專利名稱：一種流體氣壓傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及壓力傳感器，尤其涉及一種流體氣壓傳感器。
背景技術(shù)：
目前的流體氣壓傳感器可以做得很小型，直徑在5毫米左右，此類流體氣壓傳感 器一般通過內(nèi)部的流體氣壓開關(guān)的動作感知流體氣壓變化，或通過內(nèi)部的流體氣壓電容容 值的變化感知流體氣壓變化，且只能感應(yīng)單側(cè)的流體氣壓變化。

實用新型內(nèi)容本實用新型是要解決現(xiàn)有流體氣壓傳感器只能制成開關(guān)型的或電容型的，且只能 感應(yīng)單側(cè)的流體氣壓變化的缺陷。提出一種兼有開關(guān)型和電容型兩種特性，且能感應(yīng)雙側(cè) 流體氣壓的流體氣壓傳感器。 為解決所述技術(shù)問題，本實用新型提出的技術(shù)方案是一種流體氣壓傳感器，包 括依次疊置的帶通氣孔的第一電極片，不帶通氣孔的中間電極，帶通氣孔的第二電極片， 分別與第一電極片、中間電極、第二電極片電連接的并且?guī)饪椎碾娐钒?；還包括設(shè)于第 一電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第一絕緣片，設(shè)于第二電極片的周邊與中間電極 的周邊之間的第二絕緣片；其中，中間電極的中心區(qū)域與第一電極片的中心區(qū)域之間留有 間隙；第一電極片上的通氣孔和第二電極片上的通氣孔把各自所在處地的流體氣壓傳遞到 中間電極中心區(qū)域的兩側(cè)。 在較佳實施例中，第二電極片的邊緣向電路板方向彎折延伸，彎折延伸部的端頭 與電路板電連接；所述彎折延伸部的外圈設(shè)有箍狀導(dǎo)電箍，導(dǎo)電箍兩端分別連通中間電極 和電路板；第一電極片的邊緣向電路板方向彎折延伸形成鉤狀部，并包容夾緊中間電極和 第二電極片，鉤狀部的端頭與電路板電連接。所述第一電極片與導(dǎo)電箍之間設(shè)有第一絕緣 箍；所述第二電極片與導(dǎo)電箍之間設(shè)有第二絕緣箍。 在一個實施例中，中間電極的中心區(qū)域與第二電極片的中心區(qū)域貼靠在一起。 在另一個實施例中，中間電極的中心區(qū)域向第二電極片的中心區(qū)域弓起，第二電 極片的中心區(qū)域相應(yīng)地向內(nèi)凹陷。 在另一個實施例中，中間電極的中心區(qū)域與第二電極片的中心區(qū)域留有間隙。 在另一個實施例中，第二電極片的中心設(shè)有一抵住中間電極中心的凸塊，第二電 極片中心區(qū)域的其余地方與中間電極留有間隙。 在另 一個實施例中，中間電極周邊區(qū)域與中心區(qū)域之間設(shè)有至少一 圈波紋連接 區(qū)，該波紋連接區(qū)的橫截面可以是三角波，也可以是圓弧波，也可以是正弦波。第一電極片、 中間電極、第二電極片和電路板同為圓形，第一絕緣片和第二絕緣片同為與中間電極形狀 相配的圓環(huán)。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型公開的流體氣壓傳感器，體積小，兼有開關(guān)型和電容 型兩種特性，可以作為雙電極或三個電極傳感器使用，且能感應(yīng)單側(cè)或雙側(cè)流體氣壓。


[0012]
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作出詳細(xì)的說明，其中圖1為本實用新型第一實施例的剖視圖；圖2為本實用新型第二實施例的剖視圖；圖3為本實用新型第三實施例的剖視圖；圖4為本實用新型第四實施例的剖視圖；圖5為本實用新型第五實施例的剖視圖；圖6為本實用新型第六實施例的剖視圖；圖7為本實用新型第七實施例的剖視圖；圖8為本實用新型第八實施例的剖視圖；圖9為本實用新型第九實施例的剖視圖；圖10為本實用新型第十實施例的剖視圖。
