專利名稱：使用熱流傳感器的壓力驗證的質(zhì)量流控制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及質(zhì)量流控制器。特別是，但不是限制性的，本發(fā)明涉及用于操作質(zhì)量流控制器的方法和設(shè)備。
背景技術(shù)：
典型的質(zhì)量流控制器(MFC)是配置為并適用于控制流體的傳送的裝置。特定的傳送速率可以由用戶根據(jù)每分鐘從MFC傳送的例如立方厘米或克的流體設(shè)定。為了使得能夠控制MFC，典型的MFC生成表示MFC的實(shí)際流率的輸出信號。將此實(shí)際流率與特定流率相比較，并且如果需要，調(diào)節(jié)控制閥以修改流量，使得以特定的流率設(shè)定點(diǎn)從MFC釋放流體的流量。

發(fā)明內(nèi)容
以下總結(jié)示于附圖中的本發(fā)明的范例實(shí)施例。在具體實(shí)施方式
部分更充分地描述這些和其它實(shí)施例。然而，應(yīng)當(dāng)理解，決不是意在將本發(fā)明限制于此發(fā)明內(nèi)容或具體實(shí)施方式
中描述的形式。本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠認(rèn)識到存在落入權(quán)利要求表達(dá)的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)的許多其它修改、等同物以其替代結(jié)構(gòu)。本發(fā)明可以提供用于操作質(zhì)量流控制器的方法和系統(tǒng)。例如，本發(fā)明的一些實(shí)施例可以提供用于驗證質(zhì)量流控制器的操作的系統(tǒng)和方法。一個示例實(shí)施例是包括熱質(zhì)量流傳感器、壓力質(zhì)量流傳感器、以及數(shù)字控制器的熱傳感器驗證系統(tǒng)。熱質(zhì)量流傳感器配置為產(chǎn)生第一信號，所述第一信號隨熱質(zhì)量流傳感器感測元件對之間的溫度差異線性或非線性地變化。類似地，此實(shí)施例中的壓力質(zhì)量流傳感器配置為產(chǎn)生隨主流動路線的上游和下游壓力線性或非線性變化的第二信號。最后，數(shù)字控制器可以配置為接收第一和第二信號，使用所述信號來計算所述傳感器測得的流過質(zhì)量流控制器的物質(zhì)的質(zhì)量流率，比較由傳感器測得的第一質(zhì)量流率，并驗證熱質(zhì)量流傳感器的輸出。另一示例實(shí)施例是驗證質(zhì)量流控制器熱傳感器的方法。一個該方法包括產(chǎn)生熱傳感器和壓力傳感器信號，修改所述信號，以及使用所修改的信號來計算由熱和壓力傳感器測得的流過質(zhì)量流控制器的物質(zhì)的質(zhì)量流率。然后比較質(zhì)量流率以驗證熱傳感器在正確操作。另一示例性實(shí)施例是操作質(zhì)量流控制器的方法。一個該方法包括引導(dǎo)來自主流動路線的氣體流通過耦合至第一傳感器的第一管，將第二管耦合至主流動路線的上游部分和第二傳感器，以及將第三管耦合至主流動路線的下游部分和第二傳感器。于是從第一傳感器發(fā)射第一信號并且從第二傳感器發(fā)射第二信號，兩個信號(i)由數(shù)字控制器接收，(ii) 用于操作控制閥，以及(iii)驗證MFC的正確操作。于此更詳細(xì)地描述這些和其它實(shí)施例。


通過結(jié)合附圖參照以下詳細(xì)描述和所附的權(quán)利要求，本發(fā)明的各種目的和優(yōu)點(diǎn)以及更完整的理解將是明顯的并且更容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的質(zhì)量流控制器的功能框圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的驗證質(zhì)量流控制器熱傳感器的方法的流程圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的驗證質(zhì)量流控制器熱傳感器的方法的流程圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的操作質(zhì)量流控制器的方法的流程圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的操作質(zhì)量流控制器的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參照附圖，其中，在適當(dāng)?shù)牡胤?