專利名稱：測(cè)試裝置、測(cè)試方法、電路系統(tǒng)、以及電源裝置、電源評(píng)價(jià)裝置、電源環(huán)境的仿真方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電源的穩(wěn)定化技術(shù)。
背景技術(shù)：
在對(duì)使用 了 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)技術(shù)的 CPU (Central Processing Unit)、DSP (Digital Signal Processor)、存儲(chǔ)器等的半導(dǎo)體集 成電路(以下稱為DUT)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，DUT內(nèi)的觸發(fā)器和門閂在提供給時(shí)鐘的動(dòng)作中電流將 會(huì)流動(dòng)，當(dāng)時(shí)鐘停止時(shí)電路變?yōu)殪o止?fàn)顟B(tài)，電流會(huì)減少。也就是說，流動(dòng)在DUT中的消費(fèi)電 流(負(fù)荷電流)的合計(jì)，可根據(jù)處于動(dòng)作狀態(tài)的門極(晶體管)的比率(動(dòng)作率)，即根據(jù) 測(cè)試內(nèi)容等而時(shí)時(shí)刻刻地發(fā)生變動(dòng)。將電源電壓提供給DUT的電源電路由調(diào)節(jié)器構(gòu)成，可以不管負(fù)荷電流而理想地提 供恒定的電源電壓。但是，實(shí)際的電源電路具有不可忽視的輸出阻抗，另外，由于電源電路 和DUT之間也存在不可忽視的阻抗成分，因此電源電壓將隨著負(fù)荷的變動(dòng)而變動(dòng)。電源電壓的變動(dòng)對(duì)DUT的測(cè)試容限會(huì)產(chǎn)生深刻的影響。另外，電源電壓的變動(dòng)對(duì) 于測(cè)試裝置內(nèi)的其他電路塊，例如對(duì)于生成向DUT提供圖形的圖形產(chǎn)生器、和用于對(duì)圖形 的遷移定時(shí)進(jìn)行控制的定時(shí)產(chǎn)生器的動(dòng)作會(huì)產(chǎn)生影響，從而使測(cè)試精確度惡化。為了解決這個(gè)問題，已提出了一種技術(shù)，即根據(jù)提供給DUT的測(cè)試圖形來(lái)修正電 源電壓，從而使DUT —端的電源電壓穩(wěn)定化(專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-205813號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
在專利文獻(xiàn)1公開的技術(shù)中，由于在讀取了對(duì)DUT施加的測(cè)試圖形之后而補(bǔ)償電 源電壓，因此不能追隨急劇的電源電壓，并有可能會(huì)相對(duì)于測(cè)試圖形而產(chǎn)生電源電壓補(bǔ)償 延遲的問題。另外，由于補(bǔ)償電路是作為電源電路的一部分而構(gòu)成的，因此只能在由電源電 路和DUT之間的阻抗所限制的頻率帶區(qū)域內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。另外，也需要根據(jù)所補(bǔ)償?shù)碾娫醋?動(dòng)的可變量、分辨能力的多位D/A轉(zhuǎn)換器。本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的之一在于，提供一種能夠補(bǔ)償電源電壓 變動(dòng)的測(cè)試裝置。本發(fā)明的一種實(shí)施方式是電路系統(tǒng)。該電路系統(tǒng)具備半導(dǎo)體設(shè)備；主電源，其將 電源電壓提供給半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含與半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行 的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上述處理期間，根據(jù)控 制圖形，而從與主電源不同的通路向半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子中間歇性地注入補(bǔ)償電流。并且，本發(fā)明的其他實(shí)施方式也是一種電路系統(tǒng)。該電路系統(tǒng)具備半導(dǎo)體設(shè)備； 主電源，其將電源電壓提供給半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含與半導(dǎo) 體設(shè)備執(zhí)行的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上述處理期間，根據(jù)控制圖形，而將來(lái)自主電源的電源電流的一部分作為補(bǔ)償電流，間歇性地引入到 與半導(dǎo)體設(shè)備不同的通路中。控制圖形生成部被內(nèi)裝在半導(dǎo)體設(shè)備中，其可以根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的動(dòng)作狀態(tài)而使 脈沖列的占空比發(fā)生變化。本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及一種對(duì)被測(cè)試設(shè)備進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置。該測(cè)試裝置 具備主電源，其將電源電壓提供給被測(cè)試設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含 與半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行上 述處理期間，根據(jù)控制圖形，而從與主電源不同的通路向被測(cè)試設(shè)備的電源端子中間歇性 地注入補(bǔ)償電流(補(bǔ)償電荷)。根據(jù)該實(shí)施方式，通過控制脈沖列的占空比，從而可以抑制電源電壓的變動(dòng)，或者 可以有意地使電源電壓發(fā)生變動(dòng)?！罢伎毡取钡母拍钍侵福}沖的高頻率和低頻率的時(shí)間比 率，不僅指一個(gè)周期內(nèi)的時(shí)間比率，而且也包含多個(gè)周期的平均時(shí)間比率?？刂茍D形生成部在相對(duì)于流入到被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流發(fā)生變化的定 時(shí)提前規(guī)定時(shí)間，進(jìn)行向所述補(bǔ)償電路輸出用于使補(bǔ)償電流發(fā)生變化的控制圖形。當(dāng)施加控制圖形且補(bǔ)償電流開始流動(dòng)后，電源電壓有可能會(huì)在影響出現(xiàn)之前產(chǎn)生 延遲的情況。在這種情況下，通過考慮延遲并賦予控制圖形，可以進(jìn)一步抑制電源電壓的變 動(dòng)。規(guī)定時(shí)間可以由以下來(lái)決定。1、在使被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行了電源電壓沒有變化的動(dòng)作狀態(tài)下，在第一定時(shí)向補(bǔ)償電 路輸出用于使補(bǔ)償電流發(fā)生變化的控制圖形。2、接著，對(duì)賦予了控制圖形后的結(jié)果為、被測(cè)試設(shè)備的電特性發(fā)生變化的第二定 時(shí)進(jìn)行檢測(cè)。3、根據(jù)第一定時(shí)與第二定時(shí)之間的時(shí)間差來(lái)設(shè)定規(guī)定時(shí)間。在被測(cè)試設(shè)備中所產(chǎn)生的電特性的變化，也可以是從被測(cè)試設(shè)備中輸出的數(shù)據(jù)的 定時(shí)(輸出定時(shí))。或者也可以是內(nèi)裝在被測(cè)試設(shè)備中的環(huán)形振蕩器的頻率。 補(bǔ)償電路和被測(cè)試設(shè)備之間的配線長(zhǎng)度，也可以短于主電源和被測(cè)試設(shè)備之間的 配線長(zhǎng)度。在這種情況下，由于補(bǔ)償電路沒有受到主電源和被測(cè)試設(shè)備之間的阻抗的影響， 因此可以一直補(bǔ)償?shù)礁哳l率的電源變動(dòng)為止。補(bǔ)償電路可以包括電壓源和開關(guān)，所述電壓源用于生成比由主電源所生成的電源 電壓更高的電壓；所述開關(guān)設(shè)置在電壓源的輸出端子和被測(cè)試設(shè)備的電源端子之間，并根 據(jù)控制圖形而切換成開或關(guān)。補(bǔ)償電路也可以包括電流源和開關(guān)，所述電流源用于生成規(guī)定的恒電流；所述開 關(guān)設(shè)置在電流源和被測(cè)試設(shè)備的電源端子之間，并根據(jù)控制圖形而切換成開或關(guān)。而且，本發(fā)明的其他實(shí)施方式也涉及一種對(duì)被測(cè)試設(shè)備進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試裝置。該 測(cè)試裝置具備主電源，其將電源電壓提供給被測(cè)試設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其 生成包含脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其根據(jù)控制圖形，而將來(lái)自主電源的電源電流間歇 性地引入到與被測(cè)試設(shè)備不同的通路中。根據(jù)該實(shí)施方式，通過控制脈沖列的占空比，可以抑制電源電壓的變動(dòng)，或者可以
9有意地使電源電壓發(fā)生變動(dòng)。補(bǔ)償電路可以包括電壓源和開關(guān)，所述電壓源用于生成比由主電源所生成的電源 電壓更高的電壓；所述開關(guān)設(shè)置在電壓源的輸出端子和被測(cè)試設(shè)備的電源端子之間，并根 據(jù)控制圖形而切換成開或關(guān)。補(bǔ)償電路也可以包括電流源和開關(guān)，所述電流源用于生成規(guī)定的恒電流；所述開 關(guān)設(shè)置在電流源和被測(cè)試設(shè)備的電源端子之間，并根據(jù)控制圖形而切換成開或關(guān)。本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式也涉及一種測(cè)試裝置。該測(cè)試裝置具備主電源，其將 電源電壓提供給被測(cè)試設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含脈沖列的控制圖形； 補(bǔ)償電路，其根據(jù)控制圖形，而將來(lái)自主電源的電源電流的一部分作為補(bǔ)償電流，間歇性地 弓丨入到與被測(cè)試設(shè)備不同的通路中。根據(jù)該實(shí)施方式，通過控制脈沖列的占空比，從而可以抑制電源電壓的變動(dòng)，或者 可以有意地使電源電壓發(fā)生變動(dòng)。補(bǔ)償電路也可以包括開關(guān)，所述開關(guān)設(shè)置在主電源的兩極端子之間，并根據(jù)控制 圖形而切換成開或關(guān)。在上述幾個(gè)實(shí)施方式的測(cè)試裝置中，控制圖形可以由以下的方式而生成。控制圖形生成部可以根據(jù)被測(cè)試設(shè)備的動(dòng)作狀態(tài)，而使脈沖列的占空比發(fā)生變 化。控制圖形可以由以下的方式而生成。1、通過計(jì)算機(jī)，對(duì)于在賦予了規(guī)定測(cè)試圖形的狀態(tài)下流動(dòng)在被測(cè)試設(shè)備中的電流 進(jìn)行計(jì)算。2、從每個(gè)循環(huán)的電流中減去電源電流的連續(xù)成分，并根據(jù)該結(jié)果計(jì)算出每個(gè)循環(huán) 的補(bǔ)償電流量。3、以能夠獲得所計(jì)算出的每個(gè)循環(huán)的補(bǔ)償電流量的方式，通過圖形調(diào)制對(duì)控制圖 形進(jìn)行規(guī)定。于是，將規(guī)定的控制圖形保存于存儲(chǔ)器中。當(dāng)將規(guī)定的測(cè)試圖形提供給被測(cè)試設(shè) 備時(shí)，通過讀出與其對(duì)應(yīng)而被規(guī)定的控制圖形，從而能夠補(bǔ)償電源電壓的變動(dòng)?？刂茍D形生成部可以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到被測(cè)試設(shè)備的電 源端子中的電流、與補(bǔ)償電路所注入的補(bǔ)償電流之間的差在時(shí)間上成為連續(xù)?？刂茍D形生成部可以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到被測(cè)試設(shè)備的電 源端子中的電流、與補(bǔ)償電路所注入的補(bǔ)償電流之間的差在時(shí)間上成為恒定。控制圖形生成部可以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到被測(cè)試設(shè)備的電 源端子中的電流、與補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流之間的和在時(shí)間上成為連續(xù)。當(dāng)流入到被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流在某個(gè)定時(shí)增加時(shí)，控制圖形生成部可 以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流，在某個(gè)定時(shí)之前會(huì)隨 著時(shí)間緩慢地增加。