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      氣浮立柱式圓柱度測量儀的制作方法

      文檔序號:5847230閱讀:203來源:國知局
      專利名稱:氣浮立柱式圓柱度測量儀的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及一種圓柱度測量儀,尤其涉及一種采用氣浮立柱的圓柱度 背景技術(shù)在圓柱度測量儀中,為了保證測量結(jié)果準(zhǔn)確可靠,對測量立柱提出了較高 要求,其主要參數(shù)為Z軸導(dǎo)軌移動直線度和Z軸導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線的平行度。現(xiàn) 有技術(shù)由于測量工具間的自身部件運動所產(chǎn)生摩擦力會帶來運動不平穩(wěn)的問 題,直接導(dǎo)致了圓柱度測量儀在進行測量時所要求的精度和可靠性得不到保證, 難以達到測量精度要求。 實用新型內(nèi)容本實用新型目的是提供一種氣浮立柱式圓柱度測量儀,其克服現(xiàn)有圓柱度 測量儀在進行測量時所要求的精度和可靠性得不到保證的技術(shù)問題。 本實用新型的技術(shù)解決方案為一種氣浮立柱式圓柱度測量儀,包括放置在大理石臺面上的立柱框架、設(shè) 置在立柱框架內(nèi)的立柱組件、可沿著立柱組件上下運動的傳感器導(dǎo)軌、設(shè)置在 傳感器導(dǎo)軌上的光柵傳感器,其特殊之處在于上述立柱組件包括空心柱狀大理石立柱、設(shè)置在大理石立柱下端面的大理 石下靠座、設(shè)置在大理石立柱上端面的大理石上靠座,上述立柱框架和大理石下靠座之間設(shè)置有下鋼珠,所述立柱框架通過下鋼 珠支撐大理石下靠座,所述立柱框架和大理石上靠座之間設(shè)置有上鋼珠,所述 立柱框架上端面設(shè)置有可壓緊上鋼珠的鋼珠螺桿,所述立柱框架通過鋼珠螺桿 壓緊上鋼珠的方式固定大理石上靠座,所述大理石上靠座的前側(cè)面設(shè)置有前調(diào) 整安裝座,所述前調(diào)整安裝座上設(shè)置有可調(diào)整大理石上靠座與立柱框架之間相 互距離的前調(diào)整組件,所述大理石上靠座的后側(cè)面與立柱框架之間設(shè)置有前調(diào) 整板簧,所述大理石上靠座的左側(cè)面上設(shè)置有可調(diào)整大理石上靠座與立柱框架3之間相互距離的側(cè)調(diào)整組件,所述大理石上靠座的右側(cè)面與立柱框架之間設(shè)置 有側(cè)調(diào)整板簧,上述傳感器導(dǎo)軌為設(shè)置在大理石立柱外側(cè)的氣浮導(dǎo)軌組件,其在絲杠的帶 動下可沿著大理石立柱外側(cè)上下運動。 本實用新型的優(yōu)點為1、 測量精度高。本實用新型中氣浮導(dǎo)軌組件在隨著絲桿沿立柱上下運動時 所產(chǎn)生的氣膜可消除金屬摩擦,保證了運動的高精度、運動的高平穩(wěn)性以及高可靠性。本實用新型的調(diào)整結(jié)果可保證z軸導(dǎo)軌移動直線度達到0. 35um/100mm。2、 調(diào)節(jié)精度高。本實用新型通過采用鋼珠支撐立柱組件,再由前調(diào)整組件 和側(cè)調(diào)整組件來調(diào)整立柱的中心軸,可保證z軸導(dǎo)軌與被測產(chǎn)品回轉(zhuǎn)軸線的平 行度達到1. 54um/300mm。3、 結(jié)構(gòu)簡單。本實用新型采用氣浮導(dǎo)軌組件,達到預(yù)期效果的同時結(jié)構(gòu)非 常簡單。


      圖l為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖;附圖標(biāo)記如下l-立柱框架,2-下靠座,3-下鋼珠,4-立柱組件,5-氣浮 導(dǎo)軌組件,6-絲桿,7-前調(diào)整安裝座,8-上靠座,9-前調(diào)整組件,10-側(cè)調(diào)整組 件,11-側(cè)調(diào)整板簧,12-上鋼珠,13-鋼珠螺桿,14-前調(diào)整板簧,15-頂蓋,16-立柱。
      具體實施方式
