專利名稱：用芯片載光譜儀檢測流體的制作方法
用芯片載光譜儀檢測流體
背景技術(shù)：
眾所周知，燃料泄漏發(fā)生在飛機(jī)燃料分配系統(tǒng)和存儲(chǔ)箱中。燃料泄漏能夠降低燃 料經(jīng)濟(jì)性并導(dǎo)致其它問題，例如腐蝕。腐蝕還可由于濕氣積聚而發(fā)生。在商用飛機(jī)上，濕氣通常積聚在廚房和盥洗室下 面，并靠近門口和其它開口。濕氣還能夠被捕集在蜂窩狀面板和具有較輕重量和較低強(qiáng)度 的其它“夾層”結(jié)構(gòu)中。商用飛機(jī)上的濕氣和由此導(dǎo)致的腐蝕經(jīng)常發(fā)生在隱蔽位置，并且視覺檢查腐蝕需 要移開廚房、盥洗室、面板和地板，這需要耗費(fèi)高額的成本。這種檢查導(dǎo)致在飛機(jī)運(yùn)載期間 很長的停機(jī)時(shí)間和運(yùn)載之后乘客機(jī)群的調(diào)度延誤。此外，濕氣和腐蝕的視覺檢查可能花費(fèi)很多工時(shí)。該檢查還非常昂貴，特別是當(dāng)檢 查了飛機(jī)但沒有發(fā)現(xiàn)濕氣或腐蝕時(shí)。時(shí)間和金錢將已被浪費(fèi)。對飛機(jī)上的燃料泄漏和濕氣積聚的持續(xù)檢測能夠識(shí)別潛在的問題。對燃料泄漏和 濕氣積聚的持續(xù)檢測還能夠減少人力勞動(dòng)和所浪費(fèi)的時(shí)間。因此，對飛機(jī)上的燃料泄漏和 濕氣的持續(xù)檢測是非常可取的。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，用于在結(jié)構(gòu)上的位置處檢測流體的流體檢測裝置包括納米 級的芯片載光譜儀(spectrometer-on-a-chip)和流體吸收元件，該流體吸收元件用于在 上述位置處吸收流體并且還將芯片固定至結(jié)構(gòu)。通過光譜儀分析由該元件吸收的流體。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，航空航天平臺(tái)包括易發(fā)生燃料泄漏或濕氣積聚的結(jié) 構(gòu)和通過流體吸收元件固定至結(jié)構(gòu)的不同位置的多個(gè)芯片。每個(gè)芯片包括用于對被相應(yīng)元 件吸收的流體進(jìn)行光譜分析的光譜儀。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，給飛機(jī)配備濕氣和泄漏檢測的方法包括將多個(gè)芯片 固定至易發(fā)生燃料泄漏或濕氣積聚的結(jié)構(gòu)。用吸收流體的材料固定芯片。每個(gè)芯片包括與 吸收固定材料流體連通的光譜儀。每個(gè)光譜儀包括用于從吸收材料吸取(draw in)流體并 對所吸取的流體進(jìn)行光譜分析的裝置。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，流體檢測芯片包括基底、形成于基底中的流體通道、 用于抽取流體使其通過通道的微流體泵、形成于基底上的半導(dǎo)體激光器、用于將來自半導(dǎo) 體激光器的光聚焦到通道的位置上的由MEMS控制的光學(xué)系統(tǒng)、形成于基底上的檢測器以 及用于接收來自所述位置的光并將光譜線聚焦到檢測器上的由MEMS控制的光柵。


圖1是固定至結(jié)構(gòu)的流體檢測器的圖示說明；圖2是用于流體檢測的芯片的圖示說明；圖3是包括一個(gè)或更多個(gè)流體檢測芯片的柔性帶的圖示說明；圖如和圖4b是柔性帶的不同形狀的圖示說明；
圖5是包括泄漏和濕氣檢測系統(tǒng)的航空航天平臺(tái)的圖示說明；圖6是使用來自一個(gè)或更多個(gè)流體檢測芯片的數(shù)據(jù)的方法的圖示說明；圖7是用于飛機(jī)上被聯(lián)網(wǎng)的流體檢測芯片的不同位置的圖示說明；圖8是給飛機(jī)配備濕氣和泄漏檢測的方法的圖示說明；圖9是操作濕氣和泄漏檢測系統(tǒng)的方法的圖示說明；以及圖10是用于流體檢測的芯片的圖示說明。