在補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流是無(wú)用電流時(shí)，如果執(zhí)行該控制，則可以減少無(wú)用 電流。當(dāng)流入到被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流在某個(gè)定時(shí)減少時(shí)，控制圖形生成部可 以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流在某個(gè)定時(shí)之后會(huì)隨著時(shí)間緩慢地減少。當(dāng)流入到被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流在某個(gè)期間增加時(shí)，控制圖形生成部可 以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流，在某個(gè)期間之前從第 一值到第二值為止會(huì)隨著時(shí)間緩慢地增加，并在某個(gè)期間取得比第二值更小的第三值，在 經(jīng)過某個(gè)期間之后，從第二值到第四值為止將會(huì)隨著時(shí)間緩慢地減少。當(dāng)將補(bǔ)償電流引入到與被測(cè)試設(shè)備不同的通路時(shí)，在補(bǔ)償電流成為無(wú)用電流時(shí)， 通過進(jìn)行該處理能夠抑制無(wú)用電流?？刂茍D形生成部可以使噪音重疊在供給于被測(cè)試設(shè)備電源端子的電源電壓上。在這種情況下，可以檢查被測(cè)試設(shè)備對(duì)于噪音的耐受性?？刂茍D形生成部可以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，也可以使從電源端子向電源一 側(cè)看上去的阻抗發(fā)生變化。搭載在測(cè)試裝置中的電源、與實(shí)際使用時(shí)向被測(cè)試設(shè)備提供電壓的電源，具有輸 出阻抗等性能不同的情況，通常，實(shí)際使用時(shí)的電源性能比測(cè)試裝置的性能要差。通過使脈 沖列的占空比發(fā)生變化，從而能夠?qū)?shí)際使用時(shí)的電源性能進(jìn)行仿真。某個(gè)實(shí)施方式的測(cè)試裝置可以進(jìn)一步具備圖形產(chǎn)生器，所述圖形產(chǎn)生器用于生成 應(yīng)該向被測(cè)試設(shè)備輸出的測(cè)試圖形?？梢园凑彰總€(gè)測(cè)試圖形，而預(yù)先規(guī)定控制圖形。某個(gè)實(shí)施方式的測(cè)試裝置可以進(jìn)一步具備圖形產(chǎn)生器，所述圖形產(chǎn)生器用于生成 應(yīng)該向被測(cè)試設(shè)備輸出的測(cè)試圖形?？刂茍D形生成部可以生成與測(cè)試圖形同步的控制圖 形?？刂茍D形生成部可以利用△ Σ調(diào)制、脈沖寬度調(diào)制、脈沖密度調(diào)制中的任意一 種，來(lái)生成脈沖列。在某個(gè)實(shí)施方式中，控制圖形生成部具備設(shè)備電流建模部，其生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流 波形數(shù)據(jù)，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)在被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行上述處理時(shí)，以單元脈沖電流的 重合形式，對(duì)于預(yù)測(cè)到流動(dòng)在被測(cè)試設(shè)備中的設(shè)備電流的波形進(jìn)行定義；脈沖應(yīng)答波形數(shù) 據(jù)提供部，其生成脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)，所述脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)用于描述在從主電源引出單 元脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由主電源輸出、以及/或者吸入的輸出電流的波形；控制圖 形運(yùn)算部，其對(duì)預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和單元脈沖電流的波形進(jìn)行卷積，并 且對(duì)預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)進(jìn)行卷積，根據(jù)由兩次卷積 所得到的兩個(gè)波形的差分波形，來(lái)生成控制圖形。根據(jù)該實(shí)施方式，將流動(dòng)在被測(cè)試設(shè)備中的設(shè)備電流視為脈沖電流的重合并進(jìn)行 模型化，通過將相當(dāng)于設(shè)備電流的預(yù)測(cè)波形、與電源的輸出電流的預(yù)測(cè)波形之間的差分的 電流，作為補(bǔ)償電流進(jìn)行供給，從而能夠抑制電源電壓的變動(dòng)。設(shè)備電流建模部可以根據(jù)提供給被測(cè)試設(shè)備的測(cè)試圖形和被測(cè)試設(shè)備的電路結(jié) 構(gòu)信息，從而生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)。被測(cè)試設(shè)備的動(dòng)作、即信號(hào)處理，可根據(jù)測(cè)試圖形而決定。因此，如果測(cè)試圖形已 知，則能夠預(yù)測(cè)出被測(cè)試設(shè)備內(nèi)部的晶體管(門極)的動(dòng)作率(切換事件密度(力“子 >夂^《 > 卜密度))。也就是說，根據(jù)設(shè)備結(jié)構(gòu)和測(cè)試圖形，能夠預(yù)測(cè)出設(shè)備電流。脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)可以通過以下的處理而預(yù)先獲得。1、在被測(cè)試設(shè)備沒有與主電源連接的狀態(tài)下，從主電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈沖電流，或者將脈沖電流提供給主電源的輸出節(jié)點(diǎn)。2、對(duì)于將脈沖電流作用在主電源后所產(chǎn)生的電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn)行測(cè)定。3、從測(cè)定出的電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出主電源所輸出、以及/或者吸入 的輸出電流的波形。本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及一種將電源電壓提供給半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子的電 源評(píng)價(jià)裝置。該評(píng)價(jià)裝置具備電流源，其在半導(dǎo)體設(shè)備沒有與電源連接的狀態(tài)下，從電源 的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈沖電流，或者將脈沖電流提供給電源的輸出節(jié)點(diǎn)；測(cè)定器，其對(duì)于脈沖電 流作用后所產(chǎn)生的電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn)行測(cè)定；分析器(analyser)，其從電源電壓 的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出電源所輸出、以及/或者吸入的輸出電流的波形。根據(jù)這種實(shí)施方式所得到的輸出電流的波形，可以視為脈沖應(yīng)答。如果是理想電 源，在使脈沖電流作用在該理想電源時(shí)，可以產(chǎn)生脈沖狀的輸出電流，從而瞬間將其打消。 也就是說輸出電流和脈沖電流是一致的。隨著電源的應(yīng)答性變差，輸出電流與脈沖電流將 會(huì)背離。也就是說，通過該裝置所測(cè)定出的輸出電流的波形，可以作為表示電源應(yīng)答性的指 標(biāo)進(jìn)行使用。或者在另外的實(shí)施方式中，將任意的電流作用在電源上時(shí)，通過對(duì)由本評(píng)價(jià)裝置 所得到的脈沖應(yīng)答和該電流波形進(jìn)行卷積，從而可以預(yù)測(cè)出電源的輸出電流，并且可以預(yù) 測(cè)其輸出電壓。并且，本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及一種帶有仿真功能的電源裝置。電源裝置具備 主電源，其將電源電壓提供給被測(cè)試設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含脈沖列 的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行規(guī)定處理期間，根據(jù)控制圖形，從而將補(bǔ)償電 流間歇性地注入到被測(cè)試設(shè)備的電源端子，以及/或者將來(lái)自主電源的電源電流的一部分 作為補(bǔ)償電流引入到與被測(cè)試設(shè)備不同的通路中?？刂茍D形生成部具備設(shè)備電流建模 部，其生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)，該預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)是在被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行規(guī)定處 理時(shí)，以單元脈沖電流的重合形式，對(duì)于被預(yù)測(cè)到流動(dòng)在被測(cè)試設(shè)備中的設(shè)備電流的波形 進(jìn)行定義；第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部，其提供第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)，該第一脈沖應(yīng)答 波形數(shù)據(jù)用于描述在從主電源引出單元脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由主電源輸出、以及/ 或者吸入的輸出電流的波形；第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部，其提供第二脈沖應(yīng)答波形數(shù) 據(jù)，該第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)用于描述在從仿真對(duì)象的電源引出單元脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn) 行應(yīng)答而由仿真對(duì)象的電源所輸出、以及/或者吸入的輸出電流的波形；控制圖形運(yùn)算部， 其對(duì)于預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所描述的波形進(jìn)行 卷積，并且對(duì)預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所描述的波形 進(jìn)行卷積，根據(jù)由兩次卷積所得到的兩個(gè)波形的差分波形，來(lái)生成控制圖形。將預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所描述的波形 進(jìn)行卷積后所得到的波形，作為主電源的輸出電流的預(yù)測(cè)波形。另外，將預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形 數(shù)據(jù)所描述的波形和第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所描述的波形進(jìn)行卷積后所得到的波形，作為 連接了仿真對(duì)象的電源時(shí)的輸出電流的預(yù)測(cè)波形。因此，通過由補(bǔ)償電路提供兩個(gè)預(yù)測(cè)波 形的差分，可以再現(xiàn)仿真對(duì)象的電源環(huán)境。另外，將以上結(jié)構(gòu)要素的任意組合以及構(gòu)成本發(fā)明的要素和表現(xiàn)，在方法、裝置等 之間相互置換，并且其作為本發(fā)明的實(shí)施方式也很有效。
發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的某個(gè)實(shí)施方式可以抑制電源電壓的變動(dòng)。


圖。

圖1為表示第一實(shí)施方式的測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)的電路圖。
圖2為表示控制圖形的生成方法的流程圖。
圖3為表示圖1的測(cè)試裝置的動(dòng)作狀態(tài)的時(shí)間圖。
圖4為表示第二實(shí)施方式的測(cè)試裝置的補(bǔ)償電路結(jié)構(gòu)的電路圖。
圖5(a)、(b)為，表示圖4的補(bǔ)償電路中的補(bǔ)償電流和消費(fèi)電流之間關(guān)系的時(shí)間
