專利名稱：適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路及其測(cè)頻電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及倍頻及測(cè)頻的電路，特別涉及一種適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路及其測(cè)頻電路。
背景技術(shù)：
掃描力顯微鏡是目前人類探索微觀領(lǐng)域物質(zhì)結(jié)構(gòu)及性質(zhì)的最重要的工具之一。當(dāng)探針掃描樣品時(shí)，探針與樣品表面的作用力的變化會(huì)使得帶動(dòng)探針振蕩的微桿(cantilever)的共振頻率發(fā)生微小變化。掃描力顯微鏡通過(guò)測(cè)頻電路探測(cè)微桿共振頻率的變化來(lái)感知樣品表面的結(jié)構(gòu)或性質(zhì)。鎖相環(huán)便是掃描力顯微鏡常用的測(cè)頻電路，其頻率分辨率越高，掃描力顯微鏡的探測(cè)精度就越高，成像質(zhì)量越好，也越能探測(cè)到更微弱的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)，甚至亞原子結(jié)構(gòu)。
理論上，測(cè)頻電路前串聯(lián)一個(gè)倍頻電路，其頻率分辨率高于單純測(cè)頻屯路的頻率分辨率，因?yàn)楸粶y(cè)信號(hào)的頻率被倍頻電路放大了 ?，F(xiàn)有用于倍頻的電路有很多種，然而由于不同的原因，當(dāng)其應(yīng)用于鎖相環(huán)時(shí)并不能大幅提高其頻率分辨率，例如乘法器倍頻， 一個(gè)乘法器倍頻的倍數(shù)太小(兩倍)，多個(gè)乘法器串聯(lián)時(shí)又會(huì)引起波形畸變及較大的電路噪音；另一種是利用非線性的方法從方波中提取高次諧波，這種方法也不能獲得無(wú)畸變的高次倍頻，因?yàn)橄噜徶C波的頻率間隔小，后面的帶通濾波器很難將相鄰的諧波濾除而只保留想要的高次諧波，所得高次諧波的畸變較大；其它可以提供較高頻率倍數(shù)的電路乂由于電路結(jié)構(gòu)復(fù)雜而引入較大的噪音或畸變，也不能有效提高測(cè)頻電路的分辨率。
目前，我們所能夠調(diào)研到的商業(yè)掃描力顯微鏡測(cè)頻電路中最高頻率分辨率為0.05Hz (瑞士 Nanosurf公司生產(chǎn)的EasyPLL)，這個(gè)分辨率可以使掃描力顯微鏡出原子分辨率圖像，但是要想觀察到比原子更精細(xì)的微觀結(jié)構(gòu)和微觀效應(yīng)，還須進(jìn)-歩提高掃描力顯微鏡測(cè)頻電路的頻率分辨率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了提高現(xiàn)有掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的頻率分辨率，提出一種適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路及其測(cè)頻電路。
本發(fā)明解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是
本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路，其特征在于包括乘法器、第一 比較器和第-帶通濾波器，乘法器的兩輸入端短接構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻
3電路的輸入端，乘法器的輸出端接第一比較器的輸入端，第一比較器的輸出端接第一帶通濾 波器的輸入端，第一帶通濾波器的輸出端構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電 路的輸出端。
本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路，其特征也在于-
所述乘法器與第一比較器之間增設(shè)高通濾波器、帶通濾波器或者任何具有濾除直流通過(guò) 交流功能的電路或器件。
所述第一帶通濾波器是多反饋帶通濾波器(Multiple Feedback Bandpass Filter)、晶體濾波 器或其它任何具有帶通濾波功能的電路或器件。
本發(fā)明一種用所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征在 于還包括鎖相環(huán)，所述本發(fā)明的倍頻電路的輸出端接鎖相環(huán)的輸入端，鎖相環(huán)內(nèi)壓控振蕩器 的電壓控制端構(gòu)成此測(cè)頻電路的輸出端。
本發(fā)明一種用所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征也
在于
所述鎖相環(huán)內(nèi)壓控振蕩器是壓控晶休振蕩器(Voltage Controlled Crystal OsciUator)。
