專利名稱：泄漏測(cè)試設(shè)備和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)將加壓氣體引入到工件的內(nèi)部空間并且測(cè)量該內(nèi)部空間的 壓力來(lái)進(jìn)行泄漏測(cè)試的設(shè)備和方法。
背景技術(shù)：
通常，在壓差類型泄漏測(cè)試中，如壓縮空氣的加壓氣體被引入到工件的內(nèi)部空間 和基準(zhǔn)空間中，然后，內(nèi)部空間和基準(zhǔn)空間彼此堵塞，各自形成封閉系統(tǒng)。如果在工件中存 在泄漏，泄漏作為壓差被探測(cè)到。以這種方式，可以對(duì)工件進(jìn)行合格/缺陷(pass/fail)判 斷。當(dāng)加壓氣體被引入到工件的內(nèi)部空間中時(shí)，由于絕熱壓縮，內(nèi)部空間的溫度升高。 然后，熱量隨著時(shí)間釋放，并且溫度降低。如果由于加熱或冷卻工件而導(dǎo)致在工件和圍繞工 件的設(shè)施或周?chē)諝庵g存在溫度差，或者如果在加壓氣體和工件之間存在溫度差，工件 內(nèi)側(cè)的溫度隨著時(shí)間變化。這種溫度變化也導(dǎo)致壓力變化。為了解決這個(gè)問(wèn)題，在日本公布的專利申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)第2007-064737號(hào)(稱為專利 文件1)公開(kāi)的用于泄漏測(cè)試的方法中，測(cè)量工件的內(nèi)部空間的溫度變化以及壓力變化，且 進(jìn)行補(bǔ)償，其中，從壓力變化中減去歸因于溫度變化的壓力變化的分量。結(jié)果，泄漏判斷的 精度可以提高，并于是對(duì)工件的合格/缺陷判斷的精度可以增加。更具體地說(shuō)，例如，制備具有高導(dǎo)熱性的熱敏元件。密封的壓力腔(熱敏腔)形成 在熱敏元件內(nèi)側(cè)。熱敏元件設(shè)置在工件的內(nèi)部空間內(nèi)。加壓氣體被引入到熱敏元件的壓力 腔中。此外，加壓氣體被引入到工件的內(nèi)部空間中(更準(zhǔn)確地說(shuō)，工件的內(nèi)部空間的內(nèi)壁與 熱敏元件之間的空間)。然后，測(cè)量壓力腔內(nèi)的壓力變化以及工件的內(nèi)部空間的壓力變化。 壓力腔內(nèi)的壓力變化主要?dú)w因于工件內(nèi)部空間的溫度變化。因此，基于對(duì)壓力腔內(nèi)壓力變 化的測(cè)量數(shù)據(jù)，可以對(duì)工件的內(nèi)部空間內(nèi)的壓力變化的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償，并且歸因于溫 度變化的壓力變化分量可以從壓力變化中被減去?；谠撗a(bǔ)償數(shù)據(jù)進(jìn)行泄漏判斷。

發(fā)明內(nèi)容
由于熱敏元件在內(nèi)側(cè)具有壓力腔，要求熱敏元件具有特定大小的尺寸，當(dāng)工件的 內(nèi)部空間狹窄時(shí)，難于將熱敏元件容納在內(nèi)部空間中。為了解決上述問(wèn)題，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。在解決該問(wèn)題的第一措施中，熱敏元件放置 在工件的外側(cè)，而非工件內(nèi)側(cè)。因此，即使當(dāng)工件的內(nèi)部空間狹窄時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題。在這 種配置中，熱敏元件的尺寸并因此熱敏元件內(nèi)側(cè)的壓力腔的尺寸可以被設(shè)置成任何尺寸， 而不會(huì)被工件的內(nèi)部空間的尺寸和形狀所限制。壓力腔可以沿著熱敏元件的外側(cè)表面或者 沿著工件的外表面布置，并且，壓力腔可以沿著比工件的內(nèi)部空間的開(kāi)口更寬的區(qū)域上布 置。優(yōu)選的是，熱敏元件的外側(cè)表面被形成為配合到工件的外表面。熱敏元件的外側(cè)表面 抵靠工件的外表面，以將工件的內(nèi)部空間的開(kāi)口與外表面封閉。不需要其他封閉元件來(lái)封 閉開(kāi)口，有助于減少零件的數(shù)量。加壓氣體被引入到內(nèi)部空間，并且內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力被第一壓力傳感器探測(cè)。優(yōu)選的是，第一壓力傳感器是探測(cè)基準(zhǔn)壓力和內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力 之間的差的壓差傳感器。同時(shí)，加壓氣體被引入到熱敏元件內(nèi)側(cè)的壓力腔，且壓力腔的內(nèi)部 壓力被第二壓力傳感器探測(cè)。優(yōu)選的是，第二壓力傳感器是探測(cè)基準(zhǔn)壓力和壓力腔的內(nèi)部 壓力之間的差的壓差傳感器?；谟嘘P(guān)壓力腔的內(nèi)部壓力信息，有關(guān)內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力 信息是通過(guò)從其中減去歸因于內(nèi)部空間中溫度變化的內(nèi)部壓力信息分量來(lái)補(bǔ)償?shù)??；谟?關(guān)內(nèi)部空間的經(jīng)補(bǔ)償?shù)膬?nèi)部壓力信息，判斷是否從內(nèi)部空間泄漏。當(dāng)工件的內(nèi)部空間溫度變化時(shí)，對(duì)熱敏元件的熱傳導(dǎo)造成壓力腔內(nèi)部壓力同樣變 化。這意味著工件的內(nèi)部空間的溫度變化通過(guò)測(cè)量壓力腔的內(nèi)部壓力來(lái)間接測(cè)量。通過(guò)從 工件內(nèi)部空間的壓力變化中減去歸因于溫度變化的分量，可以提高對(duì)泄漏判斷(對(duì)工件的 合格/缺陷判斷)的精度。優(yōu)選的是，壓力腔沿著工件的外表面在比開(kāi)口更寬的區(qū)域上形成。通過(guò)這種配置， 工件中的溫度變化可以被可靠地探測(cè)。優(yōu)選的是，熱敏元件具有由高導(dǎo)熱性材料制成的主體以及圍繞主體中覆蓋開(kāi)口的 部分設(shè)置的密封件。通過(guò)這種配置，工件的內(nèi)部空間可以被更可靠密封。