圖6為表示第三實(shí)施方式的電路系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的電路圖。
圖7為模式化地表示半導(dǎo)體設(shè)備和電源的框圖。
圖8為表示第四實(shí)施方式的電源評(píng)價(jià)裝置結(jié)構(gòu)的框圖。
圖9為表示圖8的電源評(píng)價(jià)裝置的動(dòng)作的時(shí)間圖。
圖10為表示第五實(shí)施方式的測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)的框圖。
圖11為表示第六實(shí)施方式的帶有仿真功能的電源裝置結(jié)構(gòu)的框圖。
附圖標(biāo)記說明
100 DUT、 106 I/O 端子、 400第一設(shè)備、 406 I/O 針腳、 10主電源、 16驅(qū)動(dòng)器、 20a電壓源、 500電源評(píng)價(jià)裝置、 506分析器、
102電源端子、 200測(cè)試裝置、 402電源端子、 408控制端子、 12圖形產(chǎn)生器、 20補(bǔ)償電路、 20b開關(guān)、 502電流源、
104接地端子、 300電路系統(tǒng)、 404接地端子、 410第二設(shè)備、 14定時(shí)產(chǎn)生器、波形整形器 22控制圖形生成部、 20c開關(guān)、
504測(cè)定器、
602設(shè)備電流建模部、604脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部、 606控制圖形運(yùn)算部、608第一運(yùn)算部、 610第二運(yùn)算部、 612第三運(yùn)算部、 614編碼器、700電源裝置、
702設(shè)備電流建模部、70 第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部、
704b第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部、706控制圖形運(yùn)算部、 708第一運(yùn)算部、710第二運(yùn)算部、
712第三運(yùn)算部、714編碼器。
具體實(shí)施例方式下面，以優(yōu)選的實(shí)施方式為基礎(chǔ)參照附圖來(lái)說明本發(fā)明。對(duì)于各個(gè)附圖所表示的 相同或相等的結(jié)構(gòu)要素、構(gòu)件、處理付加上相同的標(biāo)記，并適當(dāng)省略重復(fù)的說明。另外，實(shí)施 方式不是用于限定本發(fā)明而是一個(gè)示例，在實(shí)施方式中描述的所有特征及其組合并不限于 必須是發(fā)明本質(zhì)。本說明書中的“構(gòu)件A和構(gòu)件B相連接的狀態(tài)”，包括構(gòu)件A和構(gòu)件B在物理上被
13直接連接的情況，也包括構(gòu)件A和構(gòu)件B通過不影響其電連接狀態(tài)的其他構(gòu)件而被間接連 接的情況。同樣，“構(gòu)件C被設(shè)置在構(gòu)件A和構(gòu)件B之間的狀態(tài)”是指，除了包括構(gòu)件A和構(gòu) 件C、或者構(gòu)件B和構(gòu)件C被直接連接的情況之外，也包括通過不影響其電連接狀態(tài)的其他 構(gòu)件而被間接連接的情況。(第一實(shí)施方式)圖1是表示第一實(shí)施方式的測(cè)試裝置200的結(jié)構(gòu)的電路圖。圖1表示測(cè)試裝置 200、和測(cè)試對(duì)象的半導(dǎo)體設(shè)備(以下稱為DUT) 100。DUT100具備多個(gè)針腳，其中一個(gè)是用于接收電源電壓Vdd的電源端子102，另一個(gè) 是接地端子104。圖1表示分別設(shè)置一個(gè)電源端子102和一個(gè)接地端子104的情況，但是本 發(fā)明并不僅限于此。在近幾年的大規(guī)模的集成電路中也有接收多個(gè)電源端子、接地端子的 情況，這種集成電路對(duì)本發(fā)明也是有效的。多個(gè)I/O端子106是為了接收來(lái)自外部的數(shù)據(jù)、 或者向外部輸出數(shù)據(jù)而設(shè)置的，在測(cè)試時(shí)，所述多個(gè)I/O端子106接收由測(cè)試裝置200輸出 的測(cè)試圖形，或者向測(cè)試裝置200輸出與測(cè)試圖形對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)。測(cè)試裝置200具備主電源10、圖形產(chǎn)生器12、定時(shí)產(chǎn)生器TG以及波形整形器 FC(下面對(duì)此標(biāo)注符號(hào)14)、驅(qū)動(dòng)器16、補(bǔ)償電路20以及控制圖形生成部22。由于主電源10、圖形產(chǎn)生器12、定時(shí)產(chǎn)生器14、驅(qū)動(dòng)器16的結(jié)構(gòu)以及功能，與一般 的測(cè)試裝置的那些結(jié)構(gòu)沒有不同，因此進(jìn)行簡(jiǎn)單的說明。以下對(duì)有關(guān)DUT100為存儲(chǔ)器的情 況進(jìn)行說明。主電源10用于生成應(yīng)提供給DUT100的電源端子102的電源電壓Vdd。例如主電 源10由線性調(diào)節(jié)器和開關(guān)調(diào)節(jié)器等所構(gòu)成，并對(duì)提供給電源端子102的電源電壓Vdd進(jìn)行 反饋控制，以使之與目標(biāo)值一致。電容器Cs是為了使電源電壓Vdd平滑化而設(shè)置的。主電 源10除了生成相對(duì)于DUT100的電源電壓之外，也生成相對(duì)于測(cè)試裝置200內(nèi)部的其他塊 的電源電壓。測(cè)試裝置200具備多個(gè)η個(gè)的溝道CHl CHn，其中的幾個(gè)被分配給DUT100的多 個(gè)I/O端子106。定時(shí)產(chǎn)生器14以及驅(qū)動(dòng)器16分別被設(shè)置在各個(gè)溝道上。圖形產(chǎn)生器12用于生成定時(shí)設(shè)定(夕4 S >夕‘七^卜)信號(hào)(下面稱為“TS信 號(hào)”)，并提供給定時(shí)產(chǎn)生器14。定時(shí)產(chǎn)生器14根據(jù)由TS信號(hào)所指定的定時(shí)數(shù)據(jù)而產(chǎn)生周 期時(shí)鐘以及延遲時(shí)鐘(未圖示)，將周期時(shí)鐘提供給圖形產(chǎn)生器12，而將延遲時(shí)鐘提供給波 形整形器14。并且，圖形產(chǎn)生器12用于產(chǎn)生表示DUT100的存儲(chǔ)區(qū)域的地址以及應(yīng)該寫入 的測(cè)試圖形，并提供給波形整形器14。波形整形器14根據(jù)由定時(shí)產(chǎn)生器14提供的的延遲時(shí)鐘，從而調(diào)節(jié)圖形產(chǎn)生器12 所產(chǎn)生的測(cè)試圖形的定時(shí)，并進(jìn)行波形整形。驅(qū)動(dòng)器16接收從波形整形器14輸出的地址 以及測(cè)試圖形，并提供給DUT100的I/O端子106。從DUT100中讀出的數(shù)據(jù)，與未圖示的比較判定部中的預(yù)期值進(jìn)行比較，從而進(jìn)行 DUT100的好壞判定和不良處的特定。以上是測(cè)試裝置 200 的概要。DUT100 由 CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor)技術(shù)而構(gòu)成，消費(fèi)電流根據(jù)其動(dòng)作狀態(tài)而發(fā)生變動(dòng)。當(dāng)在DUT100中流動(dòng)的 電流劇烈變動(dòng)時(shí)，則無(wú)法追隨主電源10的反饋，從而產(chǎn)生電源電壓Vdd發(fā)生變動(dòng)的問題。以 下說明的補(bǔ)償電路20以及控制圖形生成部22是為了抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)而設(shè)置的。
控制圖形生成部22用于生成包括脈沖列的控制圖形CNT?？刂茍D形CNT的生成利 用了圖形產(chǎn)生器12、定時(shí)產(chǎn)生器14的一部分，在圖1的測(cè)試裝置200中的控制圖形生成部 22的結(jié)構(gòu)為，包括圖形產(chǎn)生器12以及第η溝道CHn的定時(shí)產(chǎn)生器14η。補(bǔ)償電路20根據(jù)控制圖形CNT的脈沖列，而從與主電源10不同的通路中向 DUT100的電源端子102間歇性地注入補(bǔ)償電流Icmp。在圖1中，補(bǔ)償電路20具備電壓源 20a以及開關(guān)20b。電壓源20a用于生成比由主電源10所生成的電源電壓Vdd更高的電壓 Vcmp。開關(guān)20b被設(shè)置在電壓源20a的輸出端子和DUT100的電源端子102之間，并利用雙 極晶體管或者 MOSi7ET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)而構(gòu)成。 開關(guān)20b根據(jù)控制圖形CNT的脈沖列而切換開或關(guān)。將開關(guān)20b配置在DUT100的附近。換 而言之，開關(guān)20b和DUT100的電源端子102之間的配線長(zhǎng)度，比主電源10和DUT100的電 源端子之間的配線長(zhǎng)度還要短。在與開關(guān)20b串聯(lián)或者開關(guān)20b的內(nèi)部，可以設(shè)置用于調(diào) 節(jié)補(bǔ)償電流Icmp的量的元件，例如電阻或者電流源。可以利用生成規(guī)定電流的電流源，來(lái)代替電壓源20a。控制圖形生成部22根據(jù)DUT100的動(dòng)作狀態(tài)，而使控制圖形CNT的脈沖列的占空 比發(fā)生變化。DUT100的動(dòng)作狀態(tài)根據(jù)提供給I/O端子106的測(cè)試圖形而被控制，因此控制 圖形生成部22可以生成與測(cè)試圖形對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形CNT，并將其提供給開關(guān)20b?？刂茍D形生成部22用于使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到DUT100的電 源端子102中的動(dòng)作電流(也叫做消費(fèi)電流)Idis、以及與補(bǔ)償電路20所注入的電荷相對(duì) 應(yīng)的補(bǔ)償電流Icmp之間的差(Idis-Icmp)成為連續(xù)，換而言之，從而使從主電源10中輸出 的電源電流Idd在時(shí)間上成為連續(xù)。更優(yōu)選為，使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使電流之 差(Idis-Icmp)在時(shí)間上成為恒定?？刂茍D形生成部22利用以△ Σ調(diào)制、脈沖寬度調(diào)制、脈沖密度調(diào)制為首的脈沖調(diào) 制中的任意一種，來(lái)生成控制圖形CNT的脈沖列。由于搭載在測(cè)試裝置200上的定時(shí)產(chǎn)生器 14可以按照每個(gè)測(cè)試循環(huán)、即按照每個(gè)脈沖，來(lái)調(diào)節(jié)其正沿的定時(shí)和脈沖的寬度，因此上述 調(diào)制方式的優(yōu)點(diǎn)為，與測(cè)試裝置200之間的親和性非常高，特別是即使不附加追加的電路， 也可以簡(jiǎn)便地生成脈沖列。另外，在沒有利用圖形產(chǎn)生器12、定時(shí)產(chǎn)生器14而構(gòu)成控制圖 形生成部22時(shí)，可以根據(jù)脈沖頻率調(diào)制(PFM)等其他的調(diào)制方式，來(lái)調(diào)節(jié)脈沖列的占空比。圖2是表示控制圖形CNT的生成方法的流程圖。首先，利用電路模擬器對(duì)DUT進(jìn) 行建模，并對(duì)賦予了規(guī)定測(cè)試圖形時(shí)的、每個(gè)測(cè)試循環(huán)的動(dòng)作電流Idis以及動(dòng)作率進(jìn)行計(jì) 算(S100)。動(dòng)作率以及動(dòng)作電流Idis，也能夠從動(dòng)作的晶體管的個(gè)數(shù)和各個(gè)晶體管的電流 量中進(jìn)行計(jì)算。在DUT100中流動(dòng)的動(dòng)作電流Idis是，電源電流的時(shí)間上的連續(xù)成分Idd與每個(gè) 測(cè)試循環(huán)隨著時(shí)間而發(fā)生變動(dòng)的成分之間的合計(jì)。因此計(jì)算出連續(xù)成分Idd，并計(jì)算出每個(gè) 測(cè)試循環(huán)的差A(yù)Ii(S102)oΔ Ii = Idisi-Idd添加的i表示測(cè)試循環(huán)的編號(hào)。根據(jù)計(jì)算出的差分電流△ Ii，來(lái)計(jì)算每個(gè)循環(huán)所必需的電流補(bǔ)償量(或者是電壓 補(bǔ)償量)(S104)。將由此獲得的補(bǔ)償量通過Δ Σ調(diào)制或脈沖寬度調(diào)制、脈沖密度調(diào)制等，從而變換為1、0的圖形列(脈沖列)(S106)。將由此獲得的圖形列作為相對(duì)于規(guī)定測(cè)試圖形的控制 圖形CNT，并與測(cè)試圖形一起進(jìn)行保存(S108)。以上為測(cè)試裝置200的結(jié)構(gòu)。然后再說明測(cè)試裝置200的動(dòng)作。圖3是表示圖1 的測(cè)試裝置200的動(dòng)作狀態(tài)的流程圖。