專(zhuān)利名稱(chēng)：石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置以及檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置以及檢測(cè)方法，尤其即便具 備多邊形外表面而存在使光有漫反射傾向的白色石英粉原料中，含有例如鐵類(lèi)廢棄物、有 機(jī)物類(lèi)廢棄物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi)的淺色有色雜質(zhì)的情況下，也可以高精度檢測(cè)出且去除有 色雜質(zhì)。
背景技術(shù)：
作為去除粉末中所含雜質(zhì)的常規(guī)方法，例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載，列舉有如下方 法，在檢查部中，使來(lái)自由透光材料構(gòu)成的輸送機(jī)下方的透射光和來(lái)自輸送機(jī)上方的反射 光同時(shí)對(duì)輸送機(jī)上所存在的粉末進(jìn)行照射，并通過(guò)配置在輸送機(jī)上方的線(xiàn)陣CCD(charge coupled device，電荷耦合器件)攝影機(jī)來(lái)檢測(cè)雜質(zhì)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本專(zhuān)利特開(kāi)2000-84496號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
作為用以探測(cè)白色粉末中所含有色雜質(zhì)的常規(guī)檢測(cè)單元，例如以下方法較為有 效，即，利用微分干涉顯微鏡來(lái)對(duì)輸送機(jī)所運(yùn)送的粉末的黑白圖像進(jìn)行攝像，并應(yīng)用空間濾 光片，對(duì)經(jīng)所述攝像的黑白圖像，增強(qiáng)了亮度可變化的部分，再通過(guò)對(duì)經(jīng)所述增強(qiáng)的部分進(jìn) 行二值化處理，來(lái)檢測(cè)白色粉末中所含的有色雜質(zhì)。然而，相關(guān)的方法在相對(duì)白色粉末而言有色雜質(zhì)的色彩的灰度差大時(shí)，能夠有效 檢測(cè)有色雜質(zhì)，但當(dāng)有色雜質(zhì)的顏色為淺黃色之類(lèi)的淺色時(shí)，則存在無(wú)法充分檢測(cè)白色粉 末中所含有色雜質(zhì)的問(wèn)題。作為用以使色彩灰度清晰化的檢測(cè)單元，以下方法較為有效，例如在檢查部中，自 輸送機(jī)上方使光對(duì)輸送機(jī)上所存在的粉末進(jìn)行照射，并利用配置在輸送機(jī)上方的線(xiàn)陣(XD 攝影機(jī)進(jìn)行攝像，再處理成彩色圖像來(lái)檢測(cè)有色雜質(zhì)。此有色雜質(zhì)檢測(cè)單元，因以彩色圖像探測(cè)有色雜質(zhì)，故從原理上看，即便有色雜質(zhì) 的顏色為淺黃色之類(lèi)的淺色時(shí)，也將因有色雜質(zhì)的灰度變得清晰，而可以對(duì)如同粉末狀或 顆粒狀藥劑那樣不具有多邊形外表面的白色粉末，進(jìn)行高精度檢測(cè)。然而，在白色粉末為石英粉的情況下，則存在如下問(wèn)題由于石英粉具有多邊形的 玻璃狀外表面而存在照射光會(huì)被石英粉的外表面漫反射的傾向，所以如果在檢查部中使光 從輸送機(jī)上方照射到輸送機(jī)上所存在的粉末，并利用配置在輸送機(jī)上方的線(xiàn)陣(XD攝影機(jī) 進(jìn)行攝像，那么，會(huì)因所述漫反射的影響，而使石英粉的一部分呈現(xiàn)黑色等，無(wú)法獲得灰度 正確的彩色圖像，從而無(wú)法高精度檢測(cè)尤其石英粉中所含的如鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄 物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi)的淺色有色雜質(zhì)。本發(fā)明的目的在于提供一種通過(guò)防止照射光的漫反射以獲得灰度正確的彩色圖 像，而即便在石英粉中含有有色雜質(zhì)，尤其含有鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄物、碳類(lèi)廢棄物 之類(lèi)的淺色有色雜質(zhì)的情況下，也可以進(jìn)行高精度檢測(cè)的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置以及檢測(cè)方法。