自X射線檢測(cè)器23. 1所用的焦點(diǎn) 位置的X射線不能完全進(jìn)入X射線檢測(cè)器23. 1，但遮蔽射向X射線檢測(cè)器23. 2的X射線。 以上的遮蔽體66的尺寸及其開口部的尺寸關(guān)系，對(duì)于其他的X射線檢測(cè)器23. 2及23. 3而 言，都是同樣的。通過設(shè)置適合于檢查對(duì)象區(qū)域、放大率、X射線檢測(cè)器的尺寸的槽狀的遮蔽體66， 即使在使多個(gè)X射線檢測(cè)器同時(shí)為曝光狀態(tài)，并從多個(gè)位置放射X射線的情況下，用設(shè)置在 穿過X射線焦點(diǎn)和檢查對(duì)象的直線上的X射線檢測(cè)器23，也能夠只取得來自檢查對(duì)象區(qū)域 的特定角度的X射線透視圖像。在入射到遮蔽體66的X射線產(chǎn)生散射線，同時(shí)曝光全部X射線檢測(cè)器23以及脈 沖拍攝的情況下，可能導(dǎo)致拍攝圖像劣化。例如，同時(shí)曝光X射線檢測(cè)器23. 1、23.2及23.3 時(shí)，向X射線檢測(cè)器23. 1照射的X射線的散射線可能對(duì)X射線檢測(cè)器23. 2的拍攝造成影 響。于是，如后述，使X射線檢測(cè)器23在兩端的兩個(gè)X射線檢測(cè)器23. 1及23. 3、中央的X 射線檢測(cè)器23. 2錯(cuò)開曝光時(shí)間來動(dòng)作，由此即使拍攝時(shí)間相同，也能夠進(jìn)行抑制散射線的 影響的拍攝。其中，X射線檢查裝置130的結(jié)構(gòu)，除了如下面說明的X射線檢測(cè)器23的位置的 移動(dòng)、X射線焦點(diǎn)17的位置的移動(dòng)的控制及X射線源10的脈沖動(dòng)作的控制之外，其它都與 圖15說明的X射線檢查裝置102的結(jié)構(gòu)相同，所以不重復(fù)對(duì)其結(jié)構(gòu)的說明。此外，如下面 的說明，使X射線檢測(cè)器23自轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)在本實(shí)施方式的變形例中不是必須的，X射線檢測(cè) 器23在X-Y平面內(nèi)平行移動(dòng)。圖54是將圖53所示的X射線檢查裝置130的結(jié)構(gòu)中X射線檢測(cè)器23和掃描型 X射線源的移動(dòng)軌跡作為俯視圖所示的圖。在圖54中，具有X射線檢測(cè)器23. 1、23. 2及23. 3能夠分別在導(dǎo)軌上直線移動(dòng)的 機(jī)構(gòu)。X射線源10，如上述，為掃描型X射線源。另外，X射線檢測(cè)器23的拍攝位置并不 限定于圖54的配置，進(jìn)而，拍攝張數(shù)并不限定于18張，只要是指定能夠檢查的拍攝張數(shù)即 可。拍攝張數(shù)的指定可以根據(jù)CAD數(shù)據(jù)等的設(shè)計(jì)信息來計(jì)算，也可以由作業(yè)者目視決定。在圖54中，位置Al A6、B1 B6、C1 C6分別是取得圖像重建需要的透視圖像 的X射線檢測(cè)器23. 1,23. 2及23. 3的位置。位置附帶的1 6的編號(hào)表示拍攝順序，最先 在Al的位置拍攝，最后在A6的位置拍攝。另外，位置al、a2、bl、b2、cl、c2是X射線靶上的焦點(diǎn)位置，X射線檢測(cè)器位置分 別與在位置々1、々2、81、82、(1、02上時(shí)相對(duì)應(yīng)。此外，如上述，在本實(shí)施方式中，兩端的X射線檢測(cè)器23. 1及23. 3同步移動(dòng)。正 中的X射線檢測(cè)器23. 2獨(dú)立地移動(dòng)位置。在圖54所示的動(dòng)作例中，X射線檢測(cè)器23并不自轉(zhuǎn)，在X-Y平面內(nèi)平行移動(dòng)。這 樣的動(dòng)作例，如上述，適于使用迭代方法或?qū)游龅鹊闹亟ǚ椒?。因?yàn)榈椒ɑ驅(qū)游瞿軌蚺cX射線檢測(cè)器的方向無關(guān)地進(jìn)行重建。該動(dòng)作時(shí)，由于不必使X射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，能夠進(jìn)一步簡(jiǎn)化X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)，并能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械機(jī)構(gòu)的高速化、提高可維護(hù)性。圖55是使用圖53及圖54說明的直線移動(dòng)檢測(cè)器的拍攝系統(tǒng)的檢查處理的流程 圖。圖56是圖53及圖54說明的拍攝系統(tǒng)對(duì)一個(gè)視野進(jìn)行拍攝的檢查時(shí)序圖。下面，參照?qǐng)D55及圖56，說明第六實(shí)施方式的變形例的X射線檢查裝置130的檢
