專利名稱：用于漏氫檢測(cè)的鈀合金電化學(xué)納米氫傳感器敏感層及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器敏感層及制作方法，更確切地說(shuō)涉及一種用于漏氫檢測(cè)的 鈀合金電化學(xué)納米氫傳感器敏感層及制作方法。屬于氫傳感器領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
氫氣是一種清潔高效的能源，在航天飛行、礦產(chǎn)冶煉和燃料電池動(dòng)力車領(lǐng)域有著 重要的應(yīng)用。氫氣是一種無(wú)色無(wú)味燃燒極限低(4%)且爆炸當(dāng)量很高的氣體，因此在氫的 存儲(chǔ)和利用的所有過(guò)程中都必需要快速準(zhǔn)確的氫傳感器特別是靈敏度高、響應(yīng)時(shí)間快的氫 敏感材料監(jiān)測(cè)氫氣泄露，杜絕安全隱患。傳統(tǒng)的鈀膜電化學(xué)氫傳感器敏感層多基于鈀金屬 層吸氫電子學(xué)性能改變的特性，多具有能耗高，響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)等缺陷。而敏感層材料為Sb2O5 復(fù)合固態(tài)電解質(zhì)材料、炭納米管材料和ZnO2等非鈀基材料，其靈敏度較Pd基材料的氫傳 感器低(陶長(zhǎng)元，唐金晶，杜軍，孫才新.氫敏材料及氫氣傳感器的研究進(jìn)展.材料導(dǎo)報(bào)， 2005，19(2) :9-11)。本發(fā)明所述的氫傳感器敏感層是一種新型的、尚未被報(bào)道的，特征是負(fù) 載在絕緣體表面的納米量級(jí)的鈀合金材料，是一種快速靈敏抗干擾性強(qiáng)的低成本化學(xué)氫傳 感器敏感層。其基本手段是利用金屬納米鈀合金顆粒吸氫膨脹相互接觸從而改變膜層電阻 這一特性進(jìn)行氫氣檢測(cè)。由于鈀合金納米顆粒的吸氫膨脹率達(dá)11%，且吸氫前后膜層電阻 變化巨大，因此能實(shí)現(xiàn)對(duì)低濃度氫的檢測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種低成本、性能穩(wěn)定可靠、快速響應(yīng)的漏氫檢測(cè)電化學(xué) 納米氫傳感器敏感層及制作方法。金屬鈀具有吸收氫分子并使自身發(fā)生膨脹變形的特征，膨脹率可達(dá)11%，而且這 一特征是可逆的，因此可以用來(lái)實(shí)現(xiàn)漏氫檢測(cè)。在未吸氫時(shí)，納米結(jié)構(gòu)的電化學(xué)氫傳感器敏 感層粒子之間結(jié)合不充分，因此具有較高的電阻，隨著納米粒子吸收氫氣而膨脹，相鄰粒子 之間結(jié)合的緊密性就會(huì)提高，導(dǎo)電性能也隨之增加，完全吸收氫氣后電阻可下降5 6個(gè)數(shù) 量級(jí)，且一旦從環(huán)境中除去氧氣，傳感器吸收的氫氣就會(huì)短時(shí)間內(nèi)釋放。在鈀氫傳感器敏感 層中摻雜質(zhì)量分?jǐn)?shù)為15%的鎳，并使之合金化，提高了純鈀傳感器抗毒化能力，穩(wěn)定了氫傳 感器敏感層的相結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的，通過(guò)化學(xué)還原法制得的碳負(fù)載的納 米級(jí)鈀銀或鈀鎳等粒子和使用硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體化學(xué)吸附鈀合金納米粒子，得到 絕緣體負(fù)載的鈀合金納米顆粒漏氫傳感器敏感層?，F(xiàn)將技術(shù)方案的各步驟分述如下本發(fā)明提供的敏感層是由納米量級(jí)的鈀鎳或鈀銀合金，吸附在硅烷偶聯(lián)劑修飾的 玻璃基體上，其中納米合金粒徑5-80nm，厚度為20-150nm。