專利名稱：熱式流量計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在被計測流體中設(shè)置發(fā)熱電阻來測量流量的熱式流量計， 特別是涉及汽車的內(nèi)燃機的吸入空氣流量和排氣流量的測量。
背景技術(shù)：
作為檢測汽車等的內(nèi)燃機的吸入空氣量的流量傳感器，能直接測量質(zhì) 量流量的熱式的空氣流量傳感器成為主流。
在近年，提出了在硅(Si)等半導(dǎo)體基板上，使用微機械(micro machine) 技術(shù)，制造熱式流量計的傳感器元件。這樣的半導(dǎo)體類型的熱式流量計在 半導(dǎo)體基板上形成的數(shù)微米的薄膜部形成發(fā)熱電阻。因為是薄膜，所以熱 容量小、高速響應(yīng)，低耗電是可能的。此外，通過微細(xì)加工，容易形成檢 測發(fā)熱電阻的上下游的溫度差，并判別順流 逆流的構(gòu)造。
作為所述類型的熱式流量計的以往技術(shù)，有專利文獻(xiàn)l中記載的技術(shù)。特幵2000-146652號公報
例如，在檢測汽車用內(nèi)燃機的吸入空氣流量時，混入吸入空氣中的水 滴附著到流量檢測元件上，并發(fā)生測量誤差。特別是半導(dǎo)體類型的熱式流 量計的時候，檢測部是薄膜，所以熱容量小，如果水滴附著到發(fā)熱部，則 薄膜部的溫度就急劇下降，有可能無法進行流量的測量。此外，由于水滴 的附著，薄膜部急劇冷卻，測量元件有可能被破壞。
在以往技術(shù)中，與傳感器元件一體形成整流板。如果水滴飛到這樣的 構(gòu)造的熱式流量計上，水滴就全由整流板捕獲，由于風(fēng)壓，在整流構(gòu)件的 側(cè)面滾動，然后，從整流板離開，有可能附著到測量元件的電阻的形成區(qū) 域。在以往技術(shù)中，余留有對于水滴的附著的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于所述問題點提出的，提供一種防止飛來的水滴或液狀的污損物附著到測量元件上的熱式流量計。 所述課題由以下的結(jié)構(gòu)解決。
一種熱式流量計，在流體通路內(nèi)配置在表面一側(cè)形成了發(fā)熱電阻和測 溫電阻的測量元件，來測量流量，設(shè)置從與測量元件的表面相對置的流體
通路的壁面向測量元件一側(cè)突出的外伸(單支撐(cantilever))板部，并 將外伸板部從測量元件的上游延伸到下游。這里，與測量元件的表面相對 置的壁面是用于支撐外伸板部的，也可以是與壁面一體的構(gòu)造。此外，外 伸板部的頂端部(支撐部的相反一側(cè))從測量元件離開給定距離，形成間 隙。
這時，由與所述壁面相對置的支撐構(gòu)件來支撐所述測量元件，并配置 支撐構(gòu)件，以便在構(gòu)成流體通路的第一壁面和所述支撐構(gòu)件之間以及與第 一壁面相對置的第二壁面和支撐構(gòu)件之間分別構(gòu)成流體流過的流道，并且 測量元件與第一壁面相對置，使外伸板部從第二壁面向支撐構(gòu)件突出，在 外伸板部的頂端部與支撐構(gòu)件之間設(shè)置空隙，并將外伸板從支撐構(gòu)件的上 游延伸到下游。
此外，在測量元件的面方向、并且與流道軸幾乎成為垂直的方向上， 排列形成多個外伸板部。
此外，在測量元件的上游一側(cè)和下游一側(cè)設(shè)置從所述壁面一側(cè)超過外 伸板部的頂端部延伸到測量元件一側(cè)或支撐構(gòu)件一側(cè)的板狀部。
此外，板狀部構(gòu)成由壁面和支撐構(gòu)件支撐的雙支撐板部。
此外，外伸板部和板狀部幾乎成為連續(xù)面。
此外，在板狀部的側(cè)面形成隨著接近測量元件從測量元件一側(cè)向壁面 一側(cè)的凸或凹形狀的引導(dǎo)部。