      參見圖l,本實用新型中,立柱框架1底座與大理石工作臺面接觸,立柱框 架1內(nèi)部安裝立柱組件4。立柱組件4包括大理石立柱16、大理石下靠座2和 大理石上靠座8。立柱組件4的下靠座2和下鋼珠3使立柱組件4與立柱框架1 底座相接觸,立柱組件4的上靠座8通過上鋼珠12與鋼珠螺桿13相連,設(shè)置 在立柱組件4的上靠座8和立柱框架1之間的前調(diào)整安裝座7、前調(diào)整組件9、 前調(diào)整板簧14以及側(cè)調(diào)整組件10、側(cè)調(diào)整板簧11將立柱組件4固定豎立在立 柱框架1內(nèi)。在立柱16上安裝有氣浮導(dǎo)軌組件5,使立柱16與氣浮導(dǎo)軌組件5 間形成氣膜,當(dāng)氣浮導(dǎo)軌組件5隨著絲桿6沿立柱16上下運動時,氣膜的存在 可消除金屬摩擦,保證了運動的高精度、運動的高平穩(wěn)性以及高可靠性,保證了Z軸導(dǎo)軌移動的直線度。在本實用新型中,前調(diào)整安裝座7上的前調(diào)整組件9是通過前調(diào)整板簧14 的彈性力來固定立柱組件,由于立柱框架1的底座是通過下鋼珠3對立柱組件4 進行點接觸支撐的,從而當(dāng)調(diào)節(jié)前調(diào)整組件9和立柱框架1之間的相對距離時, 立柱組件4將以下鋼珠3為支撐點在前后方向進行傾斜調(diào)節(jié);同樣,側(cè)調(diào)整組 件10是通過側(cè)調(diào)整板簧11的彈性力來固定立柱組件,從而當(dāng)調(diào)節(jié)側(cè)調(diào)整組件 10和立柱框架1之間的相對距離時,立柱組件4將以下鋼珠3為支撐點在左右 方向進行傾斜調(diào)節(jié),最終保證立柱中心軸線(即z軸氣浮導(dǎo)軌)與被測產(chǎn)品回 轉(zhuǎn)軸線的平行度。
      權(quán)利要求1、一種氣浮立柱式圓柱度測量儀,包括放置在大理石臺面上的立柱框架、設(shè)置在立柱框架內(nèi)的立柱組件、可沿著立柱組件上下運動的傳感器導(dǎo)軌、設(shè)置在傳感器導(dǎo)軌上的光柵傳感器,其特征在于所述立柱組件包括空心柱狀大理石立柱、設(shè)置在大理石立柱下端面的大理石下靠座、設(shè)置在大理石立柱上端面的大理石上靠座,所述立柱框架和大理石下靠座之間設(shè)置有下鋼珠,所述立柱框架通過下鋼珠支撐大理石下靠座,所述立柱框架和大理石上靠座之間設(shè)置有上鋼珠,所述立柱框架上端面設(shè)置有可壓緊上鋼珠的鋼珠螺桿,所述立柱框架通過鋼珠螺桿壓緊上鋼珠的方式固定大理石上靠座,所述大理石上靠座的前側(cè)面設(shè)置有前調(diào)整安裝座,所述前調(diào)整安裝座上設(shè)置有可調(diào)整大理石上靠座與立柱框架之間相互距離的前調(diào)整組件,所述大理石上靠座的后側(cè)面與立柱框架之間設(shè)置有前調(diào)整板簧,所述大理石上靠座的左側(cè)面上設(shè)置有可調(diào)整大理石上靠座與立柱框架之間相互距離的側(cè)調(diào)整組件,所述大理石上靠座的右側(cè)面與立柱框架之間設(shè)置有側(cè)調(diào)整板簧,所述傳感器導(dǎo)軌為設(shè)置在大理石立柱外側(cè)的氣浮導(dǎo)軌組件,其在絲杠的帶動下可沿著大理石立柱外側(cè)上下運動。
      專利摘要本實用新型涉及一種氣浮立柱式圓柱度測量儀,包括放置在大理石臺面上的立柱框架、設(shè)置在立柱框架內(nèi)的立柱組件、可沿著立柱組件上下運動的傳感器導(dǎo)軌、設(shè)置在傳感器導(dǎo)軌上的光柵傳感器。其克服現(xiàn)有圓柱度測量儀在進行測量時所要求的精度和可靠性得不到保證的技術(shù)問題。本實用新型具有測量精度高、調(diào)節(jié)精度高、結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點。
      文檔編號G01B11/24GK201407996SQ20092003294
      公開日2010年2月17日 申請日期2009年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月5日
      發(fā)明者戴桂秋 申請人:西安威而信精密儀器有限公司
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