在工件中形成多個(gè)內(nèi)部空間的情況下，優(yōu)選的是，主體跨過(guò)多個(gè)內(nèi)部空間來(lái)封閉 內(nèi)部空間的開(kāi)口。此外，優(yōu)選的是，熱敏元件包括多個(gè)密封件，每個(gè)密封件對(duì)應(yīng)于內(nèi)部空間 的開(kāi)口。工件的多個(gè)內(nèi)部空間的開(kāi)口可以通過(guò)單獨(dú)一個(gè)熱敏元件來(lái)封閉。通過(guò)提供對(duì)應(yīng)于 內(nèi)部空間的密封件，可以可靠地密封內(nèi)部空間的開(kāi)口。優(yōu)選的是，加壓氣體向壓力腔的引入壓力高于加壓氣體向內(nèi)部空間的引入壓力。 通過(guò)這種布置，使得響應(yīng)于溫度變化，壓力腔的內(nèi)部壓力變動(dòng)更大，并且可以可靠探測(cè)到較 小的溫度變化。優(yōu)選的是，工件外表面中抵靠熱敏元件的部分之外的部分的溫度通過(guò)第二溫度測(cè) 量裝置來(lái)測(cè)量。另外，熱敏元件的溫度可以通過(guò)第二溫度測(cè)量裝置來(lái)測(cè)量。通過(guò)這種布置， 當(dāng)通過(guò)第二溫度測(cè)量裝置獲得的溫度信息比有關(guān)壓力腔的內(nèi)部壓力信息更高度關(guān)聯(lián)于有 關(guān)內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力信息時(shí)，可以基于該溫度信息，而非有關(guān)壓力腔的內(nèi)部壓力信息，進(jìn) 行補(bǔ)償。第二溫度測(cè)量裝置可以是電阻溫度計(jì)，它是由電阻隨著溫度變化的材料制成；或 者第二溫度測(cè)量裝置可以是熱電偶，其中在兩種金屬之間產(chǎn)生與溫度相對(duì)應(yīng)的電動(dòng)勢(shì)；或 者第二溫度測(cè)量裝置可以是液柱溫度計(jì)，其中使用諸如水銀的熱敏液體，該熱敏液體的體 積隨著溫度變化；或者第二溫度測(cè)量裝置可以是雙金屬片溫度計(jì)，其中具有不同溫度膨脹 系數(shù)的兩個(gè)金屬片粘接在一起。第二溫度測(cè)量裝置不局限于接觸工件的外表面那種類型的 溫度測(cè)量裝置，而可以是不接觸物體探測(cè)溫度那種類型的。例如，第二溫度測(cè)量裝置可以是 紅外輻射溫度計(jì)，該溫度計(jì)探測(cè)從工件表面發(fā)出的紅外線的強(qiáng)度。熱敏元件的溫度可以通過(guò)另一溫度測(cè)量裝置來(lái)測(cè)量。優(yōu)選的是，壓力腔包括多個(gè)孔部分，所述孔部分具有線性構(gòu)型。由于是線性的，因 此可以容易形成孔部分。提供多個(gè)孔部分使得熱敏元件能夠具有寬的溫度探測(cè)區(qū)。優(yōu)選的是，壓力腔包括多個(gè)彼此平行設(shè)置的第一孔部分和與多個(gè)第一孔部分相交 的第二孔部分。通過(guò)這種布置，壓力腔可以形成為在熱敏元件內(nèi)側(cè)更寬地?cái)U(kuò)散，由此可靠地使得熱敏元件的溫度探測(cè)區(qū)更寬。使得多個(gè)孔部分彼此直接或間接相交允許一旦加壓氣體被弓丨入到任一個(gè)孔部分中，加壓氣體可以穿過(guò)所有孔部分。在解決上述問(wèn)題的第二措施中，取代需要特定大小的尺寸的具有壓力腔的熱敏元 件，溫度測(cè)量裝置設(shè)置在工件的內(nèi)部空間中。在工件的內(nèi)部空間的內(nèi)周表面和容納在內(nèi)部 空間中的溫度測(cè)量裝置的外周表面之間形成檢查空間。溫度測(cè)量裝置測(cè)量壓力之外的物理 量，該物理量直接響應(yīng)于檢查空間的溫度。物理量的例子包括電流、電壓、電阻、雙金屬的位 移和水銀的體積膨脹。由于溫度測(cè)量裝置不具有壓力腔，溫度測(cè)量裝置可以做得緊湊。于 是，即使在內(nèi)部空間狹窄時(shí)，溫度測(cè)量裝置也可以容易容納在工件的內(nèi)部空間中。加壓氣體被引入到檢查空間且檢查空間的內(nèi)部壓力被壓力傳感器測(cè)量。優(yōu)選的 是，壓力傳感器是探測(cè)基準(zhǔn)壓力和檢查空間的內(nèi)部壓力之間的差的壓差傳感器?；谕ㄟ^(guò) 溫度測(cè)量裝置獲得的有關(guān)物理量的信息，有關(guān)檢查空間的內(nèi)部壓力信息通過(guò)從其中減去歸 因于檢查空間內(nèi)溫度變化的分量得以補(bǔ)償。基于有關(guān)檢查空間的經(jīng)補(bǔ)償?shù)膬?nèi)部壓力信息， 來(lái)判斷檢查空間的泄漏。優(yōu)選的是，溫度測(cè)量裝置是包括溫度測(cè)量回路的電阻溫度計(jì)，該溫度測(cè)量回路具 有電阻器，該電阻器的電阻值隨著溫度變化。隨著溫度變化的電阻值導(dǎo)致溫度測(cè)量回路的 電流或電壓變化。通過(guò)讀取電流和電阻作為與溫度相關(guān)的物理量，可以針對(duì)溫度補(bǔ)償壓力 數(shù)據(jù)。雖然優(yōu)選的是溫度測(cè)量裝置是電阻溫度計(jì)，但是，溫度測(cè)量裝置不局限于電阻溫 度計(jì)。溫度測(cè)量裝置可以是熱電偶、水銀溫度計(jì)、雙金屬片溫度計(jì)或者紅外輻射溫度計(jì)。當(dāng) 溫度檢測(cè)裝置是熱電偶時(shí)，物理量是熱電偶的電動(dòng)勢(shì)。當(dāng)溫度測(cè)量裝置是水銀溫度計(jì)時(shí)，物 理量是水銀柱的高度。當(dāng)溫度測(cè)量裝置是雙金屬片溫度計(jì)時(shí)，物理量是雙金屬片的位移。當(dāng) 溫度測(cè)量裝置是紅外輻射溫度計(jì)時(shí)，物理量是從測(cè)量物體發(fā)出的紅外線的強(qiáng)度。優(yōu)選的是，在溫度測(cè)量裝置的外周設(shè)置翅片。翅片能夠使檢查空間的熱量被可靠 捕獲并且傳遞到溫度測(cè)量裝置的主體，由此使得能夠可靠測(cè)量檢查空間的溫度。由于翅片 具有特定寬度，熱量可以不是從檢查空間的有限位置上獲取，而是從檢查空間的較寬范圍 上獲取。因此，即使在檢查空間內(nèi)存在溫度分布，可以測(cè)量平均溫度。優(yōu)選的是，翅片具有圍繞測(cè)量裝置主體的圓形構(gòu)型。通過(guò)這種布置，熱量可以從測(cè) 量裝置主體的整個(gè)外周捕獲。優(yōu)選的是，多個(gè)翅片設(shè)置在測(cè)量裝置主體的外周上，翅片沿著測(cè)量裝置主體的縱 向間隔開(kāi)地布置。在這種布置方式中，翅片以分布的方式沿著測(cè)量裝置主體的縱向布置。這 使得熱量能夠從內(nèi)部空間的較寬區(qū)域上得以捕獲，由此，使得能夠可靠地測(cè)量?jī)?nèi)部空間的 平均溫度。