當(dāng)向某個(gè)DUT100提供測(cè)試圖形時(shí)，由于DUT100執(zhí) 行了與其測(cè)試圖形相對(duì)應(yīng)的處理，因此動(dòng)作率根據(jù)處理內(nèi)容而發(fā)生變化，消費(fèi)電流Idis也 會(huì)發(fā)生變化。消費(fèi)電流Idis的變動(dòng)定時(shí)以及變動(dòng)量，可以根據(jù)上述的電路模擬器等進(jìn)行預(yù)測(cè)， 從圖形產(chǎn)生器12中輸出控制圖形CNT和測(cè)試圖形，所述控制圖形CNT以取消了消費(fèi)電流 Idis的變動(dòng)量的方式而被調(diào)制。通過該控制圖形CNT來(lái)控制開關(guān)20b的開或關(guān)，從而間歇 性地注入補(bǔ)償電流Icmp。圖3表示間歇性的補(bǔ)償電流的包絡(luò)線(或者平均值)。消費(fèi)電流 Idis的變動(dòng)因該補(bǔ)償電流Icmp而被取消，從主電源10流入到電源端子102中的電源電流 Idd被保持為恒定，其結(jié)果是，可以抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)。另外，沒有必要以差分電流Idd= (Idis-Icmp)必須嚴(yán)格地變?yōu)楹愣ǖ姆绞?，?lái)生 成脈沖列的占空比。其原因是因?yàn)橥ㄟ^主電源10自身的反饋，能夠追隨某種程度的消費(fèi)電 流Idis的變動(dòng)。也就是說，在消費(fèi)電流Idis的變動(dòng)中，如果通過主電源10而取消無(wú)法追 隨的高頻成分，則補(bǔ)償電流Icmp就足夠了。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的測(cè)試裝置200，就能夠取消DUT100中的消費(fèi)電流Idis的 變動(dòng)，還能夠抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)。通過抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)，能夠提高測(cè)試精度。該技術(shù)與專利文獻(xiàn)1所代表的現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)。優(yōu)點(diǎn)1在現(xiàn)有技術(shù)中，讀取測(cè)試圖形，并將其進(jìn)行信號(hào)處理從而對(duì)電源電壓的變動(dòng)進(jìn)行 補(bǔ)償。因此，對(duì)于急劇的電源變動(dòng)的追隨性是有一定限度的。對(duì)此，在本實(shí)施方式中，通過 預(yù)先準(zhǔn)備與測(cè)試圖形不同的用于預(yù)先補(bǔ)償?shù)目刂茍D形，從而能夠追隨急劇的變動(dòng)。優(yōu)點(diǎn)2在DUT100的電源端子102上連接有電容器Cs。因此，在如現(xiàn)有技術(shù)那樣根據(jù)測(cè)試 圖形而使電源電壓的目標(biāo)值發(fā)生變化的方法中，消費(fèi)電流的變動(dòng)補(bǔ)償將會(huì)只延遲電容器Cs 的時(shí)間常數(shù)的部分。在本實(shí)施方式中，賦予了位于開關(guān)20b的控制圖形CNT的定時(shí)、以及直到與該定時(shí) 相對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償電流Icmp取消了消費(fèi)電流Idis的變動(dòng)為止的定時(shí)，均會(huì)產(chǎn)生延遲。但是本 實(shí)施方式中的技術(shù)，與對(duì)DUT賦予的測(cè)試圖形不同，由于要產(chǎn)生補(bǔ)償用的控制圖形，因此可 以考慮延遲，并能夠使補(bǔ)償用的控制圖形先于測(cè)試圖形進(jìn)行。其結(jié)果是，能夠提高現(xiàn)有的相 對(duì)于負(fù)荷變動(dòng)的追隨性，并能夠抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)。補(bǔ)償用的控制圖形相對(duì)于測(cè)試圖形的時(shí)間上的先行量，可以通過以下的步驟來(lái)決定。步驟1對(duì)于DUT100提供不使電源電壓發(fā)生變動(dòng)的測(cè)試圖形，在該狀態(tài)下，在某個(gè)定時(shí)切 換成補(bǔ)償用的控制圖形，從而有意地使電源電壓發(fā)生變化。補(bǔ)償用的控制圖形根據(jù)用于使 電源電壓發(fā)生變動(dòng)的測(cè)試圖形，可以使用根據(jù)圖2的流程而生成的控制圖形。步驟2
在步驟1的狀態(tài)下，當(dāng)電源電壓發(fā)生變動(dòng)時(shí)，DUT的電路狀態(tài)也隨其發(fā)生變化。將 根據(jù)電源電壓變化的電路狀態(tài)的變化定時(shí)、與切換為控制圖形的定時(shí)之間的時(shí)間差設(shè)定為 先行量。通過以下的方法，可以檢測(cè)電路狀態(tài)的變化。對(duì)來(lái)自DUT的輸出數(shù)據(jù)的相位(輸出定時(shí))的變化量進(jìn)行檢測(cè)。來(lái)自DUT的輸出 數(shù)據(jù)的相位會(huì)隨著電源電壓的變動(dòng)而發(fā)生變化。因此，如果對(duì)電源電壓的變化前后各自的 輸出定時(shí)的時(shí)間差進(jìn)行測(cè)定，則可以將該時(shí)間差作為先行量進(jìn)行利用。通過將鎖存了輸出數(shù)據(jù)的各個(gè)位的選通脈沖信號(hào)的定時(shí)，以規(guī)定的時(shí)間間隔進(jìn)行 掃描，并對(duì)選通脈沖信號(hào)的每個(gè)定時(shí)的被鎖存的數(shù)據(jù)列是否與預(yù)期值一致進(jìn)行判斷，從而 能夠檢測(cè)出輸出定時(shí)。這可以利用搭載在測(cè)試裝置上的一般功能來(lái)實(shí)現(xiàn)。雖然僅僅一次的測(cè)定只能檢測(cè)出特定的1定時(shí)中的邏輯狀態(tài)，但是通過多次施加 包含有電源變動(dòng)的測(cè)試圖形，并掃描選通脈沖信號(hào)的定時(shí)，就可以從邏輯狀態(tài)的檢測(cè)結(jié)果 的變化中檢測(cè)出輸出定時(shí)的相位。在測(cè)試裝置中安裝多選通脈沖功能時(shí)，可以利用多選通脈沖功能。多選通脈沖功 能是一種對(duì)每個(gè)數(shù)據(jù)1循環(huán)產(chǎn)生多相的選通脈沖信號(hào)列，在各選通脈沖信號(hào)的定時(shí)，對(duì)數(shù) 據(jù)進(jìn)行鎖存并判斷邏輯狀態(tài)的功能。當(dāng)使用多選通脈沖功能時(shí)，其優(yōu)點(diǎn)為不需要反復(fù)賦予 相同的控制圖形。為了檢測(cè)出溫度和電源電壓，DUT中有時(shí)會(huì)內(nèi)裝有環(huán)形振蕩器等的振蕩器。在這 種情況下，可以用檢測(cè)振蕩器的頻率變化的定時(shí)，來(lái)代替檢測(cè)輸出定時(shí)的變化。根據(jù)這些方法中的任意一種方法，求出了切換成控制圖形的定時(shí)、與直到電路狀 態(tài)發(fā)生變化為止的定時(shí)之間的差(延遲)，僅該延遲就可以使得控制圖形比測(cè)試圖形先行， 從而能夠?qū)崿F(xiàn)更正確的補(bǔ)償。優(yōu)點(diǎn)3由于在現(xiàn)有技術(shù)中使得電源輸出的電源電壓Vdd發(fā)生變化，因此還是受到電源和 DUT之間的配線的阻抗的影響，只能在被限制的頻率帶區(qū)域內(nèi)進(jìn)行補(bǔ)償。對(duì)此在本實(shí)施方式 中，由于能夠?qū)⒀a(bǔ)償電路20的開關(guān)20b配置在DUT100的附近，所以能夠充分地減少配線的 阻抗影響，從而提高應(yīng)答性。優(yōu)點(diǎn)4在現(xiàn)有技術(shù)中，由于需要與應(yīng)補(bǔ)償?shù)碾娫措妷旱淖儎?dòng)量、分辨能力相對(duì)應(yīng)的D/A 轉(zhuǎn)換器，所以從電路面積和電路設(shè)計(jì)的觀點(diǎn)看是很不利的。對(duì)此在本實(shí)施方式中，通過間歇 性地注入根據(jù)1位的脈沖列的補(bǔ)償電流，從而對(duì)電源電壓的變動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償。該結(jié)構(gòu)如果從 其他觀點(diǎn)看，則相對(duì)于高速切換的電流，與DUT100的電源端子102連接的電容器Cs能夠作 為低通濾波器發(fā)揮功能。將低通濾波器的截止頻率和切換頻率進(jìn)行最優(yōu)化，即使根據(jù)1位 的補(bǔ)償用的控制圖形，也能夠獲得足夠高的補(bǔ)償量和分辨能力。并且，由于1位的脈沖列的 生成只要利用測(cè)試裝置本來(lái)具備的功能就足夠了，因此具有設(shè)計(jì)容易、應(yīng)重新追加的電路 較少的優(yōu)點(diǎn)。(第二實(shí)施方式)圖4是表示第二實(shí)施方式的測(cè)試裝置200a的補(bǔ)償電路結(jié)構(gòu)的電路圖。由于除了 補(bǔ)償電路之外的結(jié)構(gòu)相同，因此省略其說明。圖4的補(bǔ)償電路20c根據(jù)脈沖列，從而將來(lái)自 主電源10的電源電流Idd的一部分，作為補(bǔ)償電流Icmp而間歇性地引入到與DUT100不同的通路中。圖4的補(bǔ)償電路被設(shè)置在主電源10的兩極端子之間，并包括根據(jù)控制圖形CNT而 切換開或關(guān)的開關(guān)20c?？刂茍D形生成部(未圖示)根據(jù)DUT100的動(dòng)作狀態(tài)，而使控制圖形CNT的脈沖列 的占空比發(fā)生變化。由于根據(jù)向I/O端子106提供的測(cè)試圖形，來(lái)控制DUT100的動(dòng)作狀態(tài)， 所以控制圖形生成部22用于生成與測(cè)試圖形相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形CNT，并將其提供 給開關(guān)20c。在第二實(shí)施方式中，控制圖形生成部(未圖示)以如下的方式生成控制圖形CNT?？刂茍D形生成部可使控制圖形CNT的脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到 DUT100的電源端子102中的消費(fèi)電流Idis、與補(bǔ)償電路的開關(guān)20c所引入的補(bǔ)償電流Icmp 之間的和在時(shí)間上成為連續(xù)，換而言之，從而使從主電源10中流出的電源電流Idd成為連續(xù)。以上是第二實(shí)施方式的補(bǔ)償電路20c的結(jié)構(gòu)。然后對(duì)其動(dòng)作進(jìn)行說明。圖5(a)、 (b)是表示圖4的補(bǔ)償電路20c中的補(bǔ)償電流Icmp和消費(fèi)電流Idis之間關(guān)系的時(shí)間圖。圖5(a)表示以Idis+Icmp取得恒定值的方式來(lái)設(shè)定控制圖形CNT的占空比。這 種控制圖形CNT也可以根據(jù)圖2的流程圖而生成。圖5(a)的補(bǔ)償電流Icmp的波形，表示 間歇性的波形的包絡(luò)線(平均值)。根據(jù)圖5(a)的控制，無(wú)論是DUT100的動(dòng)作率發(fā)生變化還是消費(fèi)電流Idis發(fā)生變 化，由于消費(fèi)電流Idis減少的部分會(huì)流入到開關(guān)20c —側(cè)，因此從主電源10中流出的電源 電流Idd被保持在恒定值。因而，主電源10可以不受其內(nèi)部的阻抗、以及與DUT100之間的 配線的阻抗的影響而生成恒定的電源電壓Vdd。在第二實(shí)施方式中，在開關(guān)20c中流動(dòng)的補(bǔ)償電流Icmp是對(duì)DUT100的動(dòng)作沒有 貢獻(xiàn)的無(wú)用電流。在圖5(a)的時(shí)間圖中，由于在DUT100的消費(fèi)電流Idis較小的期間內(nèi)， 大量的補(bǔ)償電流Icmp在流動(dòng)，因此會(huì)產(chǎn)生測(cè)試系統(tǒng)整體的消費(fèi)電流增大的問題。當(dāng)該問題 顯著時(shí)，圖5(b)所示的控制就很有效。在圖5(b)中，當(dāng)流入到DUT100的電源端子102中的消費(fèi)電流Idis，在時(shí)刻tl t2的某個(gè)期間T內(nèi)增加時(shí)，用以下的方式來(lái)控制補(bǔ)償電流Icmp?？刂茍D形生成部可使控制圖形的占空比發(fā)生變化，從而在消費(fèi)電流Idis增加的 定時(shí)tl之前，補(bǔ)償電流Icmp會(huì)隨著時(shí)間緩慢地增加。而且，控制圖形生成部可使控制圖形 的占空比發(fā)生變化，從而在消費(fèi)電流Idis減少的定時(shí)t2之后，補(bǔ)償電流Icmp會(huì)隨著時(shí)間 緩慢地減少。具體地說，補(bǔ)償電流Icmp在期間T之前，從第一值Il到第二值12為止將會(huì)隨著 時(shí)間緩慢地增加。在期間T之間，補(bǔ)償電流Icmp采用比第二值12更小的第三值13。經(jīng)過 某個(gè)期間T之后，補(bǔ)償電流Icmp從第二值12到第四值14為止將會(huì)隨著時(shí)間緩慢地減少。通過進(jìn)行圖5(b)的控制，與圖5(a)相比能夠降低補(bǔ)償電流Icmp。降低的電流用 虛線表示。在圖5(b)的情況下，在Idis與Icmp之和、即電源電流Idd不是恒定值而發(fā)生 山型的變化時(shí)，考慮到主電源10的頻率帶區(qū)域而使其變化速度變得緩慢，從而能夠通過主 電源10自身的反饋控制而抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)。