專利名稱：工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置。
背景技術(shù)：
當前，工業(yè)生產(chǎn)對具有內(nèi)孔的工件(如半導(dǎo)體機臺中使用的管件及筒件)的內(nèi)孔 表面粗糙度要求越來越高。因此，工件使用前通常需經(jīng)過工件內(nèi)孔表面粗糙度測量，以判斷 工件是否符合使用要求。目前，工件內(nèi)孔表面粗糙度的測量大部分需通過大型精密測量機 臺完成(如光學(xué)檢測設(shè)備等)，成本較高。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種成本低的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置。一種工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其包括一個基座、至少三個固定板、至少三組 彈性元件、一個轉(zhuǎn)軸及一個測微表。所述基座包括一個承載面及至少一個設(shè)立于所述承載 面上的側(cè)壁。所述至少一個側(cè)壁界定一個具有一個固定中心軸的內(nèi)部空間。所述至少三個 固定板朝向所述固定中心軸放置于所述內(nèi)部空間內(nèi)。所述至少三組彈性元件用于連接對應(yīng) 的一個固定板至所述至少一個側(cè)壁上。所述至少三組彈性元件的作用力朝向所述固定中心 軸。所述轉(zhuǎn)軸沿所述中心軸設(shè)置。所述測微表包括一個探頭及一個讀書器。所述探頭固定 于所述轉(zhuǎn)軸，用于感測工件內(nèi)孔表面的粗糙度并產(chǎn)生對應(yīng)的電信號。所述讀數(shù)器與所述探 頭電性連接，用于接收并處理所述電信號、計算并顯示對應(yīng)的粗糙度。所述工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置采用簡單的機構(gòu)實現(xiàn)工件內(nèi)孔表面粗糙度的 測量，成本低。


圖1為本發(fā)明較佳實施方式的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置的立體示意圖。
具體實施例方式請參閱圖1，本發(fā)明較佳實施方式的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置100包括一個 基座10、三個固定板20、三組彈簧30、一個轉(zhuǎn)軸40及一個測微表50?；?0包括一個圓盤狀底板12及一個圓筒狀側(cè)壁14。圓盤狀底板12包括一個 承載面122。圓筒狀側(cè)壁14的外徑與圓盤狀底板12的直徑基本相同。圓筒狀側(cè)壁14對齊 圓盤狀底板12的邊緣垂直設(shè)立于承載面122上。如此，圓盤狀底板12與圓筒狀側(cè)壁14共 同界定一個圓筒狀內(nèi)部空間142。圓筒狀內(nèi)部空間142具有一個固定中心軸144，即圓筒狀 側(cè)壁14的中心軸。本實施方式中，圓盤狀底板12與圓筒狀側(cè)壁14 一體成型?？梢岳斫?，圓盤狀底板12并不限于本實施方式。在其他實施方式中，可采用其他 具有承載面122的底板替換圓盤狀底板12，如，方形底板。側(cè)壁14也不限于本實施方式。 在其他實施方式中，可采用其他可以界定一個具有一個固定中心軸144的內(nèi)部空間142的側(cè)壁。如，多個不連續(xù)的弧形側(cè)壁。圓盤狀底板12與圓筒狀側(cè)壁14也可以分離成型，再通 過膠合等方式組裝成基座10。三個固定板20形狀基本相同，為長方形板。每個固定板20包括一個固定面22。 固定面22上形成有咬紋222。三個固定板20放置于內(nèi)部空間142內(nèi)(如可直立放置于承 載面122上)。三個固定面22朝向固定中心軸144?？梢岳斫?，固定板20的形狀并不限于本實施方式，可為其他形狀，如圓盤狀。在其 他實施方式中，還可采用具有平滑的固定面(即沒有咬紋222)的固定板。三組彈簧30分別用于連接一個固定板20至圓筒狀側(cè)壁14。本實施方式中，固定 板20由彈簧30懸掛于內(nèi)部空間142內(nèi)。具體地，每組彈簧30包括有一個彈簧30。每個 彈簧30基本沿圓筒狀側(cè)壁14的直徑方向連接固定板20與圓筒狀側(cè)壁14，且(1)當工件 200具有圓形外輪廓時，一個彈簧30的自然長度、一個固定板20的厚度及工件200的外徑 之和大于圓筒狀側(cè)壁14的內(nèi)半徑；及(2)當工件200具有非圓外輪廓時，一個彈簧30的自 然長度、一個固定板20的厚度及工件200外輪廓的最長尺寸的一半之和大于圓筒狀側(cè)壁14 的內(nèi)半徑。如此，當工件200放置于固定板20之間時，彈簧30將被壓縮，并產(chǎn)生朝向固定 中心144的作用力，以約束固定板20固定工件200。優(yōu)選地，三組彈簧30及三個固定板20等角分布于圓筒狀側(cè)壁14的內(nèi)圓周上，如 此，更有利于工件200的受力平衡與固定?？梢岳斫?，固定板20的個數(shù)與彈簧30的組數(shù)不 限于本實施方式。在其他實施方式中，視定位強度的需求，可以采用更多個的固定板20及 更多組的彈簧30。可以理解，彈簧30也不限于本實施方式。在其他實施方式中，可采用其 他的彈性元件替換彈簧30，如，彈片。轉(zhuǎn)軸40可以為馬達的轉(zhuǎn)子，其沿固定中心軸144設(shè)置。本實施方式中，轉(zhuǎn)軸自圓 盤狀底板12下面轉(zhuǎn)動伸入內(nèi)部空間142并沿固定中心軸144設(shè)置。所述測微表50附設(shè)于轉(zhuǎn)軸40上，其包括一個讀數(shù)器52，一個連接板54及一個探 頭56。連接板54固定于轉(zhuǎn)軸40上，讀數(shù)器52和探頭56固定于連接板54上。探頭56用 于連續(xù)感測工件200的內(nèi)孔表面粗糙度并產(chǎn)生對應(yīng)的電信號。