專利名稱：加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種加速度傳感器，特別是涉及一種靜電電容型的加速度傳感器。
背景技術(shù)：
作為以往的對(duì)基板厚度方向的加速度進(jìn)行檢測的加速度傳感器的原理之一，具有對(duì)伴隨加速度的靜電電容的變化進(jìn)行檢測的方法。作為利用該方法的加速度傳感器，已知例如作為主要的構(gòu)成部分而具有扭轉(zhuǎn)梁(彎曲部)、慣性質(zhì)量體(重物(weight))、檢測框 (元件(element))以及檢測電極(探測電極)的加速度傳感器(加速度感知運(yùn)動(dòng)變換器) (例如參照日本特開平5-133976號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)1)。該專利文獻(xiàn)1的加速度傳感器(加速度感知運(yùn)動(dòng)變換器)具有一個(gè)檢測框(元件)，該檢測框具有與基板相向的面。在該檢測框(元件)的一個(gè)端部上設(shè)置有慣性質(zhì)量體(重物)。另外，該檢測框(元件)以能夠以扭轉(zhuǎn)梁(彎曲部)為旋轉(zhuǎn)軸而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承在基板上。另外，用于檢測該旋轉(zhuǎn)移位的檢測電極(探測電極)被設(shè)置在檢測框 (元件)的下方。當(dāng)對(duì)這樣構(gòu)成的加速度傳感器施加基板厚度方向的加速度時(shí)，基板厚度方向的慣性力作用于慣性質(zhì)量體(重物)。慣性質(zhì)量體(重物)被設(shè)置在一個(gè)端部上、即被設(shè)置在從所述旋轉(zhuǎn)軸向基板面內(nèi)方向偏移的位置處，因此該慣性力作為繞扭轉(zhuǎn)梁(彎曲部)的扭矩而作用于檢測框(元件)。其結(jié)果，檢測框(元件)發(fā)生旋轉(zhuǎn)移位。由于該旋轉(zhuǎn)移位，檢測框(元件)與檢測電極(探測電極)的距離發(fā)生變化，因此由檢測框(元件)和檢測電極(探測電極)形成的電容器的靜電電容發(fā)生變化。根據(jù)該靜電電容變化來測定加速度。另外，已知如下的靜電電容型的加速度傳感器慣性質(zhì)量體沒有配置在檢測框上而是配置在與檢測框相同的平面上，通過鏈接梁進(jìn)行連接從而簡化程序。在該加速度傳感器中，將檢測電極設(shè)置成只在多個(gè)檢測框的相互相反方向的旋轉(zhuǎn)移位中敏感性變高(例如參照日本特開2008-13擬82號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2)。由此，該專利文獻(xiàn)2的加速度傳感器能夠抑制對(duì)于不是檢測對(duì)象的方向上的加速度的靈敏度，并且不容易受到角速度和角加速度的影響。即，在該專利文獻(xiàn)2的加速度傳感器中，通過使用多個(gè)檢測框，提高了加速度的測定精確度。專利文獻(xiàn)1 日本特開平5-133976號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2008_13擬82號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
在如現(xiàn)有技術(shù)那樣在加速度傳感器中使用了多個(gè)檢測框的情況下，根據(jù)加速度傳感器的形狀，各個(gè)檢測框的長度變短。當(dāng)檢測框的長度變短時(shí)，檢測框的慣性力矩變小。由此，檢測框的諧振頻率變高。因此，具備該檢測框的加速度傳感器的諧振頻率變高。當(dāng)提高加速度傳感器的諧振頻率時(shí)，能夠擴(kuò)大頻率測定范圍。然而，在加速度傳感
3器的諧振頻率過大的情況下，當(dāng)被施加了物體碰撞時(shí)等產(chǎn)生的高頻高加速度的振動(dòng)時(shí)，有時(shí)其振動(dòng)不會(huì)衰減。由此，有時(shí)導(dǎo)致高頻高加速度的振動(dòng)超過加速度傳感器的測定加速度范圍。因此，有時(shí)在加速度傳感器中產(chǎn)生輸出誤差。為了降低檢測框的諧振頻率，有效的是增大檢測框的大小。然而，如果簡單地增大以往的專利文獻(xiàn)1和2所公開的檢測框的大小，則存在檢測框的取得數(shù)減少的問題、構(gòu)成檢測框的膜中產(chǎn)生的殘留應(yīng)力所致的翹曲的影響變顯著的問題等很多問題。