，遍及?shù)個視圖，相似或類似的元件分配有相同的參考數(shù)字，并且具體參照圖1，其是根據(jù)本發(fā)明的示例實(shí)施例的質(zhì)量流控制器 (MFC) 100的功能框圖。MFC 100的基底105包括主流動路徑175，諸如氣體但不限于氣體的流動物質(zhì)通過該主流動路徑流動。通過在旁路兩端產(chǎn)生壓力差異，旁路110引導(dǎo)恒定比例 (proportion)的氣體通過第一管120和主路徑175，基本上產(chǎn)生上游高壓氣體流部分180 和下游低壓氣體流部分115。第一管120，此實(shí)施例中的小孔管，耦合至MFC 100的熱質(zhì)量流傳感器135。在一個實(shí)施例中，感測元件125和130纏繞在第一管120的外側(cè)。每個感測元件125和130可以是電阻溫度計元件，其具有隨溫度變化的電阻。然而，應(yīng)當(dāng)理解，實(shí)施例可以由其它溫度感測元件構(gòu)成，諸如但不限于熱電堆或紅外溫度感測元件。除第一管120外，第二管165耦合至上游主流動路徑部分180。第二管165的相對端耦合至壓力傳感器155。可以用于實(shí)施例中的一個壓力傳感器是由Golden Valley,MN 的 Honeywell International Inc.制造的改型的 Honeywell Model P_30_P 差分壓力變換器。第三管170耦合至低壓力下游部分115，第三管的相對端耦合至壓力傳感器155。在一個實(shí)施例中，類似于第一管120，第二和第三管165和170包括小的孔。電流源(未示出)向熱傳感器135和壓力傳感器155供應(yīng)電流。感測元件125和 130供應(yīng)有基本上恒定的電流，導(dǎo)致加熱第一管120。流過第一管120的氣體使得熱從上游感測元件125傳遞至下游感測元件130。歸因于此溫度差異的電阻的改變產(chǎn)生包括第一信號185的可測量的熱傳感器輸出。在于此的整個說明書中，在合適的地方，術(shù)語“信號”可以與術(shù)語“電壓”同時使用，除非另外指出。在一個實(shí)施例中，第二管165向壓力傳感器155提供上游主流動路徑部分180壓力。在一個實(shí)施例中，第二管165可以氣密地耦合至壓力傳感器第一壓電膜。第三管170 向壓力傳感器巧5提供下游主流動路徑部分115壓力。在一個實(shí)施例中，第三管170可以氣密地耦合至壓力傳感器第二壓電膜，但這當(dāng)然不是必需的，并且在其它實(shí)施例中，壓力可以由本領(lǐng)域已知的除壓電膜以外的壓力變換器感測。壓電膜或其它壓力傳感器裝置測得的壓力產(chǎn)生包括第二信號190的壓力傳感器輸出。包括一個或多個非壓電壓力傳感器的實(shí)施例是預(yù)期的，該壓力傳感器諸如是但不限于，基于油的傳感器。然而，在一個實(shí)施例中，壓力傳感器可以包括適于提供例如上游部分180和下游部分115壓力的單個裝置，例如單個壓電膜。此外，可以具有一個以上的壓力傳感器155的實(shí)施例是預(yù)期的，其中，每個傳感器可以適于產(chǎn)生上游部分180和/或下游部分115信號。第一信號185和第二信號190中的每一個可以供應(yīng)至印刷電路板組件，或“PCBA”。 一個PCBA可以包括比較器、處理器、或適于控制控制閥140的操作的其它控制電路。例如， 第一信號185和第二信號190可以供應(yīng)至放大器150并由放大器150放大，并隨后經(jīng)由模-數(shù)轉(zhuǎn)換器160從模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，以產(chǎn)生修改的信號195。修改的信號195可以包括修改的第一信號和修改的第二信號，它們分別是第一信號185和第二信號190的數(shù)字表示。此外，信號線性化和修改可以在以數(shù)字控制器145來處理信號195之前進(jìn)行，在一個實(shí)施例中，數(shù)字控制器145包括控制邏輯。也可以使用其它或附加的處理控制電路。在一些實(shí)施例中，數(shù)字控制器145可以包括內(nèi)建的閃存和處理器。應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，圖1中描繪的部件的示例布置是邏輯上的，并不意指實(shí)際的硬件圖， 從而，能夠組合部件，或在實(shí)際實(shí)施中將組合部件進(jìn)一步分開。