讀數(shù)器52與探頭56電性連 接，用于接收并處理探頭56產(chǎn)生的電信號、計算并顯示工件200的內(nèi)孔表面的粗糙度。優(yōu) 選地，轉(zhuǎn)軸40可以沿固定中心軸上下移動。如此，探頭56可以感測整個工件200內(nèi)孔的粗 糙度。可以理解，測微表50的設(shè)置并不限于本實施方式。如在其實施方式中，探頭56可 通過其他手段固定于轉(zhuǎn)軸40上，如捆綁或膠合，而讀數(shù)器52可與轉(zhuǎn)軸40分離設(shè)置，如此可 省去連接板54。利用工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置100測量工件200內(nèi)孔表面的粗糙度時，首先 需克服三組彈簧30的彈力，撐開三個固定板20，將工件200放置于內(nèi)部空間142內(nèi)但套設(shè) 于轉(zhuǎn)軸40及測微表50外。釋放三個固定板20，使其在三組彈簧30的彈力作用下約束工件 200，將工件200固定于承載面122上，同時，探頭56與工件內(nèi)孔表面接觸。啟動轉(zhuǎn)軸40，使 其帶動探頭56轉(zhuǎn)動，感測工件內(nèi)孔表面的粗糙度，感測完畢后，讀數(shù)器52計算并顯示工件 200內(nèi)孔表面的粗糙度。工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置100采用簡單的機構(gòu)實現(xiàn)工件內(nèi)孔表面粗糙度的 測量，成本低。
本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當認識到，以上的實施方式僅是用來說明本發(fā)明， 而并非用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實質(zhì)精神范圍之內(nèi)，對以上實施例所作的 適當改變和變化都落在本發(fā)明要求保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于包括一個基座，其包括一個承載面及至少一個設(shè)立于所述承載面上的側(cè)壁，所述至少一個側(cè)壁界定一個具有一個固定中心軸的內(nèi)部空間；至少三個朝向所述固定中心軸放置于所述內(nèi)部空間內(nèi)的固定板；至少三組用于連接對應(yīng)的一個固定板至所述至少一個側(cè)壁上的彈性元件，所述至少三組彈性元件的作用力朝向所述固定中心軸；一個沿所述中心軸設(shè)置的轉(zhuǎn)軸；及一個測微表，其包括一個固定于所述轉(zhuǎn)軸的探頭及一個與所述探頭電性連接的讀數(shù)器，所述探頭用于感測工件內(nèi)孔表面的粗糙度并產(chǎn)生對應(yīng)的電信號，所述讀數(shù)器用于接收并處理所述電信號、計算并顯示對應(yīng)的粗糙度。
2.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述至少一個側(cè) 壁為一個圓筒狀側(cè)壁。
3.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述基座還包括 一底板，所述底板包括所述承載面。
4.如權(quán)利要求3所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述底板與所述 至少一個側(cè)壁一體成形。
5.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述固定板包括 一個朝向所述固定中心軸的固定面，所述固定面形成有咬紋。
6.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述彈性元件為 彈簧或彈片。
7.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，每組彈性元件包 括一個彈簧。
8.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述至少三組彈 性元件及所述至少三個固定板等角分布于所述側(cè)壁的內(nèi)圓周上。
9.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述測微表還包 括一個連接板，所述連接板固定于所述轉(zhuǎn)軸上，所述探頭及所述讀數(shù)表固定于所述連接板 上。
10.如權(quán)利要求1所述的工件內(nèi)表面粗糙度測量裝置，其特征在于，所述探頭通過捆綁 或膠合方式固定于所述轉(zhuǎn)軸上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置，其包括一個基座、三個固定板、三組彈性元件、一個轉(zhuǎn)軸及一個測微表?；ㄒ粋€承載面及一個設(shè)立于承載面上的側(cè)壁。側(cè)壁界定一個具有一個固定中心軸的內(nèi)部空間。三個固定板朝向固定中心軸放置于內(nèi)部空間內(nèi)。三組彈性元件用于連接對應(yīng)的一個固定板至側(cè)壁上，其作用力朝向固定中心軸。轉(zhuǎn)軸沿中心軸設(shè)置。測微表包括一個探頭及一個讀數(shù)器。探頭固定于轉(zhuǎn)軸，用于感測工件內(nèi)孔表面的粗糙度并產(chǎn)生對應(yīng)的電信號。讀數(shù)器與探頭電性連接，用于接收并處理電信號、計算并顯示對應(yīng)的粗糙度。本發(fā)明的工件內(nèi)孔表面粗糙度測量裝置采用簡單的機構(gòu)實現(xiàn)工件內(nèi)孔表面粗糙度的測量，成本低。
文檔編號G01B7/34GK101929835SQ20091030348
公開日2010年12月29日 申請日期2009年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月22日
發(fā)明者王子威 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司