或者，在板狀部的側(cè)面形成隨著接近支撐構(gòu)件從所述支撐板一側(cè)向第 二壁面的凸或凹形狀的引導(dǎo)部。
此外，外伸板部的根部的板厚比頂端部的板厚形成得更薄。
此外，當(dāng)假設(shè)從外伸板部的頂端部到測量元件的間隔為G，并假設(shè)多 個外伸板部的頂端部的間隔為D時，具有間隔G與間隔D的關(guān)系為G> D的部位。
此外，流體通路形成取入被檢測流體所流過的主通路的流體的一部分的副通路，在副通路內(nèi)具有流道成為直線的直線部、流道在直線部的上 游和下游彎曲的彎曲部，并在直線部設(shè)置了測量元件。
根據(jù)本發(fā)明，向測量元件飛來的水滴或液狀的污損物由在測量元件周 邊形成的板捕獲，以回避測量元件的方式在板的側(cè)面滾動，流到下游，從 而能防止向測量元件的附著或污損，使得高精度的流量測量成為可能。


圖1是表示實施例1的傳感器元件周邊的圖。
圖2是表示實施例1的水滴的移動的圖。
圖3是表示實施例1的水滴的狀態(tài)的圖。
圖4是表示實施例1的測量元件的圖。
圖5是表示實施例1的測量元件的截面和溫度分布的圖。
圖6是表示實施例1的測量元件的驅(qū)動 檢測電路的圖。
圖7是在吸氣管路設(shè)置實施例1的測量元件時的結(jié)構(gòu)圖。
圖8是表示圖7的Y-Y線上的剖視圖。
圖9是表示實施例2的測量元件周邊的剖視圖。
圖10是表示實施例3的測量元件周邊的剖視圖。
圖11是表示實施例4的測量元件周邊的剖視圖。
圖12是表示實施例5的測量元件周邊的剖視圖。
符號的說明。
l一測量元件；2—支撐構(gòu)件；3—對面壁；4、 25—空氣流；5、 36a、 36b、 41一外伸板部；6—間隙;7a、 7b、 37a、 37b—雙支撐板部;8—引 導(dǎo)部；9一基板；IO—絕緣膜；ll一隔膜部；12—發(fā)熱電阻；13a、 13b、 14a、 14b—溫度差傳感器；15—熱敏電阻；16—絕緣保護膜；17—電極焊 盤；18、 19一電阻；20、 22—放大器；21—晶體管；23—吸氣管路；24— 基底構(gòu)件；26—副通路；27—電路基板；28—金線接合引線；29—端子； 30—連接器；31—鋁接合引線；32—蓋構(gòu)件；33—密封劑；34—硅粘合劑； 35—水滴；38—背面壁；39—表流道；40—背流道。
具體實施方式
以下，說明本發(fā)明的實施例。 [實施例1]
圖1 (a)是設(shè)置測量元件1的部位的剖視圖。此外，圖1 (b)是圖1
(a)的X-X線上的剖視圖，圖l (c)是圖l (a)的Y-Y線上的剖視圖。 在支撐構(gòu)件2上形成的矩形的溝中設(shè)置測量元件1。此外，在支撐構(gòu)件2 的對面形成對面壁3。成為測量對象的空氣流4流過這些支撐構(gòu)件2和對 面壁3之間。
在與測量元件1相對置的對面壁3上形成從對面壁3突出的外伸板部 5。在外伸板部5的頂端部和測量元件1之間設(shè)置間隙6。如圖1 (c)所 示，如果對面壁3和外伸板部5由PBT等樹脂一體成形，則制造步驟將簡 化。外伸板部5從測量元件1的上游一側(cè)端部延伸到下游一側(cè)端部。如圖 1 (c)所示，在垂直于空氣流4的流動方向的方向上配置多個外伸板部5。 這里，如果外伸板部5的頂端部和測量元件1的表面的間隙為G，并列設(shè) 置外伸板部5的間隔為D，則優(yōu)選為G>D。這里，G的值是lmm左右， 如果比它小，水滴就在外伸板部5的頂端部和測量元件1的表面之間架橋 附著。