查處理。參照?qǐng)D55，首先，在開始檢查前，按照來自運(yùn)算部70的檢查對(duì)象位置控制部80的 命令，檢查對(duì)象位置控制機(jī)構(gòu)處于使檢查對(duì)象的檢查部分(視野)位于通過X射線源10的 X射線靶的中心的垂直軸上的狀態(tài)，并且用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝，開始檢查。即，為 了拍攝透視圖像，分別將裝載檢查對(duì)象的載物臺(tái)移動(dòng)到規(guī)定的位置，將X射線檢測(cè)器23. 2 移動(dòng)到初始位置(B3和B4的中間位置)。另外，X射線檢測(cè)器23. 1和23. 3分別移動(dòng)到初 始位置Al和Cl。通常，在檢查中，為了確定檢查位置而搭載光學(xué)照相機(jī)(未圖示)，因此能 夠以光學(xué)照相機(jī)的圖像為依據(jù)來決定位置。作為其他的方法，可以根據(jù)檢查對(duì)象的CAD數(shù) 據(jù)自動(dòng)決定，也可以由作業(yè)者目視進(jìn)行。檢查處理一開始(S1000)，運(yùn)算部70在檢查剛開始之后，使X射線檢測(cè)器23. 2位 于X射線焦點(diǎn)的正上方來進(jìn)行拍攝(S1002)。所拍攝的圖像數(shù)據(jù)被傳送到運(yùn)算部70所使用 的存儲(chǔ)器70 (S1004)，根據(jù)這樣得到的X射線透視圖像，運(yùn)算部70的好壞判定部78判斷該 部分的圖像重建檢查的必要性(S1006)。這里，必要性的判定(好壞判定)的方法，已提出 了各種方法，由于上面已述，這里不重復(fù)詳細(xì)。在不需要根據(jù)重建圖像的檢查時(shí)，如果運(yùn)算部70判斷為檢查完全部視野 (S1036)，則使檢查結(jié)束(S1040)。另一方面，在需要根據(jù)重建圖像的檢查時(shí)，運(yùn)算部70接著進(jìn)行對(duì)一個(gè)視野的CT拍攝。參照?qǐng)D55及圖56，在對(duì)一個(gè)視野的CT拍攝中，從多個(gè)方向拍攝檢查對(duì)象內(nèi)的視野 (重建區(qū)域或者與上述的透視圖像拍攝范圍同樣的區(qū)域)。運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn)分時(shí)移動(dòng)到與兩端的X射線檢測(cè)器23. 1及23. 3相對(duì)應(yīng) 的位置照射X射線，用X射線檢測(cè)器23. 1及23. 3進(jìn)行拍攝(S1010)。與該拍攝并行地，運(yùn) 算部70使X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)到下一個(gè)拍攝位置(B1)(S1020)。此外，在該時(shí)刻，就X 射線檢測(cè)器23. 2而言，僅進(jìn)行移動(dòng)，并不進(jìn)行拍攝數(shù)據(jù)的傳送。接著，為了在3D圖像重建部78進(jìn)行重建處理，運(yùn)算部70將X射線檢測(cè)器23. 1及 23. 3得到的拍攝數(shù)據(jù)傳送到例如存儲(chǔ)器90 (S1012)。與之并行地，運(yùn)算部70將X射線焦點(diǎn) 移動(dòng)移動(dòng)到與X射線檢測(cè)器23. 2相對(duì)應(yīng)的位置照射X射線，并用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行 拍攝(S1022)。運(yùn)算部70在判斷為對(duì)一個(gè)視野沒有拍攝完規(guī)定張數(shù)時(shí)(S1030)，使處理返回到步 驟 S1010 及 S1020。另一方面，若達(dá)到規(guī)定張數(shù)，運(yùn)算部70結(jié)束一個(gè)視野的CT拍攝處理(S1030)，并使 處理轉(zhuǎn)移到步驟S1032。
