專利名稱：懸臂式探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種探針卡，尤其涉及一種懸臂式探針卡。
背景技術(shù)：
按目前探針卡已廣泛應(yīng)用于各種測(cè)試領(lǐng)域，如印刷電路板測(cè)試、晶圓測(cè)
試、IC封裝測(cè)試、通訊產(chǎn)品及液晶面板測(cè)試等，皆須利用探針卡(probe card) 做為測(cè)試界面，而在各種探針卡之中，懸臂式探針卡(cantilever probe card, CPC)是最廣受應(yīng)用的一種探針卡。
請(qǐng)參閱圖l，其為已知技術(shù)的懸臂式探針卡的剖視圖。在已知技術(shù)中， CPC 10的主體是一個(gè)圓盤狀的印刷電路板(PCB) 11，其具有測(cè)試機(jī)接觸 面T以及待測(cè)物接觸面S,在測(cè)試機(jī)接觸面T上設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)圈12，以增加PCB 11的整體剛性，待測(cè)物接觸面S上設(shè)有受到固定座13所固定的多個(gè)懸臂式 探針(cantilever probe， CP ) 14,待測(cè)物接觸面S通過CP 14的針尖端t而 與待測(cè)試晶圓(未示于圖中)電接觸，CP 14的連接端c先電連接至PCB 11 上的連接區(qū)15,連4妻區(qū)15再電連4妄至跳線區(qū)16，然后跳線區(qū)16與測(cè)試積』 上的彈簧針(pogopin,未示于圖中)電性接觸，則CP14可電連接至測(cè)試
試。此外，在CPC IO上更設(shè)有支撐座17用于固定固定座13，且CPC10上 更設(shè)有多個(gè)支撐結(jié)構(gòu)18,用以將補(bǔ)強(qiáng)圈12以及支撐座17加強(qiáng)固定在PCB 11上。
但在已知技術(shù)中，測(cè)試機(jī)所輸出的各種訊號(hào)是經(jīng)由CP 14而被傳輸至待 測(cè)試晶圓，在這樣的架構(gòu)下，多個(gè)CP 14以高密集度并排在一起，且CP14 從針尖端t至連接端c的距離相當(dāng)長(zhǎng)，在電阻值與路徑長(zhǎng)度呈正比的關(guān)系下， 不但導(dǎo)致CP 14的電阻值偏高，且由于雜散地分布在CP 14間的電感效應(yīng) (inductance effect)無法獲得補(bǔ)償，會(huì)導(dǎo)致經(jīng)由CP 14所傳輸?shù)碾娫从嵦?hào)在起始階段(initial stage )會(huì)產(chǎn)生顯著的電壓降(voltage drop )，并極易造成 所傳輸訊號(hào)產(chǎn)生接地電位跳動(dòng)(bounce)、訊號(hào)反射(reflection)或串音 (crosstalk),導(dǎo)致電源及訊號(hào)的完整性不佳等缺陷，所述的這些缺陷將直 接影響訊號(hào)的傳輸效率與品質(zhì)，特別是在傳輸高頻訊號(hào)及低電壓準(zhǔn)位時(shí)，所 述缺陷將加倍嚴(yán)重。
因此隨著半導(dǎo)體晶片技術(shù)與無線通訊晶片技術(shù)的發(fā)展而采用更高頻及 低電壓準(zhǔn)位的信號(hào)，急需要對(duì)已知的CPC探針結(jié)構(gòu)進(jìn)行改良，以減少或消 除所述缺陷。職是之故，申請(qǐng)人鑒于已知技術(shù)中所產(chǎn)生的缺陷，經(jīng)過悉心試 驗(yàn)與研究，并一本鍥而不舍的精神，終構(gòu)思出本案"懸臂式探針卡，，，能夠 克服上述缺點(diǎn)，以下為本案的簡(jiǎn)要說明。

實(shí)用新型內(nèi)容
鑒于已知技術(shù)中所存在的缺陷，本實(shí)用新型主要提出 一種針對(duì)CP的電 性補(bǔ)償架構(gòu)，在現(xiàn)有的CPC架構(gòu)下，盡量延伸PCB而減少CP的使用，即 以軟性電路板來取代部分CP 24其探針的一段而縮減CP的長(zhǎng)度。由于軟性 電路板可視為是PCB的延伸，故不會(huì)有已知CP的缺陷，因此所述電性補(bǔ)償 架構(gòu)可消除已知CP的各種缺陷，并獲得補(bǔ)償PCB訊號(hào)或電源訊號(hào)的效果， 增進(jìn)訊號(hào)或電源在傳輸時(shí)的完整性，還可有效提高阻抗匹配，并相當(dāng)適用于 高頻訊號(hào)傳輸?shù)膱?chǎng)合，同時(shí)所述軟性電路板比CP更容易制造，且所述電性 補(bǔ)償架構(gòu)，可與現(xiàn)有的CPC架構(gòu)高度相容，無須重新設(shè)計(jì)PCB與CP,因 此所述電性補(bǔ)償架構(gòu)還可以有效降低CPC的整體制造成本。