而且，在測量元件1的上游一側(cè)形成從對面壁3突出的雙支撐板部7a。 該雙支撐板部7a構(gòu)成超過外伸板部5的頂端部延伸到測量元件1 一側(cè)的 板狀部。如果雙支撐板部7a與對面壁3 —體成形，則制造步驟將簡化。 這時，雙支撐板部7a的根部成為對面壁3，頂端部與支撐構(gòu)件2接觸，或 者用粘合劑接合?；蛘撸瑢㈦p支撐板部7a和支撐構(gòu)件2—體成形。這時， 也可以是雙支撐板部7a的根部成為支撐構(gòu)件2，頂端部接近對面壁3，或 者用粘合劑接合的構(gòu)造。而且，能以外伸板部5和雙支撐板部7a成為連 續(xù)的一張板的方式一體成形。同樣，在測量元件1的下游一側(cè)也形成雙支 撐板部7b。優(yōu)選雙支撐板部7b與雙支撐板部7a是以測量元件1為中心的 對稱的構(gòu)造。
而且，在雙支撐板部7a、 7b的側(cè)面設(shè)置引導(dǎo)部8。通過在雙支撐板部 7a、 7b的側(cè)面形成溝，構(gòu)成引導(dǎo)部8。隨著接近測量元件l，以朝向?qū)γ?壁一側(cè)引導(dǎo)的方式形成引導(dǎo)部8。此外，形成多個引導(dǎo)部8。引導(dǎo)部8可 以在雙支撐板部的兩側(cè)面形成，但是也可以在單面形成。這里，說明對水滴的附著的本實施例的效果。圖2是表示在本實施例 中，水滴從上游一側(cè)飛來時的水滴的移動的圖。在圖中，如果水滴35從
上游飛來，則碰撞上游一側(cè)的雙支撐板部7a并附著。所附著的水滴，由 于空氣的流動，在雙支撐板部7a的側(cè)面滾動，并向下游一側(cè)移動。這時， 通過在雙支撐板部7a的側(cè)面形成的引導(dǎo)部8，水滴向測量元件1的對面壁 一側(cè)流動。而且，水滴在外伸板部5的側(cè)面滾動，向下游一側(cè)的雙支撐板 部7b移動。如此，水滴由雙支撐板部7a、 7b、外伸板部5捕獲，并向下 游一側(cè)移動，以便避免向測量元件l的附著。 圖3表示圖2的Y-Y截面。
當(dāng)大量的水滴飛來時，由于毛細(xì)管現(xiàn)象，水有可能被引入外伸板部5 的頂端與測量元件1的表面的間隙G的部分。如上所述，外伸板部5的間 隔D與間隙G的關(guān)系形成為D〈G。據(jù)此，與間隙G部相比，向外伸板部 5的D的水的引入力更大，能進一步減少向測量元件1的附著。
在本實施例中，外伸板部5、雙支撐板部7a、 7b是連續(xù)的1張板，但 是外伸板部5和雙支撐板部7a、 7b也可以分離，這些板的側(cè)面形成為具 有幾乎連續(xù)的面。此外，雙支撐板部7a、 7b是固定在兩壁面上的形狀， 但是也可以是固定在任意的一方的壁面上，而與另一方的壁面具有微小的 間隙的結(jié)構(gòu)。此外，引導(dǎo)部8是多個溝并行排列的形狀，但是只要是在雙 支撐板部7a、 7b的側(cè)面形成，并將附著的水滴向?qū)γ姹谝粋?cè)引導(dǎo)的形狀， 就可以是任意的形狀。此外，引導(dǎo)部8在雙支撐板部7a、 7b上形成，但 是也可以在外伸板部5的側(cè)面形成。
下面，說明測量元件1的結(jié)構(gòu)和測量原理。
根據(jù)圖4，說明本實施例的熱式流量計的測量元件1的結(jié)構(gòu)。圖4是 表示測量元件l的俯視圖。此外，圖5表示沿著圖4的X-X線的剖視圖。
在圖4、圖5中，測量元件1的基板9由硅或陶瓷等熱傳導(dǎo)率良好的 材料構(gòu)成。然后，在基板9上形成絕緣膜10，.并通過從背面蝕刻基板9， 在絕緣膜10的下部形成隔膜部11。
在隔膜部11上的絕緣膜10的表面形成發(fā)熱電阻12。將發(fā)熱電阻12 加熱到比空氣流4的溫度高一定溫度。在發(fā)熱電阻12的兩側(cè)形成溫度差 傳感器13a、 13b、 14a、 14b。溫度差傳感器13a、 13b配置在發(fā)熱電阻12的上游一側(cè)，溫度差傳感器14a、 14b配置在發(fā)熱電阻12的下游一側(cè)。此 外，在隔膜部11的外部的絕緣膜10上配置按照空氣流4的溫度電阻值變 化的熱敏電阻15。這些電阻由絕緣保護膜16保護。
