專利名稱：一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造中光刻工藝的控制方法，尤其涉及一種風(fēng)車型劃片槽 的旋轉(zhuǎn)測試方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造中，通常使用光刻技術(shù)在硅片上旋涂光刻膠，然后利用光罩進(jìn)行曝 光顯影的工藝進(jìn)行設(shè)計圖形向硅片的轉(zhuǎn)移。而實際生產(chǎn)使用的硅片尺寸遠(yuǎn)大于單個芯片的 尺寸，因此在實際生產(chǎn)中會把芯片整合為一個合適尺寸的基本曝光單元制作光罩，然后進(jìn) 行反復(fù)多次曝光來覆蓋整個硅片，最后通過劃片切割做好的硅片得到單個芯片。因此一個 最基本的曝光單元會包含設(shè)計圖形和劃片槽兩部分。現(xiàn)有的工藝中，劃片槽的設(shè)計通常為如圖3所表示的與主要圖形單元一樣長度且 具有一定寬度的長方形，然后曝光時通過相鄰兩曝光單元的交疊產(chǎn)生將來進(jìn)行劃片用的空 間。在實際的曝光過程中，由于光罩平臺和曝光平臺之間的校準(zhǔn)存在差異，有時候會 出現(xiàn)光罩平臺相對于曝光平臺的旋轉(zhuǎn)，此時曝光圖形會產(chǎn)生如圖6所表示的相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)， 此時會導(dǎo)致最終形成的劃片槽大小產(chǎn)生差異或原本應(yīng)該在硅片上形成不同曝光單元一直 線排列的準(zhǔn)直度不好，導(dǎo)致最終劃片無法進(jìn)行，因此在曝光完成后通常需要做圖形是否存 在旋轉(zhuǎn)的檢查?，F(xiàn)有的劃片槽的設(shè)計由于劃片槽的拼接與劃片方向一致，因此通常使用如圖4所 表示的游標(biāo)類型圖形進(jìn)行檢測，此時如果發(fā)生圖形旋轉(zhuǎn)，其造成的圖形偏移方向與劃片方 向一致，因此可以利用游標(biāo)是否重合來檢查是否有圖形旋轉(zhuǎn)。隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)集成度的提高，現(xiàn)有的劃片槽設(shè)計由于劃片槽內(nèi)許多檢測圖形拼 接形成，因此對兩個半邊寬度有一定的限制，導(dǎo)致最終的寬度無法適應(yīng)高密度集成所要求 的更小尺寸的劃片槽要求，因此一種新型的風(fēng)車型設(shè)計被使用了，其設(shè)計如圖1和圖2所表 示。它和普通的劃片槽(見圖3和圖4)相比，拼接方向發(fā)生了 90度旋轉(zhuǎn)，使拼接的區(qū)域降 到最低，劃片槽內(nèi)的測試圖形不需要進(jìn)行拼接，可以直接形成，大大降低了對劃片槽寬度的 要求，可以產(chǎn)生更小的劃片槽以滿足高密度集成的需求。但是由于拼接方向發(fā)生了 90度旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致圖形發(fā)生旋轉(zhuǎn)時，其實際偏移方向不再 與拼接方向一致，因此現(xiàn)有的方法無法檢測到圖形旋轉(zhuǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，該方法能實 現(xiàn)風(fēng)車型劃片槽的硅片曝光過程進(jìn)行圖形旋轉(zhuǎn)檢查。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，包括如下 步驟(1)產(chǎn)生兩個鏡像對稱且互補(bǔ)的圖像作為旋轉(zhuǎn)測試圖樣；
(2)將兩個圖像分別放置在風(fēng)車型劃片槽的兩端；(3)曝光完成后檢查相鄰兩曝光單元曝光后重合的兩個檢測圖形確定是否存在曝 光單元旋轉(zhuǎn)。所述旋轉(zhuǎn)測試圖樣由4個圖形A1、A2、B1、B2產(chǎn)生，其中A1，A2產(chǎn)生其中一個圖像， Bl，B2產(chǎn)生另一個圖像，其中A1和Bl，A2和B2為鏡像對稱；在圖形屬性上，Al、B2圖形屬 性相同，A2、B1圖形屬性相同，A1、B2與A2、B1圖形屬性相反。所述A1，A2，B1，B2可以為任意的中心對稱圖形或鏡像對稱圖形，如圓形、三角形、