圖1是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的泄漏測(cè)試設(shè)備的回路圖，示出設(shè)備的示意性結(jié) 構(gòu)；圖2是沿著圖1的線II-II取得的平面剖視圖，示出泄漏測(cè)試設(shè)備的熱敏元件；圖3是示出本發(fā)明第二實(shí)施方式的前剖視圖；圖4是示出第二實(shí)施方式的改進(jìn)實(shí)施方式的前剖視圖5是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的泄漏測(cè)試設(shè)備的回路圖，示出設(shè)備的示意性結(jié) 構(gòu)；圖6是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的泄漏測(cè)試設(shè)備的回路圖，示出設(shè)備的示意性結(jié) 構(gòu)；圖7是示出在時(shí)間tl時(shí)工件的內(nèi)部空間的溫度和壓差之間的相關(guān)性的曲線圖。
具體實(shí)施例方式將參照附圖描述本發(fā)明的各實(shí)施方式。圖1示意性示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的泄漏測(cè)試設(shè)備1的回路結(jié)構(gòu)。泄漏測(cè)試設(shè)備1的測(cè)試對(duì)象是工件10。工件10的示例是汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的缸體。在工件10內(nèi)側(cè)形成 多個(gè)內(nèi)部空間11。在這個(gè)實(shí)施方式中，所有內(nèi)部空間11開(kāi)口于工件10的上部外表面和下 部外表面。如圖1所示，泄漏測(cè)試設(shè)備1具有加壓氣體源2和加壓氣體通道3。加壓氣體源2 是空氣壓縮機(jī)。加壓氣體源2可以產(chǎn)生幾百kPa數(shù)量級(jí)的氣壓。加壓氣體通道3如下構(gòu)造加壓氣體通道3的公共通道31從加壓氣體源2延伸。調(diào)節(jié)器32設(shè)置在公共通道 31內(nèi)。調(diào)節(jié)器32控制公共通道31中位于調(diào)節(jié)器32下游的部分內(nèi)的壓力。第一引入通道 40和第二引入通道50從公共通道31的下游端分支出來(lái)。第一引入通道40具有主干通道41和兩個(gè)分支通道42、43。主干通道41從公共通 道31延續(xù)。兩個(gè)分支通道42、43從主干通道41中分支出來(lái)。氣罐45連接到分支通道42 的下游端。分支通道43的下游端延伸到工件10的附近。開(kāi)/閉閥V41、V42、V43分別設(shè)置在通道41、42和43中。其中設(shè)置有閥的通道41、42 和43的附圖標(biāo)記作為額外字符分別加到閥的附圖標(biāo)記V上(同樣應(yīng)用于閥V51、V53，如下所 述)。第一壓力傳感器44設(shè)置在位于開(kāi)/閉閥V42和V43的下游的分支通道42和43之間。 第一壓力傳感器44是包括膜片44c和由膜片44c分開(kāi)的第一和第二腔室44a、44b的壓差 傳感器。第一腔室44a通過(guò)傳感器連接通道42a連接到分支通道42。第二腔室44b通過(guò)傳 感器連接通道43a連接到分支通道43。膜片44c根據(jù)第一腔室44a和第二腔室44b之間的 壓差而偏移。根據(jù)膜片44c的偏移的電信號(hào)從壓差傳感器44輸出。第二引入通道50具有主干通道51和兩個(gè)分支通道52、53。主干通道51與公共通 道31連通。兩個(gè)分支通道52、53從主干通道51分支出來(lái)。分支通道52的下游端延伸到 工件10附近。開(kāi)/閉閥V51、V53分別設(shè)置在主干通道51和分支通道53內(nèi)。第二壓力傳感器54 設(shè)置在分支通道52和53之間。第二壓力傳感器54是包括膜片54c和由膜片54c分開(kāi)的 第一腔室和第二腔室54a和54b的壓差傳感器。第一腔室54a通過(guò)傳感器連接通道52a連 接到位于開(kāi)/閉閥V51下游的分支通道52。第二腔室54b連接到分支通道53的下游端。膜 片54c根據(jù)第一腔室54a和第二腔室54b之間的壓差而偏移，根據(jù)膜片54c偏移的電信號(hào) 從壓差傳感器54輸出。泄漏測(cè)試設(shè)備1還包括壓力引入通道形成元件60和熱敏元件70。壓力引入通道 形成元件60和熱敏元件70在豎直方向上彼此相對(duì)。工件10被放置于壓力引入通道形成元件60和熱敏元件70之間。壓力引入通道形成元件60具有板狀構(gòu)型，具有對(duì)應(yīng)于工件10 的上表面的區(qū)域。壓力引入通道形成元件60覆蓋工件10的上表面。多個(gè)內(nèi)部空間11的上 端開(kāi)口 lie被壓力引入通道形成元件60所封閉。壓力引入通道形成元件60的下表面(抵 靠工件10的表面)設(shè)置有多個(gè)0形圈69 (密封件)。0形圈69以一對(duì)一的方式對(duì)應(yīng)于內(nèi) 部空間11。圍繞工件10的內(nèi)部空間11的開(kāi)口 lie的部分與壓力引入通道形成元件60之 間的間隙由相應(yīng)的0形圈69密封。在壓力引入通道形成元件60的一個(gè)側(cè)部上設(shè)置端口 62。分支通道43的下游端連 接到該端口 62。壓力引入通道63形成在壓力引入通道形成元件60的內(nèi)部。壓力引入通道 63從端口 62延伸并且分支成多個(gè)分布通道63a。分布通道63a到達(dá)壓力引入通道形成元 件60的下表面。分布通道63a以一對(duì)一的方式對(duì)應(yīng)于內(nèi)部空間11。分布通道63a持續(xù)到 相應(yīng)內(nèi)部空間11的上端部分。熱敏元件70包括主體71和多個(gè)0形圈79 (密封件)。主體71由高導(dǎo)熱性材料， 如鋁制成。主體71具有板狀構(gòu)型，具有對(duì)應(yīng)于工件10的下表面的區(qū)域。主體71設(shè)置在工 件10的外側(cè)。主體71覆蓋工件10的下表面。多個(gè)內(nèi)部空間11的下端開(kāi)口 llf被主體71 封閉。多個(gè)環(huán)形槽71c形成在主體71的上表面(抵靠工件10的表面)。每個(gè)環(huán)形槽71c 容納0形圈79。如圖2中虛線所示，0形圈79以一對(duì)一方式對(duì)應(yīng)于內(nèi)部空間11。圍繞在 工件10內(nèi)部空間11的下端處的開(kāi)口 llf的部分與熱敏元件70之間的間隙由相應(yīng)的0形 圈79密封。如圖1所示，熱敏元件70放置在基座4上。加壓裝置5，例如液壓致動(dòng)器從上面抵 靠壓力引入通道形成元件60。