優(yōu)選所述的發(fā)熱電阻12、溫度差傳感器13a、 13b、 14a、 14b、熱敏 電阻15由根據(jù)溫度而電阻值變化的電阻溫度系數(shù)比較大的材料形成。因 此，可以用摻雜雜質(zhì)的多晶硅或單晶硅等半導(dǎo)體材料、或鉑、鉬、鎢、鎳 合金等金屬材料形成。
在測量元件1的端部設(shè)置取出所述電阻的電極，并用于與驅(qū)動'檢測 電路連接的由鋁等構(gòu)成的電極焊盤17。
下面，說明測量原理。圖5同時表示測量元件1的截面結(jié)構(gòu)和測量元 件1的表面溫度的分布。實線表示無風(fēng)時的隔膜部H的溫度分布。發(fā)熱 電阻12加熱到比空氣流4的溫度還高△ Th。圖5的虛線是空氣流4發(fā)生 時的隔膜部11的溫度分布。由于空氣流發(fā)生，發(fā)熱電阻12的上游一側(cè)由 空氣流4冷卻，溫度下降，因為通過發(fā)熱電阻12加熱的空氣流過，所以 下游一側(cè)溫度上升。因此，通過用溫度差傳感器13a、 13b、 14a、 14b測 量發(fā)熱電阻12的上下游的溫度，取得與空氣流量對應(yīng)的溫度差A(yù)Ts。
下面，說明測量元件1的驅(qū)動 檢測電路。
圖6表示測量元件1的驅(qū)動 檢測電路。構(gòu)成將由發(fā)熱電阻12和電 阻18構(gòu)成的串聯(lián)電路、由熱敏電阻15和電阻19構(gòu)成的串聯(lián)電路進行了 并聯(lián)的橋接電路。取出這些串聯(lián)電路的中間電壓的差電壓，與放大器20 連接。放大器20的輸出與晶體管21的基極連接。晶體管21的集電極與 電源VB連接，發(fā)射極與發(fā)熱電阻12和熱敏電阻15之間連接，構(gòu)成反饋 電路。
由所述電路控制為保持橋接電路的電阻平衡。如果由于空氣流4的溫 度上升，熱敏電阻15的電阻值增加，則電流就同時流到發(fā)熱電阻12，并 加熱。據(jù)此，熱敏電阻15和發(fā)熱電阻12的電阻平衡保持恒定。即發(fā)熱電 阻對于空氣流的溫度的加熱溫度保持恒定。
然后，構(gòu)成將由溫度差傳感器13a和溫度差傳感器14a構(gòu)成的串聯(lián)電 路、由溫度差傳感器14b和溫度差傳感器13b構(gòu)成的串聯(lián)電路進行了并聯(lián) 的橋接電路，并與基準(zhǔn)電壓Vref連接。如果由于空氣流，在溫度差傳感器
913a 13b和溫度差傳感器14a 14b產(chǎn)生溫度差，則橋接電路的差動電壓 發(fā)生變化，并通過用放大器22檢測，取得與空氣流量對應(yīng)的輸出。
接著，圖7表示用于在汽車等的內(nèi)燃機的吸氣管路內(nèi)安裝測量元件1 的構(gòu)造。在圖7中，以從吸氣管路23的壁面突出的方式設(shè)置基底構(gòu)件24。 在基底構(gòu)件24上形成取入吸氣管路23內(nèi)的空氣流25的一部分的副通路 26。在副通路26內(nèi)的基底構(gòu)件24中形成的矩形的凹部設(shè)置測量元件1。 設(shè)置測量元件1的部分的副通路26是流道成為直線，其上游一側(cè)和下游 一側(cè)成彎曲的形狀。此外，基底構(gòu)件24內(nèi)部設(shè)置搭載了所述驅(qū)動電路的 電路基板27，用金線接合引線28與測量元件1電連接。而且，設(shè)置用于 驅(qū)動電路的電源供給、輸出信號的取出的端子29和連接器30，并用鋁接 合引線31與驅(qū)動電路連接。