因此根據(jù)本實(shí)用新型的第一構(gòu)想，提出一種懸臂式探針卡，其包括一 印刷電路板，其具有一待測(cè)物接觸面，該待測(cè)物接觸面具有一連接區(qū)以及一 跳線區(qū)； 一探針，其經(jīng)由一固定座而固定在該待測(cè)物接觸面上，該探針具有 一連接端；以及一軟性電路板，其一端與該連接端電連接而另一端與該連4妄 區(qū)或該跳線區(qū)電連接，其中該軟性電路板具有一差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、 一單端 訊號(hào)傳輸電路、 一電源訊號(hào)傳輸電路或一接地訊號(hào)傳輸電路。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該軟性電路板還具有 分別對(duì)應(yīng)于該差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、該單端訊號(hào)傳輸電路、該電源訊號(hào)傳輸電路或該接地訊號(hào)傳輸電路的至少一差動(dòng)訊號(hào)接點(diǎn)、至少一單端訊號(hào)接點(diǎn)、至 少 一 電源訊號(hào)接點(diǎn)或至少一^妻地4妻點(diǎn)。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該軟性電路板還包括 至少一接地固定，其連接于該軟性電路板的一側(cè)。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路 還包括一對(duì)接點(diǎn)，以便分別傳輸正訊號(hào)以及負(fù)訊號(hào)。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該固定座的材質(zhì)為樹脂。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該探針更具有一針尖 端，該針尖端與一4寺測(cè)物接觸。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡為一多待測(cè)物測(cè)試用懸臂式 探針卡或一單一待測(cè)物測(cè)試用懸臂式探針卡。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該待測(cè)物為一晶圓、 一晶片、 一晶?；蛞挥∷㈦娐钒?。
根據(jù)本實(shí)用新型的第二構(gòu)想，提出一種懸臂式探針卡，其具有一印刷電 路板以及至少一探針，該印刷電路板具有一待測(cè)物接觸面，該待測(cè)物接觸面 具有一連接區(qū)以及一跳線區(qū)，而該至少一探針固定在該待測(cè)物接觸面上，該
至少一探針具有一連接端，該懸臂式探針卡包括至少一軟性電路板，其一 端與該連接端電連接而另 一端與該連4妄區(qū)或該跳線區(qū)電連接。
較佳地，本實(shí)用新型所提供的懸臂式探針卡，其中該至少一軟性電路板 具有一差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、 一單端訊號(hào)傳輸電路、 一電源訊號(hào)傳輸電路或一 接地訊號(hào)傳輸電3各。
值得注意的是，該軟性電路板是將差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、單端訊號(hào)傳輸電 路、電源訊號(hào)傳輸電路與接地訊號(hào)傳輸電路等整合在同一軟性電路板上，而 能夠同時(shí)傳輸差動(dòng)訊號(hào)、單端訊號(hào)、電源訊號(hào)與接地訊號(hào)。
因此經(jīng)由應(yīng)用本實(shí)用新型所提出的CP電性補(bǔ)償架構(gòu)可有效改進(jìn)電性傳 輸過程中訊號(hào)與電源的完整性，改善電性效能，并能顯著降低電阻并適當(dāng)減 少電感效應(yīng)，達(dá)到提升檢測(cè)時(shí)電子訊號(hào)傳輸?shù)男始胺€(wěn)定性，進(jìn)而提升CPC的測(cè)試穩(wěn)定性。