增設(shè)差分放大器，本發(fā)明所述測(cè)頻電路的輸出端接差分放大器的一個(gè)輸入端，差分放大 器的另一個(gè)輸入端接參考電壓，差分放大器的輸出端構(gòu)成本發(fā)明測(cè)頻電路的輸出端。 所述鎖相環(huán)或差分放大器的輸出端接低通濾波器。
所述本發(fā)明的測(cè)頻電路中倍頻電路與鎖相環(huán)之間增設(shè)第二乘法器和IT.弦信號(hào)產(chǎn)生器，本 發(fā)明的倍頻電路的輸出端接第二乘法器的一個(gè)輸入端，正弦信號(hào)產(chǎn)生器的輸出端接第二乘法 器的另一個(gè)輸入端，第二乘法器的輸出端接鎖相環(huán)的輸入端。
所述第二乘法器與鎖相環(huán)之間增設(shè)帶通濾波器、低通濾波器或高通濾波器。 本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路及其測(cè)頻電路的工作原理為 輸入信號(hào)經(jīng)乘法器后頻率加倍，該二倍頻信號(hào)經(jīng)比較器轉(zhuǎn)為方波，第一帶通濾波器濾出
該方波的某一高次諧波，得N倍倍頻信號(hào)(N大于2)，構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率 監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸出信號(hào)。由于該方波的基頻被乘法器放大成輸入信號(hào)頻率的兩倍，所以 該方波的各相鄰諧波間的頻率間隔也被放大，這使得后面的第帶通濾波器能夠讓選定倍頻 的諧波通過(guò)，而將不需要的諧波，特別是選定諧波的相鄰諧波較為徹底地濾除。如此獲選通 過(guò)的諧波因?yàn)榛烊氲钠渌C波很少，所以波形畸變較小，利于獲取較t^倍數(shù)的、高穩(wěn)定低畸 變的倍頻信號(hào)，也利于后面的測(cè)頻率電路準(zhǔn)確地測(cè)出該倍頻的頻率。倍頻倍數(shù)N的提高和準(zhǔn) 確測(cè)出該倍頻的頻率都能提高頻率測(cè)量的信噪比和分辨率。由于該倍頻電路的結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單， 所以不會(huì)帶來(lái)明顯的額外電子學(xué)噪音或畸變。
4上述本發(fā)明的倍頻電路與鎖相環(huán)前后連接就構(gòu)成本發(fā)明的測(cè)頻電路，可將頻率信號(hào)轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào)輸出。如果鎖相環(huán)自身對(duì)頻率變化A/的電壓響應(yīng)為AU，那么本發(fā)明的測(cè)頻電路對(duì)頻率變化A/的電壓響應(yīng)將是AUxN，提高了測(cè)頻分辨率。
由上述工作原理可以看出(1)為了濾除乘法器輸出信號(hào)中的直流分量，可在本發(fā)明倍頻電路中的乘法器與第一 比較器之間增設(shè)高通濾波器或帶通濾波器等任何具有阻直流通交流功能的電路或器件。(2)本發(fā)明倍頻電路中的第一帶通濾波器可以是多反饋帶通濾波器、晶體濾波器或任何具有帶通濾波功能的電路。(3)本發(fā)明測(cè)頻電路中鎖相環(huán)內(nèi)的壓控振蕩器可以是壓控晶體振蕩器，以利用壓控晶體振蕩器熱穩(wěn)定性好的特性來(lái)減小由于熱漂移而引起的噪音。(4)為了使輸出信號(hào)過(guò)零或?qū)敵稣{(diào)零，可增設(shè)差分放大器，本發(fā)明測(cè)頻電路的輸出端接差分放大器的一個(gè)輸入端，差分放大器的另一個(gè)輸入端接參考電壓，差分放大器的輸出端構(gòu)成本發(fā)明測(cè)頻電路的輸出端。(5)為了進(jìn)一步降低本發(fā)明測(cè)頻電路的輸出噪音，可在本發(fā)明測(cè)頻電路的鎖相環(huán)或差分放大器的輸出端接低通濾波器。(6)當(dāng)本發(fā)明倍頻電路的輸出信號(hào)頻率不在鎖相環(huán)鎖定范圍之內(nèi)時(shí)，可在本發(fā)明測(cè)頻電路的倍頻電路與鎖相環(huán)之間增設(shè)第二
乘法器，該第二乘法器的另一輸入端接正弦信號(hào)產(chǎn)生器輸出，通過(guò)調(diào)節(jié)正弦信號(hào)產(chǎn)生器輸出信號(hào)的頻率使得第二乘法器輸出的兩個(gè)頻率中有一個(gè)位于鎖相環(huán)的鎖定范圍之內(nèi)。(7)為了濾除第二乘法器輸出兩個(gè)頻率中不在鎖相環(huán)鎖定范圍內(nèi)的那個(gè)，可以在本發(fā)明測(cè)頻電路中第二乘法器與鎖相環(huán)之間增設(shè)帶通濾波器、低通濾波器或高通濾波器或者任何可實(shí)現(xiàn)這一 目的
的電路或器件。
與現(xiàn)有類似倍頻技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于