以上是第二實(shí)施方式的補(bǔ)償電路20c。接著，對(duì)第一、第二實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說明。(第一變形例)在第一、第二實(shí)施方式中，說明了使控制圖形的脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而抑 制電源電壓的變動(dòng)的技術(shù)。與此相反，也可以使脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而在提供給 DUT100的電源端子102的電源電壓Vdd上重疊噪音。如果將脈沖列的頻率設(shè)定得比主電源 10的反饋頻帶更高，則隨之電源電壓Vdd的變動(dòng)被作為噪音成分而施加到DUT100上。在這 種情況下，能夠與測(cè)試圖形同步而將噪音賦予電源電壓，從而能夠測(cè)定對(duì)于噪音的耐受性。(第二變形例)一般被搭載在測(cè)試裝置200中的電源的性能，比搭載有DUT的裝置的電源的性能 更高。因此，在連接了測(cè)試裝置的狀態(tài)以及被搭載在裝置中的狀態(tài)下，設(shè)備不一定會(huì)發(fā)揮相 同的性能。于是，在測(cè)試時(shí)，會(huì)具有想要對(duì)被搭載在裝置中的電源性能進(jìn)行仿真的情況。這 時(shí)，在第一、第二實(shí)施方式中，控制圖形生成部22通過使控制圖形的脈沖列的占空比發(fā)生 變化，從而可以使從電源端子102向主電源10—側(cè)看上去的阻抗發(fā)生變化。在這種情況下， 能夠評(píng)價(jià)DUT在實(shí)際使用時(shí)的特性。(第三變形例)第一、第二實(shí)施方式涉及一種測(cè)試裝置。第三實(shí)施方式涉及一種電路系統(tǒng)。圖6是表示第三實(shí)施方式的電路系統(tǒng)300的結(jié)構(gòu)的電路圖。電路系統(tǒng)300具備第 一設(shè)備400、第二設(shè)備410、主電源10、補(bǔ)償電路20。關(guān)于主電源10以及補(bǔ)償電路20，與第 一實(shí)施方式相同。在第一設(shè)備400的I/O端子406上接收來(lái)自第二設(shè)備410的數(shù)據(jù)PD，內(nèi)部的處理 電路M執(zhí)行某些信號(hào)處理。來(lái)自主電源10的電源電壓Vdd被供給于第一設(shè)備400的電源 端子402上，并將接地端子404接地。在電源端子402上連接有與圖1相同的補(bǔ)償電路20。在第一設(shè)備400的內(nèi)部，內(nèi)裝有控制圖形生成部22，其從控制端子408輸出控制 圖形CNT。根據(jù)第二設(shè)備410所輸出的數(shù)據(jù)，來(lái)設(shè)定控制圖形CNT。開關(guān)20b根據(jù)控制圖形 CNT的脈沖列，而將補(bǔ)償電流Icmp從與主電源10不同的通路中間歇性地注入到第一設(shè)備 400的電源端子402上?？梢栽诳刂茍D形生成部22中存儲(chǔ)有包含脈沖列的控制圖形CNT，所 述脈沖列是根據(jù)每個(gè)數(shù)據(jù)的圖形、或者根據(jù)每個(gè)與其對(duì)應(yīng)的信號(hào)處理的內(nèi)容而被調(diào)制的。根據(jù)第三實(shí)施方式，即使在一般的電路系統(tǒng)中，也可以具有第一實(shí)施方式所說明 的優(yōu)點(diǎn)。然后對(duì)第三實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說明。補(bǔ)償電路20的一部分、例如開關(guān)20b可以被內(nèi)裝于第一設(shè)備400中。在這種情況 下，由于不需要控制端子408，因此可以減少電路面積。控制圖形生成部22可以不被內(nèi)裝于第一設(shè)備400中，而被內(nèi)裝于第二設(shè)備410 中。在這種情況下，由于第二設(shè)備410能夠相對(duì)于數(shù)據(jù)圖形而使控制圖形先進(jìn)行，因此能夠 進(jìn)一步抑制電源電壓的變動(dòng)。在圖6的電路系統(tǒng)300及其變形例中，補(bǔ)償電路20的結(jié)構(gòu)可以與圖4的相同。在 這種情況下，即使在一般的電路系統(tǒng)中，也可以具有第二實(shí)施方式所說明的優(yōu)點(diǎn)。(第四變形例)第四實(shí)施方式涉及一種評(píng)價(jià)電源性能的電源評(píng)價(jià)裝置以及評(píng)價(jià)方法。圖7是模式化地表示半導(dǎo)體設(shè)備IOOa和電源IOa的框圖。半導(dǎo)體設(shè)備IOOa利用CMOS程序而構(gòu)成，其包括如圖所示的以多個(gè)變換器為首的門極元件。當(dāng)變換器的P溝道 MOSFET和N溝道MOSFET同時(shí)打開時(shí)，直通電流It (through current)將會(huì)流動(dòng)。流動(dòng)有 直通電流的路徑個(gè)數(shù)(密度)根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備IOOa的動(dòng)作狀態(tài)而發(fā)生變化。半導(dǎo)體設(shè)備 IOOa的消費(fèi)電流(以下也稱為設(shè)備電流)Idis包括直通電流、未圖示的恒定電流成分以 及漏泄電流。電源IOa的輸出節(jié)點(diǎn)11被連接在半導(dǎo)體設(shè)備IOOa的電源端子102上。在輸出節(jié) 點(diǎn)11上，連接有用于使電源電壓Vdd平滑化的電容器Cs。電容器Cs被設(shè)置在電源IOa的 內(nèi)部以及/或者外部。設(shè)備電流Idis是，從電容器Cs中流出的電流Ic與電源IOa所輸出的輸出電流 Idd之和。電源IOa是線性調(diào)節(jié)器或開關(guān)調(diào)節(jié)器，并具有電源電壓Vout變?yōu)楹愣ǖ姆答伖?能。也就是說，以追隨設(shè)備電流Idis的變化的方式而對(duì)其輸出電流Idd進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而將 電源電壓Vdd保持為恒定。電源IOa的反饋頻帶是有限的。因此當(dāng)設(shè)備電流Idis迅速變化時(shí)，電源IOa無(wú)法 生成追隨于該設(shè)備電流的輸出電流Idd，而從電容器Cs中流出了輸出電流Idd與設(shè)備電流 Idis之間的差分。其結(jié)果會(huì)導(dǎo)致電源電壓Vdd的變動(dòng)。在半導(dǎo)體設(shè)備IOOa中流動(dòng)的直通電流It是，僅僅在極短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行流動(dòng)的脈 沖電流(沖擊脈沖電流)。因此，當(dāng)在多個(gè)通路中同時(shí)使直通電流It流動(dòng)時(shí)，設(shè)備電流Idis 以超過電源IOa的反饋速度的速度而發(fā)生迅速變化，且電源電壓Vdd會(huì)發(fā)生變動(dòng)。以上述考察為基礎(chǔ)，來(lái)說明用于評(píng)價(jià)電源IOa的技術(shù)。圖8是表示第四實(shí)施方式的電源評(píng)價(jià)裝置結(jié)構(gòu)的框圖。電源評(píng)價(jià)裝置500具備電 流源502、測(cè)定器504、分析器506。圖8表示將電源評(píng)價(jià)裝置500組合在圖1所示的測(cè)試裝 置200時(shí)的結(jié)構(gòu)。將電源評(píng)價(jià)裝置500與評(píng)價(jià)對(duì)象的電源IOa進(jìn)行連接。雖然電源IOa是為了向半 導(dǎo)體設(shè)備IOOa提供電源電壓Vdd而被利用的，但是在評(píng)價(jià)時(shí)不連接半導(dǎo)體設(shè)備。“不連接 半導(dǎo)體設(shè)備的狀態(tài)”不僅包括物理上未連接的狀態(tài)，而且包括以配線連接，但也包括半導(dǎo)體 設(shè)備為關(guān)閉且高阻抗的狀態(tài)。評(píng)價(jià)對(duì)象的電源IOa可以是設(shè)置在圖1的測(cè)試裝置200中的 主電源10?；蛘咭部梢允前雽?dǎo)體設(shè)備在實(shí)際使用時(shí)用于提供電源電壓的其他電源。電流源502從電源IOa的輸出節(jié)點(diǎn)11中引出脈沖電流Ip，或者將脈沖電流Ip供 給于電源IOa的輸出節(jié)點(diǎn)11。圖8表示引出時(shí)的情況。該脈沖電流Ip是相當(dāng)于直通電流 It的電流，所述直通電流It在電源IOa應(yīng)供給電源電壓Vdd的半導(dǎo)體設(shè)備中進(jìn)行流動(dòng)。也 就是說，脈沖電流Ip的脈沖寬度為，構(gòu)成半導(dǎo)體設(shè)備的晶體管在實(shí)際動(dòng)作時(shí)的開、關(guān)切換 的過渡時(shí)間左右。從該觀點(diǎn)看優(yōu)選為，如圖8的右邊所示，電流源502由MOSFET所構(gòu)成。可 以將N溝道MOSFET和P溝道MOSFET進(jìn)行兩層疊加來(lái)構(gòu)成電流源502。當(dāng)由MOSFET構(gòu)成電 流源502時(shí)，根據(jù)構(gòu)成半導(dǎo)體設(shè)備IOOa的MOSFET來(lái)決定其W/L (門極寬度/門極長(zhǎng)度)，從 而可以再現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備IOOa的直通電流It。另外，電流源502可以用其他形式的恒電流源 等構(gòu)成。定時(shí)產(chǎn)生器14產(chǎn)生具有與脈沖電流Ip相對(duì)應(yīng)的脈沖寬度的脈沖信號(hào)。驅(qū)動(dòng)器16 根據(jù)脈沖信號(hào)而打開電流源502，并產(chǎn)生脈沖電流Ip。測(cè)定器504對(duì)于將脈沖電流Ip作用在電源IOa后所產(chǎn)生的電源電壓的時(shí)間波形Vdd (t)進(jìn)行測(cè)定。分析器506從電源電壓的時(shí)間性變動(dòng)波形Vdd⑴中，導(dǎo)出電源IOa所輸出、以及 /或者吸入的輸出電流Iddra的波形，并生成用于描述輸出電流Iddra的波形的數(shù)據(jù)(以下 稱為脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)Dik)。根據(jù)電荷守恒定律，以下的算式成立，即、Ic (t) = -Cs X dVdd (t) /dt. · · (1)。并且，從節(jié)點(diǎn)11中的基爾霍夫定律，導(dǎo)出以下的關(guān)系，即、Ip (t) = IddIE (t) +Ic ⑴…(2)。從算式(1)、(2)中獲得以下的算式，即、IddIE (t) = Ip (t) +Cs X dVdd (t) /dt. · · (3)。當(dāng)在脈沖電流Ip的脈沖寬度非常短的情況下，由此所得的輸出電流IddIK(t)，可 以視為脈沖應(yīng)答。以下將輸出電流IddIK(t)也稱為脈沖應(yīng)答波形。分析器506接收電源電壓Vdd (t)的波形數(shù)據(jù)，并能夠根據(jù)算式C3)來(lái)生成脈沖應(yīng) 答波形數(shù)據(jù)DIK。但是分析器506的數(shù)據(jù)處理并不僅限于此，也可以從其他的途徑生成脈沖 應(yīng)答波形數(shù)據(jù)DIK。以上是電源評(píng)價(jià)裝置500的結(jié)構(gòu)。圖9是表示圖8的電源評(píng)價(jià)裝置500的動(dòng)作的 時(shí)間圖。圖9的縱軸和橫軸是為了容易理解而進(jìn)行適當(dāng)?shù)臄U(kuò)大、縮小，并且所表示的各個(gè)波 形也是為了容易理解而被簡(jiǎn)化的。由電源評(píng)價(jià)裝置500所取得的脈沖應(yīng)答波形Iddra (t)，可表示評(píng)價(jià)對(duì)象的電源IOa 的應(yīng)答性。B卩、如果輸出阻抗是0的理想電源，則輸出電流IddIK(t)與脈沖電流Ip(t)完全 一致。相反，如果輸出電流IddIK(t)越背離脈沖電流Ip⑴，則電源IOa的應(yīng)答性就越低。于是，根據(jù)圖8的電源評(píng)價(jià)裝置500，可以評(píng)價(jià)電源IOa的性能。當(dāng)利用由圖8的電源評(píng)價(jià)裝置500所得到的脈沖應(yīng)答波形IddIK(t)時(shí)，可以預(yù)測(cè) 出將任意的設(shè)備電流作用在電源IOa上時(shí)的電源IOa的輸出電流波形Idd(t)。并且，可以 從該輸出電流波形Idd (t)預(yù)測(cè)出電源電壓波形Vdd (t)。關(guān)于這一點(diǎn)，在下文所述的第五、第六實(shí)施方式中進(jìn)行詳細(xì)說明。(第五實(shí)施方式)在第五實(shí)施方式中，對(duì)于在圖1和圖4的測(cè)試裝置中適合生成控制圖形數(shù)據(jù)CNT 的技術(shù)進(jìn)行說明。圖10是表示第五實(shí)施方式的測(cè)試裝置200b的結(jié)構(gòu)的框圖。由于除了控制圖形生成部22之外的結(jié)構(gòu)與圖1相同，所以省略其說明?？刂茍D形生成部22具備設(shè)備電流建模部602、脈沖應(yīng)答波型數(shù)據(jù)提供部604、控制 圖形運(yùn)算部606。