圖1為已知技術(shù)的懸臂式探針卡的剖視圖； 圖2為本實(shí)用新型的懸臂式探針卡的部分剖視圖； 圖3 (A)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第一實(shí)施例正面視圖； 圖3 (B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第一實(shí)施例背面視圖； 圖3 (C)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第一實(shí)施例剖面圖； 圖4 (A)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第二實(shí)施例正面視圖 圖4 (B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第二實(shí)施例背面視圖 圖5 (A)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第三實(shí)施例正面視圖 圖5 (B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第三實(shí)施例背面視圖 圖5 (C)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第三實(shí)施例剖面圖； 圖6 (A)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第四實(shí)施例正面視圖； 圖6(B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第四實(shí)施例背面視圖；以及 圖6 (C)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第四實(shí)施例使用方式示意圖。主要元件符號(hào)說明
10:懸臂式探針卡(CPC)11:印刷電路板(PCB)
12:補(bǔ)強(qiáng)圏13:固定座
14:懸臂式探針(CP)15:連接區(qū)
16:跳線區(qū)17:支撐座
18:支撐結(jié)構(gòu)
T:測(cè)試一;U妄觸面S:4寺測(cè)物4妄觸面
t: 4十尖端c:連接端
20:懸臂式探針卡(CPC)21:印刷電路板(PCB)
22:補(bǔ)強(qiáng)圏23:固定座說明書第5/8頁
2氽懸臂式探針(CP ) 26:跳線區(qū) 28:支撐結(jié)構(gòu) 210:接地固定 t:針尖端
d:差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路 p:電源訊號(hào)傳輸電路 F:正面
Pd:差動(dòng)對(duì)#~點(diǎn) Pp:電源4妄點(diǎn) El:第一端 61:焊錫
具體實(shí)施方式
本案將可由以下的實(shí)施例說明而得到充分了解，使得熟習(xí)本技藝的人士 可以據(jù)以完成，然本案的實(shí)施并非可由下列實(shí)施案例而被限制其實(shí)施型態(tài)。
請(qǐng)參閱圖2，其為本實(shí)用新型的懸臂式探針卡的部分剖視圖。本實(shí)用新 型的CPC 20包括了 一個(gè)圓盤狀的PCB 21,其具有測(cè)試枳4妻觸面T以及;f寺測(cè) 物(device under test, DUT)接觸面S,在測(cè)試機(jī)接觸面T上i殳有補(bǔ)強(qiáng)圈22, 以增加PCB 21的整體剛性，DUT接觸面S上設(shè)有受到固定座23所固定的 多個(gè)CP 24,固定座23的材質(zhì)較佳為樹脂(resin),固定座23是受到CPC 20上的支撐座27的固定，CPC 20上更^L有多個(gè)支撐結(jié)構(gòu)28,用以將補(bǔ)強(qiáng) 圈22以及支撐座27加強(qiáng)固定在PCB 21上。
請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2, DUT接觸面S通過CP24的針尖端t而與DUT(未示 于圖中)電接觸，部分的CP24的連接端c則電連接至軟性電路板29。由于 所述部分的CP 24其探針的一段已經(jīng)被軟性電路板29所取代，因此CP 24 的長(zhǎng)度可獲得縮減，可產(chǎn)生較佳的電性補(bǔ)償效果。而軟性電路板29則視電
25:連接區(qū) 27:支撐座 29: 4欠性電游^反 S:待測(cè)物接觸面 c:連接端
s:單端訊號(hào)傳輸電路 g:接地訊號(hào)傳輸電^各 B:背面
Ps:單端訊號(hào)接點(diǎn) Pg: 4妄地4妄點(diǎn) E2:第二端路布局的實(shí)際狀況需求，可電連接至PCB 21上的連接區(qū)25或亦可直接電連 接至PCB 21上的跳線區(qū)26，較佳為電連接至連接區(qū)25以縮短軟性電路板 29的整體長(zhǎng)度，連接區(qū)25再電連接至跳線區(qū)26，然后跳線區(qū)26與測(cè)試機(jī) 上的彈簧針(pogopin,未示于圖中)電性接觸，則CP24可通過軟性電路 板29而電連接至測(cè)試機(jī)，故來自測(cè)試機(jī)的各種訊號(hào)即可被電導(dǎo)通至DUT而 對(duì)DUT進(jìn)行各種測(cè)試，軟性電i 各板29還可經(jīng)由接地固定210而加強(qiáng)固定在 PCB21上。