其中鈀鎳或鈀銀合金是由質(zhì)量 百分?jǐn)?shù)為85-94%的鈀和質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為15-6%的銀或鎳組成。本發(fā)明所述的硅烷偶聯(lián)劑的組成通式為Y(CH3)nSiX3, η為0_3的整數(shù)，X為可水解基團(tuán)如氯、甲氧基、乙酰氧基等，Y為有機(jī)官能團(tuán)，如乙烯基等。使用的的硅烷偶聯(lián)劑具體為ch3(ch2)7si(ch3) 2c1、ch3si(0ch3)2ch2ch2ch2sh)。本發(fā)明所述的敏感層的制備方法特征在于采用化學(xué)還原法制備鈀合金納米金屬粒子，絡(luò)合或包覆后采用化學(xué)吸附方法吸附到作為絕緣體的硅烷偶聯(lián)劑玻璃基體表面；其中，所述的化學(xué)還原法使用的還原劑為抗壞血酸、硼氫化鈉、高溫氫氣或乙二 醇，所述的硅烷偶聯(lián)劑通式為=y(CH3)nsix3, η為0-3的整數(shù)，x為可水解基團(tuán)如氯、甲氧 基、乙酰氧基等，y為有機(jī)官能團(tuán)，如乙烯基等；具體的硅烷偶聯(lián)劑如=CH3(CH2)7si (CH3)2C1、 CH3si (OCh3)2CH2CH2CH2SH)。pd-ag敏感層采用檸檬酸絡(luò)合或包覆，pd-ni敏感層采用十二烷 基磺酸鈉、聚乙烯吡咯烷酮或聚乙二醇400絡(luò)合或包覆。絡(luò)合或包覆是在0-125°C條件下還 原劑硅烷偶聯(lián)劑修飾的絕緣體表面。制備的具體步驟是A、將蓋玻片先用王水浸泡，去離子水洗后在無(wú)水乙醇中超聲清洗，真空烘干后放 在pirahan溶液中于100°c下處理l_3h，然后用去離子水洗滌后150°c真空干燥，冷卻后使 用甲苯?jīng)_洗，再浸泡在硅烷偶聯(lián)劑的甲苯溶液中即得到硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體；b、將步驟1制備的硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體放置在溶液底部，采用化學(xué)還原法 制備吸附在玻璃基體上的鈀_銀或鈀_鎳合金(a)鈀-銀合金吸附按鈀的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為85% -94%，余量為ag的組成，稱取硝酸銨鈀和硝酸銀 用去離子水配制成溶液，邊攪拌邊用氨水調(diào)節(jié)PH值為10-11，并在攪拌下加入檸檬酸， 其中，硝酸銨鈀與檸檬酸的質(zhì)量比例控制在0.3-2 1 ；硝酸銀與檸檬酸的質(zhì)量比例為 0.2-0.6 1 ；且在40-50khz條件下超聲，并滴加過(guò)量的還原劑，常溫條件下繼續(xù)超聲6h; 最后取出玻璃基體，并在50-6(tc熱去離子水條件下洗滌3-5次，最后在60-7(tc真空條件 下烘干；(b)鈀-鎳合金吸附按鈀的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為85-94%，余量為ni2o組成，稱取pdcl2和nicl2固體，攪拌條 件下加入十二烷基磺酸鈉、聚乙二醇400或pvp (聚乙烯基吡咯烷酮)，冰水浴中40-50khz 條件下超聲，并滴加過(guò)量的還原劑，常溫條件下繼續(xù)超聲6h，最后取出玻璃基體，并在 50-60°c熱去離子水條件下洗滌3-5次，最后在60-7(tc真空條件下烘干。本發(fā)明先將蓋玻片先用王水浸泡，水洗后在無(wú)水乙醇中超聲清洗，真空烘干 后放在pirahan溶液中于100°c下處理l_3h，用大量的三次水洗滌后，150°c真空干燥 20-100mino冷卻后使用甲苯?jīng)_洗，浸泡在硅烷偶聯(lián)劑的甲苯溶液(體積比為1 50)中 2h，得到預(yù)處理的蓋玻片基體材料。