矩形等。所述A1和A2，B1和B2的關(guān)系可以為中心對稱圖形或鏡像對稱圖形，如圓形、三角
形、矩形等。所述A1和A2，B1和B2的關(guān)系可以為非中心對稱圖形或非鏡像對稱圖形，且A1和 A2，B1和B2必須相交。步驟(2)中旋轉(zhuǎn)測試圖樣放置在劃片槽上的位置必須保證曝光后在無曝光流程 異常的情況下，A1和Bl, A2和B2相交。步驟(3)中使用光學(xué)顯微鏡與正常圖形對比進(jìn)行目檢。步驟(3)中使用光學(xué)顯微鏡結(jié)合圖象探測設(shè)備測量A1和B1，A2和B2之間的距離 來進(jìn)行檢查。步驟(3)中使用電子顯微鏡設(shè)備測量A1和Bl，A2和B2之間的距離來進(jìn)行檢查。和現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果因為風(fēng)車型劃片槽的拼接方法與現(xiàn) 存的其他拼接有很大的差異，拼接方法產(chǎn)生了 90度旋轉(zhuǎn)，因此現(xiàn)有的游標(biāo)法由于檢查方向 發(fā)生了變化，已經(jīng)無法檢測到圖形旋轉(zhuǎn)。使用本發(fā)明的方法可以適應(yīng)風(fēng)車型劃片槽與普通 劃片槽的拼接方向旋轉(zhuǎn)的特點，對曝光圖形是否存在旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢查，該方法簡單易行，可快 速有效地檢查出風(fēng)車型劃片槽的硅片曝光過程是否存在圖形旋轉(zhuǎn)。


圖1是現(xiàn)有風(fēng)車型劃片槽曝光流程示意圖；圖2是基于游標(biāo)法的現(xiàn)有風(fēng)車型劃片槽示意圖；圖3是普通劃片槽曝光流程示意圖；圖4是基于游標(biāo)法的普通劃片槽示意圖；圖5是本發(fā)明使用的旋轉(zhuǎn)測試圖樣示意圖；圖6是曝光圖形產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)時的示意圖；圖7是本發(fā)明旋轉(zhuǎn)檢查圖形在曝光單元產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)時的示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。本發(fā)明利用兩個互補(bǔ)圖形重疊時產(chǎn)生的視覺差異，利用風(fēng)車型劃片槽曝光后，相 鄰曝光單元劃片槽互相拼接的特點，使用一組鏡像對稱且互補(bǔ)的圖像分別放置在曝光單元 的不同方向的劃片槽上，通過曝光后產(chǎn)生的互相拼接的圖像，可以直觀的通過顯微鏡目測 檢查是否存在圖形旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，包括如下步驟1)產(chǎn)生一組兩個鏡像對稱且互補(bǔ)的圖像作為旋轉(zhuǎn)測試圖樣。如圖5所示，該旋轉(zhuǎn) 測試圖樣由4個圖形A1、A2、B1、B2產(chǎn)生，其中Al，A2產(chǎn)生其中一個圖像，Bl，B2產(chǎn)生另一 個圖像，其中A1和Bl，A2和B2為鏡像對稱。在圖形屬性上，Al，B2圖形屬性相同，A2，B1 圖形屬性相同，Al，B2與A2，B1圖形屬性相反。Al，A2，Bl, B2可以為任意的中心對稱圖形 或鏡像對稱圖形，如圓形，三角形，矩形等(圖5以矩形為例)。A1和A2，B1和B2的關(guān)系可 以為中心對稱圖形或鏡像對稱圖形，如圓形，三角形，矩形等(圖5以矩形為例)。A1和A2， B1和B2的關(guān)系可以為非中心對稱圖形或非鏡像對稱圖形，但A1和A2，B1和B2必須相交。2)將兩個鏡像對稱且互補(bǔ)的圖像(旋轉(zhuǎn)測試圖樣)分別放置在風(fēng)車型劃片槽的兩 端。其中，旋轉(zhuǎn)測試圖樣放置在劃片槽上的位置必須保證曝光后在無曝光流程異常的情況 下，A1和Bl, A2和B2可以相交。3)曝光完成后檢查相鄰兩曝光單元曝光后重合的兩個檢測圖形確定是否存在曝 光單元旋轉(zhuǎn)。該步驟可以使用光學(xué)顯微鏡與正常圖形進(jìn)行對比進(jìn)行目檢，或者可以使用光 學(xué)顯微鏡結(jié)合圖象探測設(shè)備測量A1和Bl，A2和B2之間的距離來進(jìn)行檢查，也可以使用電 子顯微鏡等設(shè)備測量A1和Bl，A2和B2之間的距離來進(jìn)行檢查。如圖7所示，按本發(fā)明測 試方法，風(fēng)車型劃片槽通過曝光后產(chǎn)生的互相拼接的圖像，可以直觀地通過顯微鏡目測檢 查，如圖7顯示該旋轉(zhuǎn)檢查圖形在曝光單元已產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求
