專利名稱：測量用探測器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種如權利要求1的前序部分所述的測量用探測器，其特別地用于非 接觸式矢量網(wǎng)絡分析系統(tǒng)(contactless vector network analysis system)；該測量用探 測器具有殼體以及被配置于殼體上的至少一個耦合結構，該耦合結構被設計成耦合來自信 號線路的RF信號。
背景技術：
根據(jù)例如如下的參考文獻(1)_(3)可知，已使用用于檢測干擾發(fā)射(interfering emission)MllJfiffl^IlJ^ (contactless loop-type measuring probe),# 別是在電磁兼容性(EMC)領域。參考文獻(I)H.Whiteside, R. W. P. King "The loop antenna as a probe", IEEE Transactions on Antennas and Propagation, Vol. 12, No. 3,pp.291—297, May 1964 ；參 考文獻(2)Μ. Kanda "An electromagnetic near-field sensor for simultaneous electric and magnetic-field measurements", IEEE Transactions on Electromagnetic Compatibility, Vol. 26, No. 3, pp. 102-110, August 1984 ；參考文獻(3)Μ· Ε· G. Upton, A. C. Marvin," Improvements to an electromagnetic near-field sensor for simultaneous electric and magnetic field measurements", IEEE Transactions on Electromagnetic Compatibility, Vol. 35, No. 1, pp. 96-98, February 1993。根據(jù)例如如下的參考文獻(4)_(8)可知，環(huán)型探測器還用于制造定向耦合器。定 向耦合器是通常包括兩條彼此耦合的線路的四端口器件。定向耦合器用于將線路上的前向 波(forward wave)禾口后向波(backward wave)分幵。參 考 文 獻(4) K. W. Wagner “ Induktionswirkung von Wanderwellen in Nachbarleitungen"[Inductive effect of travelling waves on neighbouring lines]， Elektronische Zeitschrift，Vol. 35，pp.639-643，677-680，705-708，1914 ；參考文獻(5)P. P. Lombardini, R. F. Schwartz, P. J. Kelly, "Criteria for the design of loop-type directional couplers for the L band", IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques，Vol. 4，No. 4，pp. 234—239，October 1956 ；參考文獻(6) B. Maher,"An L-band loop-type coupler，，，IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques，Vol. 9，No. 4，pp. 362—363，July 1961 ；參考文獻(7)F. De Groote, J. Verspecht, C. Tsironis, D. Barataud and J. -P. Teyssier，“An improved coupling method for time domain load-pull measurements”， European Microwave Conference, Vol. 1, p. 4 et seq. October 2005 ；參考文獻(8)Κ· Yhland，J. Stenarson，“Noncontacting measurement of power in microstrip circuits",65th ARFTG, pp. 201-205, June 2006。