然后將預(yù)處理的蓋玻片放置在pd-ag、pd-ni絡(luò)合物溶 液中，再采用抗壞血酸、硼氫化鈉、高溫氫氣和乙二醇等，在0 125°c下還原pd-ag、pd-ni 離子，同時(shí)采用檸檬酸、十二烷基磺酸鈉、聚乙烯基吡咯烷酮或聚乙二醇400絡(luò)合或包覆， 制備出化學(xué)吸附在絕緣體表面鈀合金納米金屬粒子。即得到本發(fā)明的化學(xué)氫傳感器敏感 層。鈀合金敏感層含6 15% (質(zhì)量分?jǐn)?shù))的鎳和85% 94% (質(zhì)量分?jǐn)?shù))的鈀兩種組 份組成，鈀鎳合金納米層的粒徑為50 150nm，合金粉層的厚度為20 150nm。本發(fā)明相對(duì)于目前商品化的氫敏傳感器敏感層具有以下三個(gè)突出優(yōu)點(diǎn)A.克服了金屬鈀膜傳感器響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，傳感速度慢的缺點(diǎn)。
B.克服了電路功耗高，易產(chǎn)生火花的缺點(diǎn)。C.降低了傳感器的響應(yīng)氫濃度下線。從技術(shù)層面上看，本發(fā)明用于漏氫檢測(cè)的電化學(xué)納米氫傳感器敏感層是漏氫檢測(cè) 應(yīng)用的一個(gè)重要的突破。
由此可見(jiàn)本發(fā)明涉及氫個(gè)傳感器敏感層及制備方法，是一種低成本、快速響應(yīng)的 化學(xué)氫傳感器敏感層。其特征是通過(guò)化學(xué)還原法制得的鈀合金納米級(jí)鈀銀，鈀鎳合金粒子 等通過(guò)硅烷偶聯(lián)劑的配合作用，化學(xué)吸附在玻璃基體表面。其有益效果是將合金納米顆粒 制備技術(shù)與傳感技術(shù)有機(jī)結(jié)合，響應(yīng)時(shí)間短；靈敏度高。完全滿足氫儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程中對(duì)漏氫的檢 測(cè)要求。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)對(duì)保障氫能源相關(guān)行業(yè)的安全意義重大而深遠(yuǎn)(詳見(jiàn)實(shí)施例)。


圖1為本發(fā)明制備的鈀合金納米顆粒氫傳感器敏感層的TEM圖，其中圖Ia為化學(xué) 還原法合成的鈀銀合金TEM圖；圖Ib為化學(xué)還原法合成的鈀鎳合金TEM圖；圖Ic為化學(xué)還 原法合成的鈀銀合金在玻璃表面自組裝TEM圖；圖Id為化學(xué)還原法合成的鈀鎳合金在玻璃 表面自組裝TEM圖，圖c和d中的箭頭所示區(qū)域?yàn)樽越M裝空隙區(qū)域；圖Ie為化學(xué)還原法合 成的鈀銀合金的能譜成份圖；圖If為化學(xué)還原法合成的鈀鎳合金的能譜成份圖。圖2為本發(fā)明提供的Pd-Ag或Pd-Ni合金納米顆粒的XRD圖譜其中，圖2a為本發(fā)明涉及的Pd-Ag合金納米顆粒氫傳感器敏感層X(jué)RD圖譜；圖2b 為本發(fā)明制備的Pd-Ni合金納米顆粒氫傳感器敏感層X(jué)RD圖譜。XRD譜圖說(shuō)明本發(fā)明制備 的納米顆粒呈合金形態(tài)。本發(fā)明所述的敏感層，Pd-Ag的粒徑在5 20nm之間，Pd-Ni顆粒 的直徑分布于30 70nm之間，屬納米合金結(jié)構(gòu)體。圖3為應(yīng)用本發(fā)明的鈀合金納米顆粒氫傳感器敏感層的氫傳感器在不同氫環(huán)境 中的靈敏度和響應(yīng)速度測(cè)試曲線。其中圖3a為采用Pd-Ag合金作為氫敏感層的氫傳感器 在4%的氫氣中靈敏性曲線；圖3b為采用Pd-Ni合金作為氫敏感層的氫傳感器在4%的氫 氣中靈敏性曲線；圖3c為采用Pd-Ag合金作為氫敏感層的氫傳感器的響應(yīng)時(shí)間曲線；圖3d 為采用Pd-Ni合金作為氫敏感層的氫傳感器的響應(yīng)時(shí)間曲線；圖3e為采用Pd-Ag合金作為 氫敏感層的氫傳感器在不同氫濃度下的響應(yīng)曲線，最低氫濃度為25ppm。