此外，每個單獨(dú)的部件的構(gòu)成可以由包括軟件、硬件、固件和/或其組合的各種技術(shù)實(shí)現(xiàn)。在一個范例實(shí)施例中，MFC 100將第一信號185處理成第一質(zhì)量流率并將第一質(zhì)量流率與特定質(zhì)量流率設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行比較，并且調(diào)節(jié)控制閥140以維持特定質(zhì)量流率設(shè)定點(diǎn)。其它實(shí)施例可以處理第二信號190以獲得第二質(zhì)量流率并使用第二信號190或者第一信號185和第二信號190的組合來調(diào)節(jié)控制閥140。例如，第一信號185可以用于在包括低氣體流率的第一流量范圍中調(diào)節(jié)控制閥140，并且第二信號190可以用于在包括高氣體流率的第二流量范圍中調(diào)節(jié)控制閥140。一個高氣體流率可以至少部分包括湍流氣體流。在許多實(shí)施例中，MFC 100也驗證MFC傳感器135和155中的至少一個的操作。例如，為了確定熱傳感器135是否經(jīng)歷傳感器漂移，將第一質(zhì)量流率與第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較。如果第一質(zhì)量流率在第二質(zhì)量流率的用戶指定(user-specified)的邊界內(nèi)，則確定熱傳感器輸出未漂移。如果輸出在用戶指定的范圍外，則在熱傳感器中發(fā)生漂移。在一個實(shí)施例中，數(shù)字控制器145適于在驗證了 MFC操作時，產(chǎn)生輸出信號199。 例如，在確定了熱傳感器135經(jīng)歷漂移時，可以發(fā)出輸出信號199。如果第一質(zhì)量流率(通過熱傳感器135測得的)在第二質(zhì)量流率的的范圍外(由壓力傳感器155測得)，則可以產(chǎn)生一個輸出信號。輸出信號可以用于通知MFC 100操作員熱傳感器135可能是誤操作。例如，輸出信號199可以由顯示裝置調(diào)整以向用戶發(fā)出報警信號。此外，在檢測到傳感器135、155中的一個傳感器中的漂移或其它故障狀況時，MFC 100可以僅使用另一傳感器的輸出來在整個流率范圍上操作控制閥140。接下來參照圖2，所示的是描繪用于驗證熱傳感器135的輸出的范例方法的流程圖200，其可以與參照圖1討論的實(shí)施例結(jié)合執(zhí)行。然而，圖2中所示的方法，以及于此描述的其它方法不限于僅與圖1中所示的實(shí)施例一起使用。在一個方法中，為了檢測熱傳感器 135漂移，將根據(jù)熱傳感器135產(chǎn)生的第一信號185計算的第一質(zhì)量流率與根據(jù)壓力傳感器 155產(chǎn)生的第二信號190計算的第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較。在205，熱傳感器135產(chǎn)生熱傳感器輸出電壓，于此也稱作第一信號185。在210，然后修改第一信號(例如，通過放大、數(shù)字轉(zhuǎn)換、線性化，或其它方式)以至少部分產(chǎn)生修改的信號195。使用修改的信號的熱傳感器信號部分，在225計算流過質(zhì)量流控制器100的物質(zhì)的第一質(zhì)量流率。使用類似的程序確定由壓力傳感器155確定的第二質(zhì)量流率。例如，在215，產(chǎn)生壓力傳感器信號，也稱作第二信號190?？梢苑糯?、數(shù)字化、線性化、或者是修改第二信號 190以產(chǎn)生至少一部分修改的信號195，然后將其用于計算流過質(zhì)量流控制器100的物質(zhì)的第二質(zhì)量流率(框220和230)。然后比較兩個質(zhì)量流率以驗證熱傳感器輸出(框235和 240)。圖3是根據(jù)本發(fā)明的另一示例實(shí)施例的用于驗證質(zhì)量流控制器熱傳感器135的輸出的方法的流程圖。在圖3的實(shí)施例中，至框320的方法如以上圖2中至框220中所示和描述的進(jìn)行。在框325，修改的熱傳感器信號用于在第一質(zhì)量流率范圍中操作控制閥140， 修改的熱傳感器信號在一個方法中可以是修改的信號195的部分。在框330，修改的壓力傳感器信號用于在第二質(zhì)量流率范圍中操作控制閥140。