具體實(shí)施例方式參考圖1，其顯示了用于檢測來自結(jié)構(gòu)100的泄漏或結(jié)構(gòu)100內(nèi)的濕氣的流體檢測 器110。結(jié)構(gòu)100不特別局限于任何結(jié)構(gòu)。作為第一示例，結(jié)構(gòu)100包括燃料箱，并且流體 檢測器110被配置為檢測來自燃料箱的泄漏。作為第二示例，結(jié)構(gòu)100包括液壓管路，并且 流體檢測器110被配置為檢測來自液壓管路的泄漏。作為第三示例，結(jié)構(gòu)100包括蜂窩狀 面板，并且流體檢測器110被配置為檢測面板內(nèi)的濕氣積聚。其它示例包括但不限于被配 置為檢測飛機(jī)壓力艙(aircraftpressure domes)、存儲(chǔ)箱、燃料泵總成、燃料管路、燃燒瓶、 貨物區(qū)域和需要流體冷卻的區(qū)域(例如，電子裝置、環(huán)境控制系統(tǒng)部分)周圍的泄漏。流體檢測器110包括芯片載光譜儀(spectrometer-on-a chip) 120。芯片120能 夠?qū)α黧w進(jìn)行光譜分析以識(shí)別流體的成分，這能夠區(qū)分流體的類型。區(qū)分流體的能力對于 泄漏檢測是有利的。例如，在燃料箱上，將泄漏燃料與濕氣區(qū)分開的能力能夠最小化錯(cuò)誤警 報(bào)的發(fā)生。光譜儀可以基于MEMS (MEMS指微電機(jī)系統(tǒng))?？梢杂冒雽?dǎo)體技術(shù)將納米級基于 MEMS的光譜儀制造在芯片120上。得到能夠提供持續(xù)監(jiān)測和分析泄漏和濕氣的低成本、低 功率光譜儀。流體檢測器110進(jìn)一步包括用于將芯片120固定至結(jié)構(gòu)100的元件130(例如， 帶、粘合劑)。元件130還具有流體吸收能力。這樣，元件130吸收在它附近的結(jié)構(gòu)100上 的流體。之后由元件130吸收的流體被傳送到光譜儀120并由光譜儀120進(jìn)行分析。這 樣，流體吸收元件130使芯片載光譜儀120適于流體檢測。流體吸收元件130還可以符合 (conform)結(jié)構(gòu)100的表面，以使其更易于固定至結(jié)構(gòu)100。用直線示意性地表示流體吸收元件130。實(shí)際上，元件130能夠用不同的方式實(shí) 現(xiàn)。下面將描述幾個(gè)不同的實(shí)施例。作為一個(gè)示例，流體吸收元件130可以是吸濕性聚合 物層。柔性聚合物層能夠符合結(jié)構(gòu)的表面。在一些實(shí)施例中，流體吸收元件130可以是涂在或噴在結(jié)構(gòu)表面上的粘性吸濕性 材料。芯片120能夠安裝在所噴的材料上。噴吸濕性粘性材料對于在難以接近的區(qū)域中安 裝芯片特別有利。在一些實(shí)施例中，芯片120可以與結(jié)構(gòu)100是一體的。作為第一示例，在制造結(jié)構(gòu) 100期間，芯片120被嵌入結(jié)構(gòu)100中。作為第二示例，結(jié)構(gòu)100本身為芯片120提供基底， 芯片120的元件(例如光譜儀)由此形成于結(jié)構(gòu)100上。所述結(jié)構(gòu)不特別局限于任何結(jié)構(gòu)。例如，通過將芯片置于壁之間并將它固定至核 心，芯片可以與蜂窩狀面板是一體的。芯片被置于流體可能積聚的位置。流體吸收元件130 吸收聚積在面板內(nèi)的流體。