根據(jù)例如如下的參考文獻(9)-(12)可知，除了環(huán)型探測器，同樣用于EMC技術以及用于特征化電氣組件的還有純感應探測器或電容性探測器。參考文獻(9)T. Zelder,H. Eul," Contact less network analysis with improved dynamic range using diversity calibration", Proceedings of the 36th European Microwave Conference，Manchester UK，pp. 478—481，September 2006 ；參考文獻(10) Τ. Zelder, H. Rabe, H. Eul，“Contactless electromagnetic measuring system using conventional calibration algorithms to determine scattering parameters”， Advances in Radio Sciences-Kleinheubacher Berichte 2006，Vol. 5，2007 ；參考文獻(11)Τ. Zelder, I. Rolfes, H. Eul, "Contactless vector network analysis using diversity calibration with capacitive and inductive coupled probes，，，Advances in Radio Science-Kleinheubacher Berichte 2006，Vol. 5，2007 ;參考文獻(12)J.Stenarson，K.Yhlmid，C.Wingqvist，“Anin-circuit noncontacting measurement method for S—parameters and power in planar circuits，，，IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques，Vol. 49, No. 12， pp. 2567-2572，December 2001。用于將前向波和后向波分幵的可能的耦合結構是參考文獻(5)和參考文獻(6)所 述的環(huán)型定向耦合器。環(huán)型定向耦合器包括被布置在波導(waveguide)之上或波導之中的 導體環(huán)路。在該情況下，可以使用例如空腔波導、平面帶狀線路或共軸線路等任何期望類型 的波導。環(huán)型定向耦合器具有多種應用。例如，如參考文獻(7)和參考文獻(8)所述，環(huán)型 定向耦合器被用作非接觸式測量系統(tǒng)的組件。可通過非接觸式矢量網(wǎng)絡分析來確定嵌入在復雜電路中的電氣組件的散射參數(shù) (scattering parameter)。這記載在例如如下的參考文獻(13)中。與傳統(tǒng)的使用接觸的 網(wǎng)絡分析方法相比，網(wǎng)絡分析儀的內(nèi)部定向耦合器被與分析儀的測量矢量點直接連接的非 接觸式近場(near field)測量用探測器所代替。參考文獻(13)T.Zelder，B.Geck，M.Wollitzer，I.Rolfesand H. Eul, ”Contactless network analysis system for the calibrated measurement of the scattering parameters of planar two-port devices，，，Proceedings of the 37th European Microwave Conference，Munich，Germany，pp. 246—249，October 2007。為了利用非接觸式的通常為矢量的測量系統(tǒng)確定待測器件(device under test, DUT)的散射參數(shù)，使用感應耦合結構和/或電容性耦合結構。將測量用探測器置于待測器 件的信號線路之上的電磁近場中。借助于這些耦合結構確定與待測器件直接連接的信號線 路中的電流和/或電壓。可選擇地，還測量信號線路上的前向波和后向波，在這種情況下， 定向耦合器特別是環(huán)型耦合器被用作將前向波和后向波彼此分開的耦合結構。