例如，修改的信號195可以由數(shù)字控制器145或其它處理單元接收，以計算流過質(zhì)量流控制器100的氣體的第一和第二質(zhì)量流率。然后可以將第一和/或第二質(zhì)量流率與用戶指定的設(shè)定質(zhì)量流率進(jìn)行比較?；诒容^，可以生成信號并將其輸出至控制閥140，使得控制閥140調(diào)節(jié)MFC的氣體輸出的質(zhì)量流率，從而使得離開MFC的實(shí)際質(zhì)量流率基本等于設(shè)定的質(zhì)量流率。在一個方法中，熱傳感器信號可以用于在低流量范圍中操作控制閥，并且壓力可以用于在高流量范圍中操作控制閥。圖4是操作如圖1中所示的質(zhì)量流控制器100的方法的流程圖。然而，類似于于此所示并描述的其它方法，圖4描述的方法不限于圖1中描述的實(shí)施例。在圖4中的405，流過主流動路徑175的氣體的部分引導(dǎo)流過第一管120。第一管120也耦合至第一傳感器，并且在一個方法中，第一傳感器是熱傳感器135。例如，第一管120可以耦合至一對熱傳感器元件125和130，如圖1中所示。在410，第二管165耦合至主流動路徑175和第二傳感器。 一個第二傳感器可以是壓力傳感器155。第二管165的一端可以耦合至壓力傳感器155，并且一端可以耦合至上游主流動路線部分180，如圖1中所示。在415，第三管170的一端耦合至下游主流動路徑部分115，且第三管170的另一端耦合至壓力傳感器155。在420和425， 第一傳感器和第二傳感器分別發(fā)射第一和第二信號185和190，它們由數(shù)字控制器145在框 430中接收。這些信號中的至少一個用于操作控制閥140并驗證第一和第二傳感器(例如傳感器135、155)中的至少一個的操作。例如，可以通過將以第一信號計算的第一質(zhì)量流率與以第二信號計算的第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較來驗證包括熱傳感器135的第一傳感器的輸出ο圖5是根據(jù)本發(fā)明的另一示例實(shí)施例的用于操作質(zhì)量流控制器100的方法的流程圖。在圖5的方法中，方法如圖4中所示地通過塊435進(jìn)行。在505，一個方法中的數(shù)字控制器145確定在MFC 100中是否發(fā)生熱虹吸。在一個方法中，可以通過測量上游主流動路線部分180和下游主流動路線部分115中的至少一個中的壓力來檢測熱虹吸(通過對流生成的寄生氣體流動)。也可以通過比較由兩個傳感器測得的壓力和/或質(zhì)量流率的改變來檢測MFC 100內(nèi)通過對流生成的寄生氣體流動。此外，在510，將質(zhì)量流控制器的操作范圍擴(kuò)展至層流以外。
權(quán)利要求
1.一種質(zhì)量流控制器熱傳感器驗證系統(tǒng)，包括熱質(zhì)量流傳感器，包括兩個或更多溫度感測元件，所述熱質(zhì)量流傳感器配置為產(chǎn)生第一信號，所述第一信號隨感測元件對之間的溫度差異而變化；壓力質(zhì)量流傳感器，配置為產(chǎn)生第二信號，所述第二信號隨壓力的改變而變化；以及數(shù)字控制器，配置為 接收所述第一信號， 接收所述第二信號，使用所述第一信號來計算流過所述質(zhì)量流控制器的物質(zhì)的第一質(zhì)量流率， 使用所述第二信號來計算流過所述質(zhì)量流控制器的所述物質(zhì)的第二質(zhì)量流率， 將所述第一質(zhì)量流率與所述第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較，以及驗證所述熱質(zhì)量流傳感器的成功操作。
2.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流控制器熱傳感器驗證系統(tǒng)，其中，所述數(shù)字控制器還配置為產(chǎn)生輸出信號，所述輸出信號(i)在所述第一質(zhì)量流率與所述第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較超出用戶指定的閾值時產(chǎn)生；以及(ii)配置為由用戶接收。
3.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流控制器熱傳感器驗證系統(tǒng)，還包括 放大器，配置為接收、放大并輸出所述第一信號和所述第二信號；以及模擬-數(shù)字轉(zhuǎn)換器，配置為將所述第一信號和所述第二信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。