通過(guò)加壓裝置5向下壓壓力引入通道形成元件60導(dǎo)致壓力 引入通道形成元件60和熱敏元件70強(qiáng)有力地壓在工件10上，由此導(dǎo)致0形圈69、79被壓 縮。結(jié)果，內(nèi)部空間11的上端開(kāi)口和下端開(kāi)口 lle、llf被可靠密封。壓力腔73(熱敏腔)被形成在熱敏元件70的主體71的內(nèi)側(cè)。壓力腔73設(shè)置在工 件10的外側(cè)。如圖2所示，壓力腔73由多個(gè)第一孔部分73a和多個(gè)第二孔部分73b構(gòu)成。 例如，每個(gè)第一孔部分73a在熱敏元件70的主體71的縱向(圖2中的左右方向)上沿著 直線延伸。多個(gè)第一孔部分73a在主體71的寬度方向(圖2的上下方向)彼此平行地間 隔開(kāi)布置。例如，每個(gè)第二孔部分73b在主體71的寬度方向上沿直線延伸，多個(gè)第二孔部 分73b沿著主體71的縱向彼此平行地間隔開(kāi)布置。每個(gè)第二孔部分73b與多個(gè)第一孔部 分73a相交。所有孔部分73a、73b彼此連通?？撞糠?3a、73b整體上以格子構(gòu)型布置。具 有格子構(gòu)型的壓力腔73延伸通過(guò)整個(gè)主體71。如圖2所示，沿著主體71的上部外側(cè)表面 和工件10的下部外表面，壓力腔73布置在比開(kāi)口 llf 更寬的區(qū)域上。每個(gè)孔部分73a、73b 的相對(duì)兩端到達(dá)主體71的端面。在其中一個(gè)孔部分73a的一個(gè)端部上設(shè)置端口 72。分支 通道52的下游端連接到該端口 72上。除了連接到端口 72的那個(gè)外，孔部分73a、73b的端 部由塞子74封閉。取代利用塞子74封閉每個(gè)孔部分73a、73b的相對(duì)端部之一，孔部分73a、73b可以 形成為孔部分73a、73b的相對(duì)端部中的一個(gè)僅僅延伸到主體71的端面附近，而不到達(dá)主體 71的端面。設(shè)置在主體71內(nèi)的第二孔部分73b的數(shù)量可以僅為一個(gè)。泄漏測(cè)試設(shè)備1還包括控制器100，用于按照后面將描述的方法進(jìn)行泄漏測(cè)試?？刂破?00包括驅(qū)動(dòng)電路、輸入-輸出部分、ROM、RAM和CPU。驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)開(kāi)/閉閥V41、V42、V43、V51和V53。輸入-輸出部分包括信號(hào)轉(zhuǎn)換電路?？刂瞥绦虼鎯?chǔ)在ROM中。由壓差傳感器 44、54等獲得的測(cè)量數(shù)據(jù)寫(xiě)入RAM中。CPU進(jìn)行包括泄漏判斷(對(duì)工件進(jìn)行合格/缺陷判 斷)的控制操作。來(lái)自壓差傳感器44、54的探測(cè)信號(hào)線(未示出)連接到控制器100。根 據(jù)膜片44c、54c偏移的電信號(hào)通過(guò)探測(cè)信號(hào)線輸入到控制器100中。現(xiàn)在描述利用具有上述構(gòu)造的泄漏測(cè)試設(shè)備1進(jìn)行泄漏測(cè)試的方法。泄漏測(cè)試包 括相關(guān)性獲得操作和常規(guī)檢查操作，且它們按照這個(gè)順序進(jìn)行。相關(guān)性獲得操作在相關(guān)性獲得操作中，確定在工件10的內(nèi)部空間11中的壓力變化與溫度變化之 間的相關(guān)性。在這個(gè)部分中使用的工件10構(gòu)成“用于獲得相關(guān)性的目標(biāo)”。下面，按需要將 X加到作為用于獲取相關(guān)性的目標(biāo)的工件的附圖標(biāo)記上，以便將這個(gè)工件IOX與在后面將 進(jìn)行的常規(guī)檢查操作中被檢查的工件10區(qū)分開(kāi)。工件IOX與在常規(guī)檢查操作中被檢查的 工件10相同的類型、相同的形狀、相同的結(jié)構(gòu)和相同的材料?？赡芤呀?jīng)知道工件IOX不存 在泄漏。也可能不知道工件IOX是否存在泄漏。與工件10具有基本相同結(jié)構(gòu)的偽工件被 制造并且用作工件10X。如圖1所示，工件IOX被放置在熱敏元件70上。壓力引入通道形成元件60被放 置在工件IOX上。壓力引入通道形成元件60被加壓裝置5加壓。結(jié)果，工件IOX的內(nèi)部空 間11被密封。開(kāi)/閉閥V41、V42、V43、V51、V53全都打開(kāi)。在幾百kPa數(shù)量級(jí)的壓縮空氣(加壓氣 體)被從加壓氣體源2弓I入到加壓氣體通道3。一部分壓縮空氣按照主干通道41、分支通道 43、端口 62以及壓力引入通道63的順序流過(guò)它們，并引入到工件IOX的內(nèi)部空間11。另一 部分壓縮空氣經(jīng)過(guò)分支通道42被引入到氣罐45。再一部分壓縮空氣按照主干通道51、分 支通道52和端口 72的順序流過(guò)它們并然后被引入到壓力腔73。由于構(gòu)成壓力腔73的多 個(gè)孔部分73a、73b彼此直接和間接相交，當(dāng)壓縮空氣通過(guò)端口 72被引入到其中一個(gè)孔部分 73a時(shí)，壓縮空氣就會(huì)跑遍所有孔部分73a、73b，并且壓力腔73整體都被壓縮空氣所填充。接著，開(kāi)/閉閥V41、V51被關(guān)閉。然后，開(kāi)/閉閥V42、V43被關(guān)閉。因此，工件IOX的 內(nèi)部空間11和與內(nèi)部空間11相連通的壓差傳感器44的第一腔室44a形成獨(dú)立的封閉系 統(tǒng)，且氣罐45和與氣罐45連通的壓差傳感器44的第二腔室44b形成另一個(gè)獨(dú)立的封閉系 統(tǒng)。這些獨(dú)立的系統(tǒng)彼此阻隔。結(jié)果，以氣罐45的壓力為基準(zhǔn)，可以通過(guò)壓差傳感器44測(cè) 量?jī)?nèi)部空間11的壓差(有關(guān)內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力信息)。開(kāi)/閉閥V53也被關(guān)閉。因此，壓力腔73和與壓力腔73相連通的壓差傳感器54 的第一腔室54a形成獨(dú)立的封閉系統(tǒng)，且壓差傳感器54的第二腔室54b形成另一個(gè)獨(dú)立系 統(tǒng)。結(jié)果，以第二腔室54b內(nèi)的壓力為基準(zhǔn)，可以通過(guò)壓差傳感器54測(cè)量壓力腔73內(nèi)的壓 差(有關(guān)壓力腔73的內(nèi)部壓力信息)。