一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是包括如下步驟(1)產(chǎn)生兩個鏡像對稱且互補(bǔ)的圖像作為旋轉(zhuǎn)測試圖樣；(2)將兩個圖像分別放置在風(fēng)車型劃片槽的兩端；(3)曝光完成后檢查相鄰兩曝光單元曝光后重合的兩個檢測圖形確定是否存在曝光單元旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是所述旋轉(zhuǎn)測 試圖樣由4個圖形Al、A2、BUB2產(chǎn)生，其中Al，A2產(chǎn)生其中一個圖像，Bl，B2產(chǎn)生另一個 圖像，其中A1和B1，A2和B2為鏡像對稱；在圖形屬性上，A1、B2圖形屬性相同，A2、B1圖形 屬性相同，A1、B2與A2、B1圖形屬性相反。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是所述Al，A2， Bl，B2為任意的中心對稱圖形或鏡像對稱圖形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是所述A1和 A2，B1和B2的關(guān)系為中心對稱圖形或鏡像對稱圖形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是所述A1和 A2，B1和B2的關(guān)系為非中心對稱圖形或非鏡像對稱圖形，且A1和A2，B1和B2相交。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是所述中 心對稱圖形或鏡像對稱圖形為圓形、三角形或矩形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是步驟(2)中 旋轉(zhuǎn)測試圖樣放置在劃片槽上的位置必須保證曝光后在無曝光流程異常的情況下，A1和 Bl, A2禾口 B2相交。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是步驟(3)中 使用光學(xué)顯微鏡與正常圖形對比進(jìn)行目檢。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是步驟(3)中 使用光學(xué)顯微鏡結(jié)合圖象探測設(shè)備測量A1和Bl，A2和B2之間的距離來進(jìn)行檢查。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，其特征是步驟(3)中 使用電子顯微鏡設(shè)備測量A1和Bl，A2和B2之間的距離來進(jìn)行檢查。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種風(fēng)車型劃片槽的旋轉(zhuǎn)測試方法，該方法利用風(fēng)車型劃片槽曝光后，相鄰曝光單元劃片槽互相拼接的特點，使用一組鏡像對稱且互補(bǔ)的圖像作為旋轉(zhuǎn)測試圖樣分別放置在曝光單元的不同方向的劃片槽上，通過曝光后產(chǎn)生的互相拼接的圖像，可以直觀的通過顯微鏡目測檢查是否存在圖形旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明可快速有效地檢查出風(fēng)車型劃片槽的硅片曝光過程是否存在圖形旋轉(zhuǎn)。
文檔編號G01B11/02GK101865706SQ200910057080
公開日2010年10月20日 申請日期2009年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月16日
發(fā)明者王雷 申請人:上海華虹Nec電子有限公司