圖3f為采用Pd-Ni 合金作為氫敏感層的氫傳感器在不同氫濃度下的響應(yīng)曲線(25ppm-4% )。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)具體實(shí)施例的描述以及其用于漏氫檢測(cè)進(jìn)一步闡述本發(fā)明的實(shí)質(zhì)性特 點(diǎn)和顯著的進(jìn)步。實(shí)施例1硅烷偶聯(lián)劑修飾的蓋玻片首先是將作為玻璃基體的蓋玻片先用王水浸泡，水洗后在無(wú)水乙醇中超聲清洗， 真空烘干后放在Pirahan溶液中于100°C下處理lh，用大量的三次水洗滌后150°C真空干燥 30min。冷卻后使用甲苯?jīng)_洗，浸泡在硅烷偶聯(lián)劑的甲苯溶液(1 50)中2h即得到本發(fā)明 的硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體，本發(fā)明應(yīng)用的硅烷偶聯(lián)劑通式為=Y(CH3)nSiX3, η為0-3的 整數(shù)，X為可水解基團(tuán)如氯、甲氧基、乙酰氧基等，Y為有機(jī)官能團(tuán)，如乙烯基等。具體的硅烷 偶聯(lián)劑為 CH3 (CH2) 7Si (CH3) 2C1 或 CH3Si (OCH3) 2CH2CH2CH2SH)。
實(shí)施例2化學(xué)吸附鈀銀合金納米顆粒敏感層(1)化學(xué)還原法制備鈀銀、鈀鎳粒子。將實(shí)施例1制備硅烷偶聯(lián)劑修飾的蓋玻片放 置在溶液底部，按比例稱取的硝酸氨鈀(27-90mg)和硝酸銀固體(17-50mg)，用去離子水或 乙二醇和去離子水的混合液配成溶液，一邊攪拌一邊用氨水調(diào)節(jié)PH值為10-11。攪拌下加 入90-180mg的水合檸檬酸(硝酸氨鈀與檸檬酸的比例控制在0. 3-1比1 ；硝酸銀與水和檸 檬酸的比例為0. 2-0. 6比1) ；40kHz下超聲，慢慢滴加過(guò)量的還原劑抗壞血酸(C6H8O6)，常 溫條件下繼續(xù)超聲6h ；(2)取出蓋玻片，并用60°C熱水多次洗滌。最后在60°C真空條件下將得到的樣 品烘干。即得到硅烷自組裝的鈀銀合金納米顆粒氫傳感器敏感層，其中粒子的直徑大小為 20nm-50nm，且不發(fā)生團(tuán)聚(圖la、c和e和圖2a)。實(shí)施例3化學(xué)吸附鈀鎳合金納米顆粒敏感層①將硅烷修飾的蓋玻片放置在溶液底部，稱取18mg PdCl2,2mg NiCl2加入50mL乙 二醇和去離子水(體積比為2 1)的混合液配制成溶液，攪拌下加入IOOmg(2g/L)十二烷 基磺酸鈉攪拌0.5h，125°C下回流2h。反應(yīng)完成后，冷卻至常溫，超聲分散6h。接著將蓋玻 片取出，并用乙醇沖洗5次，去離子水沖洗3次，最后在60°C真空條件下將得到的樣品烘干， 即制得化學(xué)吸附鈀鎳合金納米顆粒蓋玻片；或②將硅烷修飾的蓋玻片放置在溶液底部，稱取18mg PdCl2、2mg NiCl2加入50mL 去離子水配成溶液，攪拌下加入IOOmg十二烷基磺酸鈉超聲分散下，通入高溫氫氣。反應(yīng)完 成后，冷卻至常溫，超聲分散6h。接著將蓋玻片取出，并用熱水多次洗滌，最后在60°C真空 條件下將得到的樣品烘干，即制得化學(xué)吸附鈀鎳合金納米顆粒蓋玻片；或③將硅烷修飾的蓋玻片放置在溶液底部，稱取18mg PdCl2、2mg NiCl2加入50mL 去離子水配成溶液，攪拌下加入250mg(5g/L)聚乙烯基吡咯烷酮，加熱至沸騰并不斷攪拌， 并加入過(guò)量還原劑NaBH4。冷卻至常溫，超聲分散6h。