現(xiàn)在參考圖2，其顯示了芯片210的示例，其包括納米級基于MEMS的光柵光譜儀 220。光譜儀220分析在檢測區(qū)域250處的流體。例如，激光器產(chǎn)生光束，并且光束被聚焦 到檢測區(qū)域250處的流體上。光束可以通過由MEMS裝置控制的聚焦光學(xué)器件來聚焦。檢 測區(qū)域250處的流體反射、分散并吸收光束。被傳遞的和分散的光被光柵反射，并被MEMS 裝置聚焦到光譜線中。光譜線被檢測器例如線性CCD檢測器檢測。芯片210進(jìn)一步包括從流體入口 235延伸并輸送流體至檢測區(qū)域250的流體通道 230。流體入口 235與流體吸收元件流體連通。芯片210進(jìn)一步包括用于輸送流體通過通道230的泵M0。泵240可以是醫(yī)藥工 業(yè)中所使用的微流體泵類型。該泵能夠從流體入口 235抽取數(shù)納升流體，使其通過流體通 道230并經(jīng)過檢測區(qū)域250。芯片210可以進(jìn)一步包括電源沈0，其用于供應(yīng)芯片上的電力。在一些實(shí)施例中， 電源260可以包括存儲(chǔ)裝置，例如電池。在一些實(shí)施例中，電源260能夠從它所運(yùn)行的環(huán)境中獲取能量?？紤]用于經(jīng)受機(jī) 械振動(dòng)的結(jié)構(gòu)的芯片210。電源260可以包括用于將振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電能的壓電裝置。由壓電 裝置釋放的電能能夠被存儲(chǔ)在芯片210上并被芯片210使用?；蛘呖紤]經(jīng)常暴露于太陽輻 射的芯片210。電源260可以包括用于將陽光轉(zhuǎn)化為電能的太陽能電池。能夠獲取的其它 形式能量包括但不限于流體運(yùn)動(dòng)和溫度梯度。能量獲取能夠與存儲(chǔ)裝置(例如電池)結(jié)合 使用。芯片210可以進(jìn)一步包括通訊裝置270。在一些實(shí)施例中，通訊裝置270可以從 芯片210傳遞原始數(shù)據(jù)到另一個(gè)裝置(例如計(jì)算機(jī))，所述另一個(gè)裝置處理原始數(shù)據(jù)以確 定泄漏是否已發(fā)生或濕氣是否已積聚，或存儲(chǔ)原始數(shù)據(jù)以用于將來的診斷。在一些實(shí)施例 中，通訊裝置270可以包括實(shí)時(shí)數(shù)字信號處理器，用于處理原始數(shù)據(jù)并將結(jié)果(例如警報(bào)) 發(fā)送到另一裝置(例如，維護(hù)計(jì)算機(jī)或中央網(wǎng)絡(luò)站)，表明泄漏是否已發(fā)生或濕氣是否已積 聚。通訊可以是有線的或無線的。該低功率芯片210可以執(zhí)行“持續(xù)”監(jiān)測。光譜儀220能夠持續(xù)地采樣檢測區(qū)域 250處的流體。持續(xù)監(jiān)測具有其優(yōu)點(diǎn)。其中一個(gè)優(yōu)點(diǎn)為，當(dāng)泄漏和濕氣積聚發(fā)生時(shí)，芯片210能夠 檢測泄漏和濕氣積聚。本發(fā)明的監(jiān)測系統(tǒng)可以包括單個(gè)芯片或多個(gè)芯片。一個(gè)或更多個(gè)芯片能夠被置于 結(jié)構(gòu)易發(fā)生泄漏的位置。多個(gè)芯片能夠被布置在覆蓋結(jié)構(gòu)的規(guī)則圖案(例如，柵格)中。用 多個(gè)芯片覆蓋結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于能夠定位泄漏和濕氣積聚?，F(xiàn)在參考圖3。在一些實(shí)施例中，流體吸收元件可以包括“柔性帶” 310。柔性帶 310包括由柔性電介質(zhì)材料制成的載體320。一個(gè)或更多個(gè)芯片330被嵌入載體320中。導(dǎo) 體340也可以被嵌入載體320中。導(dǎo)體340能夠傳輸能量、數(shù)據(jù)信號等。對于包括多個(gè)芯 片的柔性帶，導(dǎo)體340可以包括用于將芯片聯(lián)網(wǎng)的總線。例如，柔性帶310可以例如通過粘性背襯被粘合到結(jié)構(gòu)上。柔性帶310與結(jié)構(gòu)之 間的粘合劑將是吸濕性的，因此流體被輸送到芯片330。柔性帶310的部分可以是吸濕性 的并且其余部分能夠是疏水性的。吸濕性與疏水性的比例和設(shè)計(jì)能夠適用于結(jié)構(gòu)的不同部 分，并且因此能夠被用于各種不同的幾何形狀、環(huán)境條件和材料。