本發(fā)明是鑒于所述問題而完成的，目的在于提供一種不使加速度傳感器的大小變大而抑制高頻高加速度的振動(dòng)的高精確度的加速度傳感器。本發(fā)明的加速度傳感器具備基板以及被基板所支承的多個(gè)加速度檢測部。多個(gè)加速度檢測部分別具有扭轉(zhuǎn)梁(torsion beam)，被基板支承，并且以扭轉(zhuǎn)軸線為中心而扭轉(zhuǎn)；檢測框，以能夠以扭轉(zhuǎn)軸線為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被扭轉(zhuǎn)梁支承；檢測電極，以與檢測框相向的方式形成在基板上；鏈接梁，當(dāng)俯視時(shí)在從扭轉(zhuǎn)軸線偏離了的軸線上的位置處被檢測框支承；以及慣性質(zhì)量體，以能夠在基板的厚度方向上移位的方式被鏈接梁支承。多個(gè)加速度檢測部包括第一和第二加速度檢測部。第一和第二加速度檢測部沿著第一加速度檢測部的扭轉(zhuǎn)軸線方向排列配置。根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器，由于沿著扭轉(zhuǎn)軸線方向排列了第一和第二加速度檢測部，因此與將各加速度檢測部中的檢測框沿與其軸線方向正交的方向進(jìn)行排列的情況相比，能夠不用增大加速度傳感器的尺寸就能夠進(jìn)行加長。因此，能夠增大檢測框的慣性力矩。由此，能夠降低諧振頻率。因此，能夠容易地抑制高頻高加速度的振動(dòng)。另外，由于檢測框較長，因此鏈接梁的位置的自由度變大。由此，能夠提高加速度傳感器的設(shè)計(jì)自由度。


圖1是概要性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是沿圖1的II-II線的概要性的截面圖。圖3的(A)是概要性地表示沿著基板的膜厚方向?qū)Ρ景l(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器朝向上方向施加了加速度時(shí)的情形的截面圖，是與沿圖1的II-II線的截面對(duì)應(yīng)的圖，(B)是與沿圖1的III-III線的截面對(duì)應(yīng)的圖。圖4是說明由本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的第一和第二檢測框、與檢測電極形成的電容器的電連接的電路圖。圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的制造方法的第一工序的概要性的截面圖，其截面位置對(duì)應(yīng)于圖2的截面位置。圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的制造方法的第二工序的概要性的截面圖，其截面位置對(duì)應(yīng)于圖2的截面位置。圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的制造方法的第三工序的概要性的截面圖，其截面位置對(duì)應(yīng)于圖2的截面位置。圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的制造方法的第四工序的概要性的截面圖，其截面位置對(duì)應(yīng)于圖2的截面位置。圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器的制造方法的第五工序的概要性的截面圖，其截面位置對(duì)應(yīng)于圖2的截面位置。圖10的(A)是表示檢測框的構(gòu)造的概要圖，是表示以往的構(gòu)造的圖，(B)是表示實(shí)施方式1的構(gòu)造的圖。圖11是表示以往的構(gòu)造以及實(shí)施方式1的構(gòu)造中的頻率與振幅的關(guān)系的圖。圖12的㈧是概要性地表示對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器施加了角加速度時(shí)的情形的截面圖，是與沿圖1的II-II線的截面對(duì)應(yīng)的圖，(B)是與沿圖1的 III-III線的截面對(duì)應(yīng)的圖。圖13的㈧是概要性地表示對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器施加了角速度時(shí)的情形的截面圖，是與沿圖1的II-II線的截面對(duì)應(yīng)的圖，(B)是與沿圖1的III-III 線的截面對(duì)應(yīng)的圖。