專利名稱：齊焦檢查儀的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種顯微鏡的齊焦檢查裝置。
背景技術：
顯微鏡的物鏡結構復雜，制作精密，由于對象差的校正，金屬的物鏡筒內(nèi)由相隔一定距 離并被固定的透鏡組組合而成。物鏡有許多具體的要求，齊焦是其中重要的檢查項目。齊焦 既是在鏡檢時，當用某一倍率的物鏡觀察圖象清晰后，在轉換另一倍率的物鏡時，其成象亦 應基本清晰。齊焦性能的優(yōu)劣是顯微鏡質(zhì)量的一個重要標志。
原有齊焦檢查儀的原理如圖6，光源1通過聚光鏡2，聚焦在載物臺的十字分劃板3上，此 時，十字分劃板作為物象經(jīng)物鏡4成像后進入目鏡5，成像于人眼。調(diào)節(jié)粗/細對焦螺旋6，首 先，確定標準物鏡在齊焦位置時粗/細對焦螺旋上的刻度線所對應的讀數(shù)數(shù)值(基準數(shù)值)。 然后，從目鏡觀察十字分劃板，再依次在同一孔位旋入(4X ， IOX， 20X， 60X， 100X)物鏡， 分別調(diào)至最清晰狀態(tài)，并分別讀取粗/細對焦螺旋上的刻度線所對應的讀數(shù)數(shù)值；此讀數(shù)數(shù) 值與基準數(shù)值之差，即為齊焦的誤差精度。
此種透射式光路結構為常規(guī)的光路結構以及檢驗方式，是現(xiàn)有光路結構檢查齊焦的典范。 此種檢査方法，由于人眼的誤差，齊焦精度不是特別高。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種可以提高齊焦檢查精度的齊焦檢査裝置。 該齊焦檢查儀，包括設置在機架上的平行光光源和物像，它還包括半透半反棱鏡、可沿 被檢物鏡軸向移動的反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠處設置平行光光源和物像，在被檢 物鏡軸線前后端分別設置半透半反棱鏡和反射鏡，在半透半反棱鏡的側部設置目鏡；平行光 光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦面上成像；反射鏡捕捉的成 像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉向，進入目鏡，使得反 射物像成像于人眼。
本齊焦檢査儀是利用平行光打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦 面上成像，利用可沿被檢物鏡軸向移動的反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡， 通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉向，進入目鏡，使得反射物像成像于人眼；通過調(diào)節(jié)反射 鏡在被檢物鏡軸向的移動位置，使得反射物像的成像清晰；根據(jù)反射鏡相對于標準齊焦位置 的距離，判斷被檢物鏡的齊焦程度。該齊焦檢查儀是利用的反射式光路，具體地說，其是利 用平行光(光源)打出的物像(如十字分化板的十字線)經(jīng)過半透半反棱鏡透射以及被檢物鏡，在被檢物鏡的焦面上成像；利用反射鏡，捕捉成像，成為反射光路的被檢物鏡的焦點上的物 象，然后通過被檢物鏡，通過半透半反棱鏡轉向，經(jīng)過目鏡，成像于人眼。利用此反射式光 路檢驗物鏡的齊焦性能，可以將齊焦精度提高一倍。
為了精確反映反射鏡相對于各個被檢物鏡的移動位置，它還包括設置機架上的滑軌和測 距儀(如千分表)；反射鏡與滑軌在平行于被檢物鏡軸向成滑動連接；測距儀與反射鏡連接， 以反映反射鏡相對于滑軌的移動距離。
為了方便更換各個被檢物鏡，它還包括設置機架上的物鏡座；被檢物鏡與物鏡座成可拆 卸連接。
為了防止產(chǎn)生色差，觀察受到受色差的影響。所述光源為單色光光源，中心波長D線。 為了能夠清晰看到成像，所述物像為暗場十字分化板的十字線。最好在平行光光源與十 字分化板之間設置場鏡。由于場鏡能夠起到使軸外光束向光軸偏折的作用，因此能夠有效地 將光線收攏，使出射光束的口徑減小，從而可以降低對后續(xù)透鏡通光孔徑的要求，而且場鏡 可以將十字分劃板邊緣部分的光，更好的進入光學系統(tǒng)。


圖l是本實用新型的齊焦檢查儀的示意圖。 圖2是圖1中的物鏡座的示意圖。 圖3是圖1中的物鏡連接滑塊示意圖。 圖4是圖1中的光路系統(tǒng)示意圖。
圖5是反映平面反射鏡反射面、物鏡焦平面、實際像平面的相對關系的光路示意圖。 圖6是原有的齊焦檢査儀的示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖詳細說明本實用新型的具體實施方式
。