柔性帶不限于任何特定的幾何形狀。在一些實(shí)施例中，柔性帶能夠具有條帶的形 狀。圖如和圖4b示出了柔性帶410和420的其它形狀。一般，柔性帶的形狀可以被定制 成將被監(jiān)測的結(jié)構(gòu)的表面。本發(fā)明的流體檢測系統(tǒng)不限于任何特定的平臺(tái)。一個(gè)或更多個(gè)檢測器可以被用 來檢測以下平臺(tái)中的泄漏和濕氣航空航天平臺(tái)、管路、煉油廠、潛艇和其它潛水載具、大油 箱、地下儲(chǔ)存設(shè)施、核廢棄物儲(chǔ)存箱等。參考圖5，其顯示了一個(gè)這種平臺(tái)航空航天平臺(tái)500。例如，航空航天平臺(tái)500可 以是飛機(jī)、無人航空器、空間站、太空艙或衛(wèi)星。航空航天平臺(tái)500包括傳輸流體或易發(fā)生 流體積聚的不同結(jié)構(gòu)510。這些結(jié)構(gòu)510包括但不限于燃料箱、燃燒瓶、液壓管路、蜂窩狀面 板和必須被保護(hù)與濕氣隔開的電子器件隔室?？梢猿掷m(xù)地監(jiān)測一些或所有這些結(jié)構(gòu)510的 流體泄漏或濕氣積聚，或流體泄漏和濕氣均被監(jiān)測。通過將多個(gè)芯片載光譜儀520固定至關(guān)于結(jié)構(gòu)510的不同位置，可以監(jiān)測每個(gè)結(jié) 構(gòu)510。可以通過流體吸收元件530(用單條直線共同表示元件530)固定芯片520。每個(gè) 光譜儀對由相應(yīng)元件530吸收的流體進(jìn)行光譜分析。至少一些光譜儀能夠區(qū)分泄漏的流體 與其他類型的流體。芯片520可以被聯(lián)網(wǎng)在一起。到機(jī)載(on-board)系統(tǒng)和維護(hù)裝置的通訊可以是 有線的或無線的或兩者的結(jié)合。機(jī)載系統(tǒng)中的一個(gè)可以包括用于處理由芯片520產(chǎn)生的信號的處理單元MO (例 如，中央網(wǎng)絡(luò)單元)。芯片產(chǎn)生的信號可以包括原始數(shù)據(jù)、被處理數(shù)據(jù)、警告信號等。處理單 元540可以能定位結(jié)構(gòu)510上的問題區(qū)域。即，可以確定問題的性質(zhì)和位置?？梢酝ㄟ^定 期輪詢芯片520來定位問題。另外參考圖6。處理單元540還可以響應(yīng)檢測到的泄漏或濕氣積聚而采取行動(dòng)。 例如，處理單元540能夠給維護(hù)站報(bào)警(方框610)、發(fā)送警報(bào)到座艙(方框620)、為地面維 修人員保存數(shù)據(jù)(方框630)，發(fā)送數(shù)據(jù)到診斷系統(tǒng)等。數(shù)據(jù)可以持續(xù)地傳輸?shù)斤w機(jī)中央計(jì) 算系統(tǒng)和座艙警告系統(tǒng)，該飛機(jī)中央計(jì)算和座艙警告系統(tǒng)能夠命令易發(fā)生燃料泄漏或其它 泄漏的任何飛機(jī)系統(tǒng)關(guān)閉(方框640)。關(guān)閉能夠被自動(dòng)地(例如，通過燃料輸送系統(tǒng)中的 閉環(huán)控制)或手動(dòng)地(例如，由飛行員)執(zhí)行。進(jìn)水也能夠被識(shí)別從而能夠進(jìn)行清除或結(jié) 構(gòu)維修。飛機(jī)500可以進(jìn)一步包括用于主動(dòng)加載結(jié)構(gòu)510中的至少一個(gè)的系統(tǒng)550。這些 負(fù)載將使得很小的缺陷充分地暴露以被檢測，由此提供早期泄漏檢測和預(yù)防。主動(dòng)加載系 統(tǒng)550能夠是被動(dòng)的(例如，在現(xiàn)有負(fù)載狀況下操作和檢測)或主動(dòng)的，通過壓力加載或RF 或其它結(jié)構(gòu)加載技術(shù)施加負(fù)載?？