圖14的(A)是概要性地表示對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1中的加速度傳感器向Y軸方向施加了加速度時(shí)的情形的截面圖，是與沿圖1的II-II線的截面對(duì)應(yīng)的圖，(B)是與沿圖 1的III-III線的截面對(duì)應(yīng)的圖(B)。圖15是概要性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式2中的加速度傳感器的結(jié)構(gòu)的俯視圖。附圖標(biāo)記說明1 基板；2 慣性質(zhì)量體；5 致動(dòng)電極(actuation electrode) ；11 第一扭轉(zhuǎn)梁； 12 第二扭轉(zhuǎn)梁；13 第三扭轉(zhuǎn)梁；14 第四扭轉(zhuǎn)梁；21 第一檢測框；22 第二檢測框；23 第三檢測框；24 第四檢測框；31 第一鏈接梁；32 第二鏈接梁；33 第三鏈接梁；34 第四鏈接梁；40 檢測電極；91、92、93、94 固定器(anchor)。
具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施方式。(實(shí)施方式1)首先，說明本實(shí)施方式的加速度傳感器的主要結(jié)構(gòu)。為了便于說明，導(dǎo)入了坐標(biāo)軸X軸、Y軸、Z軸。在圖1中，X軸是沿橫向的、右方向?yàn)檎较虻妮S，Y軸是沿縱向的、向上方向?yàn)檎较虻妮S，Z軸是與紙面垂直且紙面的上方為正方向的軸。此外，Z軸的方向與本實(shí)施方式的加速度傳感器設(shè)為測定對(duì)象的加速度方
向一致。參照?qǐng)D1和圖2，本實(shí)施方式的加速度傳感器主要具有基板1以及多個(gè)加速度檢測部10。作為基板1，能夠使用硅基板。另外，能夠使用多晶硅膜作為第一和第二扭轉(zhuǎn)梁 11、12、第一和第二檢測框21、22、第一和第二鏈接梁31、32、慣性質(zhì)量體2以及檢測電極40、 致動(dòng)電極5的材質(zhì)。該多晶硅膜優(yōu)選具有低應(yīng)力、且在厚度方向上沒有應(yīng)力分布。多個(gè)加速度檢測部10例如由第一加速度檢測部10和第二加速度檢測部10構(gòu)成。 第一和第二加速度檢測部10被基板1所支承。第一加速度檢測部10具有第一扭轉(zhuǎn)梁11、第一檢測框21、第一檢測電極41、第一鏈接梁31以及慣性質(zhì)量體2。第一扭轉(zhuǎn)梁11通過固定器91支承于基板1，使得能以沿著X軸的第一扭轉(zhuǎn)軸線 Tl為中心進(jìn)行扭轉(zhuǎn)。
第一檢測框21經(jīng)由第一扭轉(zhuǎn)梁11支承于基板1，使得能夠以第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，第一檢測框21的至少一部分具有導(dǎo)電性。多個(gè)檢測電極40具有第一和第二檢測電極41、42。第一檢測電極41以與第一檢測框21相向的方式經(jīng)由絕緣膜3而形成在基板1上，使得能夠通過靜電電容檢測出第一檢測框21相對(duì)基板1的角度。此外，作為絕緣膜3，優(yōu)選低應(yīng)力的氮化硅膜、氧化硅膜。當(dāng)俯視時(shí)第一鏈接梁31在從扭轉(zhuǎn)軸線Tl偏離了的軸線上的位置處被第一檢測框 21支承。更具體地說，在第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl沿著與第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl交叉的方向而向第一檢測框21的一個(gè)端部側(cè)平行移動(dòng)了偏移量el后的軸Ll上的位置處，設(shè)置于第一檢測框21。 即，偏移量el的絕對(duì)值是第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl與第一鏈接梁31之間的大小，其方向是與第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl交叉而從第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl朝向軸Ll的方向。慣性質(zhì)量體2經(jīng)由第一鏈接梁31而與第一檢測框21相連接，由此以能夠在基板 1的厚度方向上進(jìn)行移位的方式被支承在基板1上。