設(shè)備電流建模部602用于生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)DPKE，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波 形數(shù)據(jù)Dpke表示在執(zhí)行規(guī)定處理時(shí)預(yù)測(cè)到流動(dòng)于DUT100中的設(shè)備電流IdisPKE(t)的波形。 如參照?qǐng)D7進(jìn)行說明，在DUT100中流動(dòng)的設(shè)備電流Idis可以視為單位脈沖電流Ip (直通 電流It)的重合(集合體)。因此，設(shè)備電流Idis可以用單位脈沖電流Ip的密度函數(shù)的 形式進(jìn)行模型化?？梢哉J(rèn)為，函數(shù)IdisPKE(t)是將設(shè)備電流Idis沿時(shí)間軸方向進(jìn)行離散化 的同時(shí)，以單位脈沖電流Ip對(duì)各個(gè)時(shí)刻的電流值進(jìn)行正規(guī)化的函數(shù)。如果在某個(gè)時(shí)刻tl， 設(shè)備電流Idis為零，則該時(shí)刻tl的密度函數(shù)IdisPKE(tl)是零。如果在時(shí)刻t2不是零，則IdisPEE(t2)也不是零。直通電流It在DUT100內(nèi)的門極元件進(jìn)行切換的定時(shí)產(chǎn)生。DUT100中所產(chǎn)生的門 極元件的切換事件依賴于DUT100的動(dòng)作狀態(tài)，該動(dòng)作狀態(tài)可以用供給于DUT100的圖形數(shù) 據(jù)PAT進(jìn)行預(yù)測(cè)。因此，設(shè)備電流建模部602根據(jù)提供給DUT100的測(cè)試圖形PAT、和DUT100 的電路結(jié)構(gòu)的信息Ddev，能夠生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)Dpke。脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部604輸出一種用于描述輸出電流的脈沖應(yīng)答波形 Iddra (t)的脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)Dik，所述輸出電流是指從主電源10中引出單位脈沖電流Ip 時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由主電源10輸出、以及/或者吸入的輸出電流。作為脈沖應(yīng)答波形數(shù) 據(jù)提供部604，可以適當(dāng)?shù)厥褂玫谒膶?shí)施方式所說明的圖8的電源評(píng)價(jià)裝置500?；蛘呖梢?不使用圖8的電源評(píng)價(jià)裝置500，而通過仿真等來(lái)生成脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)DIK。控制圖形運(yùn)算部606的第一運(yùn)算部608通過對(duì)預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)Dpke所表示 的波形IdisPKE(t)和單位脈沖電流的波形Ip (t)進(jìn)行卷積，從而預(yù)測(cè)出設(shè)備電流Idis (t)的 波形。Idis(t) = IdisPKE(t)*Ip(t). . . (4)[*]是表示卷積的算符。另外，第二運(yùn)算部610通過對(duì)波形IdisPKE(t)和脈沖應(yīng)答波形IddIK(t)進(jìn)行卷積， 從而預(yù)測(cè)出主電源10的輸出電流Idd(t)的波形。Idd(t) = IdisPEE(t)*IddIE(t) ... (5)第三運(yùn)算部612對(duì)于預(yù)測(cè)出的設(shè)備電流Idis(t)的波形、與預(yù)測(cè)出的主電源10的 輸出電流Idd(t)的波形之間的差分Δ α)的波形進(jìn)行計(jì)算。編碼器614根據(jù)差分Δ α) 而生成控制圖形CNT。編碼器614也可以通過對(duì)差分AI(t)實(shí)施Δ Σ調(diào)制、脈沖寬度調(diào) 制、脈沖密度調(diào)制中的任意一種，來(lái)生成控制圖形CNT。以上是控制圖形生成部22的結(jié)構(gòu)。差分Δ I (t)是設(shè)備電流Idis、與主電源10能 夠供給的電流Idd(t)之間的差分，并表示應(yīng)由補(bǔ)償電路20進(jìn)行補(bǔ)償?shù)碾娏鞒煞?。因此，?過將差分AI(t)變換為脈沖狀的控制圖形，并提供給補(bǔ)償電路20，從而可以產(chǎn)生適當(dāng)?shù)难a(bǔ) 償電流Icmp，并可以抑制電源電壓Vdd的變動(dòng)。在圖10的測(cè)試裝置200b中，雖然僅僅在流入到主電源10的輸出節(jié)點(diǎn)11的方向 上生成補(bǔ)償電流Icmp，但是本發(fā)明并不僅限于此。也就是說，在開關(guān)20b的基礎(chǔ)上，也可以 在接地端子和主電源10的輸出節(jié)點(diǎn)11之間設(shè)置開關(guān)20c。如圖9所示，當(dāng)電源電壓Vdd的波形發(fā)生單調(diào)地變化時(shí)，不需要補(bǔ)償電路20c。但 是在使脈沖電流Ip作用后的結(jié)果是，如圖9的虛線所示的電源電壓Vdd啟動(dòng)振鈴的情況 下，意味著主電源10的輸出電流Idd的供給過剩。在這種情況下，通過設(shè)置開關(guān)20c而產(chǎn) 生負(fù)的補(bǔ)償電流Icmp，從而可以使電源電壓Vdd更加穩(wěn)定化。另外，通過利用算式(4)、(5)，而將補(bǔ)償電流Icmp設(shè)為零，也就是說，可以對(duì)僅僅 通過主電源10對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備提供電源時(shí)的電源電壓的波形進(jìn)行仿真。這意味著在從任意 的電源中引出任意的設(shè)備電流波形時(shí)，可以預(yù)測(cè)出電源電壓是怎樣變動(dòng)的。(第六實(shí)施方式)第六實(shí)施方式涉及一種對(duì)任意的電源環(huán)境進(jìn)行仿真的技術(shù)。圖11是表示第六實(shí) 施方式的帶有仿真功能的電源裝置700結(jié)構(gòu)的框圖。圖11表示電源裝置700被組合在測(cè)試裝置中的方式，但是本發(fā)明并不僅限于此，其結(jié)構(gòu)也可以和測(cè)試裝置無(wú)關(guān)。電源裝置700使用主電源10以及補(bǔ)償電路20，從而對(duì)任意的電源環(huán)境進(jìn)行仿真。 為了和主電源10區(qū)別，而將仿真對(duì)象的電源稱為假想電源?？刂茍D形生成部22b的設(shè)備電流建模部702與圖10的設(shè)備電流建模部602相同， 均生成用于描述密度函數(shù)IdisPKE(t)的預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)Dpke。第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部70 以及第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部704b，與 圖10的脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部604相同。第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部70 提供一種用于描述輸出電流IddraI (t)的波形 的第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)DikI，所述輸出電流IddraI (t)是從主電源10中引出單位脈沖電 流Ip時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由主電源10輸出的輸出電流。第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部704b提供一種用于描述輸出電流IddIK2(t)的波 形的第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)DIK2，所述輸出電流IddIK2(t)是從仿真對(duì)象的假想電源(未圖 示)中引出單位脈沖電流Ip時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由假想電源輸出的輸出電流。第一脈沖應(yīng) 答波形數(shù)據(jù)提供部70 以及第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部704b，也可以是圖8的電源評(píng)價(jià) 裝置500?？刂茍D形運(yùn)算部706的第一運(yùn)算部708通過對(duì)密度函數(shù)IdisPKE(t)和第一脈沖應(yīng) 答波形數(shù)據(jù)iddIKi(t)進(jìn)行卷積，從而預(yù)測(cè)出主電源10的輸出電流Iddl (t)的波形。Iddl(t) = IdisPKE(t)*IddIKl(t) · · · (6)第二運(yùn)算部710通過對(duì)密度函數(shù)IdisPKE(t)和第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)IddIK2(t) 進(jìn)行卷積，從而預(yù)測(cè)出假想電源的輸出電流Idd2(t)的波形。Idd2(t) = IdisPEE(t)*IddIE2(t) · · · (7)第三運(yùn)算部712對(duì)預(yù)測(cè)出的主電源10的輸出電流Iddl (t)的波形、與預(yù)測(cè)出的假 想電源的輸出電流Idd2(t)的波形之間的差分AI(t)進(jìn)行計(jì)算。編碼器714根據(jù)差分電 流Δ I (t)，來(lái)生成控制圖形CNT。以上是電源裝置700的結(jié)構(gòu)。差分AI(t)是假想電源所提供的電流Idd2(t)、 與主電源10實(shí)際可提供的電流Iddl (t)之間的差分。因此，通過由補(bǔ)償電路20提供差分 AI(t)而生成控制圖形CNT，從而可以再現(xiàn)假想電源被連接在DUT100時(shí)的電源環(huán)境。即使在圖11的電源裝置700中，也可以在主電源10的輸出節(jié)點(diǎn)11和接地端子之 間進(jìn)一步設(shè)置開關(guān)20c，以便能夠產(chǎn)生負(fù)的補(bǔ)償電流Icmp。這種方式對(duì)于性能比主電源10 更差的假想電源進(jìn)行仿真時(shí)是必需的。根據(jù)實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但實(shí)施方式只不過表示本發(fā)明的原理、應(yīng)用， 該實(shí)施方式在不脫離權(quán)利要求書所規(guī)定的本發(fā)明的思想范圍內(nèi)，可以有更多的變形例和配 置的變更。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的某個(gè)實(shí)施方式可以用于電子電路技術(shù)。
2權(quán)利要求
1.一種電路系統(tǒng)，其特征在于，具備 半導(dǎo)體設(shè)備；主電源，其將電源電壓提供給所述半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含與所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行所述處理期間，根據(jù)所述控制圖形，而從與所述主 電源不同的通路向所述半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子中間歇性地注入補(bǔ)償電流。
2.一種電路系統(tǒng)，其特征在于，具備 半導(dǎo)體設(shè)備；主電源，其將電源電壓提供給所述半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含與所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在所述半導(dǎo)體設(shè)備執(zhí)行所述處理期間，根據(jù)所述控制圖形，而將來(lái)自所述 主電源的電源電流的一部分作為補(bǔ)償電流，間歇性地引入到與所述半導(dǎo)體設(shè)備不同的通路中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電路系統(tǒng)，其特征在于，所述控制圖形生成部被內(nèi)裝在所述半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)，其根據(jù)所述半導(dǎo)體設(shè)備的動(dòng)作狀態(tài) 而使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化。
4.一種測(cè)試裝置，用于對(duì)被測(cè)試設(shè)備進(jìn)行測(cè)試，其特征在于，具備 主電源，其將電源電壓提供給所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子；控制圖形生成部，其生成包含與所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行所述處理期間，根據(jù)所述控制圖形，而從與所述主 電源不同的通路向所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子中間歇性地注入補(bǔ)償電流。