此外，在流程圖上，在數(shù)據(jù)傳送之后判斷是否拍攝到規(guī)定張數(shù)，但優(yōu)選與數(shù)據(jù)傳送 同時(shí)地判斷拍攝張數(shù)。其原因是，在數(shù)據(jù)傳送中，由于需要例如200ms左右的時(shí)間，因此會(huì) 延遲向下一個(gè)拍攝位置的移動(dòng)。因此，在每次拍攝時(shí)產(chǎn)生延遲。為了縮短該延遲時(shí)間并實(shí) 現(xiàn)高速化，優(yōu)選與數(shù)據(jù)傳送同時(shí)地判斷規(guī)定張數(shù)以及移動(dòng)檢查對(duì)象、X射線檢測(cè)器。接著，運(yùn)算部70的3D圖像重建部76，在步驟S1032中根據(jù)多個(gè)方向的拍攝圖像而 生成重建圖像。接著，運(yùn)算部70的好壞判定部78根據(jù)重建圖像進(jìn)行好壞判定(S1034)。這里， 好壞判定的方法，如上述，由于是公知的，因此只要使用適合于檢查項(xiàng)目的好壞判定方法即 可，這里不重復(fù)詳細(xì)的說明。并且，運(yùn)算部70，判斷全部視野是否檢查結(jié)束(S1036)，在未結(jié)束時(shí)，將視野移動(dòng) 到下一個(gè)位置，并且使X射線檢測(cè)器23返回到各自的初始位置(S1038)，并使處理返回到步 驟S1002。另一方面，若檢查完全部視野，則運(yùn)算部70使本檢查結(jié)束(S1040)。此外，在圖12中，用透視圖像和重建圖像進(jìn)行檢查，但也能夠不利于透視圖像進(jìn) 行檢查，而只利用重建圖像進(jìn)行檢查。但通常由于重建處理會(huì)花費(fèi)比較多的時(shí)間，因此在利 用重建圖像進(jìn)行檢查前，利用透視圖像進(jìn)行好壞判定，從而能夠使整體(全部)的檢查時(shí)間 變短。如圖56所示，X射線檢測(cè)器23. 1和23. 3同時(shí)曝光，并X射線檢測(cè)器23. 2在該期 間內(nèi)向能夠取得圖像重建需要的圖像的拍攝位置移動(dòng)。如果X射線檢測(cè)器23. 1和23. 3的 拍攝及X射線檢測(cè)器23. 2移動(dòng)結(jié)束，下次開始用X射線檢測(cè)器23. 2進(jìn)行拍攝，并且X射線 檢測(cè)器23. 1和23. 3向下一個(gè)拍攝位置移動(dòng)。通過重復(fù)進(jìn)行這些動(dòng)作，能夠在X射線源10 的非工作時(shí)間不移動(dòng)拍攝對(duì)象而拍攝圖像重建需要的來自不同角度的多張透視圖像。一個(gè)視野的拍攝時(shí)間Tv用下式表示。Ts > Tm 時(shí)Tv = 2/3NTsTs < Tm 時(shí)Tv = (N/3-1) (Ts+Tm) +2Ts作為例子，拍攝18張所需要的時(shí)間，在Ts > Tm時(shí)為12Ts，在Ts < Tm時(shí)為 7Ts+5Tm,能夠使拍攝時(shí)間大幅度高速化。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，在第六實(shí)施方式的X射線檢查裝置130中，至少能得到如下的效 果的至少一個(gè)或或其組合。1) X射線檢測(cè)器23能夠分別獨(dú)立地動(dòng)作，并且能夠削減X射線檢測(cè)器23中的X射 線源10的非工作時(shí)間。2)通過使靶電流變大并同時(shí)曝光多個(gè)X射線檢測(cè)器23，由此能夠有效地利用強(qiáng)X 射線。3)通過將X射線檢測(cè)器的動(dòng)作限定為直線，由此能夠使X射線檢測(cè)器23的移動(dòng)機(jī) 構(gòu)簡(jiǎn)單化，并使移動(dòng)高速化。4)使用在相同方向移動(dòng)(平行移動(dòng))的X射線檢測(cè)器23拍攝的矩形的圖像，并使 用迭代的圖像重建算法來進(jìn)行重建，得到寬范圍的重建圖像。5)另外，通過使奇數(shù)個(gè)，例如三個(gè)X射線檢測(cè)器中的一個(gè)通過X射線源10的正上 方，從而能夠利用透視圖像拍攝和重建圖像拍攝這兩者。6)另外，在X射線檢測(cè)器23為三個(gè)時(shí)，通過使中央的X射線檢測(cè)器和兩端的兩個(gè)
50X射線檢測(cè)器錯(cuò)開時(shí)間曝光，從而能夠避免因中央拍攝時(shí)向兩端X射線檢測(cè)器的散射X射線 和兩端拍攝時(shí)向中央X射線檢測(cè)器散射X射線所導(dǎo)致的圖像劣化。在例如設(shè)置5個(gè)以上奇 數(shù)個(gè)X射線檢測(cè)器23時(shí)，使中央的X射線檢測(cè)器和與之間隔一個(gè)的X射線檢測(cè)器、剩余的 X射線檢測(cè)器錯(cuò)開時(shí)刻曝光，由此能夠達(dá)到同樣的效果。 本次所公開的實(shí)施方式應(yīng)認(rèn)為是全部的點(diǎn)的例示而并非限制。本發(fā)明的范圍不由 上述說明決定，而由權(quán)利要求書決定，意在包括與權(quán)利要求書均等的含義及范圍內(nèi)的全部 的變更。
權(quán)利要求