4.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流控制器熱傳感器驗證系統(tǒng)，其中，所述熱質(zhì)量流傳感器還包括第一管，在氣體流過所述質(zhì)量流控制器時，基本恒定比例的氣體流過所述第一管；所述兩個或更多熱質(zhì)量流感測元件包括電阻溫度計元件，所述電阻溫度計元件在沿所述第一管的上游和下游位置纏繞在所述第一管外部；以及壓力質(zhì)量流傳感器，包括第二管，所述第二管具有在主流動路線上游部分附近耦合的近端和耦合至所述壓力傳感器的遠(yuǎn)端，所述第二管配置為向第一壓力傳感器壓電膜提供質(zhì)量流控制器旁路上游的壓力，以及第三管，所述第三管具有在主流動路線下游部分附近耦合的近端和耦合至所述壓力傳感器的遠(yuǎn)端，所述第三管配置為向第二壓力傳感器壓電膜提供所述質(zhì)量流控制器旁路下游的壓力。
5.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流控制器熱傳感器驗證系統(tǒng)，其中， 所述第一信號用于在第一流量范圍中調(diào)節(jié)控制閥；以及所述第二信號用于在第二流量范圍中調(diào)節(jié)控制閥。
6.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流控制器熱傳感器驗證系統(tǒng)，其中，在所述第一質(zhì)量流率是大于所述第二質(zhì)量流率的101%和小于所述第二質(zhì)量流率的99%的其中之一時，所述數(shù)字控制器確定在所述熱質(zhì)量流傳感器中正發(fā)生量程漂移和零漂移中的至少一個。
7.—種驗證質(zhì)量流控制器熱傳感器的方法，所述方法包括 產(chǎn)生熱傳感器信號；修改所述熱傳感器信號；使用所修改的熱傳感器信號來計算流過質(zhì)量流控制器的物質(zhì)的第一質(zhì)量流率；產(chǎn)生壓力傳感器信號；修改所述壓力傳感器信號；使用所修改的壓力傳感器信號來計算流過所述質(zhì)量流控制器的物質(zhì)的第二質(zhì)量流率；將所述第一質(zhì)量流率與所述第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較；以及驗證所述熱傳感器信號在正確操作。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，產(chǎn)生熱傳感器信號包括(i)在氣體流過所述質(zhì)量流控制器時，接收基本恒定比例的氣體流到第一管中，所述第一管具有纏繞在所述第一管的外部的上游電阻溫度計元件和下游電阻溫度計元件；(ii)通過施加電流至所述元件來加熱所述第一管；以及(iii)使得熱從所述上游電阻溫度計元件傳遞到所述下游電阻溫度計元件；(iv)歸因于熱從所述上游元件至所述下游元件的傳遞，引起上游和下游元件電阻的改變；以及(ν)測量元件電阻的所述改變作為熱傳感器信號；以及產(chǎn)生壓力傳感器信號包括(i)在第一壓電膜上接收第一壓力，所述第一壓力接收自質(zhì)量流控制器旁路上游的氣體流位置；(ii)在壓電膜上接收第二壓力，所述第二壓力接收自質(zhì)量流控制器旁路下游的氣體流位置；以及(iii)將所述第一壓電膜和所述第二壓電膜上的壓力轉(zhuǎn)換為壓力傳感器信號。
9.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，修改所述熱傳感器信號和所述壓力傳感器信號包括以下至少之一放大、線性化、和數(shù)字化所述信號的至少之一。
10.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，使用所修改的熱傳感器和壓力傳感器信號來計算流過質(zhì)量流控制器的物質(zhì)的第一質(zhì)量流率和第二質(zhì)量流率包括通過數(shù)字控制器來處理所修改的熱傳感器和壓力傳感器信號以產(chǎn)生氣體的第一體積流率和第二體積流率。