為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的概要構(gòu)成如下所述。(1) 一種石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于具備原料供給單元，用于以恒定量為單位連續(xù)供給具有多邊形外表面的白色石英粉原 料；傳送帶運(yùn)送單元，運(yùn)送由所述原料供給單元連續(xù)供給的所述石英粉原料；第1發(fā)光單元，位于所述傳送帶運(yùn)送單元的上方，且發(fā)出規(guī)定波長(zhǎng)的光；光擴(kuò)散照射單元，位于所述第1發(fā)光單元的下方且在所述傳送帶運(yùn)送單元的上 方，使所述第1發(fā)光單元發(fā)出的光在轉(zhuǎn)換為散射光后，對(duì)由傳送帶運(yùn)送單元運(yùn)送的所述石 英粉原料進(jìn)行照射；及彩色攝像單元，位于所述傳送帶運(yùn)送單元的上方，對(duì)所述石英粉原料的彩色圖像 進(jìn)行連續(xù)攝像；且，通過(guò)使來(lái)自所述光擴(kuò)散照射單元的散射光對(duì)所述石英粉原料進(jìn)行照射，而使 由所述彩色攝像單元攝像的彩色圖像的色彩差別清晰化，由此來(lái)對(duì)所述石英粉原料所含有 色雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)。(2)根據(jù)所述(1)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述 光擴(kuò)散照射單元具有下表面形成凹凸而成的透明塑料板。(3)根據(jù)所述(1)或(2)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在 于所述發(fā)光單元發(fā)出的光是波長(zhǎng)為20 800nm范圍的可見(jiàn)光。(4)根據(jù)所述(1)、(2)或(3)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特 征在于所述傳送帶運(yùn)送單元由透光材料所構(gòu)成。(5)根據(jù)所述(4)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述 檢測(cè)裝置還具備第2發(fā)光單元，其從所述傳送帶運(yùn)送單元的下方側(cè)對(duì)由所述傳送帶運(yùn)送單 元運(yùn)送的所述石英粉原料照射光。(6)根據(jù)所述⑴至(5)中任一項(xiàng)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置， 其特征在于所述檢測(cè)裝置通過(guò)進(jìn)而具備如下單元來(lái)提高有色雜質(zhì)的檢測(cè)精度，所述單元 是利用微分干涉顯微鏡，對(duì)所述傳送帶運(yùn)送單元運(yùn)送的所述石英粉原料的黑白圖像進(jìn)行攝 像，并應(yīng)用空間濾光片，對(duì)經(jīng)所述攝像的黑白圖像，增強(qiáng)了亮度可變化的部分，再通過(guò)對(duì)經(jīng) 所述增強(qiáng)的部分進(jìn)行二值化處理，來(lái)檢測(cè)所述石英粉原料中所含的有色雜質(zhì)。(7)根據(jù)所述⑴至(6)中任一項(xiàng)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其 特征在于所述石英粉原料中的石英粉的平均粒徑為20 1000 ym。(8)根據(jù)所述⑴至(7)中任一項(xiàng)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其 特征在于所述石英粉原料中的有色雜質(zhì)為鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi) 的淺色有色雜質(zhì)。(9)根據(jù)所述⑴至⑶中任一項(xiàng)記載的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其 特征在于所述石英粉原料中的有色雜質(zhì)的平均粒徑為20 1000 ym。(10) 一種石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)方法，其特征在于運(yùn)送具有多邊形外 表面的白色石英粉原料，并從所運(yùn)送的所述石英粉原料的至少上方，使規(guī)定波長(zhǎng)的光在轉(zhuǎn) 換為散射光后，對(duì)所運(yùn)送的所述石英粉原料進(jìn)行照射，并對(duì)灰度經(jīng)清晰化處理的所述石英