一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行拍攝，由此執(zhí)行上述檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)上述檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且上述X射線檢測(cè)器的數(shù)目比檢測(cè)面的數(shù)目少，檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器與另一部分X射線檢測(cè)器相獨(dú)立地移動(dòng)，X射線輸出部，與上述X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射到分別移動(dòng)到成為上述檢測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中，控制部，對(duì)上述X射線檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制；上述控制部包括圖像取得控制部，控制各上述X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī)和上述檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部，X射線輸出控制部，用于控制上述X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè)上述檢測(cè)面上拍攝到的、透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X射線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)；上述圖像取得控制部及上述X射線輸出控制部，并行地執(zhí)行第一處理和第二處理，在所述第一處理中，使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的上述一部分X射線檢測(cè)器在多個(gè)上述拍攝位置中的第一位置進(jìn)行拍攝，在所述第二處理中，使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的上述另一部分X射線檢測(cè)器移動(dòng)到多個(gè)上述拍攝位置中的與上述第一位置不同的第二位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的X射線檢測(cè)裝置，其特征在于，上述圖像取得控制部及上述X射線輸出控制部，針對(duì)一個(gè)上述對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū) 域，為了分多次在預(yù)先對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)的重建所設(shè)定的個(gè)數(shù)的上述拍攝位置進(jìn)行拍攝，執(zhí) 行以下處理使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的上述一部分X射線檢測(cè)器在上述第一位置進(jìn)行拍攝，以 及，在進(jìn)行該拍攝后，使上述一部分X射線檢測(cè)器向與上述第一位置不同的下一個(gè)第一位 置移動(dòng)；與使上述一部分X射線檢測(cè)器在上述第一位置進(jìn)行拍攝的處理并行地，使多個(gè)上述X 射線檢測(cè)器中的上述另一部分X射線檢測(cè)器向與上述第一位置、下一個(gè)第一位置及之前的 上述第二位置都不相同且與下次拍攝相對(duì)應(yīng)的上述第二位置移動(dòng)，以及，與使上述一部分X 射線檢測(cè)器向上述下一個(gè)第一位置移動(dòng)的處理并行地，使上述另一部分X射線檢測(cè)器在上 述第二位置進(jìn)行拍攝。
3.根據(jù)權(quán)利要求1記載的X射線檢測(cè)裝置，其特征在于，上述X射線輸出控制部包括起點(diǎn)設(shè)定部，該起點(diǎn)設(shè)定部對(duì)多個(gè)上述檢測(cè)面設(shè)定放射上 述χ射線的各起點(diǎn)位置，以使上述χ射線通過上述檢查對(duì)象區(qū)域入射到各上述檢測(cè)面，上述X射線輸出部使X射線源的X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)到各上述起點(diǎn)位置，產(chǎn)生上述X 射線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3記載的X射線檢查裝置，其特征在于，上述X射線輸出部，通過使照射到作為X射線源的連續(xù)面的靶面上的電子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)， 由此使上述X射線源焦點(diǎn)位置移動(dòng)。