在開(kāi)/閉閥V42、V43關(guān)閉之后經(jīng)過(guò)大約2到3秒的預(yù)定平衡時(shí)間段時(shí)的時(shí)刻(時(shí)間 t = t0)，壓差傳感器44、54的讀數(shù)被復(fù)位，并且對(duì)于每個(gè)壓差傳感器，測(cè)量和記錄復(fù)位之后 的壓差變化。在內(nèi)部空間11內(nèi)的壓差變化包括歸因于由內(nèi)部空間11和環(huán)境之間的溫度差等造 成的內(nèi)部空間11內(nèi)的溫度變化的分量；歸因于由絕熱壓縮后熱輻射造成的內(nèi)部空間11內(nèi)的溫度變化的分量，以及歸因于從內(nèi)部空間的空氣泄漏的分量等。內(nèi)部空間11的溫度變化通過(guò)具有高導(dǎo)熱性的熱敏元件主體71傳導(dǎo)到壓力腔73。結(jié)果，在壓力腔73中也發(fā)生壓差變化。通過(guò)壓差傳感器54獲得有關(guān)壓差變化的數(shù)據(jù)(有 關(guān)壓力腔73的內(nèi)部壓力信息)。此后，各種條件變化，所述各種條件如從加壓氣體源2的引入壓力、工件IOX的初 始溫度、壓力引入通道形成元件60的初始溫度、熱敏元件70的初始溫度和環(huán)境溫度，獲得 關(guān)于工件IOX的內(nèi)部空間11的壓差變化的數(shù)據(jù)以及有關(guān)壓力腔73內(nèi)的壓差變化的數(shù)據(jù)。 優(yōu)選的是，在整個(gè)條件變化過(guò)程中使用相同的工件10X。對(duì)于獲取數(shù)據(jù)所處的每個(gè)條件，比較內(nèi)部空間11的壓差對(duì)時(shí)間的曲線(有關(guān)內(nèi)部 空間11的內(nèi)部壓力信息)和壓力腔73的壓差對(duì)時(shí)間的曲線(有關(guān)壓力腔73的內(nèi)部壓力 信息)，來(lái)確定二者之間的相關(guān)性。例如，在壓力腔73的壓差對(duì)時(shí)間曲線上提取壓差值X，該壓差值χ是從時(shí)間t0開(kāi) 始經(jīng)過(guò)特定時(shí)間tl時(shí)的壓差值。而且，在內(nèi)部空間11的壓差對(duì)時(shí)間曲線上提取壓差值y， 該壓差值y為在相同時(shí)間tl的壓差值。優(yōu)選的是，時(shí)間tl被設(shè)定在兩個(gè)壓差曲線特征 (behave)類似的范圍內(nèi)。時(shí)間tl的設(shè)定可以任意變化。繪制曲線圖，其中，水平軸χ表示 在時(shí)間tl的壓力腔73的壓差值，而豎直軸y表示在時(shí)間tl的內(nèi)部空間11的壓差值(參 見(jiàn)上述專利文件1的圖5)。在上述條件下獲得的提取數(shù)據(jù)在該曲線圖上繪制。對(duì)于所繪制 的提取數(shù)據(jù)，通過(guò)最小二乘法進(jìn)行線性插值。這就輸出一個(gè)表示壓力腔73的壓差值χ和內(nèi) 部空間11的壓差值y之間的相關(guān)性的線性表達(dá)式(1)y = ax+b (1)其中a和b都是常數(shù)。取代在時(shí)間tl的壓差，連接在時(shí)間t0的壓差和在時(shí)間tl的壓差的線的斜率可以 被用作拾取數(shù)據(jù)。在這種情況下，可以獲得相當(dāng)于表達(dá)式(1)的相關(guān)性方程。另外，在時(shí)間 to的壓差的不同數(shù)據(jù)可以被用作提取數(shù)據(jù)，來(lái)獲得相關(guān)性方程。另外，如在日本公布的專利 申請(qǐng)公開(kāi)說(shuō)明書(shū)第2004-61201中所示，可以獲得包含指數(shù)函數(shù)的近似式，且可以執(zhí)行非線 性擬合來(lái)確定近似式的系數(shù)。相關(guān)性方程(1)可以被認(rèn)為示出了內(nèi)部空間11中的溫度變化和壓差變化之間的 關(guān)系。在相關(guān)性方程(1)右手側(cè)的第一項(xiàng)和第二項(xiàng)中，只有第一項(xiàng)包括壓力腔73的壓差值 χ 在第二項(xiàng)中的常數(shù)b是與壓力腔73中的壓差變化，即，內(nèi)部空間11內(nèi)的溫度變化不相 關(guān)的量。換句話說(shuō)，常數(shù)b對(duì)應(yīng)于內(nèi)部空間11內(nèi)的壓差變化量，且從其中減去了歸因于溫 度變化的量。這意味著常數(shù)b表示歸因于從內(nèi)部空間11泄漏的壓差變化的分量。因此，內(nèi) 部空間11中的溫度變化和僅歸因于溫度變化的壓差變化之間的相關(guān)性可以在如下所示的 表達(dá)式⑵中加以表示y = ax (2)在完成相關(guān)性獲得操作之后，工件IOX從泄漏測(cè)試設(shè)備1上取下。常規(guī)檢查操作此后，測(cè)試進(jìn)行到常規(guī)檢查操作。在檢查之前，要被實(shí)際檢查的工件10利用通過(guò)例如大約40°C的溫的清洗水進(jìn)行 清洗。由此，工件10例如被加熱到大約40°c。
放置步驟 工件10被放置在熱敏元件70上。壓力引入通道形成元件60被放置在工件10上。 壓力引入通道形成元件60被加壓裝置5加壓，這密封了工件10的內(nèi)部空間11。被加熱的工件10的熱量傳遞到熱敏元件70，并且熱敏元件70的溫度升高。工件 10的溫度降低。第一探測(cè)步驟和第二探測(cè)步驟然后，進(jìn)行與上述相關(guān)性獲得步驟中大致相同的探測(cè)步驟。具體地說(shuō)，壓縮空氣被引入到內(nèi)部空間11和壓力腔73。然后，開(kāi)/閉閥V41、V51被關(guān)閉。此后，開(kāi)/閉閥V42、V43被關(guān)閉。開(kāi)/閉閥V53也被 關(guān)閉。結(jié)果，內(nèi)部空間11和壓力腔73形成彼此獨(dú)立的封閉系統(tǒng)。在開(kāi)/閉閥V42、V43關(guān)閉之后經(jīng)過(guò)預(yù)定平衡時(shí)間段(大約2到3秒)的時(shí)刻t0，壓 差傳感器44、54復(fù)位，并且分別開(kāi)始測(cè)量?jī)?nèi)部空間11和壓力腔73的壓差。拾取在從時(shí)間 t0開(kāi)始已經(jīng)過(guò)特定施加tl時(shí)通過(guò)壓差傳感器44獲得的內(nèi)部空間11的測(cè)得壓差D11(有關(guān) 內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力信息)以及在時(shí)間tl通過(guò)壓差傳感器5獲得的壓力腔73的測(cè)得 壓差D73 (有關(guān)壓力腔73的內(nèi)部壓力信息)。