為了測量散 射參數(shù)，如接觸式網(wǎng)絡分析中一樣，使用例如TRL(參考文獻(14))等的傳統(tǒng)校準方法。參考文獻(14)G. F. Engen and C. A. Hoer "Thru-reflect-line :an improved technique for calibrating the dual six-port automatic network analyser，，，IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques，Vol. 12，pp. 987—993，December 1979。在非接觸式矢量網(wǎng)絡分析中，對于待進行測量的未知待測器件(DUT)的每一個端口，需要例如導體環(huán)路或兩個電容性探測器等的至少一個測量用探測器。例如，使用由共軸 半剛性線路制成的非接觸式導體環(huán)路(參見參考文獻(7)和參考文獻(8))。可選地，在非 接觸式測量系統(tǒng)中僅使用電容性探測器(參見參考文獻(9)和參考文獻(10))。用電容性 探測器和感應探測器的組合來制造參考文獻(11)和參考文獻(12)中的測量系統(tǒng)。參考 文獻(9)、(10)、(11)、(13)中的探測器的特有特征是將探測器和信號線路制造于同一基板 上。盡管非接觸式矢量網(wǎng)絡分析具有使組件能夠被非接觸地特征化的潛力，但是，尚 未實現(xiàn)對嵌入在電路中的RF或微波組件進行散射參數(shù)的非接觸式測量。迄今為止，非接觸 式探測器的位置在校準期間或校準之后從未改變過，但是，如果要在電路中進行測量，則非 接觸式探測器的位置改變是必需的。在參考文獻(13)中，通過采用偽(pseudo)非接觸式 測量對未知的嵌入式兩端口器件進行特征化。在該情況下，偽非接觸式測量的含義是使用 印刷的耦合結構，而不是全部地使用非接觸式探測器。對于散射參數(shù)為復數(shù)值的兩端口器件的散射參數(shù)的非接觸式確定，兩個非接觸 式環(huán)型探測器與矢量網(wǎng)絡分析儀的各對測量點連接。為了特征化嵌入在多個組件之間的 DUT(待測器件)，將探測器置于DUT的供電線路的近場中該供電線路的兩側(cè)。為了確定散 射參數(shù)，以兩種不同的狀態(tài)測量DUT的前向波和后向波。為了產(chǎn)生兩種不同的狀態(tài)，網(wǎng)絡分 析儀具有轉(zhuǎn)換開關，從而使得信號能夠一次是從左側(cè)饋送到電路中、一次是從右側(cè)饋送到 電路中。如果利用切換器在兩個位置測量前向波和后向波，則由此能夠確定嵌入式DUT的 全部的兩端口散射參數(shù)。然而，在散射參數(shù)的非接觸式確定中，存在如下的不能確定全部的 散射參數(shù)的情況。以下將說明兩種情況。情況1 如果例如嵌入有DUT的電路中的末級兩端口器件(圖3中在44和46之 間的34)是僅能夠在前向方向(參見圖3中的切換位置I)上工作的放大器(在其它方向 具有非常高的輸入阻抗)，以及如果以迄今在非接觸式矢量網(wǎng)絡分析中常用的方式使切換 器54的兩個輸出部在點36和46處連接在一起，而不是如圖3所示使切換器54的兩個輸 出部與平面線路16連接，則僅在切換位置I獲得適于分析的結果。在切換位置II中，幾乎 全部功率均通過反向工作的放大器反饋到信號發(fā)生器，并且在非接觸式環(huán)型探測器的測量 點，用于測量的信號消失在噪聲中。情況2 如果電路中的兩端口器件對DUT的左側(cè)和右側(cè)的衰減太高，則用于正確測 量的動態(tài)范圍太小。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是改進上述現(xiàn)有的測量用探測器的測量精確性和應用范圍。為了實現(xiàn)該目的，本發(fā)明提供了具有權利要求1所述特征的測量用探測器。在其 它權利要求中說明了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。根據(jù)本發(fā)明，針對上述現(xiàn)有的測量用探測器，將至少一個用于將電信號耦合到信 號線路中的附加信號探測器配置于殼體上。這具有如下的優(yōu)勢對于待進行的測量，通過DUT的信號不必經(jīng)由嵌入有該DUT的 電路的所有組件才輸送到該DUT，而是通過測量用探針(探測器)直接將信號饋送到該DUT 的上游或下游。在該方法中，能夠充分地測量DUT的散射參數(shù)，而不用考慮電路中可能存在其它組件。