5.一種測(cè)試裝置，用于對(duì)被測(cè)試設(shè)備進(jìn)行測(cè)試，其特征在于，具備 主電源，其將電源電壓提供給所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子； 控制圖形生成部，其生成包含與所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行的處理相對(duì)應(yīng)的脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行所述處理期間，根據(jù)所述控制圖形，將來(lái)自所述 主電源的電源電流的一部分作為補(bǔ)償電流，間歇性地引入到與所述被測(cè)試設(shè)備不同的通路中。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部在相對(duì)于流入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流發(fā)生變化 的定時(shí)提前規(guī)定時(shí)間，進(jìn)行向所述補(bǔ)償電路輸出用于使所述補(bǔ)償電流發(fā)生變化的所述控制 圖形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試裝置，其特征在于，執(zhí)行輸出步驟和檢測(cè)步驟，所述輸出步驟在使所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行了電源電壓沒有變 化的動(dòng)作狀態(tài)下，在第一定時(shí)向所述補(bǔ)償電路輸出用于使所述補(bǔ)償電流發(fā)生變化的所述控 制圖形；所述檢測(cè)步驟對(duì)于賦予了所述控制圖形后的結(jié)果為、所述被測(cè)試設(shè)備的電特性發(fā)生變化的第二定時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，所述規(guī)定時(shí)間是根據(jù)所述第一定時(shí)和所述第二定時(shí)之間的時(shí)間差而決定的。
8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述補(bǔ)償電路和所述被測(cè)試設(shè)備之間的配線長(zhǎng)度，比所述主電源和所述被測(cè)試設(shè)備之 間的配線長(zhǎng)度更短。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于， 所述補(bǔ)償電路包括電壓源，其生成比由所述主電源所生成的所述電源電壓更高的電壓； 開關(guān)，其設(shè)置在所述電壓源的輸出端子和所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子之間，并根據(jù)所 述控制圖形而切換為開、關(guān)。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于， 所述補(bǔ)償電路包括電流源，其生成規(guī)定的恒電流；開關(guān)，其設(shè)置在所述電流源和所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子之間，并根據(jù)所述控制圖形 而切換為開、關(guān)。
11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述補(bǔ)償電路包括開關(guān)，所述開關(guān)設(shè)置在所述主電源的兩極端子之間，并根據(jù)所述控 制圖形而切換為開、關(guān)。
12.根據(jù)權(quán)利要求4至11中任意一項(xiàng)所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部根據(jù)所述被測(cè)試設(shè)備的動(dòng)作狀態(tài)，而使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化。
13.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于， 所述控制圖形是通過執(zhí)行以下步驟而獲得的通過計(jì)算機(jī)，對(duì)于在賦予了規(guī)定測(cè)試圖形的狀態(tài)下流動(dòng)在所述被測(cè)試設(shè)備中的電流進(jìn) 行計(jì)算的步驟；從每個(gè)循環(huán)的電流中減去電源電流的連續(xù)成分，并根據(jù)該結(jié)果計(jì)算出每個(gè)循環(huán)的補(bǔ)償 電流量的步驟；以能夠獲得所計(jì)算出的所述每個(gè)循環(huán)的補(bǔ)償電流量的方式，而通過圖形調(diào)制對(duì)所述控 制圖形進(jìn)行規(guī)定的步驟。
14.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部用于使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到所述被測(cè) 試設(shè)備的電源端子中的電流、與所述補(bǔ)償電路所注入的補(bǔ)償電流之間的差在時(shí)間上成為連續(xù)。
15.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部用于使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到所述被測(cè) 試設(shè)備的電源端子中的電流、與所述補(bǔ)償電路所注入的補(bǔ)償電流之間的差在時(shí)間上成為恒定。
16.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部用于使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使流入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流、與所述補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流之間的和在時(shí)間上成為連續(xù)。
17.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，當(dāng)流入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流在某個(gè)定時(shí)增加時(shí)，所述控制圖形生成 部用于使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使所述補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流，在所述 某個(gè)定時(shí)之前會(huì)隨著時(shí)間緩慢地增加。
18.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，當(dāng)流入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子中的電流在某個(gè)定時(shí)減少時(shí)，所述控制圖形生成 部用于使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化，從而使所述補(bǔ)償電路所引入的補(bǔ)償電流在所述某 個(gè)定時(shí)之后會(huì)隨著時(shí)間緩慢地減少。
19.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部用于使噪音重疊在提供給所述被測(cè)試設(shè)備電源端子的電源電壓上。
20.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部用于使所述脈沖列的占空比發(fā)生變化，使得從所述電源端子向電 源一側(cè)看上去的阻抗發(fā)生變化。
21.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，其還具備圖形產(chǎn)生器，所述圖形產(chǎn)生器用于生成應(yīng)該向所述被測(cè)試設(shè)備輸出的測(cè)試圖形，按照每個(gè)測(cè)試圖形，而預(yù)先規(guī)定所述控制圖形。
22.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，其還具備圖形產(chǎn)生器，所述圖形產(chǎn)生器用于生成應(yīng)該向所述被測(cè)試設(shè)備輸出的測(cè)試圖形，所述控制圖形生成部用于生成與所述測(cè)試圖形同步的所述控制圖形。
23.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述控制圖形生成部使用△ Σ調(diào)制、脈沖寬度調(diào)制、脈沖密度調(diào)制中的任意一種，來(lái) 生成所述控制圖形。
24.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的測(cè)試裝置，其特征在于， 所述控制圖形生成部具備設(shè)備電流建模部，其生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)在所述 被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行所述處理時(shí)，以單位脈沖電流的重合形式，對(duì)于被預(yù)測(cè)到流動(dòng)在所述被測(cè) 試設(shè)備中的設(shè)備電流的波形進(jìn)行定義；脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部，其生成脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)，所述脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)用于描 述在從所述主電源引出所述單位脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由所述主電源輸出、以及/ 或者吸入的輸出電流的波形；控制圖形運(yùn)算部，其對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述單位脈沖電流 的波形進(jìn)行卷積，并且對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述脈沖應(yīng)答波形數(shù) 據(jù)進(jìn)行卷積，根據(jù)由兩次卷積所得到的兩個(gè)波形的差分波形，來(lái)生成所述控制圖形。
25.根據(jù)權(quán)利要求M所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述設(shè)備電流建模部根據(jù)提供給所述被測(cè)試設(shè)備的測(cè)試圖形和所述被測(cè)試設(shè)備的電 路結(jié)構(gòu)信息，來(lái)生成所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)。
26.根據(jù)權(quán)利要求M或25所述的測(cè)試裝置，其特征在于， 所述脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)是通過以下步驟而預(yù)先取得的在所述被測(cè)試設(shè)備沒有與所述主電源連接的狀態(tài)下，從所述主電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈 沖電流、或者將脈沖電流提供給所述主電源的輸出節(jié)點(diǎn)的步驟；對(duì)于將所述脈沖電流作用在所述主電源后所產(chǎn)生的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn) 行測(cè)定的步驟；從測(cè)定出的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出所述主電源所輸出、以及/或者吸 入的輸出電流的波形的步驟。