5.一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行 拍攝，由此執(zhí)行上述檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)上述檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且上述X射線檢測(cè)器的數(shù)目 比檢測(cè)面的數(shù)目少，單軸驅(qū)動(dòng)部，使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的一部分X射線檢測(cè)器沿著規(guī)定的單軸方向 移動(dòng)，X射線輸出部，與上述X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的 X射線入射到分別移動(dòng)到成為上述檢測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中， 控制部，對(duì)上述X射線檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制； 上述控制部包括圖像取得控制部，控制各上述X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī)和上述檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部， X射線輸出控制部，用于控制上述X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè)上述檢測(cè)面上拍攝到的、透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X射 線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5記載的X射線檢查裝置，其特征在于，上述單軸驅(qū)動(dòng)部使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器在規(guī)定的平面內(nèi)平行移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6記載的X射線檢查裝置，其特征在于， 多個(gè)上述X射線檢測(cè)器的上述檢測(cè)面分別為矩形形狀，上述檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部包括自轉(zhuǎn)部，該自轉(zhuǎn)部使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器自轉(zhuǎn)，以使多個(gè)上 述X射線檢測(cè)器的上述檢測(cè)面的一側(cè)端在各上述拍攝位置與朝向上述X射線輸出部的方向 相交。
8.根據(jù)權(quán)利要求5記載的X射線檢查裝置，其特征在于，圖像重建處理部利用迭代方法重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8記載的X射線檢查裝置，其特征在于，圖像重建處理部利用解析方法重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。
10.一種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行 拍攝，由此執(zhí)行上述檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)上述檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且上述X射線檢測(cè)器的數(shù)目 比檢測(cè)面的數(shù)目少，X射線輸出部，與上述X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的 X射線入射到分別移動(dòng)到成為上述檢測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中， 控制部，對(duì)上述X射線檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制； 上述控制部包括圖像取得控制部，控制各上述X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī)和上述檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部， X射線輸出控制部，用于控制上述X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè)上述檢測(cè)面上拍攝到的、透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X射 