信號探測器采取非接觸式導體環(huán)路的形式，或者采取與信號線路電接觸并機械接 觸的測量用探針的形式，這是有用的；其中，測量用探針被設計和配置成，當測量用探針與 信號線路電接觸并機械接觸時，耦合結構至少位于信號線路的近場中或者與信號線路電接 觸并機械接觸。非接觸式信號探測器采取純感應探測器、純電容性探測器或感應探測器和電容性 探測器組合的形式，這是有用的。在優(yōu)選實施方式中，耦合結構采取非接觸式導體環(huán)路的形式，或者采取與信號線 路電接觸并機械接觸的測量用探針的形式。非接觸式耦合結構采取純感應探測器、純電容性探測器或感應探測器和電容性探 測器組合的形式，這是有用的。耦合結構的接地部和信號探測器的接地部電連接在一起，這是有用的。因為耦合結構是阻抗受控(impedance-controlled)的，所以獲得高定向衰減和 高輸入阻抗并產(chǎn)生較少的鞘波(sheath wave)，從而使得測量用探測器能夠被限定得更適 于分析目的，并使截止頻率比在非阻抗受控的測量用探測器的情況下高。為了改善信號品質(zhì)，將電信號放大器配置在信號探測器的輸入路徑中和/或耦合 結構的輸出路徑中。為了設定放大器的工作點，信號探測器和/或耦合結構被施加有DC電壓。在優(yōu)選實施方式中，殼體由金屬材料、吸收性材料(absorbent material)和/或 塑料材料制成。殼體包覆于吸收性材料中，這是有用的。根據(jù)具體情況，為了使測量用探測器能夠配置在靠近它或者與它電接觸并機械接 觸的信號導體的受控距離內(nèi)，還設置用于確定耦合結構和信號導體之間的距離的器件。用于確定所述距離的器件包括例如光距離傳感器、電距離傳感器、機械距離傳感 器和/或機電距離傳感器。為了使測量用探測器能夠在受控狀態(tài)下配置在信號導體附近的三維空間中或與 信號導體機械接觸并電接觸，還設置用于確定測量用探測器的空間位置的器件。用于確定測量用探測器的空間位置的器件是例如圖像傳感器。在優(yōu)選的實施方式中，測量用探測器還具有至少一個用于在空間中定位測量用探 測器的定位裝置，從而使測量用探測器在空間中的至少一個方向上可移位。定位裝置具有 例如至少一個定位馬達，特別是步進馬達，并且定位裝置優(yōu)選配置于殼體上。為了能夠獨立地定位耦合結構和信號探測器，測量用探測器具有分別用于耦合結 構和信號探測器的獨立的定位裝置。
以下將參考附圖詳細說明本發(fā)明。在附圖中圖1是測量裝置中根據(jù)本發(fā)明的測量用探測器的優(yōu)選實施方式的示意圖。圖2是圖1所示的優(yōu)選實施方式的俯視圖。圖3是具有矢量網(wǎng)絡分析儀(VNA)的測量裝置的示意圖。
具體實施例方式圖1和圖2所示的根據(jù)本發(fā)明的測量用探測器的優(yōu)選實施方式包括殼體10、耦合 結構12以及信號探測器14，其中，耦合結構12采取非接觸式測量環(huán)路的形式或環(huán)型探測器 的形式，信號探測器14采取與信號線路16電接觸并機械接觸的測量用探針的形式。耦合 結構12被形成為具有構成輸出路徑的第一端口 18和第二端口 20，以使耦合結構12耦合來 自信號線路16的電信號。信號探測器14被形成為具有輸入部22，以使信號探測器14將電 信號耦合到信號線路16中。信號探測器14被配置和設計成當信號探測器14與信號線路 16以圖1所示的方式電接觸并機械接觸時，耦合結構12位于信號線路16的近場中，S卩，耦 合結構12非接觸地耦合來自信號線路16的信號。信號線路16是印刷電路板30上的電氣或電子電路的一部分，該電氣或電子電路 包括待測試的嵌入式電氣或電子組件24 (DUT，待測器件)以及其它的電氣或電子組件26和 28。信號線路16采取例如帶狀線路(stripline)的形式。在圖3中，利用與圖1所示的附圖標記相同的附圖標記表示以相同方式工作的部 分，因此，關于這部分的說明請見上述對圖1的描述。在印刷電路板30上，電子電路還包括 電子組件32和34，電子組件32和34采取例如僅能在前向方向上工作且在其它方向上具 有非常高的固有阻抗(intrinsic impedance)的放大器的形式。組件26、28、32和34以及 DUT 24本質(zhì)上是經(jīng)由信號線路16構成環(huán)路的兩端口器件。另外，36表示印刷電路板30上 的第一位置，38表示印刷電路板30上的第二位置，40表示印刷電路板30上的第三位置，42 表示印刷電路板30上的第四位置，44表示印刷電路板30上的第五位置，46表示印刷電路 板30上的第六位置。48表示參考電平。