具體實施方式本實用新型包括依次疊置的帶通氣孔的第一電極片l，不帶通氣孔的中間電極5， 帶通氣孔的第二電極片6，分別與第一電極片、中間電極、第二電極片電連接的并且?guī)?孔的電路板7 ;還包括設(shè)于第一電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第一絕緣片2，設(shè)于 第二電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第二絕緣片4;其中，中間電極的中心區(qū)域與 第一電極片的中心區(qū)域之間留有間隙；第一電極片上的通氣孔和第二電極片上的通氣孔把 各自所在處地的流體氣壓傳遞到中間電極中心區(qū)域的兩側(cè)。 在較佳實施例中，第二電極片的邊緣向電路板方向彎折延伸，彎折延伸部的端頭 與電路板電連接；所述彎折延伸部的外圈設(shè)有箍狀導(dǎo)電箍3，導(dǎo)電箍兩端分別連通中間電 極和電路板；第一 電極片的邊緣向電路板方向彎折延伸形成鉤狀部，并包容夾緊中間電極 和第二電極片，鉤狀部的端頭與電路板電連接。所述第一電極片與導(dǎo)電箍之間設(shè)有第一絕 緣箍9 ;所述第二電極片與導(dǎo)電箍之間設(shè)有第二絕緣箍8。第一電極片、中間電極、第二電極 片和電路板同為圓形，第一絕緣片和第二絕緣片同為與中間電極形狀相配的圓環(huán)。在另一 個實施例中，第一電極片、中間電極、第二電極片和電路板同為三角形，第一絕緣片和第二 絕緣片同為與中間電極形狀相配的三角形。在另外一個實施例中，第一電極片、中間電極、 第二電極片和電路板同為多邊形，第一絕緣片和第二絕緣片同為與中間電極形狀相配的多 邊形。 圖1示出了本實用新型第一實施例的剖視圖，從圖中可以看出中間電極的中心區(qū) 域與第二電極片的中心區(qū)域貼靠在一起，左側(cè)流體氣壓通過第一電極片上的通氣孔加到中 間電極的左側(cè)，右側(cè)流體氣壓通過電路板和第二電極片上的通氣孔加到中間電極的右側(cè)， 當(dāng)右側(cè)流體氣壓大于左側(cè)流體氣壓時，中間電極被推離第二電極片向右移。此時，中間電極 與第二電極片如作為一對開關(guān)使用就由導(dǎo)通變?yōu)閿嚅_。此時，中間電極與第一電極片的間 隙距離發(fā)生變化，進而引起兩極之間的電容發(fā)生變化，檢測此間電容容值的變化就能得知 右側(cè)的相對流體氣壓是否變大。 圖2示出了本實用新型第二實施例的剖視圖，從圖中可以看出本例與第一實施例的不同在于中間電極和第二電極片的中心區(qū)域留有間隙。中間電極左右兩側(cè)間隙對稱，根 據(jù)兩側(cè)電容容值的變化，可測雙側(cè)流體氣壓。 圖3示出了本實用新型第三實施例的剖視圖，本實施例的特點是第二電極片的 中心設(shè)有一抵住中間電極中心的凸塊，第二電極片中心區(qū)域的其余地方與中間電極留有間 隙。其功用與第一實施例相同，只是因中間電極與第二電極片為點接觸，開關(guān)效果更好。 圖4示出了本實用新型第四實施例的剖視圖，本實施例的特點是中間電極的中 心區(qū)域向第二電極片的中心區(qū)域弓起，第二電極片的中心區(qū)域相應(yīng)地向內(nèi)凹陷。這樣在相 同尺寸的情況下，右側(cè)流體氣壓較大時才能推動中間電極，也就是較高流體氣壓。 圖5示出了本實用新型第五實施例的剖視圖，本實施例與第二實施例相近，不同 之處在于中間電極周邊區(qū)域與中心區(qū)域之間設(shè)有一圈波紋連接區(qū)，該波紋連接區(qū)的橫截 面為半圓弧。如此設(shè)置可提高檢測靈敏度。 圖6示出了本實用新型第六實施例的剖視圖，本實施例與第一實施例相近，不同 之處在于中間電極周邊區(qū)域與中心區(qū)域之間設(shè)有一圈波紋連接區(qū)，該波紋連接區(qū)的橫截 面為半圓弧。如此設(shè)置可提高檢測靈敏度。 圖7示出了本實用新型第七實施例的剖視圖，本實施例與第六實施例相近，不同 之處在于波紋連接區(qū)的橫截面為正弦弧。 圖8示出了本實用新型第八實施例的剖視圖，本實施例與第六實施例相近，不同 之處在于波紋連接區(qū)的橫截面為三角狀折角。 圖9示出了本實用新型第九實施例的剖視圖，本實施例與第五實施例相近，不同 之處在于波紋連接區(qū)的橫截面為正弦弧。 圖10示出了本實用新型第十實施例的剖視圖，本實施例與第五實施例相近，不同 之處在于波紋連接區(qū)的橫截面為三角狀折角。 圖1至10中展示的通氣孔，示意地畫在電極片和電路板的中軸線上，容易理解，通 氣孔可以為多個，也可以不設(shè)置在中軸線上，只用能傳輸流體氣壓即可。 在以上舉例中，傳感器都具有三個電極，可作為三電極的傳感器使用。在實際使用 中，也可只用其中兩個電極，作為雙電極的傳感器使用。 以上描述了本實用新型的較佳實施方式，但是本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的熟練技術(shù)人員應(yīng)當(dāng) 理解，這些僅是舉例說明，可以對這些實施方式做出多種變更或修改，而不背離本實用新型 的原理和實質(zhì)。