線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)；上述圖像取得控制部及上述X射線輸出控制部，并行地執(zhí)行第一處理和第二處理， 在所述第一處理中，使多個(gè)上述χ射線檢測(cè)器中的上述一部分X射線檢測(cè)器在多個(gè)上述拍攝位置中的第一位置進(jìn)行拍攝，在所述第二處理中，使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的上述另一部分X射線檢測(cè)器移動(dòng)到 多個(gè)上述拍攝位置中的與上述第一位置不同的第二位置； 上述X射線輸出部，對(duì)配置于上述拍攝位置的多個(gè)X射線檢測(cè)器中的同時(shí)處于拍攝狀 態(tài)的多個(gè)X射線檢測(cè)器，分別從所對(duì)應(yīng)的多個(gè)X射線焦點(diǎn)位置發(fā)生X射線；還具有遮蔽構(gòu)件，該遮蔽構(gòu)件分別針對(duì)同時(shí)處于拍攝狀態(tài)的上述X射線檢測(cè)器，選擇 性地遮蔽來自上述X射線輸出部的X射線，使從所對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)位置透過上述檢查對(duì) 象區(qū)域而向各上述檢測(cè)面入射的X射線透過，另一方面，而遮蔽來自不對(duì)應(yīng)的X射線焦點(diǎn)位 置的X射線。
11.根據(jù)權(quán)利要求10記載的X射線檢查裝置，其特征在于，上述X射線輸出部，通過使照射到作為X射線源的連續(xù)面的靶面上的電子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)， 由此使上述X射線源焦點(diǎn)位置移動(dòng)，上述X射線輸出控制部對(duì)上述X射線輸出部進(jìn)行控制，以使上述X射線分時(shí)入射到同 時(shí)處于曝光狀態(tài)的各上述X射線檢測(cè)器。
12.—種X射線檢查裝置，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行 拍攝，由此執(zhí)行上述檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具有多個(gè)X射線檢測(cè)器，用于在多個(gè)上述檢測(cè)面上進(jìn)行拍攝，并且上述X射線檢測(cè)器的數(shù)目 比檢測(cè)面的數(shù)目少，平行驅(qū)動(dòng)部，使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器在規(guī)定的平面內(nèi)平行移動(dòng)， X射線輸出部，與上述X射線檢測(cè)器對(duì)應(yīng)地輸出X射線，以使透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的 X射線入射到分別移動(dòng)到成為上述檢測(cè)面的多個(gè)拍攝位置的多個(gè)上述X射線檢測(cè)器， 控制部，對(duì)上述X射線檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行控制； 上述控制部包括圖像取得控制部，控制各上述X射線檢測(cè)器的曝光時(shí)機(jī)和上述檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部， X射線輸出控制部，用于控制上述X射線輸出部，圖像重建處理部，基于在多個(gè)上述檢測(cè)面上拍攝到的、透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X射 線的強(qiáng)度分布的數(shù)據(jù)，來重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1記載的X射線檢查裝置，其特征在于，上述檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部包括二軸驅(qū)動(dòng)部，該二軸驅(qū)動(dòng)部使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器分別沿著 規(guī)定的二軸方向獨(dú)立移動(dòng)。
