專利名稱：一種鏡面反射型真空度測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鏡面反射型真空度測量裝置，屬于精密測量技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在工業(yè)測量中，經(jīng)常遇到進行真空度測量的場合，但是目前真空度測量裝置體積 較大，且價值昂貴，使用步驟繁瑣，限制了普通工業(yè)場合的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述不足，本發(fā)明提供了一種鏡面反射型真空度測量裝置，這種裝置內(nèi)部有 固定氣壓，隨空間真空度變化柔性鏡面變形從而使反射光線在同一平面指向不同的方向， 用處理好的刻度標(biāo)尺接收光線，可以直接讀出空間真空度值。本發(fā)明通過以下技術(shù)實現(xiàn)它包括一塊圓形鏡面向外的柔性鏡面及一塊圓形剛性密封板固定在剛性密封圈 上構(gòu)成一個密閉空間，刻度標(biāo)尺固定在剛性密封圈上，激光束、反射光線和刻度標(biāo)尺在同一 平面上。本發(fā)明的鏡面反射型真空度測量裝置，主要由剛性密封圈，剛性密封板，柔性鏡 面，刻度標(biāo)尺及其固定裝置組成，其特征為該裝置由一塊圓形鏡面向外的柔性鏡面及一塊 圓形剛性密封板固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個密閉空間，刻度標(biāo)尺固定在剛性密封圈上， 激光束、反射光線和刻度標(biāo)尺在同一平面上，在內(nèi)外氣壓相同時激光束垂直指向鏡面非圓 心處，當(dāng)測量某一密閉空間內(nèi)的真空度時，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的 柔性鏡面變形改變反射光線的方向，指向不同的刻度，即可讀出被測密閉空間的真空度。本發(fā)明的優(yōu)點是，裝置體積小，價格便宜，使用方便，操作安全，特別適合在普通工 業(yè)場合使用。


圖1是是該裝置的縱剖面構(gòu)造圖；圖2是該裝置的工作原理圖；圖3是是該裝置的縱剖面平面圖。圖中，1、剛性密封圈，2、剛性密封板，3、柔性鏡面，4、激光束，5、刻度標(biāo)尺，6、反射 光線。
具體實施例方式圖1、圖2、圖3中，為該裝置的剖切圖。該裝置由一塊圓形剛性密封板2和一塊圓 形鏡面向外的柔性鏡面3固定在一只剛性密封圈1構(gòu)成一個密閉空間，刻度標(biāo)尺5固定在 剛性密封圈1上，且激光束4、反射光線6和刻度標(biāo)尺5在同一平面上，在內(nèi)外氣壓相同時激 光束4垂直指向鏡面3非圓心處，當(dāng)測量某一密閉空間的真空度時，該將裝置放置其中，在氣壓的差作用下，該裝置的柔性鏡面3變形改變反射光線6的方向，指向不同的刻度，即可 讀出被測密閉空間的真空度。
權(quán)利要求
1. 一種鏡面反射型真空度測量裝置，其特征是，它包括一塊圓形鏡面向外的柔性鏡面 及一塊圓形剛性密封板固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個密閉空間，刻度標(biāo)尺固定在剛性密封 圈上，激光束、反射光線和刻度標(biāo)尺在同一平面上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種鏡面反射型真空度測量裝置，它包括一塊圓形鏡面向外的柔性鏡面及一塊圓形剛性密封板固定在剛性密封圈上構(gòu)成一個密閉空間，刻度標(biāo)尺固定在剛性密封圈上，激光束、反射光線和刻度標(biāo)尺在同一平面上。當(dāng)測量某一密閉空間內(nèi)的真空度時，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的柔性鏡面變形改變反射光線的方向，指向不同的刻度，即可讀出被測密閉空間的真空度。
文檔編號G01L21/00GK102062665SQ200910222459
公開日2011年5月18日 申請日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者劉 東, 劉保龍, 孫樹萌, 張西鑫, 王立崗, 莫才勇, 馬新全 申請人:劉保龍