圖8表示圖7的Y-Y線上的剖視圖。在基底構(gòu)件24上安裝蓋構(gòu)件32。 以由基底構(gòu)件24和蓋構(gòu)件32夾持的方式形成副通路26。連接測量元件1 和驅(qū)動電路的金線接合引線28由環(huán)氧樹脂等密封劑33保護。蓋構(gòu)件32 和基底構(gòu)件24由硅粘合劑接合。此外，蓋構(gòu)件32和電路板27由硅粘合 劑34接合，并以副通路26內(nèi)的空氣不泄漏到驅(qū)動電路一側(cè)的方式分離。 在蓋構(gòu)件32的構(gòu)成副通路26的部位形成多個突出的板，從而成為所述外 伸板部5。外伸板部5與蓋構(gòu)件32—體成形。
下面，說明實施例2。在本實施例的說明中，就與所述實施例的不同 點加以說明。
圖9表示本實施例的測量元件1的周邊的剖視圖。在測量元件1的對 面形成的外伸板部5，形成為頂端部的厚度T2比根部的厚度T1更薄。即
外伸板部5的截面形狀成為梯形或三角形、或者與此接近的形狀。通過變 為這樣的形狀，取得如下效果，即在外伸板部5之間附著的水滴由于毛細(xì) 管現(xiàn)象而被引向?qū)γ姹谝粋?cè)。因此，能進一步減少水滴向測量元件1的附 著。在本實施例中，也優(yōu)選多個外伸板部5的頂端部的間隔D與外伸板部 5和測量元件1的間隔G的關(guān)系成為D<G。而且，通過成為所述的形狀， 外伸板部5的機械強度得到提高。 [實施例3]下面，說明實施例3。在本實施例的說明中，說明與所述實施例的不
同點。圖10 (a)是設(shè)定測量元件1的部位的剖視圖。此外，圖10 (b) 是圖1 (a)的X-X線上的剖視圖。在圖10 (a)中，在測量元件l的對面 形成從對面壁3突出的外伸板部5，而且，在測量元件1的上游和下游設(shè) 置從設(shè)置測量元件1的一側(cè)的支撐構(gòu)件2突出的外伸板部36a、 36b。設(shè)置 多個這些板，且外伸板部5和外伸板部36a、 36b接近，從而它們的側(cè)面 成為幾乎連續(xù)的同一面。而且，在外伸板部36a、 36b的側(cè)面形成引導(dǎo)部8。
在這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，在外伸板部36a附著的水滴通過引導(dǎo)部8向 對面壁一側(cè)移動。由于外伸板部36a和外伸板部5的間隙微小，所以水滴 向外伸板部5移動。進而，水滴向外伸板部36b移動。如此，即使外伸板 部5與外伸板部36a、 36b分離，通過接近，能取得同樣的效果。
說明本實施例的優(yōu)點。在實施例1中，在測量元件1的上游和下游形 成的雙支撐板部8a、 8b為雙支撐，所以至少在單方的壁面有必要用粘合 劑接合。在本實施例中，外伸板部36a、 36b為外伸構(gòu)造，沒有接合的必 要，制造步驟簡化。
下面，說明實施例4。在本實施例的說明中，說明與所述實施例的不 同點。圖11 (a)是設(shè)置測量元件1的部位的剖視圖。此外，圖11 (b) 是圖11 (a)的X-X線上的剖視圖。在圖11中，設(shè)置從測量元件1的對 面壁3突出的外伸板部5。在測量元件1的上游和下游形成由設(shè)置測量元 件1的一側(cè)的支撐構(gòu)件2和對面壁3而支撐的雙支撐板部37a、 37b。根據(jù) 圖11 (b)，說明外伸板部5與雙支撐板部37a、 37b的關(guān)系。在測量元件 1的面方向并且垂直于流道軸的方向上設(shè)置多個外伸板部5。也同樣設(shè)置 多個雙支撐板部37a、 37b。而且，當(dāng)從圖ll (b)中的Z方向觀察時，是 以具有外伸板部5和雙支撐板部37a重疊的部分的方式交替設(shè)置的。雙支 撐板部37b也同樣。而且，在雙支撐板部37a、 37b的側(cè)面設(shè)置引導(dǎo)部8。