梢酝ㄟ^氣壓加載(例如，用氦)來進(jìn)行主動(dòng)加載。主動(dòng) 加載還能夠包括標(biāo)準(zhǔn)使用加載，其包括起飛和飛行狀況。本發(fā)明描述的流體檢測系統(tǒng)對于航空航天平臺(tái)是有利的。芯片成本低并且重量 輕。它們消耗很低的能量并且占有很小的空間。本發(fā)明描述的流體檢測系統(tǒng)是自主式的，并且不會(huì)干擾或損壞航空航天平臺(tái)的系 統(tǒng)或結(jié)構(gòu)。它能夠減少運(yùn)行成本，并簡化和縮短目前的濕氣和泄漏檢測程序。在飛機(jī)的情況下，本發(fā)明的流體檢測系統(tǒng)能夠通過提供運(yùn)行中的實(shí)時(shí)濕氣和泄漏 檢測來改善機(jī)群安全性。監(jiān)測能夠在不同的環(huán)境狀況下都是可用的，包括登機(jī)門裝載貨物(gate cargo load)狀況、滑行、起飛、飛行以及著陸狀況。參考圖7，其顯示了用于持續(xù)監(jiān)測飛機(jī)700的燃料分配和存儲(chǔ)區(qū)域的芯片的不同 位置。飛機(jī)700包括中央機(jī)翼燃料箱702、每個(gè)機(jī)翼中的多個(gè)主燃料箱704以及多個(gè)儲(chǔ)備燃 料箱706和機(jī)翼中的通風(fēng)防震動(dòng)燃料箱(vent surge tanks) 708和水平穩(wěn)定器。一個(gè)或更 多個(gè)芯片(用“X”表示)被固定至每個(gè)主燃料箱704的外表面上的不同位置。一個(gè)或更多 個(gè)芯片(用“Y”表示)可被固定至每個(gè)儲(chǔ)備燃料箱706的外表面上的不同位置。一個(gè)或更 多個(gè)芯片(用“Z”表示)可被固定至每個(gè)水平穩(wěn)定器燃料箱710的外表面上的不同位置。 盡管沒有顯示，但一個(gè)或更多個(gè)芯片可以被固定至通風(fēng)防震動(dòng)燃料箱708、燃料管路上、連 接區(qū)域附近等。參考圖8，其顯示了裝備飛機(jī)以持續(xù)監(jiān)測泄漏和濕氣積聚的方法。該方法包括將多 個(gè)芯片固定至易發(fā)生燃料泄漏或濕氣積聚的結(jié)構(gòu)(方框810)。每個(gè)芯片包括光譜儀。芯片 用吸收流體的材料固定，以使得芯片能夠?qū)τ刹牧衔盏牧黧w進(jìn)行光譜分析。該方法進(jìn)一步包括將芯片連接到一個(gè)或更多個(gè)處理單元(方框820)。這可以通過 有線或無線或兩者的結(jié)合來進(jìn)行。例如，柔性帶能夠被用來提供從芯片到無線集線器的有 線連接，并且有線或無線連接能夠建立在無線集線器與中央處理單元之間?，F(xiàn)在參考圖9，其顯示了操作濕氣和泄漏檢測系統(tǒng)的方法。芯片被處理單元(例 如，飛行計(jì)算機(jī)、維護(hù)計(jì)算機(jī)、診斷計(jì)算機(jī))控制。芯片能夠被持續(xù)輪詢以確定是否檢測到 任何泄漏或濕氣積聚(方框910)。除了持續(xù)輪詢，在主動(dòng)加載結(jié)構(gòu)(方框920)之后，覆蓋 結(jié)構(gòu)的一個(gè)或更多個(gè)芯片能夠被輪詢(方框930)。主動(dòng)加載充分地暴露微裂紋等，并且檢 測能夠識(shí)別并修復(fù)這些位置，由此提供早期的泄漏檢測和預(yù)防?，F(xiàn)在參考圖10，其顯示了半導(dǎo)體芯片1000，該半導(dǎo)體芯片1000包括基底1010、形 成于基底1010中的流體通道1020、用于抽取流體通過通道1020的微流體泵1030、形成于 基底1010上的半導(dǎo)體激光器1040、用于將來自半導(dǎo)體激光器1040的光聚焦到通道的檢測 位置上的由MEMS控制的光學(xué)系統(tǒng)1045、形成于基底1010上的檢測器1050和用于接收來自 該位置的光并將光譜線聚焦到檢測器1050上的由MEMS控制的光柵1060。