圖3所示的是具有根據(jù)本發(fā)明的兩個測量用探測 器和矢量網(wǎng)絡分析儀(VNA) 50的測量裝置。VNA 50包括信號源52、具有切換位置I和切換 位置II的切換器54、第一測量端口 56、第二測量端口 58、第三測量端口 60和第四測量端口 62。附圖標記64表示分析儀的復數(shù)阻抗(complex impedance) 0信號源52經(jīng)由切換器54 與信號探測器14其中之一的輸入部22連接。測量端口 56、58、60和62與輸出部18和20 連接。根據(jù)切換器54的位置，通過在DUT 24的不同側(cè)的信號探測器14將來自信號源52 的信號耦合到信號線路16中。借助于根據(jù)本發(fā)明的測量用探測器，被耦合到信號線路16中的信號的功率可以 不經(jīng)由所有的組件26、28、32和34饋送到DUT 24，而借助信號探測器12直接饋送到DUT 24的上游。然后，將耦合結構12分別置于功率進給機構(infeed of the power)的后 面，或者分別置于功率進給機構的下游。根據(jù)本發(fā)明，非接觸式耦合結構12和接觸配置式 (contact-equipped)信號探測器組合為一體，優(yōu)選地組合在殼體內(nèi)。組合式測量用探測器 的進一步的優(yōu)勢在于如下的事實最優(yōu)化的組合需要更少的定位空間。通常，例如電子電 路的組件24、26、28、32和34等的待測器件兩兩之間的距離非常有限。另一個優(yōu)勢是可 以將DC電壓作為偏壓(bias)饋送到測量用探測器中可能存在的放大器。使用放大器能 夠改善信噪比(signal to noise ratio) 0由于使用根據(jù)本發(fā)明的具有測量用信號發(fā)送探 針(signalling prod for measurement) 14的測量用探測器，如從圖3可以看出的那樣，正 被檢查的平面電路的端部被保持為未連接。如果使用七項校準處理(7-term calibrating process)，來自未連接的端部的反饋不會影響測量的結果。
作為示例，圖2所示的是如何修改印刷電路板30上待檢測的平面微型帶狀電路 的構造，以能夠使用根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器。為了發(fā)送信號，在圖2的作為示例 所示的實施方式中，在平面微型帶狀線路16的附近設置有接觸墊，該接觸墊具有到接地部 的通孔66。在不同的實施方式中，如果待測器件與共面線路連接，則電路中不必設置額外的 接觸墊。提供饋電的信號探測器14采取經(jīng)由殼體與非接觸式探測器12連接的傳統(tǒng)測量用 在片(on-wafer)探針的形式。根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器包括至少一個耦合結構12和至少一個信號探 測器14，其中，耦合結構12耦合沿外部線路16傳播的電磁波的至少一部分，信號探測器14 用于向外部線路16傳輸功率。在該情況下，耦合結構12和信號探測器14可以都是非接觸 式或接觸配置式的，也可以是非接觸式和接觸配置式的組合。換句話說，將至少一個耦合結 構12與至少一個測量用信號發(fā)送探針14組合，以形成測量用探測器單元。將兩種探測器 (耦合結構12和信號探測器14)的接地部電連接在一起，這是有用的。優(yōu)選地，兩種探測器 具有共同的殼體和共同的支架(mounting)。如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器特別適用于非接觸式矢量網(wǎng)絡分 析系統(tǒng)。然而，也可以用于其它領域。在示例性實施方式中，測量用接觸配置式探針14的幾何形狀與傳統(tǒng)在片探測器 的幾何形狀相同。對于該實施方式，重要的是，測量用探針14具有至少一個用于與(平面) 波導16進行電接觸的金屬接觸板，其中，(平面)波導16與DUT 24電連接?？蛇x擇地，金 屬接觸板可以經(jīng)由內(nèi)部波導(在測量用探測器的殼體10中)與外部接口(例如SMA連接 器)連接。外部接口用于連接測量用探針14和信號發(fā)生器52。作為示例，測量用探針14和耦合結構均被制成阻抗受控的，S卩，使它們的輸入回 波損耗(input return loss)最大化。將例如感應探測器、電容性探測器或純感應探測器與純電容性探測器的組合用作 耦合結構12和信號探測器14。非接觸式耦合結構可以采取例如環(huán)型探測器的形式。