專利名稱：提高探針卡上探針壽命的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體測試裝置，特別是涉及一種用于半導(dǎo)體測試中探針卡 的裝置。
背景技術(shù)：
目前，隨著先進的集成電路(IC)設(shè)計方法和高密度生產(chǎn)技術(shù)的使用，集成電路設(shè) 計從晶體管的集成發(fā)展到邏輯門的集成，現(xiàn)在又發(fā)展到IP的集成，半導(dǎo)體廠商能夠把不同 的數(shù)字和模擬電路集成在極小芯片上，即系統(tǒng)級芯片SoC(SyStem on Chip)設(shè)計技術(shù)。SoC 可以有效地降低電子/信息系統(tǒng)產(chǎn)品的開發(fā)成本，縮短開發(fā)周期，提高產(chǎn)品的競爭力，是未 來工業(yè)界將采用的最主要的產(chǎn)品開發(fā)方式。SoC是在一個芯片上由于廣泛使用預(yù)定制模塊 IP (Intellectual Property)而得以快速開發(fā)的集成電路。其包含了設(shè)計和測試等更多技 術(shù)的一項新的設(shè)計技術(shù)。系統(tǒng)芯片盡管具有先進的設(shè)計和制造能力，可是IC廠商在對這些多元器件進行 快速而又低成本地批量生產(chǎn)時，面對空前的挑戰(zhàn)當(dāng)把若干功能單元結(jié)合在一個單獨器件上 時，今天的SoC器件為減少批量生產(chǎn)時間和測試成本，向傳統(tǒng)的測試方法發(fā)起挑戰(zhàn)結(jié)果是， 廠商們將更廣泛地研究新方法，這些新方法通過在設(shè)計和測試之間的有效平衡，提供了一 個更有效地從事SoC設(shè)計、生產(chǎn)和測試的方案，并能夠同時做到減少其生產(chǎn)時間和測試費 用。隨著SOC芯片集成度的日益提高，芯片的功耗日益增大，IOOmA以上的芯片日趨 增多。在現(xiàn)有芯片的晶圓級測試過程中，因為這種較大的電流的存在，而導(dǎo)致了某些特殊情 況下探針卡的探針容易燒壞。導(dǎo)致探針卡的使用壽命減少，在發(fā)生故障時往往需要停止測 試，對探針卡進行維修，甚至需要重新制作探針卡，無法保證測試的順利進行，這樣會浪費 大量的測試時間，增加測試成本。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其可以 在原有探針發(fā)生故障的時候保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少 探針卡的維修和重新制作，保證測試的順利進行。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種提高探針卡上探針壽命的裝置，包 括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N ；每根探針通過各自連接的繼電 器1、繼電器2……繼電器N連接到測試儀的信號產(chǎn)生端；測試時，同一時間只有一個繼電 器閉合，其對應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一 根探針和繼電器，控制器測試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開關(guān)，當(dāng)目前工作的探針狀態(tài)異常 時，控制器控制工作探針相應(yīng)的繼電器斷開，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應(yīng)的探針 開始工作。本實用新型的有益效果在于其可以在原有探針發(fā)生故障的時候啟用備用探針，保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少探針卡的維修和重新制作，保 證測試的順利進行。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步的詳細(xì)說明。

圖1是本實用新型實施例所述的裝置的示意圖。
具體實施方式
本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其可以 在原有探針發(fā)生故障的時候保證探針卡仍然可是使用，有效提高探針卡的使用壽命，減少 探針卡的維修和重新制作，保證測試的順利進行。實用新型所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，可以包括探針卡8上的多根探 針，分別為探針1、探針2……探針N;每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電 器N連接到測試儀的信號產(chǎn)生端5，如器件電源DPS;測試時，同一時間只有一個繼電器閉 合，其對應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一根探 針和繼電器，用于測試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開關(guān)，當(dāng)目前工作的探針狀態(tài)異常時，控 制器控制工作探針相應(yīng)的繼電器斷開，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應(yīng)的探針開始 工作。所述測試儀的信號產(chǎn)生端為器件電源。所述的控制器可以是處理器等能夠進行測試和控制的裝置。例如，如圖1所示的本實用新型的一個實施例中，是對被測芯片6上的電源7進行 測試，對測試過程中比較容易燒壞的探針在探針卡8進行設(shè)計時，制作2根探針探針1和 探針2，該2根探針各通過繼電器1(圖中PC0N1)和繼電器2(圖中PC0N2)連接到測試儀的 信號產(chǎn)生端5。在本實施例中，信號產(chǎn)生端可以是器件電源DSP。在正式測試時，閉合繼電器1，斷開繼電器2，僅僅讓探針1在工作，探針2作為備用。當(dāng)探針1被燒，特性變差時，控制器通過測試程序控制，讓繼電器1斷開，繼電器2 閉合，從而探針2繼續(xù)完成后面的測試。本實用新型并不限于上文討論的實施方式。以上對具體實施方式
的描述旨在于為 了描述和說明本實用新型涉及的技術(shù)方案?；诒緦嵱眯滦蛦⑹镜娘@而易見的變換或替代 也應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為落入本實用新型的保護范圍。以上的具體實施方式
用來揭示本實用新型的最 佳實施方法，以使得本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠應(yīng)用本實用新型的多種實施方式以及多種 替代方式來達到本實用新型的目的。
權(quán)利要求一種提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，包括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N；每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電器N連接到測試儀的信號產(chǎn)生端；測試時，同一時間只有一個繼電器閉合，其對應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開關(guān)。
2.如權(quán)利要求1所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，所述探針數(shù)量為 兩根；每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2連接到測試儀的信號產(chǎn)生端，測試時，繼 電器1閉合，其對應(yīng)的探針1工作；另繼電器2斷開，其對應(yīng)的探針2不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開關(guān)。
3.如權(quán)利要求1所述的提高探針卡上探針壽命的裝置，其特征在于，所述測試儀的信 號產(chǎn)生端為器件電源。
專利摘要本實用新型公開了一種提高探針卡上探針壽命的裝置，包括探針卡上的多根探針，分別為探針1、探針2……探針N；每根探針通過各自連接的繼電器1、繼電器2……繼電器N連接到測試儀的信號產(chǎn)生端；測試時，同一時間只有一個繼電器閉合，其對應(yīng)的探針工作；其他繼電器斷開，其相應(yīng)的探針不工作；控制器分別連接每一根探針和繼電器，控制器測試探針狀態(tài)，并控制繼電器的開關(guān)，當(dāng)目前工作的探針狀態(tài)異常時，控制器控制工作探針相應(yīng)的繼電器斷開，并控制其他的某一繼電器閉合，其相應(yīng)的探針開始工作。本實用新型可以在原有探針發(fā)生故障的時候啟用備用探針，保證測試的順利進行。
文檔編號G01R1/067GK201666899SQ20092007463
公開日2010年12月8日 申請日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月22日
發(fā)明者?？Ｖ? 辛吉升 申請人:上海華虹Nec電子有限公司