補(bǔ)償步驟此后，基于壓力腔73的測(cè)得壓差D73以及在上述確定補(bǔ)償部分中獲得的相關(guān)性方 程(2)，補(bǔ)償內(nèi)部空間11的測(cè)得壓差Dn。具體地說(shuō)，壓力腔73的測(cè)得壓差D73替代方程(2) 右手側(cè)的變量X，來(lái)獲得歸因于內(nèi)部空間的溫度的壓差變化量y = BD730從實(shí)際測(cè)量的壓差 D11中減去壓差變化量aD73。換句話說(shuō)，執(zhí)行以下操作Dleak = D11-BD73(3)通過(guò)這個(gè)操作，可以獲得僅歸因于從內(nèi)部空間11泄漏的壓差變化量Dmx。通過(guò)控制器100進(jìn)行上述補(bǔ)償操作。控制器100此時(shí)構(gòu)成補(bǔ)償器。判斷步驟基于壓差變化量I\EAK，對(duì)工件10進(jìn)行合格/缺陷判斷。具體地說(shuō)，如果壓差變化 量I\Effi沒(méi)有超過(guò)可允許的最大值，則判斷工件10為好的。如果壓差變化量隊(duì)^超過(guò)可允 許的最大值，則判斷工件10為有缺陷的。上述判斷通過(guò)控制器100執(zhí)行。此時(shí)控制器100構(gòu)成判斷器。根據(jù)這個(gè)判斷方法，由于歸因于溫度變化的壓差變化量被排除，因此可以提高判 斷精度。此外，由于在內(nèi)部空間11中的溫度變化通過(guò)轉(zhuǎn)化由壓力來(lái)測(cè)量，即使輕微的溫度 變化也可以被測(cè)得。例如，當(dāng)初始?jí)毫κ?00kPa且初始溫度是25°C時(shí)，根據(jù)Boyle-Charles 規(guī)則，溫度變化+0. 1°C等價(jià)于167. SPa的壓力變化量。這意味著當(dāng)壓力腔73內(nèi)的壓力與引 入到內(nèi)部空間11中的測(cè)試壓力的大小相類似時(shí)，對(duì)于輕微的溫度變化可以獲得較大的壓 力變化。這實(shí)現(xiàn)了非常靈敏的溫度測(cè)量。此外，由于通過(guò)壓差傳感器54，壓力變化量作為壓 差來(lái)測(cè)量，可以進(jìn)一步提高測(cè)量靈敏度。不需要將熱敏元件70放置在工件10的內(nèi)部空間11內(nèi)。因此，熱敏元件70的尺 寸，且由此壓力腔73的尺寸可以不受工件10的內(nèi)部空間11的尺寸的限制來(lái)設(shè)定，且可以 可靠地探測(cè)溫度變化。即使在內(nèi)部空間11狹窄時(shí)，也可以輕易應(yīng)對(duì)。
將熱敏元件70放置成與工件10的外表面接觸可以使得熱敏元件70的溫度接近工件10的溫度。于是，可以可靠測(cè)量?jī)?nèi)部空間11的溫度變化。此外，熱敏元件71可以從工件10的下部外表面整體接受熱量。結(jié)果，可以平均地測(cè)量?jī)?nèi)部空間11的整體溫度。因此，即使在內(nèi)部空間11上存在溫度分布，也可以確?？煽?性。由于壓力腔73沿著工件10的下部外表面形成、覆蓋閉開(kāi)口 Ilf更寬的區(qū)域，可以可靠 地探測(cè)工件10內(nèi)的溫度變化及進(jìn)一步可靠探測(cè)內(nèi)部空間11的溫度變化。內(nèi)部空間11的下側(cè)內(nèi)的開(kāi)口 Ilf可以由熱敏元件70封閉。這消除了提供額外的封閉元件的需要，從而減少零件數(shù)量。工件10的多個(gè)開(kāi)口 Ilf可以由單獨(dú)一個(gè)熱敏元件70 封閉。內(nèi)部空間11的開(kāi)口可以通過(guò)提供對(duì)應(yīng)于內(nèi)部空間的密封件79來(lái)予以可靠密封。由于構(gòu)成壓力腔73的孔部分73a、73b形成為直線形狀，因此它們易于形成。由于 多個(gè)孔部分73a、73b布置成延伸過(guò)幾乎整個(gè)熱敏元件70的格子構(gòu)型，熱敏元件70可以具 有更寬的溫度探測(cè)區(qū)域。此外，可以確保熱敏元件70的剛性，因此，熱敏元件70可以輕易 承受密封內(nèi)部空間11所施加的壓力?，F(xiàn)在，將描述本發(fā)明的另一實(shí)施方式。在下面描述的實(shí)施方式中，與上述實(shí)施方式 相同的零部件由相同的附圖標(biāo)記標(biāo)識(shí)，且將省略它們的描述。工件10可以具有各種形狀，壓力弓丨入通道形成元件60和熱敏元件70根據(jù)工件10 的形狀形成。例如，在圖3所示的第二實(shí)施方式中，多個(gè)內(nèi)部空間11中的內(nèi)部空間IlA從工件 10的上表面延伸而沒(méi)有到達(dá)工件10的下表面。內(nèi)部空間IlA的下端部遠(yuǎn)離熱敏元件70。 因此，內(nèi)部空間IlA的溫度變化傳遞到熱敏元件70需要時(shí)間。另一方面，內(nèi)部空間IlA位 于工件10的一個(gè)側(cè)表面IOa(圖3中右側(cè)上的表面)附近。現(xiàn)在，溫度測(cè)量裝置80放置在工件10的側(cè)表面IOa上。溫度測(cè)量裝置80在探測(cè) 溫度方面輔助熱敏元件70。溫度測(cè)量裝置80是電阻溫度計(jì)。雖然沒(méi)有詳細(xì)示出，溫度測(cè) 量回路集成在溫度測(cè)量裝置80中。溫度測(cè)量回路具有兩個(gè)(多個(gè))溫度探測(cè)部分81。溫 度探測(cè)部分81設(shè)置在溫度測(cè)量裝置80的盤(pán)形遠(yuǎn)端部，彼此分隔開(kāi)。溫度探測(cè)部分81接觸 要被測(cè)量溫度的物體(工件10的側(cè)表面)。溫度探測(cè)部分81例如是鉬制成的電阻器。該 電阻器的電阻值隨著溫度變化而變化。于是，溫度測(cè)量回路的電流或電壓隨著溫度而變化。 通過(guò)讀取電流或電壓值可以測(cè)量物體的溫度。兩個(gè)(多個(gè))溫度探測(cè)部分81可以彼此串 聯(lián)或并聯(lián)。在第二實(shí)施方式的相關(guān)性獲得操作中，獲得通過(guò)壓差傳感器44獲得的有關(guān)工件 10的內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力信息與由壓差傳感器54獲得的有關(guān)壓力腔73的內(nèi)部壓力信 息之間的相關(guān)性。另外，也獲得通過(guò)壓差傳感器44獲得的有關(guān)內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力信 息與由溫度測(cè)量裝置80獲得的有關(guān)工件IOX的溫度信息之間的相關(guān)性。具體地說(shuō)，例如生 成兩條曲線。