所述的DUT可為晶圓、晶片、晶?；蛴∷㈦婙橿反，其中晶圓、晶片或 晶粒可為記憶體晶圓、晶片或晶?；蜻壿嬀A、晶片或晶粒等。且本實(shí)用新 型的CPC 20可為多待測(cè)物測(cè)試用懸臂式探針卡或單一待測(cè)物測(cè)試用懸臂式 探針卡等類型的探針卡。再者，所述軟性電路板29被設(shè)計(jì)為能夠傳輸差動(dòng) (differential )ifl號(hào)、單端(single end Kfl號(hào)、電源(power Kfl號(hào)或4妄i也(ground) 訊號(hào)，且也可以同時(shí)傳輸所述的四類訊號(hào)。
以下繼續(xù)以圖3 (A)至圖6 (C)來分別說明本實(shí)用新型的軟性電路板 的第一至第四實(shí)施例。
請(qǐng)先參閱圖3 (A)至(C),其中圖3 (A)為本實(shí)用新型的軟性電路 板的第一實(shí)施例正面視圖，圖3 (B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第一實(shí) 施例背面視圖，圖3 (C)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第一實(shí)施例剖面圖。 圖3 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29是將差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路d、單 端訊號(hào)傳輸電路s、電源訊號(hào)傳輸電路p與接地訊號(hào)傳輸電路g等整合在同 一軟性電路板上，外圍再以絕緣材料將電路包裹住。軟性電路板29可定義 出相對(duì)的正面F及反面B以及相對(duì)的第一端El以及第二端E2,軟性電路板 29在正面F的第一端El露出差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd以及4妄地接點(diǎn)Pg，而在背面B 的第一端El露出電源接點(diǎn)Pp以及單端訊號(hào)接點(diǎn)Ps。同樣地，軟性電路板 29也在正面F的第二端E2露出差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd以及接地接點(diǎn)Pg,而在背面 B的第二端E2露出電源接點(diǎn)Pp以及單端訊號(hào)接點(diǎn)Ps。而差動(dòng)訊號(hào)傳輸電 路d、單端訊號(hào)傳輸電路s、電源訊號(hào)傳輸電路p與接地訊號(hào)傳輸電路g在 軟性電路板29上的層迭排列狀況則如圖3(C)所示。所述的差動(dòng)對(duì)接點(diǎn) Pd包括了一對(duì)的接點(diǎn)，因此可同時(shí)傳輸成對(duì)存在的PN正(Positive)負(fù)(Negative)訊號(hào)。圖3 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29在使用時(shí) 是視需求將用于傳輸差動(dòng)訊號(hào)、接地訊號(hào)、電源訊號(hào)或單端訊號(hào)的多個(gè)CP 24 的連接端分別焊接至第一端El的差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd、接地接點(diǎn)Pg、電源4姿點(diǎn) Pp或單端訊號(hào)接點(diǎn)Ps，再將第二端E2的各接點(diǎn)焊接至PCB21的連接區(qū)25。
請(qǐng)繼續(xù)參閱圖4 (A)至(B)，其中圖4 (A)為本實(shí)用新型的軟性電 路板的第二實(shí)施例正面視圖，圖4 (B)為本實(shí)用新型的軟性電^各板的第二 實(shí)施例背面視圖。圖4 (A)至(B)中所揭示的軟性電路板29其構(gòu)造與圖 3 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29相同，但在其兩側(cè)加設(shè)了接地固 定210。軟性電路板29可通過接地固定210而確實(shí)地固定在PCB的DUT 接觸面S上以增加可靠度，同時(shí)由于接地固定210與接地訊號(hào)傳輸電路g 之間有電連接，還可協(xié)助將接地訊號(hào)分散至PCB上。