在本發(fā)明的優(yōu)選設計中，在測量用探針14的輸入路徑22和/或耦合結構12的輸 出路徑18和20中配置用于改善信號品質(zhì)的放大器。這使得根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探 測器變成有源的測量用探測器。在有源的測量用探測器中，將測量用探針14和耦合結構12 連接至DC電源(偏壓電源)，以向放大器提供疊加在RF測試信號上的DC電壓，從而允許設 定工作點，這可能是有用的。根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器的殼體可以由任意期望的材料制成?？梢灾苽?例如被包覆有吸收性材料的金屬殼體?？蛇x擇地，可以制備塑料材料的殼體或吸收性材料 的殼體。作為示例，根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器可具有用于自動定位或用于檢測三 維位置的傳感器。優(yōu)選地，將耦合結構12與端部形成接口的至少一個波導連接。如果連接兩個波 導，則通常稱其為環(huán)型探測器。在不同的情況下，還可以將耦合結構12與大于一個或兩個 的波導連接。耦合結構12還可以包括單獨的探測器(例如電容性探測器)。在優(yōu)選的設計中，根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器具有用于在三維空間中進行 調(diào)節(jié)的機構(facilities)，從而能夠設定例如非接觸式耦合結構12和與DUT 24連接的波導16之間的距離。例如，通過用于在(例如線性的X-Y-Z工作臺的)三維空間中進行調(diào)節(jié) 的機構，改變耦合結構12相對于測量用探針14的位置。在該情況中，作為示例，用于在三 維空間中進行調(diào)節(jié)的機構被設計成機械可控或電可控?？勺詣舆M行調(diào)節(jié)處理，從而使得總 是選擇最佳位置進行耦合。本發(fā)明的另一個優(yōu)選的設計是將形成組合式測量用探測器的組合與定位裝置組 合，從而使得組合式測量用探測器能夠在所有維數(shù)內(nèi)移位或者僅在其中的一維或兩維等的 維數(shù)內(nèi)移位。作為示例，該定位裝置可包含在殼體中，也可經(jīng)由支架與組合式測量用探測器 連接。作為示例，該定位裝置可以是手動的，也可以是馬達驅(qū)動的。因此，該定位裝置可以 是有源的，也可以是無源的。該定位裝置優(yōu)選包括用于控制目的的控制線路。作為示例，根據(jù)本發(fā)明的組合式測量用探測器可以具有兩個獨立的定位裝置，從 而使得接觸配置式信號探測器14和非接觸式耦合結構12能夠彼此獨立地被定位，或者換 句話說，使得能夠相互獨立地設定接觸配置式信號探測器14的位置和非接觸式耦合結構 12的位置。耦合結構12還可以包括多個獨立的電容性探測器或感應探測器，和/或感應耦合 和電容性耦合的探測器。
權利要求
1.一種測量用探測器，其特別地用于非接觸式矢量網(wǎng)絡分析系統(tǒng)，該測量用探測器具 有殼體(10)以及至少一個耦合結構(12)，所述耦合結構(12)被配置于所述殼體(10)上 并被設計成耦合來自信號線路(16)的RF信號，其特征在于，還具有至少一個用于將電信號 耦合到所述信號線路(16)中的信號探測器(14)，所述信號探測器(14)被配置于所述殼體 (10)上。
2.根據(jù)權利要求1所述的測量用探測器，其特征在于，所述信號探測器(14)采取與所 述信號線路(16)電接觸并機械接觸的測量用探針的形式；所述測量用探針(14)被設計和 配置成，當所述測量用探針(14)與所述信號線路(16)電接觸并機械接觸時，所述耦合結構 (12)至少位于所述信號線路(16)的近場中或者與所述信號線路(16)電接觸并機械接觸。
3.根據(jù)權利要求1所述的測量用探測器，其特征在于，所述信號探測器(14)采取非接 觸式的導體環(huán)路或環(huán)型探測器的形式。
4.根據(jù)權利要求3所述的測量用探測器，其特征在于，所述非接觸式的信號探測器 (14)采取純感應探測器、純電容性探測器或感應探測器和電容性探測器組合的形式。
5.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述耦合結構 (12)采取與所述信號線路(16)電接觸并機械接觸的測量用探針的形式。
6.根據(jù)權利要求1-4中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述耦合結構 (12)采取非接觸式的導體環(huán)路或環(huán)型探測器的形式。