接著將蓋玻片取出，并用熱水多次 洗滌，最后在60°C真空條件下將得到的樣品烘干，即制得化學(xué)吸附鈀鎳合金納米顆粒蓋玻 片；或4將硅烷修飾的蓋玻片放置在溶液底部，稱取18mg PdCl2,2mg NiCl2加入50mL 去離子水配成溶液，用二次蒸餾水和稀鹽酸配成溶液，攪拌下加入IOOmg十二烷基磺酸鈉， 冰水浴中40KHz下超聲，慢慢滴加過(guò)量的還原劑C6H8O6,常溫條件下繼續(xù)超聲6h。接著將蓋 玻片取出，并用熱水多次洗滌，最后在60°C真空條件下將得到的樣品烘干，即制得化學(xué)吸附 鈀鎳合金納米顆粒蓋玻片；或5將硅烷修飾的蓋玻片放置在溶液底部，稱取18mg PdCl2,2mg NiCl2加入50mL 去離子水配成溶液，攪拌下加入250mg聚乙烯基吡咯烷酮，通入預(yù)熱過(guò)的氫氣。反應(yīng)完成 后，冷卻至常溫，超聲分散6h。接著將蓋玻片取出，并用熱水多次洗滌，最后在60°C真空條 件下將得到的樣品烘干，即制得化學(xué)吸附鈀鎳合金納米顆粒蓋玻片。本發(fā)明制備的Pd-Ni粒子的直徑為30-70nm，比實(shí)施例2所制備的Pd-Ag合金的粒 子大，呈球形(圖lb、d和f和圖2b)，對(duì)“較大”的納米球進(jìn)行觀察發(fā)現(xiàn)，這些大球是由粒徑 為20-30nm的顆粒團(tuán)聚而成的。實(shí)施例4本發(fā)明提供的敏感層用于漏氫檢測(cè)采用Pd-Ag的氫傳感器敏感層的氫傳感器的響應(yīng)時(shí)間為80ms，回復(fù)時(shí)間32ms ；鈀鎳合金氫響應(yīng)時(shí)間為100ms，回復(fù)時(shí)間為20ms。氫傳感器敏感層靈敏度高，檢測(cè)氫氣下限為 25ppm?？稍诔叵率褂?。本發(fā)明的鈀合金納米顆粒氫傳感器通過(guò)敏感層表面金屬膨脹封閉表面缺陷實(shí)現(xiàn)傳感，傳感器快速，靈敏。
權(quán)利要求
一種用于漏氫檢測(cè)的電化學(xué)納米氫傳感器敏感層，其特征在于所述的敏感層由化學(xué)吸附在絕緣體表面的鈀合金納米金屬粒子組成；所述的鈀合金為鈀-鎳或鈀銀合金，其中鈀的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為85％-94％，余量為鎳或銀；所述的絕緣體為采用硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體。
2.按權(quán)利要求1所述的敏感層，其特征在于敏感層的厚度為20-150nm。
3.按權(quán)利要求1所述的敏感層，其特征在于所述的敏感層中納米合金的粒徑為 5_80nmo
4.制備如權(quán)利要求1所述的用于漏氫檢測(cè)的電化學(xué)納米氫傳感器敏感層的方法，其特 征在于采用化學(xué)還原法制備鈀合金納米金屬粒子，絡(luò)合或包覆后采用化學(xué)吸附方法吸附到 作為絕緣體的硅烷偶聯(lián)劑玻璃基體表面；其中，①所述的化學(xué)還原法使用的還原劑為抗壞血酸、硼氫化鈉、高溫氫氣或乙二醇； ②所述的硅烷偶聯(lián)劑通式為=Y(CH3)nSiX3, η為0-3的整數(shù)，X為可水解基團(tuán)如氯、甲氧基、 乙酰氧基等，Y為有機(jī)官能團(tuán)；③Pd-Ag敏感層采用檸檬酸絡(luò)合或包覆，Pd-Ni敏感層采用 十二烷基磺酸鈉、聚乙烯吡咯烷酮或聚乙二醇400絡(luò)合或包覆。
5.按權(quán)利要求4所述的敏感層的制備方法，其特征在于制備的具體步驟是Α、將蓋玻片先用王水浸泡，去離子水洗后在無(wú)水乙醇中超聲清洗，真空烘干后放在 Pirahan溶液中于100°C下處理l_3h，然后用去離子水洗滌后150°C真空干燥，冷卻后使用 甲苯?jīng)_洗，再浸泡在硅烷偶聯(lián)劑的甲苯溶液中即得到硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體；B、將步驟1制備的硅烷偶聯(lián)劑修飾的玻璃基體放置在溶液底部，采用化學(xué)還原法制備 吸附在玻璃基體上的鈀_銀或鈀_鎳合金(a)鈀-銀合金吸附按鈀的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為85% -94%，余量為Ag的組成，稱取硝酸銨鈀和硝酸銀用去離子 水配制成溶液，邊攪拌邊用氨水調(diào)節(jié)PH值為10-11，并在攪拌下加入檸檬酸，其中，硝酸銨 鈀與檸檬酸的質(zhì)量比例控制在0.3-2 1 ；硝酸銀與檸檬酸的質(zhì)量比例為0.2-0. 