第二加速度檢測部10具有與第一加速度檢測部10相同的結(jié)構(gòu)。也就是說，第二加速度檢測部具有第二扭轉(zhuǎn)梁12、第二檢測框22、第二檢測電極42、第二鏈接梁32以及慣性質(zhì)量體2。第二扭轉(zhuǎn)梁12以圍繞沿著X軸的第二扭轉(zhuǎn)軸線T2進(jìn)行扭轉(zhuǎn)的方式，通過固定器 92而支承于基板1。第二檢測框22以能夠以第二扭轉(zhuǎn)軸線T2為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式，經(jīng)由第二扭轉(zhuǎn)梁12而支承于基板1。另外，第二檢測框22的至少一部分具有導(dǎo)電性。第二檢測電極42以與第二檢測框22相向的方式經(jīng)由絕緣膜3而形成在基板1上， 使得能夠通過靜電電容檢測出第二檢測框22相對(duì)基板1的角度。當(dāng)俯視時(shí)第二鏈接梁32在從扭轉(zhuǎn)軸線T2偏離了的軸線上的位置處被第二檢測框 22所支承。更具體地說，在第二扭轉(zhuǎn)軸線T2平行地偏離了偏移量e2后的軸L2上的位置處，設(shè)置于第二檢測框22，其中，所述偏移量e2是與所述移動(dòng)的方向相反的方向即與偏移量el相反方向的偏移量。即，偏移量e2的絕對(duì)值是第二扭轉(zhuǎn)軸線T2與第二鏈接梁32之間的大小，其方向是與偏移量el相反的方向。慣性質(zhì)量體2經(jīng)由第二鏈接梁32而與第二檢測框22相連接，由此以能夠在基板 1的厚度方向上進(jìn)行移位的方式支承在基板1上。第一加速度檢測部10和第二加速度檢測部10沿著第一加速度檢測部10的第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl方向而排列配置。更具體地說，以第一加速度檢測部10的檢測框21和第二加速度檢測部10的檢測框22的長邊彼此相向的方式配置。此外，在與第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl正交的方向上不存在其它的加速度檢測部10。優(yōu)選為，當(dāng)俯視時(shí)第一加速度檢測部10的鏈接梁31相對(duì)于第一加速度檢測部10 的扭轉(zhuǎn)軸線Tl配置在一側(cè)，當(dāng)俯視時(shí)第二加速度檢測部10的鏈接梁32相對(duì)于第一加速度檢測部10的扭轉(zhuǎn)軸線Tl配置在另一側(cè)。第一和第二扭轉(zhuǎn)梁11、12與第一和第二鏈接梁31、32優(yōu)選配置成偏移量el以及 e2的絕對(duì)值相等。即，優(yōu)選以使這些偏移量的大小相互相等的方式進(jìn)行配置。第一檢測框和第二檢測框優(yōu)選配置成平行于與俯視時(shí)的中心線B交叉的軸A。艮口， 優(yōu)選相互平行地配置第一和第二扭轉(zhuǎn)軸線Tl、T2。
第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl和第二扭轉(zhuǎn)軸線T2優(yōu)選為相對(duì)于通過俯視時(shí)的慣性質(zhì)量體2的重心G的Y軸方向的中心線A，配置成線對(duì)稱。優(yōu)選為以沿著通過俯視時(shí)的慣性質(zhì)量體2的重心G的X軸方向的中心線B的方式配置第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl和第二扭轉(zhuǎn)軸線T2。更優(yōu)選為，加速度傳感器的平面布局相對(duì)于俯視時(shí)的慣性質(zhì)量體2的重心G具有 180度的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的構(gòu)造。此外，第一和第二加速度檢測部10分別具有慣性質(zhì)量體2，但是慣性質(zhì)量體2被形成為一體。另外，致動(dòng)電極5以與慣性質(zhì)量體2相向的方式經(jīng)由絕緣膜3而形成在基板1上， 使得能夠通過靜電力使慣性質(zhì)量體2移位。接著，說明所述檢測電極40的詳細(xì)結(jié)構(gòu)以及能夠通過該檢測電極40檢測出第一和第二檢測框21、22各自相對(duì)基板1的角度的原理。檢測電極40具有與第一檢測框21相向的第一檢測電極41。該第一檢測電極41 以夾著第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl的方式具有檢測電極41a和41b。