11.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，將所述第一質(zhì)量流率與所述第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較包括使用數(shù)字控制器來比較氣體的第一體積流率和第二體積流率；以及確定所述熱傳感器中是否正發(fā)生漂移包括計算氣體的所述第一體積流率是否在氣體的所述第二體積流率的用戶指定的范圍內(nèi)。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，計算氣體的所述第一體積流率是否在氣體的所述第二體積流率的用戶指定的范圍內(nèi)包括確定氣體的所述第一體積流率是否(i)比氣體的所述第二體積流率大不到1%，以及(iii)比氣體的所述第二體積流率小超過1%。
13.如權(quán)利要求7所述的方法，還包括利用所修改的熱傳感器信號來在第一質(zhì)量流率范圍中操作控制閥；以及利用所修改的壓力傳感器信號來在第二質(zhì)量流率范圍中操作所述控制閥。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中，所述第二質(zhì)量流率范圍包括湍流范圍。
15.一種操作質(zhì)量流控制器的方法，包括引導(dǎo)一部分氣體流從主流動路線流過第一管，所述第一管具有中心部分，所述中心部分耦合至第一傳感器；將包括第二管近端和第二管遠(yuǎn)端的第二管耦合至所述主流動路線，使得所述第二管近端耦合至上游主流動路線部分且所述第二管遠(yuǎn)端耦合至第二傳感器；將包括第三管近端和第三管遠(yuǎn)端的第三管耦合至主流動路線，所述第三管近端耦合至下游主流動路線部分且所述第三管遠(yuǎn)端耦合至所述第二傳感器； 從所述第一傳感器發(fā)射第一信號； 從所述第二傳感器發(fā)射第二信號； 由數(shù)字控制器接收所述第一信號和所述第二信號；使用所述第一信號和所述第二信號的至少之一來(i)操作控制閥；以及(ii)驗證所述質(zhì)量流控制器的正確操作。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，引導(dǎo)來自主流動路線的氣體流通過第一管包括 在質(zhì)量流控制器旁路兩端引起壓力差異； 將第一管的近端耦合至所述旁路上游的高氣壓流部分；以及將第一管的遠(yuǎn)端耦合至所述旁路下游的低氣壓流部分；將第二管近端耦合至上游主流動路線部分包括將所述第二管近端耦合至所述高氣壓流部分；以及將第三管近端耦合至下游主流動路線部分包括將所述第三管近端耦合至所述低氣壓流部分。
17.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，使用所述第一信號和所述第二信號的至少之一來驗證所述質(zhì)量流控制器的正確操作包括使用熱傳感器來輸出所述第一信號； 利用所述第一信號來計算第一質(zhì)量流率； 使用壓力傳感器來輸出所述第二信號； 利用所述第二信號來計算第二質(zhì)量流率；以及將所述第一質(zhì)量流率和所述第二質(zhì)量流率進(jìn)行比較。
18.如權(quán)利要求15所述的方法，還包括確定所述質(zhì)量流控制器中是否正發(fā)生熱虹吸；以及將所述質(zhì)量流控制器的操作范圍擴(kuò)展至層流以外。
19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，確定所述質(zhì)量流控制器中是否正發(fā)生熱虹吸包括使用所述第二信號來計算所述質(zhì)量流控制器旁路兩端的實(shí)時壓力差異；以及將當(dāng)前的壓力差異讀數(shù)與過去的壓力差異讀數(shù)進(jìn)行比較，以確定是否正發(fā)生熱虹吸。
20.如權(quán)利要求18所述的方法，其中，擴(kuò)展所述質(zhì)量流控制器的操作范圍包括控制通過質(zhì)量流控制器的湍流氣體流的質(zhì)量流率。
全文摘要
描述了一種用于操作質(zhì)量流控制器的系統(tǒng)和方法。一個實(shí)施例驗證質(zhì)量流控制器熱傳感器的操作，包括通過將熱傳感器輸出與壓力傳感器輸出進(jìn)行比較來檢測傳感器中的零漂移和量程漂移。在一個實(shí)施例中，每個傳感器提供信號給數(shù)字控制器或其它處理單元，并且控制器計算流過單元的由傳感器測得的氣體的質(zhì)量流率。然后可以比較質(zhì)量流率以確定熱傳感器之一是否操作正確。
文檔編號G01F1/86GK102224397SQ200980147026
公開日2011年10月19日 申請日期2009年9月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月26日
發(fā)明者M·麥克唐納, 史蒂夫·狄龍 申請人:日立金屬株式會社