請(qǐng)繼續(xù)參閱圖5 (A)至(C),其中圖5 (A)為本實(shí)用新型的軟性電 路板的第三實(shí)施例正面視圖，圖5 (B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第三 實(shí)施例背面視圖，圖5 (C)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第三實(shí)施例剖面 圖。圖5 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29是將電源訊號(hào)傳輸電路p 與接地訊號(hào)傳輸電路g整合在同 一軟性電路板上，外圍再以絕緣材料將電路 包裹住。軟性電路板29除了在正面F的第一端E1以及第二端E2均露出電 源接點(diǎn)Pp以及接地接點(diǎn)Pg外，另在正面F上以等間距的方式均勻的露出多 個(gè)電源接點(diǎn)Pp以及接地接點(diǎn)Pg。如此使用者可依據(jù)實(shí)際狀況而任意裁剪軟 性電路板29的長(zhǎng)度至適合為止，可有效提升使用上的便利性。而電源訊號(hào) 傳輸電路p與接地訊號(hào)傳輸電路g在軟性電路板29上的層迭排列狀況則如 圖5 (C)所示。圖5 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29在使用時(shí)是視 需求將用于傳輸電源訊號(hào)或接地訊號(hào)的多個(gè)CP 24的連接端c焊接至第一端 El的電源接點(diǎn)Pp或接地接點(diǎn)Pg,再視所需長(zhǎng)度裁剪軟性電路板29，再將 剪裁后另一端的各接點(diǎn)焊接至PCB21的連接區(qū)25。
請(qǐng)繼續(xù)參閱圖6 (A)至(C),其中圖6 (A)為本實(shí)用新型的軟性電 路板的第四實(shí)施例正面視圖，圖6 (B)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第四 實(shí)施例背面視圖，圖6 (C)為本實(shí)用新型的軟性電路板的第四實(shí)施例使用 方式示意圖。圖6 (A)至(C)中所揭示的軟性電^各板29設(shè)有差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路d,外圍再以絕緣材料將電路包裹住，軟性電路板29除了在正面F 的第 一端E1以及第二端E2均露出差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd外，另在正面F上以等間 距的方式均勻的露出多個(gè)差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd。如此使用者可依據(jù)實(shí)際狀況而任 意裁剪軟性電路板29的長(zhǎng)度至適合為止，可有效提升使用上的便利性。圖 6 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29在使用時(shí)是視需求將用于傳輸差 動(dòng)訊號(hào)的多個(gè)CP 24的連接端c焊接至第一端El的差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd，再視所 需長(zhǎng)度裁剪軟性電路板29,再將剪裁后另一端的各接點(diǎn)焊接至PCB21的連 接區(qū)25。圖6 (A)至(C)中所揭示的軟性電路板29的使用方式是如圖6 (C)的揭示，以焊錫61將CP24焊接至差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd,并經(jīng)由焊錫61導(dǎo) 通差動(dòng)對(duì)接點(diǎn)Pd與差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路d。
值得注意的是，圖3 (A)至圖6 (C)中所揭示的軟性電路板29,是將 差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路d、單端訊號(hào)傳輸電路s、電源訊號(hào)傳輸電路p與接地訊 號(hào)傳輸電路g等整合在同一軟性電路板上，而能夠分別傳輸差動(dòng)訊號(hào)、單端 訊號(hào)、電源訊號(hào)或^l妄地訊號(hào)，也能夠同時(shí)傳輸所述的四類訊號(hào)。
因此本實(shí)用新型經(jīng)由以軟性電路板29來取代部分CP 24其4笨針的一段， 而可大幅縮減CP24的長(zhǎng)度，藉此獲得極佳的電性補(bǔ)償效果，還可增進(jìn)訊號(hào) 或電源在傳輸時(shí)的完整性，進(jìn)而提升測(cè)試穩(wěn)定性。