檢測電極41a位于加速度傳感器的Y軸正側(cè)(圖1上側(cè))，檢測電極41b位于加速度傳感器的Y軸負(fù)側(cè)(圖1下側(cè))。檢測電極41a和41b以夾著第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl的方式進(jìn)行設(shè)置。在第一檢測框21圍繞第一扭轉(zhuǎn)梁11旋轉(zhuǎn)的情況下，第一檢測框21的背面(與第一檢測電極41相向的面)接近檢測電極41a、41b中的一方，并且從檢測電極41a、41b中的另一方遠(yuǎn)離。因此，通過檢測因第一檢測框21與檢測電極41a相向而產(chǎn)生的靜電電容、與因第一檢測框21與檢測電極41b相向而形成的靜電電容之差，由此能夠檢測出第一檢測框 21相對(duì)基板1的角度。另外，檢測電極40具有與第二檢測框22相向的第二檢測電極42。該第二檢測電極42以夾著第二扭轉(zhuǎn)軸線T2的方式具有檢測電極4 和42b。檢測電極4 位于加速度傳感器的Y軸負(fù)側(cè)(圖1下側(cè))，檢測電極42b位于加速度傳感器的Y軸正側(cè)(圖1上側(cè))。 檢測電極4 和42b以夾著第二扭轉(zhuǎn)軸線T2的方式進(jìn)行設(shè)置。在第二檢測框22圍繞第二扭轉(zhuǎn)梁12旋轉(zhuǎn)的情況下，第二檢測框22的背面(與檢測電極42相向的面)接近檢測電極42a、42b中的一方，并且從檢測電極42a、42b中的另一方遠(yuǎn)離。因此，通過檢測因第二檢測框22與檢測電極4 相向而產(chǎn)生的靜電電容、與因第二檢測框22與檢測電極42b相向而形成的靜電電容之差，由此能夠檢測第二檢測框22相對(duì)基板1的角度。接著，說明本實(shí)施方式的加速度傳感器的加速度的測定原理。圖3的㈧的截面位置與圖2相同。另外，在圖3中，為了容易觀察圖而沒有圖示固定器91、92。參照?qǐng)D3的(A)和(B)，當(dāng)沿著基板1的膜厚方向?qū)铀俣葌鞲衅魇┘酉蛏戏较颉?即Z軸的正方向(圖中向上方向)的加速度az時(shí)，慣性質(zhì)量體2由于慣性力而進(jìn)行移位從而從初始位置(圖中用虛線表示的位置)向Z軸的負(fù)方向(圖中向下方向)下沉。與慣性質(zhì)量體2連接的第一和第二鏈接梁31、32也與慣性質(zhì)量體2成為一體而向Z軸的負(fù)方向 (圖中向下方向)移位。由于第一鏈接梁31的移位，第一檢測框21在軸Ll的部分，受到朝向Z軸的負(fù)方
7向(圖中向下方向)的力。該軸Ll位于從第一扭轉(zhuǎn)軸線Tl平行移動(dòng)了偏移量el后的位置，因此扭矩作用于第一檢測框21。其結(jié)果，第一檢測框21進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移位。另外，由于第二鏈接梁32的移位，第二檢測框22在軸L2的部分，受到朝向Z軸的負(fù)方向(圖中向下方向)的力。該軸L2位于從第二扭轉(zhuǎn)軸線T2平行移動(dòng)了偏移量e2后的位置，因此扭矩作用于第二檢測框22。其結(jié)果，第二檢測框22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移位。由于偏移量el和e2的方向相反，因此第一檢測框21和第二檢測框22朝向相反的方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。即，第一和第二檢測框21、22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移位，使得第一檢測框21的上表面朝向加速度傳感器的一個(gè)端部側(cè)(圖3的(A)的右側(cè))、第二檢測框22的上表面朝向加速度傳感器的一個(gè)端部側(cè)(圖3的⑶的左側(cè))。伴隨著該旋轉(zhuǎn)移位，由第一檢測框21和檢測電極41a構(gòu)成的電容器Cla的靜電電容Cla增大，由第一檢測框21和檢測電極41b構(gòu)成的電容器Clb的靜電電容Clb減小。另外，由第二檢測框22和檢測電極4 構(gòu)成的電容器C2a的靜電電容Ch增大，由第二檢測框22和檢測電極42b構(gòu)成的電容器C2b的靜電電容C2b減小。參照?qǐng)D4，電容器Cla與Ch并聯(lián)連接，電容器Clb與C^b并聯(lián)連接。并且，這兩個(gè)并聯(lián)連接的部分進(jìn)一步串聯(lián)連接。對(duì)這樣形成的電路的電容器Cla、Ch側(cè)的端部施加固定電位Vd,電容器Clb、C2b側(cè)的端部接地。另外，在所述串聯(lián)連接部設(shè)置有端子，能夠測定該端子的輸出電位Vout。該輸出電位Vout成為下述的值。[式1]