都屬于本實用新型保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種流體氣壓傳感器，其特征在于包括依次疊置的帶通氣孔的第一電極片(1)，不帶通氣孔的中間電極(5)，帶通氣孔的第二電極片(6)，分別與第一電極片、中間電極、第二電極片電連接的并且?guī)饪椎碾娐钒?7)；還包括設(shè)于第一電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第一絕緣片(2)，設(shè)于第二電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第二絕緣片(4)；其中，中間電極的中心區(qū)域與第一電極片的中心區(qū)域之間留有間隙；第一電極片上的通氣孔和第二電極片上的通氣孔把各自所在處地的流體氣壓傳遞到中間電極中心區(qū)域的兩側(cè)。
2. 如權(quán)利要求1所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述第二電極片的邊緣向電路 板方向彎折延伸，彎折延伸部的端頭與電路板電連接；所述彎折延伸部的外圈設(shè)有箍狀導(dǎo) 電箍(3)，導(dǎo)電箍兩端分別連通中間電極和電路板；第一電極片的邊緣向電路板方向彎折 延伸形成鉤狀部，并包容夾緊中間電極和第二電極片，鉤狀部的端頭與電路板電連接；所述 第一電極片與導(dǎo)電箍之間設(shè)有第一絕緣箍(9);所述第二電極片與導(dǎo)電箍之間設(shè)有第二絕 緣箍(8)。
3. 如權(quán)利要求1所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述中間電極的中心區(qū)域與第 二電極片的中心區(qū)域貼靠在一起。
4. 如權(quán)利要求3所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述中間電極的中心區(qū)域向第 二電極片的中心區(qū)域弓起，第二電極片的中心區(qū)域相應(yīng)地向內(nèi)凹陷。
5. 如權(quán)利要求1所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述中間電極的中心區(qū)域與第 二電極片的中心區(qū)域留有間隙。
6. 如權(quán)利要求1所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述第二電極片的中心設(shè)有一 抵住中間電極中心的凸塊，第二電極片中心區(qū)域的其余地方與中間電極留有間隙。
7. 如權(quán)利要求1至6任一項所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述中間電極周邊 區(qū)域與中心區(qū)域之間設(shè)有至少一圈波紋連接區(qū)，該波紋連接區(qū)的橫截面為三角波，或圓弧 波，或正弦波。
8. 如權(quán)利要求1至6任一項所述的流體氣壓傳感器，其特征在于所述第一電極片、中 間電極、第二電極片和電路板同為圓形，或同為三角形，或同為多邊形；所述第一絕緣片和 第二絕緣片同為與中間電極形狀相配的環(huán)形。
專利摘要本實用新型公開了一種流體氣壓傳感器，其包括依次疊置的帶通氣孔的第一電極片(1)，不帶通氣孔的中間電極(5)，帶通氣孔的第二電極片(6)，分別與第一電極片、中間電極、第二電極片電連接的并且?guī)饪椎碾娐钒?7)；還包括設(shè)于第一電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第一絕緣片(2)，設(shè)于第二電極片的周邊與中間電極的周邊之間的第二絕緣片(4)；其中，中間電極的中心區(qū)域與第一電極片的中心區(qū)域之間留有間隙；第一電極片上的通氣孔和第二電極片上的通氣孔把各自所在處地的流體氣壓傳遞到中間電極中心區(qū)域的兩側(cè)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型體積小，兼有開關(guān)型和電容型兩種特性，可以作為雙電極或三個電極傳感器使用，且能感應(yīng)單側(cè)或雙側(cè)流體氣壓。
文檔編號G01L9/00GK201532281SQ20092020596
公開日2010年7月21日 申請日期2009年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月16日
發(fā)明者邱英萍 申請人:邱英萍