(1) 增加了方波各諧波中相鄰諧波間的頻率間隔，便于其后一級(jí)帶通濾波器輸出低畸變的高次倍頻信號(hào)；
(2) ，于獲得較高倍數(shù)的倍頻信號(hào)。
(3) 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，額外產(chǎn)生的噪音與畸變小。
(4) 成本大大低于現(xiàn)有的商業(yè)產(chǎn)品。
(5) 我們將本發(fā)明的倍頻電路應(yīng)用于《科學(xué)儀器評(píng)論》(Review of Scientific Instruments)第72期第4383頁(yè)的測(cè)頻電路，將原先的0.1Hz頻率分辨率提高到了好于0.01Hz。比目前我們所能夠調(diào)研到的任何一種商業(yè)掃描力顯微鏡測(cè)頻電路都要好很多，見(jiàn)附圖5、 6、 7和8。


圖1是本發(fā)明基本型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路示意圖。
5圖2是本發(fā)明含高通濾波器型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路示意圖。 圖3是本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的基本型測(cè)頻電路示意圖。 圖4是本發(fā)明含移頻電路的測(cè)頻電路示意圖。
圖5是本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路在較大范圍內(nèi)的 頻率響應(yīng)。
圖6是本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路在較小范圍內(nèi)的 頻率響應(yīng)。
圖7是本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路在時(shí)間域的頻率 響應(yīng)，圖中前三個(gè)臺(tái)階的相鄰頻率間隔分別為0.01Hz，后面兩個(gè)臺(tái)階的頻率間隔分 別為O. 02Hz。
圖8是本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路測(cè)量到的0. 01Hz 頻率間隔多次測(cè)量高斯分布曲線，顯示出頻率分辨率好于0. 01Hz。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例1:基本型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路。
圖1是基本型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路示意圖，包括乘法器l，其特征
是還包括第一比較器2和第一帶通濾波器3，乘法器1的兩輸入端短接構(gòu)成本發(fā)明適用于掃 描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸入端A,，乘法器1的輸出端接第一比較器2的輸入端， 第一比較器2的輸出端接第一帶通濾波器3的輸入端，第一帶通濾波器3的輸出端構(gòu)成本發(fā) 明基本型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸出端/。ut。 本實(shí)施例的工作原理如下
輸入信號(hào)經(jīng)輸入端/m送入乘法器1后頻率加倍，該二倍頻信號(hào)經(jīng)第一比較器2轉(zhuǎn)成方波 信號(hào)，第一帶通濾波器3濾出該方波的某一高次諧波經(jīng)輸出端/。ut輸出，即得輸入信號(hào)的倍 頻信號(hào)。由于這里方波的基頻被乘法器1放大成輸入信號(hào)頻率的兩倍，所以該方波的各相鄰 諧波間的頻率間隔也被放大，這使得后面的第一帶通濾波器3能夠較為徹底地濾除不需要的 諧波，特別足選定諧波的相鄰諧波，而只讓選定倍頻的諧波通過(guò)。如此獲選通過(guò)的諧波因?yàn)?不混有其它諧波，所以波形畸變較小，利于獲取較高倍數(shù)的倍頻，也利于后面的測(cè)頻率屯路 準(zhǔn)確地測(cè)出該倍頻的頻率。倍頻倍數(shù)N的提高和準(zhǔn)確測(cè)出該倍頻的頻率都能提高頻率測(cè)量的 信噪比和分辨率。由于該倍頻電路的結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單，所以不會(huì)帶來(lái)明顯的額外電子學(xué)噪音或畸 變。由上述工作原理可看出乘法器1的作用是使輸入頻率加倍，所以它也可以是任何具有頻率加倍功能的電路或器件；第一比較器2的作用是將輸入的正弦波轉(zhuǎn)換為方波，所以它可以是比較器或者任何具有將正弦波轉(zhuǎn)換為方波功能的電路或器件；第一帶通濾波器3可以是多反饋帶通濾波器、晶體濾波器或任何具有帶通濾波功能的電路或器件。