權(quán)利要求
1.一種加速度傳感器，具備 基板⑴；以及多個(gè)加速度檢測部(10)，被所述基板(1)支承， 所述多個(gè)加速度檢測部(10)分別具有扭轉(zhuǎn)梁(11、12)，被所述基板(1)支承，并且以扭轉(zhuǎn)軸線(T1、T2)為中心而扭轉(zhuǎn)； 檢測框01、22)，以能夠以所述扭轉(zhuǎn)軸線(T1、D)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被所述扭轉(zhuǎn)梁(11、1 支承；檢測電極(40)，以與所述檢測框(21、2幻相向的方式形成在所述基板(1)上； 鏈接梁(31、32)，當(dāng)俯視時(shí)在從所述扭轉(zhuǎn)軸線(Tl、T2)偏離了的軸線上的位置處被所述檢測框(21、2幻支承；以及慣性質(zhì)量體O)，以能夠在所述基板(1)的厚度方向上移位的方式被所述鏈接梁(31、 32)支承，所述多個(gè)加速度檢測部(10)包括第一和第二加速度檢測部(10)， 所述第一和第二加速度檢測部(10)沿著所述第一加速度檢測部(10)的所述扭轉(zhuǎn)軸線 (Tl)方向排列配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，當(dāng)俯視時(shí)所述第一加速度檢測部(10)的所述鏈接梁(31)相對(duì)于所述第一加速度檢測部(10)的所述扭轉(zhuǎn)軸線(Tl)配置在一側(cè)，當(dāng)俯視時(shí)所述第二加速度檢測部(10)的所述鏈接梁(3 相對(duì)于所述第一加速度檢測部(10)的所述扭轉(zhuǎn)軸線(Tl)配置在另一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述多個(gè)加速度檢測部(10)各自的所述扭轉(zhuǎn)梁(11、1幻與所述鏈接梁(31、3幻之間的偏移量的大小相互相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述多個(gè)加速度檢測部(10)各自的所述扭轉(zhuǎn)軸線(T1、T2)相互平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于，所述多個(gè)加速度檢測部(10)還包括第三和第四加速度檢測部(10)， 所述第一至第四加速度檢測部(10)沿著所述第一加速度檢測部(10)的所述扭轉(zhuǎn)軸線 (Tl)方向排列配置。
全文摘要
加速度傳感器具備基板(1)和被基板(1)支承的多個(gè)加速度檢測部(10)。多個(gè)加速度檢測部(10)分別具有扭轉(zhuǎn)梁(11、12)，被基板(1)支承且以扭轉(zhuǎn)軸線(T1、T2)為中心扭轉(zhuǎn)；檢測框(21、22)，以能夠以扭轉(zhuǎn)軸線(T1、T2)為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被扭轉(zhuǎn)梁(11、12)支承；檢測電極(40)，以與檢測框(21、22)相向的方式形成在基板(1)上；鏈接梁(31、32)，當(dāng)俯視時(shí)在從扭轉(zhuǎn)軸線(T1、T2)偏離了的軸線上的位置處被檢測框(21、22)支承；和慣性質(zhì)量體(2)，以能夠在基板(1)的厚度方向上移位的方式被鏈接梁(31、32)支承。多個(gè)加速度檢測部(10)包括第一和第二加速度檢測部(10)。第一和第二加速度檢測部(10)沿第一扭轉(zhuǎn)軸線(T1)方向排列配置。由此能夠得到對(duì)高頻高加速度的振動(dòng)進(jìn)行抑制的高精確度的加速度傳感器。
文檔編號(hào)G01P15/125GK102216789SQ20098014517
公開日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2009年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者紺野伸顯 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社