在一些實(shí)施例中，單個(gè)芯片1000可以包括多個(gè)檢測器1050。例如，設(shè)計(jì)相同的多 個(gè)線性硅陣列可以布置在規(guī)則的柵格中。在使用多個(gè)檢測器1050的其它實(shí)施例中，檢測器 1050可以制造成變化的、可互換的尺寸，并且具有隨機(jī)的或偽隨機(jī)的布置。如果用于流體檢測，芯片1000還包括流體吸收元件1070。在一些實(shí)施例中，流體 吸收元件1070可以由吸濕性聚合物制成。在其它實(shí)施例中，流體吸收元件1070可以是能 夠通過化學(xué)沉積或半導(dǎo)體處理而制造在芯片1000上的納米管型結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，能夠制造沒有流體吸收元件的芯片1000。例如，芯片1000可以 使用將芯片固定至結(jié)構(gòu)的吸收元件1070?；蛘?，芯片可以用于氣體檢測。能夠制造沒有流體吸收元件或在流體吸收元件的 位置具有氣體入口的氣體檢測器芯片。例如，這些芯片可以被用來檢測氣體泄漏。
權(quán)利要求
1.一種用于在結(jié)構(gòu)上的位置處檢測流體的流體檢測裝置，所述裝置包括納米級的芯片載光譜儀；以及流體吸收元件，其用于在所述位置處吸收流體并還將所述芯片固定至所述結(jié)構(gòu)；其中，通過所述光譜儀分析由所述元件吸收的流體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述光譜儀包括流體通道和用于泵送數(shù)納升的流 體通過所述通道的微流體泵；檢測器；以及用于在流體檢測期間產(chǎn)生光譜線并將所述光譜 線聚焦到所述檢測器上的半導(dǎo)體激光器和相關(guān)光學(xué)器件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述流體吸收元件符合所述結(jié)構(gòu)的表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述流體吸收元件包括由吸濕性材料制成的表面 符合層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述流體吸收元件包括吸濕性粘合劑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包括用于給所述芯片供電的電力獲取裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述流體吸收元件包括柔性帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述柔性帶包括粘合到所述結(jié)構(gòu)的柔性導(dǎo)體，所 述芯片嵌入所述柔性導(dǎo)體中。
9.一種濕氣和泄漏檢測方法，所述方法包括將多個(gè)芯片固定至易發(fā)生燃料泄漏或濕氣 積聚的結(jié)構(gòu)，所述芯片用吸收流體的材料固定，每個(gè)芯片包括與該吸收固定材料流體連通 的光譜儀，每個(gè)光譜儀包括用于從所述吸收材料吸取流體并對被吸取的流體進(jìn)行光譜分析 的裝置。
全文摘要
一種用于在結(jié)構(gòu)上的某位置處檢測流體的流體檢測裝置包括納米級的芯片載光譜儀和用于在所述位置處吸收流體并將芯片固定至該結(jié)構(gòu)的流體吸收元件。通過光譜儀分析由元件吸收的流體。
文檔編號G01M3/04GK102132137SQ200980133138
公開日2011年7月20日 申請日期2009年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月12日
發(fā)明者G·E·喬治森, K·D·梅雷迪斯, M·賽弗 申請人:波音公司