6 1;且 在40-50kHz條件下超聲，并滴加過(guò)量的還原劑，常溫條件下繼續(xù)超聲6h ；最后取出玻璃基 體，并在50-6(TC熱去離子水條件下洗滌3-5次，最后在60-7(TC真空條件下烘干；(b)鈀-鎳合金吸附按鈀的質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為85-94%，余量為Ni2O組成，稱取PdCl2和NiCl2固體，攪拌條件下 加入十二烷基磺酸鈉、聚乙二醇400或PVP，冰水浴中40-50kHz條件下超聲，并滴加過(guò)量的 還原劑，常溫條件下繼續(xù)超聲6h，最后取出玻璃基體，并在50-60°C熱去離子水條件下洗滌 3-5次，最后在60-7(TC真空條件下烘干。
6.按權(quán)利要求5所述的敏感層的制備方法，其特征在于步驟B中鈀-鎳合金吸附時(shí) 十二烷基磺酸鈉加入量為2-6g/L，聚乙烯基吡咯烷酮加入量為5-8g/L，聚乙二醇400的加 入量為l_3g/L。
7.按權(quán)利要求5所述的敏感層的制備方法，其特征在于步驟A中①150°C真空干燥 時(shí)間為20-100min;②硅烷偶聯(lián)劑的甲苯溶液的體積比為1 50，使用的硅烷偶聯(lián)劑為 CH3 (CH2) 7Si (CH3) 2C1 或 CH3Si (OCH3) 2CH2CH2CH2SH)。
8.權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的敏感層的應(yīng)用，其特征在于用于漏氣檢測(cè)時(shí)Pd-Ag合 金作為傳感器敏感層時(shí)氫傳感器的響應(yīng)時(shí)間為80ms，回復(fù)時(shí)間為32ms ；Pd-Ni合金作為傳感器敏感層時(shí)氫傳感器的響應(yīng)時(shí)間為100ms，回復(fù)時(shí)間為20ms。
9.按權(quán)利要求8所述的應(yīng)用，其特征在于所述的氫傳感器敏感層的檢測(cè)氫氣的下限為 25ppm，且在常溫下使用。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種傳感器敏感層及制備方法，是一種低成本、快速響應(yīng)的化學(xué)氫傳感器敏感層。其特征是通過(guò)化學(xué)還原法制得的鈀合金納米級(jí)鈀銀，鈀鎳合金粒子等通過(guò)硅烷偶聯(lián)劑的配合作用，化學(xué)吸附在玻璃基體表面。其有益效果是將合金納米顆粒制備技術(shù)與傳感技術(shù)有機(jī)結(jié)合，響應(yīng)時(shí)間短；靈敏度高。完全滿足氫儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程中對(duì)漏氫的檢測(cè)要求。應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)對(duì)保障氫能源相關(guān)行業(yè)的安全意義重大而深遠(yuǎn)。
文檔編號(hào)G01N27/12GK101813657SQ200910201099
公開日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者吳鑄, 李志林, 楊輝, 翁百成 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所