14.一種X射線檢查方法，在多個(gè)檢測(cè)面上對(duì)透過對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū)域的X射線進(jìn)行 拍攝，由此執(zhí)行上述檢查對(duì)象區(qū)域的像的重建處理，其特征在于，具有使各上述χ射線檢測(cè)器獨(dú)立地移動(dòng)到所對(duì)應(yīng)的成為上述檢測(cè)面的拍攝位置的步驟， 輸出X射線的步驟，使透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X射線入射到分別移動(dòng)到多個(gè)上述拍 攝位置的多個(gè)上述χ射線檢測(cè)器中，并行地執(zhí)行第一處理和第二處理的步驟，在所述第一處理中，使多個(gè)上述X射線檢測(cè) 器中的上述一部分X射線檢測(cè)器在多個(gè)上述拍攝位置中的第一位置進(jìn)行拍攝，在所述第二 處理中，使多個(gè)上述χ射線檢測(cè)器中的與上述一部分χ射線檢測(cè)器不同的另一部分χ射線 檢測(cè)器移動(dòng)到多個(gè)上述拍攝位置中的與上述第一位置不同的第二位置；基于在多個(gè)上述檢測(cè)面上拍攝到的、透過上述檢查對(duì)象區(qū)域的X線的強(qiáng)度分布的數(shù) 據(jù)，來重建上述檢查對(duì)象區(qū)域的像數(shù)據(jù)的步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求14記載的X射線檢查方法，其特征在于，在并行地執(zhí)行上述第一處理和第二處理的步驟中，針對(duì)一個(gè)上述對(duì)象物的檢查對(duì)象區(qū) 域，為了分多次在預(yù)先對(duì)上述圖像數(shù)據(jù)的重建所設(shè)定的個(gè)數(shù)的上述拍攝位置進(jìn)行拍攝，執(zhí) 行以下處理使多個(gè)上述X射線檢測(cè)器中的上述一部分X射線檢測(cè)器在上述第一位置進(jìn)行拍攝，以 及，在進(jìn)行該拍攝后，使上述一部分X射線檢測(cè)器向與上述第一位置不同的下一個(gè)第一位 置移動(dòng)；與使上述一部分X射線檢測(cè)器在上述第一位置進(jìn)行拍攝的處理并行地，使多個(gè)上述X 射線檢測(cè)器中的上述另一部分X射線檢測(cè)器向與上述第一位置、下一個(gè)第一位置及之前的 上述第二位置都不相同的上述第二位置移動(dòng)，以及，與使上述一部分X射線檢測(cè)器向上述 下一個(gè)第一位置移動(dòng)的處理并行地，使上述另一部分X射線檢測(cè)器在上述第二位置進(jìn)行拍攝。
16.根據(jù)權(quán)利要求14記載的X射線檢查方法，其特征在于，在上述輸出X射線的步驟中，包括使照射到作為X射線源的連續(xù)面的靶面上的電子束 發(fā)生偏轉(zhuǎn)以使上述X射線源焦點(diǎn)位置移動(dòng)的步驟。
全文摘要
提供對(duì)檢查對(duì)象的物規(guī)定檢查區(qū)域進(jìn)行高速檢查的X射線檢查裝置及方法。X射線檢查裝置(100)具有輸出X射線的掃描型X射線源(10)、安裝多個(gè)X射線檢測(cè)器(23)并能獨(dú)立驅(qū)動(dòng)多個(gè)X射線檢測(cè)器(23)的X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部(22)、控制來自X射線檢測(cè)器驅(qū)動(dòng)部(22)及X射線檢測(cè)器(23)的圖像數(shù)據(jù)的取得的圖像取得控制機(jī)構(gòu)(30)。掃描型X射線源(10)對(duì)各X射線檢測(cè)器(23)，使X射線透過檢查對(duì)象(20)的規(guī)定檢查區(qū)域入射到各X射線檢測(cè)器(23)，使X射線源的X射線焦點(diǎn)位置移動(dòng)到所設(shè)定的各放射X射線的起點(diǎn)位置來放射X射線。并行交替執(zhí)行X射線檢測(cè)器(23)的一部分拍攝和其他部分向拍攝位置移動(dòng)。圖像控制取得機(jī)構(gòu)(30)取得X射線檢測(cè)器(23)檢測(cè)的圖像數(shù)據(jù)，運(yùn)算部(70)基于該圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行檢查區(qū)域的圖像重建。
文檔編號(hào)G01N23/04GK101960296SQ20088012764
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2008年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月27日
發(fā)明者佐佐木泰, 加藤訓(xùn)之, 杉田信治, 松波剛, 益田真之 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社