本案實(shí)為一難得一見，值得珍惜的難得創(chuàng)作，但以上所述者，僅為本實(shí) 用新型的最佳實(shí)施例而已，當(dāng)不能以其限定本實(shí)用新型所實(shí)施的范圍。即大 凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求所作的均等變化與修飾，皆應(yīng)仍屬于本實(shí)用新型專 利涵蓋的范圍內(nèi)，謹(jǐn)請(qǐng)貴審查員明鑒，并祈惠準(zhǔn)，是所至禱。
權(quán)利要求1、一種懸臂式探針卡，其特征在于，包括一印刷電路板，其具有一待測(cè)物接觸面，該待測(cè)物接觸面具有一連接區(qū)以及一跳線區(qū)；一探針，其經(jīng)由一固定座而固定在該待測(cè)物接觸面上，該探針具有一連接端；以及一軟性電路板，其一端與該連接端電連接而另一端與該連接區(qū)或該跳線區(qū)電連接，其中該軟性電路板具有一差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、一單端訊號(hào)傳輸電路、一電源訊號(hào)傳輸電路或一接地訊號(hào)傳輸電路。
2、 如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該軟性電路板還 具有分別對(duì)應(yīng)于該差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、該單端訊號(hào)傳輸電路、該電源訊號(hào)傳 輸電路或該接地訊號(hào)傳輸電路的至少一差動(dòng)訊號(hào)接點(diǎn)、至少一單端訊號(hào)接 點(diǎn)、至少一電源訊號(hào)"l妻點(diǎn)或至少一"l妄地^接點(diǎn)。
3、 如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該軟性電路板還 包括至少 一接地固定，其連接于該軟性電路板的 一側(cè)。
4、 如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該差動(dòng)訊號(hào)傳輸 電路還包括一對(duì)接點(diǎn)，以便分別傳輸正訊號(hào)以及負(fù)訊號(hào)。
5、 如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該固定座的材質(zhì) 為樹脂。
6、 如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該探針更具有一 針尖端，該針尖端與一待測(cè)物接觸。
7、 如權(quán)利要求1所述的懸臂式探針卡，其特征在于，為一多待測(cè)物測(cè) 試用懸臂式探針卡或一單一待測(cè)物測(cè)試用懸臂式探針卡。
8、 如權(quán)利要求6或7所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該待測(cè)物為一晶圓、 一晶片、 一晶?；蛞挥∷㈦娐钒?。
9、 一種懸臂式探針卡，其特征在于，具有一印刷電路板以及至少一探 針，該印刷電路板具有一待測(cè)物接觸面，該待測(cè)物接觸面具有一連接區(qū)以及 一跳線區(qū)，而該至少一探針固定在該待測(cè)物接觸面上，該至少一探針具有一連接端，該懸臂式探針卡包括至少一軟性電路板，其一端與該連接端電連接而另一端與該連接區(qū)或 該跳線區(qū)電連接。
10、 如權(quán)利要求9所述的懸臂式探針卡，其特征在于，該至少一軟性電 路板具有一差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、 一單端訊號(hào)傳輸電路、 一電源訊號(hào)傳輸電路 或 一接地訊號(hào)傳輸電路。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種懸臂式探針卡，其包括一印刷電路板，其具有一待測(cè)物接觸面，該待測(cè)物接觸面具有一連接區(qū)以及一跳線區(qū)；一探針，其經(jīng)由一固定座而固定在該待測(cè)物接觸面上，該探針具有一連接端；以及一軟性電路板，其一端與該連接端電連接而另一端與該連接區(qū)或該跳線區(qū)電連接，其中該軟性電路板具有一差動(dòng)訊號(hào)傳輸電路、一單端訊號(hào)傳輸電路、一電源訊號(hào)傳輸電路或一接地訊號(hào)傳輸電路。
文檔編號(hào)G01R1/073GK201382962SQ200920147109
公開日2010年1月13日 申請(qǐng)日期2009年4月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月13日
發(fā)明者蘇文彬 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司