實(shí)施例2:含高通濾波器型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路。
圖2是含高通濾波器型適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路示意圖，在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上在乘法器1和第一比較器2之間增設(shè)了第一高通濾波器4。
工作時(shí)，信號(hào)經(jīng)輸入端/in送入乘法器l進(jìn)行二倍頻，第一高通濾波器4濾除二倍頻時(shí)產(chǎn)生的直流分量，第一比較器2將二倍頻信號(hào)轉(zhuǎn)換成方波信號(hào)，第一帶通濾波器3濾出此方波信號(hào)的高次諧波經(jīng)輸出端/。ut輸出，即得輸入信號(hào)的倍頻信號(hào)。
所述第一高通濾波器4的作用是濾除乘法器1輸出信號(hào)中的直流分量，所以它還可以是帶通濾波器或者任何具有濾除直流通過(guò)交流功能的電路或器件。
實(shí)施例3:適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的基本型測(cè)頻電路。
圖3是適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的基本型測(cè)頻電路示意圖，上述實(shí)
施例中的倍頻電路的輸入端/in構(gòu)成本實(shí)施例測(cè)頻電路的輸入端，其輸出端接鎖相環(huán)5的輸入
端，鎖相環(huán)5的輸出端構(gòu)成本實(shí)施例測(cè)頻電路的輸出端U。IU。
工作時(shí)，信號(hào)經(jīng)輸入端/,n進(jìn)入所述倍頻電路得N倍倍頻信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)鎖相環(huán)5轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出。
實(shí)施例4:鎖相環(huán)壓控振蕩器為壓控晶體振蕩器的測(cè)頻電路。
在上述實(shí)施例3中，鎖相環(huán)5內(nèi)壓控振蕩器可以是壓控晶體振蕩器，以利用壓控晶體振蕩器熱穩(wěn)定好的特點(diǎn)來(lái)減小由于熱漂移而引起的噪音。
實(shí)施例5:含差分放大電路的測(cè)頻電路。
為了使得輸出信號(hào)過(guò)零，或?qū)敵稣{(diào)零，可在上述實(shí)施例3與4中增設(shè)差分放大器，所述測(cè)頻電路的輸出端U一接差分放大器的一個(gè)輸入端，差分放大器的另一個(gè)輸入端接參考電壓實(shí)施例6:含低通濾波器的測(cè)頻電路。
上述實(shí)施例所述測(cè)頻電路的輸出端可增設(shè)低通濾波器用干進(jìn)一步降低本發(fā)明測(cè)頻電路的 輸出噪音，該低通濾波器的輸出端構(gòu)成此測(cè)頻電路的輸出端。
實(shí)施例7:含移頻電路的測(cè)頻電路。
圖4是本實(shí)施例含移頻電路的測(cè)頻電路示意圖，包括鎖相環(huán)5以及實(shí)施例1與2所述的
倍頻電路，其特征是還包括第二乘法器6，正弦信號(hào)產(chǎn)生器7，所述倍頻電路輸入端/in構(gòu)成
本實(shí)施例測(cè)頻電路的輸入端，所述倍頻電路的輸出端接第二乘法器6的一個(gè)輸入端，正弦信 號(hào)產(chǎn)生器7的輸出端接第二乘法器6的另一個(gè)輸入端，第二乘法器6的輸出端接鎖相環(huán)5的 輸入端，鎖相環(huán)5內(nèi)壓控振蕩器的電壓控制端構(gòu)成本實(shí)施例測(cè)頻電路的輸出端U。ut。
工作時(shí)，輸入信號(hào)經(jīng)輸入端/,n進(jìn)入所述倍頻電路得其N倍倍頻信號(hào)，N倍倍頻信號(hào)被送 入第二乘法器6的一個(gè)輸入端，正弦信號(hào)產(chǎn)生器7產(chǎn)生一個(gè)正弦信號(hào)送入第二乘法器6的另 一個(gè)輸入端，N倍倍頻信號(hào)與正弦信號(hào)產(chǎn)生器7產(chǎn)生的正弦信號(hào)經(jīng)第二乘法器6混頻后得含 兩個(gè)頻率的輸出信號(hào)，通過(guò)調(diào)節(jié)正弦信號(hào)產(chǎn)生器7輸出正弦信號(hào)的頻率可使第二乘法器6輸 出的兩個(gè)頻率中的一個(gè)位于鎖相環(huán)5的鎖定范圍之內(nèi)，此時(shí)鎖相環(huán)5將輸入信號(hào)的頻率變化 轉(zhuǎn)換為電壓變化輸出。
實(shí)施例8:含移頻電路且增設(shè)帶通濾波器的測(cè)頻電路。
在上述實(shí)施例7中，為了濾除第二乘法器6輸出兩個(gè)頻率中不在鎖相環(huán)5鎖定范圍內(nèi)的 那個(gè)，可以在第二乘法器6的輸出端與鎖相環(huán)5的輸入端之間增設(shè)帶通濾波器。從該帶通濾 波器的作用可以看出，它還可以是低通濾波器、高通濾波器或者任何能夠?qū)崿F(xiàn)這一作用的電 路或器件。