4粉原料的彩色圖像進(jìn)行連續(xù)攝像，由此，檢測(cè)所述石英粉原料所含有色雜質(zhì)。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，即便石英粉中含有有色雜質(zhì)，尤其含有鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄 物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi)的淺色有色雜質(zhì)時(shí)，也可以進(jìn)行高精度檢測(cè)。


圖1是依據(jù)本發(fā)明的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是由圖1的圓形虛線(xiàn)所包圍的檢測(cè)裝置的局部放大圖。圖3是用以對(duì)構(gòu)成檢測(cè)裝置的傳送帶運(yùn)送單元、第1發(fā)光單元及光擴(kuò)散照射單元 的配設(shè)狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明的圖。圖4是表示光擴(kuò)散照射單元的具體截面形狀的一個(gè)示例圖。[符號(hào)的說(shuō)明]1檢測(cè)裝置3傳送帶運(yùn)送單元5光擴(kuò)散照射單元7原料供給料斗9振動(dòng)供料器11凹凸部13CCD 攝影機(jī)15、16雜質(zhì)去除用抽吸滾筒18第2發(fā)光單元
具體實(shí)施例方式其次，以下參照附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是依據(jù)本發(fā)明的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖，圖 2是由圖1的圓形虛線(xiàn)所包圍的檢測(cè)裝置的局部放大圖，圖3是用以說(shuō)明構(gòu)成檢測(cè)裝置的傳 送帶運(yùn)送單元、第1發(fā)光單元及光擴(kuò)散照射單元的位置關(guān)系的圖，接著，圖4是表示光擴(kuò)散 照射單元的具體截面形狀的一個(gè)示例圖。圖1所示的檢測(cè)裝置1主要由原料供給單元2、傳送帶運(yùn)送單元3、第1發(fā)光單元 4、光擴(kuò)散照射單元5以及彩色攝像單元6構(gòu)成。原料供給單元2位于原料供給區(qū)域I內(nèi)，且配設(shè)目的在于以恒定量為單位而連續(xù) 供給白色石英粉原料，此原料供給單元2在圖1中具備原料供給料斗(hopper) 7，暫時(shí)儲(chǔ)存 所投入的石英粉原料，并且使規(guī)定量的石英粉滑落；粉末供給托盤(pán)(tray) 8，接住從所述原 料供給料斗7中滑落的石英粉；以及振動(dòng)供料器(feeder) 9，為將所述粉末供給托盤(pán)8內(nèi)的 石英粉，以恒定量為單位連續(xù)供給到傳送帶運(yùn)送單元3中而使粉末供給托盤(pán)8振動(dòng)。傳送帶運(yùn)送單元3具有沿水平方向連續(xù)延伸的結(jié)構(gòu)，以從檢測(cè)裝置1中原料供給 單元2所在的原料供給區(qū)域I，經(jīng)由用以對(duì)石英粉原料中所含有色雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)的雜質(zhì)檢 測(cè)區(qū)域II和去除有色雜質(zhì)的雜質(zhì)去除區(qū)域III，在將有色雜質(zhì)去除后而剩余的石英粉回收 的整個(gè)原料回收區(qū)域IV內(nèi)運(yùn)送石英粉原料，圖1中表示由環(huán)形輸送機(jī)傳送帶10構(gòu)成的情
2原料供給單元 4第1發(fā)光單元 6彩色攝像單元 8粉末供給托盤(pán) 10輸送機(jī)傳送帶 12透明塑料板 14控制裝置 17容器