說明在以上的結(jié)構(gòu)中水滴從上游一側(cè)飛來的情形。飛來的水滴附著到 雙支撐板部37a。附著的水滴通過在雙支撐板部37a的側(cè)面設(shè)置的引導(dǎo)部 8 —邊向?qū)γ姹谝粋?cè)移動， 一邊向下游一側(cè)流動。如果到達(dá)雙支撐板部37a 和外伸板部5重疊的部分，水滴就附著到雙支撐板部37a和外伸板部5的
ii兩側(cè)面。然后，從雙支撐板部37a離開，向外伸板部5移動。水滴在外伸 板部5的側(cè)面滾動，并向下游一側(cè)移動。如此，雖然外伸板部5和雙支撐 板部37a、 37b分離，但是能避免水滴的附著。
說明本實施例的優(yōu)點。在本實施例中，交替設(shè)置外伸板部5和雙支撐 板部37a、 37b，所以能減少形成的板的個數(shù)。據(jù)此，能簡化外伸板部5和 雙支撐板部37a、 37b的形成工序。
本實施例的雙支撐板部37a、 37b是由支撐構(gòu)件2和對面壁3支撐的 構(gòu)造，但是也可以是從支撐構(gòu)件2突出的外伸板。
下面，說明實施例5。在本實施例的說明中，說明與所述實施例的不 同點。圖12 (a)是設(shè)置測量元件1的部位的剖視圖。此外，圖12 (b) 是圖12 (a)的Y-Y線上的剖視圖。圖12 (a)、圖12 (b)中，在支撐構(gòu) 件2形成矩形的凹部中配置測量元件1。而且，支撐構(gòu)件2配置為從流體 流過的通路的內(nèi)壁浮出。而且，以與支撐構(gòu)件2的設(shè)置測量元件1的面(表 面)相對置的方式設(shè)置對面壁3。而且，在支撐構(gòu)件2的背面一側(cè)設(shè)置背 面壁38。據(jù)此，流道分支為流過支撐構(gòu)件2的表面的表流道39和流過支 撐構(gòu)件2的背面的背流道40。構(gòu)成為在支撐構(gòu)件2上游一側(cè)分支的流道在 支撐構(gòu)件2的下游一側(cè)合流。
在如所述那樣構(gòu)成的流道中，設(shè)置多個從背面壁突出的外伸板部41， 并且還從比所述流道的分支點更上游開始延伸到比所述流道的合流點更 下游一側(cè)。此外，流道的分支點的上游一側(cè)的外伸板部41形成為與對面 壁3接近或接合。此外，在外伸板部41的側(cè)面形成隨著接近測量元件1 而朝向背面壁38引導(dǎo)的引導(dǎo)部8。此外，在外伸板部41與支撐構(gòu)件2之
間設(shè)置間隙。
對在以上的結(jié)構(gòu)中水滴從上游一側(cè)飛來的情形進行說明。飛來的水滴 附著到外伸板部41的上游一側(cè)。附著的水滴通過在外伸板部41的側(cè)面設(shè) 置的引導(dǎo)部8， 一邊向背面壁38—側(cè)移動， 一邊向下游一側(cè)流動。然后， 水滴在外伸板部41的側(cè)面滾動，并向下游一側(cè)移動。通過這樣形成外伸 板部41，能防止水滴向設(shè)置測量元件1的表流道39的進入。
權(quán)利要求
1.一種熱式流量計，在流體通路內(nèi)配置在基板表面一側(cè)形成了發(fā)熱電阻和測溫電阻的測量元件，來測量流量，其特征在于設(shè)置從與所述測量元件的表面相對置的流體通路的壁面向所述測量元件一側(cè)突出的外伸板部，在所述外伸板部的突出方向的頂端部與所述測量元件之間設(shè)置間隙，并將所述外伸板部從所述測量元件的上游延伸到下游。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱式流量計，其特征在于 由與所述壁面相對置的支撐構(gòu)件來支撐所述測量元件， 配置所述支撐構(gòu)件，以便在構(gòu)成所述流體通路的第一壁面和所述支撐構(gòu)件之間以及與所述第一壁面相對置的第二壁面和所述支撐構(gòu)件之間分 別構(gòu)成流體流過的流道，并且所述測量元件與所述第一壁面相對置，使所述外伸板部從所述第二壁面向所述支撐構(gòu)件突出，在所述外伸板 部的頂端部與所述支撐構(gòu)件之間設(shè)置所述空隙，并將所述外伸板從所述支 撐構(gòu)件的上游延伸到下游。