8
權(quán)利要求
1、一種適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路，包括乘法器，其特征是還包括第一比較器和第一帶通濾波器，乘法器的兩輸入端短接構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸入端，乘法器的輸出端接第一比較器的輸入端，第一比較器的輸出端接第一帶通濾波器的輸入端，第一帶通濾波器的輸出端構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸出端。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路，其特征是乘法器和第一比較器之間增設(shè)高通濾波器。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路，其特征是所述第一帶通濾波器為多反饋帶通濾波器或晶體濾波器。
4、 一種用權(quán)利要求1所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征是還包括鎖相環(huán)，所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸出端接鎖相環(huán)的輸入端，鎖相環(huán)內(nèi)壓控振蕩器的電壓控制端構(gòu)成此測(cè)頻電路的輸出端。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征是所述鎖相環(huán)內(nèi)壓控振蕩器為壓控晶體振蕩器。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征是所述鎖相環(huán)和適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路之間增設(shè)第二乘法器和正弦信號(hào)產(chǎn)生器，適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸出端接第二乘法器的一個(gè)輸入端，正弦信號(hào)產(chǎn)生器的輸出端接第二乘法器的另一個(gè)輸入端，第二乘法器的輸出端接鎖相環(huán)的輸入端。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征是在第二乘法器與鎖相環(huán)之間增設(shè)帶通濾波器、低通濾波器或高通濾波器。
8、 根據(jù)權(quán)利要求4所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，其特征是增設(shè)差分放大器，所述測(cè)頻電路的輸出端接差分放大器的一個(gè)輸入端，差分放大器的另一個(gè)輸入端接參考電壓，差分放大器的輸出端構(gòu)成本發(fā)明測(cè)頻電路的輸出端。
9、 根據(jù)權(quán)利要求4或5或6或7或8所述適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路制成的測(cè)頻電路，特征是在其輸出端后增設(shè)低通濾波器，并由該低通濾波器的輸出端構(gòu)成本測(cè)頻電路的輸出端。
全文摘要
本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路及其測(cè)頻電路涉及倍頻及測(cè)頻電路，包括乘法器、第一比較器和第一帶通濾波器，乘法器的兩輸入端短接構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸入端，乘法器的輸出端接第一比較器的輸入端，第一比較器的輸出端接第一帶通濾波器的輸入端，第一帶通濾波器的輸出端構(gòu)成本發(fā)明適用于掃描力顯微鏡頻率監(jiān)測(cè)的倍頻電路的輸出端，該輸出端接鎖相環(huán)構(gòu)成本發(fā)明測(cè)頻電路。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于增加了方波各諧波中相鄰諧波間的頻率間隔，便于其后一級(jí)帶通濾波器輸出低畸變的高次倍頻信號(hào)，易于獲得較高倍數(shù)的倍頻信號(hào)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，額外產(chǎn)生的噪音與畸變小。
文檔編號(hào)G01R23/00GK101487860SQ20091011619
公開(kāi)日2009年7月22日 申請(qǐng)日期2009年2月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月11日
發(fā)明者施益智, 陸輕鈾 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)