5形，但并不限于此種結(jié)構(gòu)，可采用各種形態(tài)。所述輸送機(jī)傳送帶10的表面顏色，就所述輸送機(jī)傳送帶10上運(yùn)送的石英粉原料 為白色來(lái)看，為了在利用彩色圖像來(lái)檢測(cè)時(shí)清晰地判別有色雜質(zhì)，而優(yōu)選白色。而且，優(yōu)選 的是所述檢測(cè)裝置1還具備第2發(fā)光單元18，所述第2發(fā)光單元18從所述輸送機(jī)傳送帶 10的下方側(cè)對(duì)輸送機(jī)傳送帶10所運(yùn)送的所述石英粉原料照射光。另外，此種情況下，輸送 機(jī)傳送帶10必須由透明材料構(gòu)成。第1發(fā)光單元4位于雜質(zhì)檢測(cè)區(qū)域II內(nèi)且在所述傳送帶運(yùn)送單元3 (更嚴(yán)謹(jǐn)?shù)恼f(shuō) 是輸送機(jī)傳送帶10)的上方，且為發(fā)出規(guī)定波長(zhǎng)的光而配置。作為第1發(fā)光單元4，具體來(lái) 說(shuō)可列舉鹵素?zé)?、金屬鹵化物燈、水銀燈，LED (Light Emitting Diode，發(fā)光二極管)燈等。 由所述發(fā)光單元發(fā)出的光更優(yōu)選為波長(zhǎng)20 800nm范圍的可見(jiàn)光。光擴(kuò)散照射單元5在雜質(zhì)檢測(cè)區(qū)域II內(nèi)位于所述第1發(fā)光單元4的下方且在所 述傳送帶運(yùn)送單元3 (更嚴(yán)謹(jǐn)?shù)恼f(shuō)是輸送機(jī)傳送帶10)的上方，如圖3所示，光擴(kuò)散照射單 元5的配置目的在于使所述第1發(fā)光單元4所發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為散射光后，對(duì)由傳送帶運(yùn)送 單元運(yùn)送的所述石英粉原料Q進(jìn)行照射。作為光擴(kuò)散照射單元5，具體來(lái)說(shuō)具有將所述第1 發(fā)光單元4發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為散射光的構(gòu)造即可，并無(wú)特別限定，但例如圖4所示，優(yōu)選由下 表面形成有凹凸部11的透明塑料板12構(gòu)成。而且，凹凸部11既可由和透明塑料板12相 同的材料一體形成，或者也可以通過(guò)將形成有凹凸部11的透明擴(kuò)散膠帶貼附在透明塑料 板12的下表面而形成。而且，就光擴(kuò)散照射單元5的配設(shè)個(gè)數(shù)或配置來(lái)說(shuō)，優(yōu)選配置在各照明的正下方。彩色攝像單元6位于雜質(zhì)檢測(cè)區(qū)域II內(nèi)且在所述傳送帶運(yùn)送單元(更嚴(yán)謹(jǐn)?shù)恼f(shuō) 是輸送機(jī)傳送帶10)的上方，用來(lái)對(duì)所述石英粉原料Q的彩色圖像進(jìn)行連續(xù)攝像。作為彩 色攝像單元6，具體來(lái)說(shuō)可以由對(duì)輸送機(jī)傳送帶10上所運(yùn)送的石英粉Q進(jìn)行攝像的(XD攝 影機(jī)13、將攝像后的圖像處理成彩色圖像的控制裝置14、將經(jīng)控制裝置14處理的彩色圖像 顯示出來(lái)的監(jiān)控器(未圖示)構(gòu)成。本發(fā)明的檢測(cè)裝置1將所述結(jié)構(gòu)作為必要結(jié)構(gòu)，但進(jìn)而也可以如圖1所示，設(shè)置雜 質(zhì)去除區(qū)域III和原料回收區(qū)域IV。例如，由構(gòu)成彩色攝像單元6的控制裝置14來(lái)檢測(cè)有色雜質(zhì)時(shí)，如圖1所示，雜質(zhì) 去除區(qū)域III內(nèi)為抽吸去除位于輸送機(jī)傳送帶10上的有色雜質(zhì)，而可設(shè)置由來(lái)自控制裝 置14的指令進(jìn)行驅(qū)動(dòng)且具有規(guī)定的狹縫(slit)的雜質(zhì)去除用抽吸滾筒15、16，而且，可使 雜質(zhì)去除后的石英粉從輸送機(jī)傳送帶10上滑落，回收到位于原料回收區(qū)域IV內(nèi)的容器17 中。如上所述，本發(fā)明的檢測(cè)裝置1可通過(guò)使來(lái)自所述光擴(kuò)散照射單元5的散射光照 射所述石英粉原料Q，而將由所述彩色攝像單元所攝像的彩色圖像的灰度清晰化，從而高精 度檢測(cè)所述石英粉原料Q中所含的有色雜質(zhì)。接著，在利用所述檢測(cè)裝置1檢測(cè)出且去除有色雜質(zhì)之后，可利用回收的石英粉 制成高品質(zhì)的石英坩鍋?！愣?，如果石英粉原料Q中的石英粉和有色雜質(zhì)的粒徑為不同尺寸，則易于 識(shí)別兩者，但本發(fā)明的檢測(cè)裝置1即使在粒徑為同等程度的情況下，也可以高精度檢測(cè)有 色雜質(zhì)。尤其，本發(fā)明的檢測(cè)裝置1可在有色雜質(zhì)為鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi)的淺黃色有色雜質(zhì)時(shí)，進(jìn)行高精度檢測(cè)。