圖l所示的齊焦檢査儀，物鏡座1設置機架2上。物鏡座l的上方開有燕尾槽(參見圖2)。 燕尾槽內(nèi)設置有物鏡連接滑塊3 (參見圖3)。物鏡連接滑塊3的中心開有螺紋孔31，以與被檢 物鏡4連接。物鏡連接滑塊3的外側是與燕尾槽相應的燕尾滑軌32。物鏡座上的燕尾槽的軸向 垂直于被檢物鏡4的軸向。燕尾槽在垂直于被檢物鏡的軸向可以根據(jù)要求插入不同大小螺紋孔 的物鏡連接滑塊3，以更換不同規(guī)格的物鏡。比如如果被檢物鏡螺紋規(guī)格為M27X0.75; 則可以插入M27X0. 75規(guī)格的物鏡連接滑塊。
在被檢物鏡的軸向上方設置平面反射鏡5。平面反射鏡5的背面與設置在機架上的千分 表6的表桿接觸。千分表6的表桿在被檢物鏡的軸向方向上。平面反射鏡與機架上的滑軌(未 示出)在平行于被檢物鏡軸向成滑動連接，千分表6可以反映反射鏡相對于滑軌的移動距離。物鏡座l的內(nèi)部有半透半反棱鏡7，在半透半反棱鏡的側部設置三角棱鏡8和目鏡9。在 半透半反棱鏡的下部設置反射棱鏡10，反射棱鏡10的側部依次設置暗場十字分化板11、場 鏡12、聚光鏡13、單色光燈源14。其光路系統(tǒng)參見圖4，
單色光燈源14經(jīng)過聚光鏡13，形成平行光經(jīng)過場鏡12打在暗場十字分化板11上，形 成十字成像。在暗場十字分化板前，直接貼上場鏡，從而使主光線平行，并且減少雜散光。 十字分劃板的像經(jīng)過棱鏡10垂直向上，通過半透半反棱鏡7的透射，經(jīng)過被檢測物鏡，聚焦 在被檢物鏡焦平面上。如果平面反射鏡在被檢物鏡焦平面上，光線沿原路返回，通過半透半 反棱鏡7轉向到三角棱鏡8，進入目鏡9;人眼觀察。
具體的齊焦檢査步驟
首先，用塊規(guī)的方法，或者使用標準物鏡，移動平面反射鏡，定下標準焦距距離時的平 面反射鏡的位置(標準齊焦位置)，作為定位點。
第二步將千分表置零。
第三步抽出物鏡連接滑塊，旋上被檢物鏡，再插入物鏡座。
第四步調(diào)節(jié)平面反射鏡的位置，將觀察的像調(diào)節(jié)到最清楚狀態(tài)，讀取千分表讀數(shù)，此 讀數(shù)，即為檢查出來的齊焦誤差精度。
重復以上方法，可以測出不同規(guī)格，不同物鏡的齊焦精度誤差。 下面具體說明為什么此齊焦精度可以提高一倍。
參見圖5所示，假設平面反射鏡反射面16現(xiàn)在為標準齊焦位置；物鏡焦平面15為實際
物鏡成像位置。從光路上來看，物鏡焦平面到標準齊焦位置的距離雖然只為h，但是觀察起
來等于離焦了 2h (從物鏡焦平面15到實際像平面17的距離)。比離焦一倍要模糊。所以， 其靈敏度高，成像好，齊焦精度可以提高一倍。
權利要求1.齊焦檢查儀，包括設置在機架上的平行光光源和物像，其特征是它還包括半透半反棱鏡、可沿被檢物鏡軸向移動的反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠處設置平行光光源和物像，在被檢物鏡軸線前后端分別設置半透半反棱鏡和反射鏡，在半透半反棱鏡的側部設置目鏡；平行光光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦面上成像；利用反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉向，進入目鏡，使得反射物像成像于人眼。
2. 根據(jù)權利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是它還包括設置機架上的滑軌和測距儀； 反射鏡與滑軌在平行于被檢物鏡軸向成滑動連接；測距儀與反射鏡連接，以反映反射鏡相對 于滑軌的移動距離。
3. 根據(jù)權利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是它還包括設置機架上的物鏡座；被檢 物鏡與物鏡座成可拆卸連接。
4. 根據(jù)權利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是所述光源為單色光光源。
5. 根據(jù)權利要求1所述的齊焦檢查儀，其特征是所述物像為暗場十字分化板的十字線。
6. 根據(jù)權利要求5所述的齊焦檢查儀，其特征是在平行光光源與十字分化板之間設置 場鏡。
專利摘要本實用新型的目的是提供一種可以提高齊焦檢查精度的齊焦檢查裝置。該齊焦檢查儀包括設置在機架上的平行光光源和物像，它還包括半透半反棱鏡、可沿被檢物鏡軸向移動的反射鏡；在被檢物鏡軸線前端無限遠處設置平行光光源和物像，在被檢物鏡軸線前后端分別設置半透半反棱鏡和反射鏡，在半透半反棱鏡的側部設置目鏡；平行光光源打出的物像通過半透半反棱鏡透射，再經(jīng)過被檢物鏡在其焦面上成像；反射鏡捕捉的成像作為反射物像反射入被檢物鏡，通過被檢物鏡后經(jīng)半透半反棱鏡轉向，進入目鏡，使得反射物像成像于人眼。
文檔編號G01M11/02GK201359560SQ200920036730
公開日2009年12月9日 申請日期2009年2月24日 優(yōu)先權日2009年2月24日
發(fā)明者趙躍東 申請人:南京東利來光電實業(yè)有限責任公司