一條是第一曲線，其中，如同第一實(shí)施方式，繪制在時(shí)間tl的壓力腔73的壓 差值(水平軸χ)和內(nèi)部空間11的壓差值(豎直軸y)。第一曲線示出有關(guān)工件10的內(nèi)部 空間的壓差信息與有關(guān)壓力腔73的壓差信息之間的相關(guān)性數(shù)據(jù)。另一條曲線是第二曲線， 其中繪制在時(shí)間tl溫度測(cè)量裝置80測(cè)量的測(cè)得溫度(水平軸χ)和內(nèi)部空間11的壓差值 (豎直軸y)。第二曲線示出有關(guān)工件10的內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力信息與有關(guān)工件10的 溫度信息之間的相關(guān)性數(shù)據(jù)。選擇第一和第二曲線中的一條。所選擇的曲線圖更清楚地表明水平軸和豎直軸之間的相關(guān)性。于是，從所選擇的曲線中更易于獲得近似式(1)。 在第二實(shí)施方式的常規(guī)檢查操作中，基于上述所選擇的曲線進(jìn)行泄漏判斷。如果 所選擇的曲線是第一曲線，如同第一實(shí)施方式，在時(shí)間tl的內(nèi)部空間11的壓差值D11和在 時(shí)間tl的壓力腔73的壓差值D73被拾取，并代入到補(bǔ)償方程(3)中，并且基于補(bǔ)償?shù)膲翰?量D皿κ，對(duì)工件10進(jìn)行合格/缺陷判斷。另一方面，如果所選擇的曲線是第二曲線，在時(shí)間tl內(nèi)部空間11的壓差值D11和 在時(shí)間tl由溫度測(cè)量裝置80測(cè)量的測(cè)得溫度T8tl被拾取，并且執(zhí)行以下表達(dá)式(3’)中的 操作Dleak = D11-BT80(3，)在表達(dá)式(3’ )右手側(cè)中的第二項(xiàng)中的系數(shù)” a”是第二曲線的近似線的斜率。然 后，基于從表達(dá)式(3’ )獲得的值I\EAK，對(duì)工件10進(jìn)行合格/缺陷判斷。當(dāng)溫度測(cè)量裝置80具有比熱敏元件70更高的靈敏度時(shí)，基于溫度測(cè)量裝置80獲 得的溫度信息來(lái)進(jìn)行溫度補(bǔ)償。與熱敏元件70相比內(nèi)部空間IlA更靠近溫度測(cè)量裝置80，因此，在內(nèi)部空間IlA 中的溫度變化趨于更由溫度測(cè)量裝置80反映，而非熱敏元件70。此外，可以利用兩個(gè)(多 個(gè))彼此間隔開(kāi)的溫度探測(cè)部分81來(lái)探測(cè)在內(nèi)部空間IlA內(nèi)的平均溫度變化。圖4示出第二實(shí)施方式的改進(jìn)。溫度測(cè)量裝置80可以與熱敏元件70相接觸，而 非與工件10相接觸。熱敏元件70的溫度由溫度測(cè)量裝置80測(cè)量。當(dāng)與壓力腔73的內(nèi)部 壓力相比，內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力與熱敏元件70的測(cè)得溫度更相關(guān)時(shí)，基于熱敏元件70 的測(cè)得溫度，用溫度補(bǔ)償內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力。在圖5所示的第三實(shí)施方式中，壓力控制閥V4tl被設(shè)置在第一引入通道40中。在 第一引入通道40中的空氣壓力可被壓力控制閥V4tl控制，于是，可以控制向內(nèi)部空間11的 引入壓力。壓力控制閥V5tl設(shè)置在第二引入通道50中，在第二引入通道50中的空氣壓力可 以由壓力控制閥V5tl來(lái)控制，于是，可以控制壓力腔73內(nèi)部的壓力。通過(guò)壓力控制閥V4Q、V5Q，壓力腔73的內(nèi)部壓力和內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力被控制 成使得壓力腔73的內(nèi)部壓力大于內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力。例如，內(nèi)部空間11的內(nèi)部壓力 被控制在300kPa，而壓力腔73的內(nèi)部壓力被控制為500kPa。在這種配置中，響應(yīng)于溫度變 化，壓力腔73的壓力變化更大。以這種方式，可以提高熱敏元件70相對(duì)于溫度變化的測(cè)量 靈敏度，由此，使得輕微的溫度變化也能夠被可靠探測(cè)。現(xiàn)在將描述本發(fā)明的第四實(shí)施方式。如圖6所示，根據(jù)第四實(shí)施方式的泄漏測(cè)試設(shè)備IB包括作為加壓氣體的來(lái)源的加 壓氣體源2，加壓氣體通道3和基座4。諸如汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)的缸體的工件12放置在基座4上。 在工件12內(nèi)側(cè)形成空間13。內(nèi)部空間13開(kāi)口于工件12的一個(gè)表面。內(nèi)部空間13的開(kāi) 口指向下并由基座4封閉。雖然圖中未示出，在基座4中提供如0形圈的密封件，來(lái)密封基 座4和工件12的下端面之間。工件12被加壓致動(dòng)器向下壓，以被強(qiáng)有力地壓在基座4上。 由此，內(nèi)部空間13被氣密封閉。泄漏測(cè)試設(shè)備IB的加壓氣體通道3如下構(gòu)成。加壓氣體通道3的公共通道31從加壓氣體源2延伸。調(diào)節(jié)器32設(shè)置在公共通道 31中。調(diào)節(jié)器32控制公共通道31中位于調(diào)節(jié)器32下游的部分的壓力。開(kāi)/閉閥V31設(shè)置在公共通道31的位于調(diào)節(jié)器32下游的部分中，基準(zhǔn)壓力通道33和檢查壓力通道34從 公共通道31的下游端分支出來(lái)。 開(kāi)/閉閥V33設(shè)置在基準(zhǔn)壓力通道33內(nèi)。氣罐45連接到基準(zhǔn)壓力通道33的下游端。開(kāi)/閉閥V34設(shè)置在檢查壓力通道34內(nèi)，檢查壓力通道34的下游端連接到工件12 的內(nèi)部空間13。傳感器連接通道33a從開(kāi)/閉閥V33和氣罐45之間的基準(zhǔn)壓力通道33分支出來(lái)。 傳感器連接通道34a從開(kāi)/閉閥V34和工件12之間的檢查壓力通道34分支出來(lái)。壓差傳 感器44 (壓力測(cè)量裝置)設(shè)置在兩個(gè)傳感器連接通道33a和34a之間。壓差傳感器44包 括膜片44c和由膜片44c分開(kāi)的第一腔室44a和第二腔室44b之間。