另外，優(yōu)選石英粉原料Q中的石英粉和有色雜質(zhì)的平均粒徑均為20 1000 y m的 范圍。其原因在于，如果所述平均粒徑未滿(mǎn)20 y m，那么，存在因檢測(cè)裝置的分辨率而無(wú)法高 精度檢測(cè)的傾向，而且，如果所述平均粒徑大于1000 u m,那么利用常規(guī)的檢測(cè)裝置也能夠 以充分的精度進(jìn)行檢測(cè)，所以，無(wú)法通過(guò)使用本發(fā)明的檢測(cè)裝置發(fā)揮顯著效果。而且，所述檢測(cè)裝置1也可以進(jìn)一步具備如下單元，此單元是利用微分干涉顯微 鏡來(lái)對(duì)由所述傳送帶運(yùn)送單元運(yùn)送的所述石英粉原料的黑白圖像進(jìn)行攝像，并應(yīng)用空間濾 光片，對(duì)所述攝像后的黑白圖像增強(qiáng)了亮度可變化的部分，再對(duì)增強(qiáng)后的部分進(jìn)行二值化 處理，由此來(lái)檢測(cè)所述石英粉原料所含有色雜質(zhì)。所述檢測(cè)單元可使用由構(gòu)成彩色攝像單 元6的(XD攝影機(jī)所拍攝的圖像，以進(jìn)行如上所述的黑白圖像處理。接著，以下對(duì)依據(jù)本發(fā)明的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)方法進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的檢測(cè)方法是運(yùn)送由原料供給單元2以恒定量為單位而連續(xù)供給的石英 粉原料，并從所運(yùn)送的所述石英粉原料Q的至少上方，將規(guī)定波長(zhǎng)的光轉(zhuǎn)換為散射光后，對(duì) 所運(yùn)送的所述石英粉原料進(jìn)行照射，再對(duì)灰度已清晰化的所述石英粉原料的彩色圖像進(jìn)行 連續(xù)攝像，由此來(lái)檢測(cè)石英粉原料所含有色雜質(zhì)。如上所述的內(nèi)容僅為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的一個(gè)例示，可在權(quán)利要求的范圍內(nèi)追加各 種更改。[實(shí)施例]其次，采用本發(fā)明的檢測(cè)裝置，對(duì)石英粉原料中所含有色雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，并評(píng)估所 述檢測(cè)的檢測(cè)精度。實(shí)施例是采用圖1所示的檢測(cè)裝置，對(duì)石英粉原料(平均粒徑240 u m)中所含有 色雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)，且將檢測(cè)出來(lái)的有色雜質(zhì)去除，再回收去除后的石英粉。為了進(jìn)行比較，而采用除了未設(shè)置光擴(kuò)散照射單元以外其它結(jié)構(gòu)均和圖1相同的 檢測(cè)裝置(比較例)，并進(jìn)行和實(shí)施例相同的處理。其結(jié)果，和比較例相比，實(shí)施例中石英粉陰影所造成的誤探測(cè)較少，有色雜質(zhì)的檢 測(cè)精度優(yōu)異。[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]根據(jù)本發(fā)明，即便石英粉中含有有色雜質(zhì)，尤其含有鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄 物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi)的淺色有色雜質(zhì)，也可以進(jìn)行高精度檢測(cè)。
權(quán)利要求
一種石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于具備原料供給單元，用于以恒定量為單位連續(xù)供給具有多邊形外表面的白色石英粉原料；傳送帶運(yùn)送單元，運(yùn)送由所述原料供給單元連續(xù)供給的所述石英粉原料；第1發(fā)光單元，位于所述傳送帶運(yùn)送單元的上方，且發(fā)出規(guī)定波長(zhǎng)的光；光擴(kuò)散照射單元，位于所述第1發(fā)光單元的下方且在所述傳送帶運(yùn)送單元的上方，使所述第1發(fā)光單元發(fā)出的光在轉(zhuǎn)換為散射光后，對(duì)由傳送帶運(yùn)送單元所運(yùn)送的所述石英粉原料進(jìn)行照射；及彩色攝像單元，位于所述傳送帶運(yùn)送單元的上方，對(duì)所述石英粉原料的彩色圖像進(jìn)行連續(xù)攝像；且，通過(guò)利用來(lái)自所述光擴(kuò)散照射單元的散射光對(duì)所述石英粉原料進(jìn)行照射，而使由所述彩色攝像單元攝像的彩色圖像的色彩差別清晰化，由此來(lái)對(duì)所述石英粉原料所含有色雜質(zhì)進(jìn)行檢測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述光 