專利名稱：一種電容極板型真空度測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電容極板型真空度測量裝置。
背景技術(shù)：
在工業(yè)生產(chǎn)中，經(jīng)常遇到進(jìn)行真空度測量的場合，但是目前真空度測量裝置體積 較大，且價(jià)值昂貴，使用步驟繁瑣，限制了普通工業(yè)場合的應(yīng)用。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述不足，本實(shí)用新型提供了一種電容極板型真空度測量裝置，這種裝置內(nèi)
部有固定氣壓，隨空間真空度變化電容發(fā)生變化從而可以測出空間真空度。 本實(shí)用新型通過以下技術(shù)實(shí)現(xiàn) —種電容極板型真空度測量裝置，電容極板型真空度測量裝置，它包括柔性橡膠 板I和柔性橡膠板II，柔性橡膠板I內(nèi)壁設(shè)有柔性金屬極板I，柔性橡膠板II內(nèi)壁設(shè)有柔 性金屬極板II，兩柔性橡膠板I和柔性橡膠板II端部設(shè)有剛性密封圈連接，柔性金屬極板 I和柔性金屬極板II通過導(dǎo)線與相應(yīng)控制電路連接。 所述柔性橡膠板I和柔性橡膠板II為兩塊圓形柔性橡膠板。 所述控制電路包括電阻I，它與柔性金屬極板I和柔性金屬極板II串聯(lián)組成第一 支路；同時(shí)還包括電阻II及串聯(lián)的可調(diào)電容組成的第二支路；兩支路并聯(lián)，同時(shí)在電阻I 和電阻II間連接交流電壓表。 本實(shí)用新型的電容極板型真空度測量裝置，主要由剛性密封圈，柔性橡膠板，柔性 金屬極板及相關(guān)電路組成，其特征為該裝置由相對(duì)兩塊圓形柔性橡膠板固定在剛性密封 圈上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，兩塊柔性金屬極板平貼在柔性橡膠板的內(nèi)側(cè)，且向外引有導(dǎo)線，當(dāng) 測量某一密閉空間內(nèi)的真空度時(shí)，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的柔性橡膠 板變形帶動(dòng)金屬極板變形，從而改變了由兩塊極板構(gòu)成的電容器的電容，用圖2所示電路 測量該電容值，通過計(jì)算即可被測密閉空間的真空度。 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是，裝置體積小，價(jià)格便宜，使用方便，操作安全，特別適合在普 通工業(yè)場合使用。

圖1是該裝置的縱剖面構(gòu)造圖； 圖2是電容測量電路圖； 圖3是該裝置的縱剖面平面圖。 圖中，1、柔性橡膠板1，2、柔性金屬極板1，3、柔性金屬極板11，4、柔性橡膠板II， 5、剛性密封圈，6電阻1，7、電阻II。具體實(shí)施例 圖1、圖2、圖3中，該裝置由兩個(gè)相對(duì)的柔性橡膠板II及柔性橡膠板114固定在 剛性密封圈5上構(gòu)成一個(gè)密閉空間，柔性金屬極板12和柔性金屬極板113分別平貼在柔性 橡膠板II和柔性橡膠板114的內(nèi)側(cè)，柔性金屬極板12和柔性金屬極板113向外引有導(dǎo)線， 當(dāng)測量某一密閉空間的真空度時(shí)，該將裝置放置其中，在氣壓的差作用下，該裝置的柔性橡 膠板II和柔性橡膠板114變形帶動(dòng)柔性金屬極板12及柔性金屬極板113變形，從而改變 了由這兩塊極板構(gòu)成電容器的電容，經(jīng)圖2電路測量該電容值，通過計(jì)算即可被測密閉空 間的真空度。控制電路包括電阻I6，它與柔性金屬極板I1和柔性金屬極板I13串聯(lián)組成第 一支路；同時(shí)還包括電阻117及串聯(lián)的可調(diào)電容組成的第二支路；兩支路并聯(lián)，同時(shí)在電阻 16和電阻117間連接交流電壓表。
權(quán)利要求一種電容極板型真空度測量裝置，它包括柔性橡膠板I和柔性橡膠板II，柔性橡膠板I內(nèi)壁設(shè)有柔性金屬極板I，柔性橡膠板II內(nèi)壁設(shè)有柔性金屬極板II，兩柔性橡膠板I和柔性橡膠板II端部設(shè)有剛性密封圈連接，柔性金屬極板I和柔性金屬極板I I通過導(dǎo)線與相應(yīng)控制電路連接。
2. 如權(quán)利要求1所述的電容極板型真空度測量裝置，其特征是，所述柔性橡膠板I和柔 性橡膠板II為兩塊圓形柔性橡膠板。
3. 如權(quán)利要求1所述的電容極板型真空度測量裝置，其特征是，所述控制電路包括電阻I，它與柔性金屬極板I和柔性金屬極板II串聯(lián)組成第一支路；同時(shí)還包括電阻II及串 聯(lián)的可調(diào)電容組成的第二支路；兩支路并聯(lián)，同時(shí)在電阻I和電阻II間連接交流電壓表。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種電容極板型真空度測量裝置，它包括柔性橡膠板I和柔性橡膠板II，柔性橡膠板I內(nèi)壁設(shè)有柔性金屬極板I，柔性橡膠板II內(nèi)壁設(shè)有柔性金屬極板II，兩柔性橡膠板I和柔性橡膠板II端部設(shè)有剛性密封圈連接，柔性金屬極板I和柔性金屬極板II通過導(dǎo)線與相應(yīng)控制電路連接。當(dāng)測量某一密閉空間內(nèi)的真空度時(shí)，將裝置放置其中，在氣壓差的作用下，該裝置的柔性橡膠板變形帶動(dòng)金屬極板變形，從而改變了由兩塊極板構(gòu)成的電容器的電容，測量該電容值，通過計(jì)算即可被測密閉空間的真空度。
文檔編號(hào)G01L9/12GK201548371SQ20092025892
公開日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者劉保龍, 吳冬雨, 孫杰, 張朝, 張正珣, 李龍韜, 陳同 申請(qǐng)人:劉保龍