27.一種測(cè)試方法，其是被測(cè)試設(shè)備的測(cè)試方法，其特征在于， 所述測(cè)試方法包括以下的步驟利用主電源而將電源電壓提供給所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子的步驟； 生成包含脈沖列的控制圖形的步驟；在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行規(guī)定處理期間，利用與所述主電源分別設(shè)置的補(bǔ)償電路，并根 據(jù)所述控制圖形，從而將補(bǔ)償電流間歇性地注入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子上，以及/ 或者將補(bǔ)償電流從所述電源端子引入到與所述被測(cè)試設(shè)備不同的通路中的步驟， 其中，生成所述控制圖形的步驟包括以下的步驟提供預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)的步驟，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí) 行所述規(guī)定處理時(shí)，以單位脈沖電流的重合形式，對(duì)于被預(yù)測(cè)到流動(dòng)在所述被測(cè)試設(shè)備中 的設(shè)備電流的波形進(jìn)行定義；提供脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)的步驟，所述脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)用于描述在從所述主電源引出 所述單位脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由所述主電源輸出、以及/或者吸入的輸出電流的 波形；根據(jù)由兩次卷積所得到的兩個(gè)波形的差分波形來(lái)生成所述控制圖形的步驟，所述兩 次卷積為，對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述單位脈沖電流的波形進(jìn)行卷 積，并且對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所描述的波 形進(jìn)行卷積。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的測(cè)試方法，其特征在于，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)是，根據(jù)提供給所述被測(cè)試設(shè)備的測(cè)試圖形和所述被測(cè)試 設(shè)備的電路結(jié)構(gòu)信息而生成的。
29.根據(jù)權(quán)利要求27或觀所述的測(cè)試方法，其特征在于， 所述脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)是通過以下步驟而預(yù)先取得的在所述被測(cè)試設(shè)備沒有與所述主電源連接的狀態(tài)下，從所述主電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈 沖電流、或者將脈沖電流提供給所述主電源的輸出節(jié)點(diǎn)的步驟；對(duì)于將所述脈沖電流作用在所述主電源后所產(chǎn)生的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn) 行測(cè)定的步驟；從測(cè)定出的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出所述主電源所輸出、以及/或者吸 入的輸出電流的波形的步驟。
30.一種評(píng)價(jià)裝置，其是將電源電壓提供給半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子的電源評(píng)價(jià)裝置，其 特征在于，具備電流源，其在所述半導(dǎo)體設(shè)備沒有與所述電源連接的狀態(tài)下，從所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈沖電流、或者將脈沖電流提供給所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)；測(cè)定器，其對(duì)于使所述脈沖電流作用后所產(chǎn)生的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn)行測(cè)定；分析器，其從所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出所述電源所輸出、以及/或者吸入 的輸出電流的波形。
31.一種評(píng)價(jià)方法，其是將電源電壓提供給半導(dǎo)體設(shè)備的電源端子的電源評(píng)價(jià)方法，其 特征在于，包括以下的步驟在所述半導(dǎo)體設(shè)備沒有與所述電源連接的狀態(tài)下，從所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈沖電 流、或者將脈沖電流提供給所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)的步驟；對(duì)于將所述脈沖電流作用在所述電源后所產(chǎn)生的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn)行 測(cè)定的步驟；從測(cè)定出的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出所述電源所輸出、以及/或者吸入 的輸出電流的波形的步驟。
32.一種電源裝置，其帶有仿真功能，其特征在于， 所述電源裝置具備主電源，其將電源電壓提供給被測(cè)試設(shè)備的電源端子； 控制圖形生成部，其生成包含脈沖列的控制圖形；補(bǔ)償電路，其在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行規(guī)定處理期間，根據(jù)所述控制圖形，將補(bǔ)償電流間 歇性地注入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子，以及/或者將來(lái)自所述主電源的電源電流的一 部分作為補(bǔ)償電流引入到與所述被測(cè)試設(shè)備不同的通路中， 所述控制圖形生成部包括設(shè)備電流建模部，其生成預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)在所述 被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行所述規(guī)定處理時(shí)，以單位脈沖電流的重合形式，對(duì)于被預(yù)測(cè)到流動(dòng)在所述 被測(cè)試設(shè)備中的設(shè)備電流的波形進(jìn)行定義；第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部，其用于提供第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)，所述第一脈沖應(yīng) 答波形數(shù)據(jù)用于描述在從所述主電源引出所述單位脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由所述主 電源所輸出、以及/或者吸入的輸出電流的波形；第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)提供部，其用于提供第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)，所述第二脈沖應(yīng) 答波形數(shù)據(jù)用于描述在從仿真對(duì)象的電源引出所述單位脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由所 述仿真對(duì)象的電源所輸出、以及/或者吸入的輸出電流的波形；控制圖形運(yùn)算部，其對(duì)于所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述第一脈沖應(yīng) 答波形數(shù)據(jù)所描述的波形進(jìn)行卷積，并且對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所 述第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所描述的波形進(jìn)行卷積，根據(jù)由兩次卷積所得到的兩個(gè)波形的差 分波形，來(lái)生成所述控制圖形。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的電源裝置，其特征在于，所述第一、第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)是分別通過以下步驟而預(yù)先取得的在所述被測(cè)試設(shè)備沒有與電源連接的狀態(tài)下，從所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈沖電流、 或者將脈沖電流提供給所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)的步驟；對(duì)于將所述脈沖電流作用在所述電源后所產(chǎn)生的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn)行 測(cè)定的步驟；從測(cè)定出的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出所述電源輸出、以及/或者吸入的 輸出電流的波形的步驟。
34.一種仿真方法，其是電源環(huán)境的仿真方法，其特征在于， 所述仿真方法具有以下的步驟利用主電源而將電源電壓提供給被測(cè)試設(shè)備的電源端子的步驟； 生成包含脈沖列的控制圖形的步驟；在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí)行規(guī)定處理期間，利用與所述主電源分別設(shè)置的補(bǔ)償電路，并根 據(jù)所述控制圖形，將補(bǔ)償電流間歇性地注入到所述被測(cè)試設(shè)備的電源端子，以及/或者將 補(bǔ)償電流從所述電源端子引入到與所述被測(cè)試設(shè)備不同的通路中的步驟， 其中，生成所述控制圖形的步驟包括以下的步驟提供預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)的步驟，所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)在所述被測(cè)試設(shè)備執(zhí) 行所述規(guī)定處理時(shí)，以單位脈沖電流的重合形式，對(duì)于被預(yù)測(cè)到流動(dòng)在所述被測(cè)試設(shè)備中 的設(shè)備電流的波形進(jìn)行定義；提供第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)的步驟，所述第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)用于描述在從所述主 電源引出所述單位脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由所述主電源輸出、以及/或者吸入的輸 出電流的波形；提供第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)的步驟，所述第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)用于描述在從仿真對(duì) 象的電源引出所述單位脈沖電流時(shí)，對(duì)此進(jìn)行應(yīng)答而由所述仿真對(duì)象的電源所輸出、以及/ 或者吸入的輸出電流的波形；根據(jù)由兩次卷積所得到的兩個(gè)波形的差分波形來(lái)生成所述控制圖形的步驟，所述兩次 卷積為，對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述第一脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)所表述 的波形進(jìn)行卷積，并且對(duì)所述預(yù)測(cè)設(shè)備電流波形數(shù)據(jù)所描述的波形和所述第二脈沖應(yīng)答波 形數(shù)據(jù)所描述的波形進(jìn)行卷積。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的仿真方法，其特征在于，所述第一、第二脈沖應(yīng)答波形數(shù)據(jù)分別通過以下的步驟而預(yù)先獲得 在所述被測(cè)試設(shè)備沒有與電源連接的狀態(tài)下，從所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)引出脈沖電流、 或者將脈沖電流提供給所述電源的輸出節(jié)點(diǎn)的步驟；對(duì)于將所述脈沖電流作用在所述電源后所產(chǎn)生的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形進(jìn)行 測(cè)定的步驟；從測(cè)定出的所述電源電壓的時(shí)間變動(dòng)波形中，導(dǎo)出所述電源所輸出、以及/或者吸入 的輸出電流的波形的步驟。
全文摘要
主電源(10)將電源電壓(Vdd)提供給DUT(100)的電源端子(102)?？刂茍D形生成部(22)用于生成包含脈沖列的控制圖形(CNT)。補(bǔ)償電路(20)根據(jù)控制圖形(CNT)，而從與主電源(10)不同的通路向DUT(100)的電源端子(102)中間歇性地注入補(bǔ)償電流(Icmp)。開關(guān)(20b)被設(shè)置在電壓源(20a)的輸出端子和DUT(100)的電源端子(102)之間，并根據(jù)控制圖形(CNT)而切換為開、關(guān)。
文檔編號(hào)G01R31/28GK102150054SQ20098013555
公開日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2009年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月10日
發(fā)明者岡安俊幸, 山本和弘, 石田雅裕 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛德萬(wàn)測(cè)試