擴(kuò)散照射單元具有下表面形成凹凸而成的透明塑料板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所 述發(fā)光單元發(fā)出的光是波長(zhǎng)為20 SOOnm范圍的可見(jiàn)光。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述傳 送帶運(yùn)送單元由透光材料所構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述檢 測(cè)裝置還具備第2發(fā)光單元，其從所述傳送帶運(yùn)送單元的下方側(cè)對(duì)由所述傳送帶運(yùn)送單元 運(yùn)送的所述石英粉原料照射光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所 述檢測(cè)裝置通過(guò)進(jìn)而具備如下單元來(lái)提高有色雜質(zhì)的檢測(cè)精度，所述單元利用微分干涉顯 微鏡，對(duì)所述傳送帶運(yùn)送單元所運(yùn)送的所述石英粉原料的黑白圖像進(jìn)行攝像，并應(yīng)用空間 濾光片，對(duì)經(jīng)所述攝像的黑白圖像，增強(qiáng)了亮度可變化的部分，再通過(guò)對(duì)經(jīng)所述增強(qiáng)的部分 進(jìn)行二值化處理，來(lái)檢測(cè)所述石英粉原料中所含的有色雜質(zhì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述石 英粉原料中的石英粉的平均粒徑為20 1000 μ m。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所述石 英粉原料中的有色雜質(zhì)為鐵類(lèi)廢棄物、有機(jī)物類(lèi)廢棄物、碳類(lèi)廢棄物之類(lèi)的淺色有色雜質(zhì)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)裝置，其特征在于所 述石英粉原料中的有色雜質(zhì)的平均粒徑為20 1000 μ m。
10.一種石英粉原料所含有色雜質(zhì)的檢測(cè)方法，其特征在于運(yùn)送具有多邊形外表面 的白色石英粉原料，并從所運(yùn)送的所述石英粉原料的至少上方，使規(guī)定波長(zhǎng)的光在轉(zhuǎn)換為 散射光后，對(duì)所運(yùn)送的所述石英粉原料進(jìn)行照射，并對(duì)灰度經(jīng)清晰化處理的所述石英粉原 料的彩色圖像進(jìn)行連續(xù)攝像，由此，檢測(cè)所述石英粉原料所含有色雜質(zhì)。
全文摘要
本發(fā)明的檢測(cè)裝置1具備原料供給單元2，用于以恒定量為單位連續(xù)供給石英粉原料；傳送帶運(yùn)送單元3，用以運(yùn)送由此原料供給單元2所連續(xù)供給的所述石英粉原料Q；第1發(fā)光單元4，發(fā)出規(guī)定波長(zhǎng)的光；光擴(kuò)散照射單元5，使所述第1發(fā)光單元4發(fā)出的光轉(zhuǎn)換為散射光后，對(duì)由傳送帶運(yùn)送單元3所運(yùn)送的所述石英粉原料Q進(jìn)行照射；以及彩色攝像單元6，對(duì)所述石英粉原料Q的彩色圖像進(jìn)行連續(xù)攝像；且，通過(guò)使來(lái)自所述光擴(kuò)散照射單元5的散射光對(duì)所述石英粉原料Q進(jìn)行照射，而使由所述彩色攝像單元6攝像的彩色圖像的灰度清晰化，以此檢測(cè)所述石英粉原料Q中所含的有色雜質(zhì)。
文檔編號(hào)G01N21/85GK101813637SQ200910216899
公開(kāi)日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月26日
發(fā)明者志滿(mǎn)津敦, 森川正樹(shù) 申請(qǐng)人:日本超精石英株式會(huì)社