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱式流量計，其特征在于 在所述測量元件的面方向、并且與流道軸幾乎成為垂直的方向上，排列形成多個所述外伸板部。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱式流量計，其特征在于 在所述測量元件的上游一側(cè)和下游一側(cè)設(shè)置從所述壁面一側(cè)超過所述外伸板部的頂端部延伸到所述測量元件一側(cè)或所述支撐構(gòu)件一側(cè)的板 狀部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱式流量計，其特征在于 所述板狀部構(gòu)成由所述壁面和所述支撐構(gòu)件支撐的雙支撐板部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的熱式流量計，其特征在于 所述外伸板部和所述板狀部幾乎成為連續(xù)面。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的熱式流量計，其特征在于 在所述板狀部的側(cè)面形成隨著接近所述測量元件從所述測量元件一側(cè)向所述壁面一側(cè)的凸或凹形狀的引導(dǎo)部。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱式流量計，其特征在于在所述板狀部的側(cè)面形成隨著接近所述支撐構(gòu)件從所述支撐板一側(cè) 向所述第二壁面的凸或凹形狀的引導(dǎo)部。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱式流量計，其特征在于 所述外伸板部的根部的板厚比頂端部的板厚形成得更薄。
10. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱式流量計，其特征在于 當(dāng)假設(shè)從所述外伸板部的頂端部到所述測量元件的間隔為G，并假設(shè)所述多個外伸板部的頂端部的間隔為D時，具有所述間隔G與所述間隔D 的關(guān)系為G〉D的部位。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱式流量計，其特征在于所述流體通路形成取入被檢測流體所流過的主通路的流體的一部分 的副通路，在所述副通路內(nèi)，具有流道成為直線的直線部、流道在所述直線部 的上游和下游彎曲的彎曲部，在所述直線部設(shè)置了所述測量元件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種減少水滴向測量元件的附著，并能進行高精度的計測的熱式流量計。該熱式流量計，通過在基板表面一側(cè)形成了發(fā)熱電阻、測溫電阻的測量元件(1)來測量流量，其中，設(shè)置與測量元件(1)的表面相對置的對面壁(3)，設(shè)置從對面壁(3)向測量元件(1)一側(cè)突出的外伸板部(5)，在外伸板部(5)的頂端和測量元件(1)之間設(shè)置間隙(6)，外伸板部(5)從測量元件(1)的上游延伸到下游。
文檔編號G01K7/16GK101551261SQ200910006480
公開日2009年10月7日 申請日期2009年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月31日
發(fā)明者中野洋, 半澤惠二, 松本昌大 申請人:株式會社日立制作所