7.根據(jù)權利要求6所述的測量用探測器，其特征在于，所述非接觸式的耦合結構(12) 采取純感應探測器、純電容性探測器或感應探測器和電容性探測器組合的形式。
8.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述耦合結構 (12)的接地部和所述信號探測器(14)的接地部電連接在一起。
9.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述耦合結構 (12)和所述信號探測器(14)均被制造成阻抗受控的，使所述信號探測器(14)與所述信號 探測器(14)的輸入部0 之間的信號路徑的阻抗、所述信號探測器(14)的阻抗以及所述 信號探測器(14)的輸入部02)的阻抗彼此匹配，以獲得高輸入回波損耗，使所述耦合結構 (12)與所述耦合結構(12)的第一端口(18)之間的阻抗、所述耦合結構(12)與所述耦合結 構(12)的第二端口 OO)之間的阻抗、所述耦合結構(12)的阻抗、所述耦合結構(12)的第 一端口(18)的阻抗以及所述耦合結構(12)的第二端口 OO)的阻抗彼此匹配，以獲得高輸 入回波損耗。
10.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述信號探測 器(14)的輸入路徑0 上配置有電信號放大器。
11.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述耦合結構 (12)的至少一個輸出路徑(18、20)上配置有電信號放大器。
12.根據(jù)權利要求10或11所述的測量用探測器，其特征在于，所述信號探測器(14)和 /或所述耦合結構(12)被施加有DC電壓。
13.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述殼體 (10)由金屬材料、吸收性材料和/或塑料材料制成。
14.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述殼體 (10)包覆于吸收性材料中。
15.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，還配置有用于 確定所述耦合結構(12)和信號導體(16)之間的距離的器件。
16.根據(jù)權利要求15所述的測量用探測器，其特征在于，用于確定所述距離的器件包 括光距離傳感器、電距離傳感器、機械距離傳感器和/或機電距離傳感器。
17.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，還配置有用于 確定所述測量用探測器的空間位置的器件。
18.根據(jù)權利要求17所述的測量用探測器，其特征在于，用于確定所述測量用探測器 的空間位置的器件是圖像傳感器。
19.根據(jù)上述權利要求中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述測量用探 測器還具有至少一個用于在空間中定位所述測量用探測器的定位裝置。
20.根據(jù)權利要求19所述的測量用探測器，其特征在于，所述定位裝置具有至少一個 定位馬達，特別是步進馬達。
21.根據(jù)權利要求19或20所述的測量用探測器，其特征在于，所述測量用探測器具有 分別用于所述耦合結構(12)和所述信號探測器(14)的獨立的定位裝置。
22.根據(jù)權利要求19-21中的至少一項所述的測量用探測器，其特征在于，所述定位裝 置被配置于所述殼體(10)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種測量用探測器，其特別地用于非接觸式矢量網(wǎng)絡分析系統(tǒng)，該測量用探測器具有殼體(10)以及至少一個耦合結構(12)，耦合結構(12)被布置于殼體(10)上并被設計成耦合來自信號線路(16)的HF信號；其中，該測量用探測器還具有至少一個信號探測器(14)，信號探測器(14)被配置于殼體(10)上并用于將電信號耦合到信號線路(16)中。
文檔編號G01R27/32GK102099693SQ200980127983
公開日2011年6月15日 申請日期2009年6月23日 優(yōu)先權日2008年7月15日
發(fā)明者B·戈克, T·賽爾德 申請人:羅森伯格高頻技術有限及兩合公司