第一腔室44a連接到 傳感器連接通道34a。第二腔室44b連接到傳感器連接通道33a。泄漏測(cè)試設(shè)備IB還包括溫度測(cè)量裝置90。溫度測(cè)量裝置90具有測(cè)量裝置主體 91和熱收集部分92。測(cè)量裝置主體91具有桿形。測(cè)量裝置主體91的圓柱形殼體91a由 金屬，如鋁或不銹鋼制成。雖然圖中未詳細(xì)示出，溫度測(cè)量回路容納在殼體91a中。溫度測(cè) 量回路包括電阻器，該電阻器的電阻值(與溫度相關(guān)的物理量)隨著溫度變化。電阻器由 鉬等制成。熱收集部分92設(shè)置在測(cè)量裝置主體91的外周上。熱收集部分92由作為具有高 導(dǎo)熱性材料的鋁制成。熱收集部分92包括軸部分93和多個(gè)翅片94。軸部分93具有圓筒 形狀。測(cè)量裝置主體91插入到軸部分93中。軸部分的內(nèi)周表面接觸殼體91a的外周表面。 每個(gè)翅片94具有圓板形狀。軸部分93并因此測(cè)量裝置主體91設(shè)置在翅片94的中部。多 個(gè)翅片94沿著測(cè)量裝置主體91的縱向彼此間隔開(kāi)。溫度測(cè)量裝置90固定到基座4上并容納在工件12的內(nèi)部空間13中。溫度測(cè)量 裝置90占據(jù)內(nèi)部空間13的幾分之一到百分之幾十的容積。泄漏測(cè)試設(shè)備IB還包括控制器100，用于在后面描述的方法中進(jìn)行泄漏測(cè)試?？?制器100包括驅(qū)動(dòng)電路、輸入-輸出部分、R0M、RAM和CPU。驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)開(kāi)/閉閥V31、V33、 V340輸入-輸出部分包括信號(hào)轉(zhuǎn)換電路。控制程序存儲(chǔ)在ROM中，而由壓差傳感器44、54 獲得的測(cè)量數(shù)據(jù)等寫(xiě)入到RAM中。CPU進(jìn)行包括泄漏判斷(對(duì)工件的合格/缺陷判斷)的 控制操作。來(lái)自溫度測(cè)量裝置90的信號(hào)線101連接到控制器100?，F(xiàn)在將描述第四實(shí)施方式中用于泄漏測(cè)試的方法。第四實(shí)施方式的泄漏測(cè)試方法 也由相關(guān)性獲得操作和常規(guī)檢查操作構(gòu)成，它們以這個(gè)順序進(jìn)行。相關(guān)性獲得操作
在相關(guān)性獲得操作中，確定工件12的內(nèi)部空間13中的壓力變化和溫度變化之間 的相關(guān)性。在這個(gè)部分中使用的工件12構(gòu)成“用于獲取相關(guān)性的目標(biāo)”。按需要將X加到 作為用于獲取相關(guān)性的目標(biāo)的工件的附圖標(biāo)記上，以便將這個(gè)工件12X與在后面將進(jìn)行的 常規(guī)檢查操作中被檢查的工件12區(qū)分開(kāi)。工件12X與在常規(guī)檢查操作中被檢查的工件12 相同的類型、相同的形狀、相同的結(jié)構(gòu)和相同的材料?？赡芤呀?jīng)知道工件12X不存在泄漏。 也可能不知道工件12X是否存在泄漏。與工件12具有基本相同結(jié)構(gòu)的偽工件被制造并且 用作工件12X。 工件12X被放置在基座4上。溫度測(cè)量裝置90容納在工件12X的內(nèi)部空間13中。內(nèi)部空間13的開(kāi)口用基座4封閉，以密封內(nèi)部空間13。開(kāi)/閉閥V31、V33、V34全都打開(kāi)。處于幾百kPa數(shù)量級(jí)的壓縮空氣(加壓氣體)從加壓氣體源2被引入到加壓氣體通道3。一部分壓縮空氣經(jīng)由基準(zhǔn)壓力通道33被引入到氣 罐45。另一部分壓縮空氣經(jīng)由檢查壓力通道34被引入到工件12X的內(nèi)部空間13(準(zhǔn)確地 說(shuō)，在內(nèi)部空間13的內(nèi)表面與溫度測(cè)量裝置90的外表面之間)。接著，開(kāi)/閉閥V31被關(guān)閉。然后，開(kāi)/閉閥V33、V34被關(guān)閉。結(jié)果，工件12X的內(nèi) 部空間13和氣罐45彼此封閉，各自形成獨(dú)立封閉系統(tǒng)。工件12X的內(nèi)部空間13與壓差傳 感器44的第一腔室44a連通。氣罐45與壓差傳感器44的第二腔室44b連通。因此，以氣 罐45的壓力為基準(zhǔn)，通過(guò)壓差傳感器44可以測(cè)量工件12X的內(nèi)部空間13的壓差(有關(guān)內(nèi) 部空間13的內(nèi)部壓力信息)。在開(kāi)/閉閥V33、V34關(guān)閉后經(jīng)過(guò)大約2到3秒的預(yù)定平衡時(shí)間段的時(shí)間(時(shí)間t = t0)，壓差傳感器44的讀數(shù)復(fù)位，且測(cè)量和記錄在復(fù)位之后的壓差變化。在內(nèi)部空間13內(nèi)的壓差變化包括歸因于由內(nèi)部空間13和環(huán)境之間的溫度差等 造成的內(nèi)部空間13的溫度變化的分量；歸因于絕熱壓縮后的熱輻射造成的內(nèi)部空間13的 溫度變化的分量；以及歸因于空氣從內(nèi)部空間13泄漏的分量；等。與上述壓差測(cè)量同時(shí)，內(nèi)部空間13的溫度由溫度測(cè)量裝置90測(cè)量。此后，改變各種條件，如從加壓氣體源2的引入壓力、工件12X的初始溫度和環(huán)境 溫度。然后，以與上述相同的方式獲得有關(guān)壓差變化的數(shù)據(jù)和有關(guān)工件12X的內(nèi)部空間13 中的溫度變化的數(shù)據(jù)。優(yōu)選的是，在條件變化的過(guò)程中使用相同的工件12X。針對(duì)獲取數(shù)據(jù)所處的每個(gè)條件，將內(nèi)部空間的壓差對(duì)時(shí)間的曲線(有關(guān)內(nèi)部空間 13的內(nèi)部壓力信息)與內(nèi)部空間13的溫度對(duì)時(shí)間的曲線(有關(guān)內(nèi)部空間13的溫度信息) 相比較，從而確定二者之間的相關(guān)性。例如，在壓差對(duì)時(shí)間曲線上拾取從時(shí)間t0開(kāi)始經(jīng)過(guò)特定時(shí)間tl時(shí)的壓差。而且， 在溫度對(duì)時(shí)間曲線上拾取在相同時(shí)間tl的溫度。優(yōu)選的是，時(shí)間tl被設(shè)定在兩個(gè)時(shí)間曲 線特征相類似的范圍內(nèi)?？梢匀我庾兓瘯r(shí)間tl的設(shè)定。做成曲線圖，其中水平軸X表示在 時(shí)間tl的內(nèi)部空間13的溫度，而豎直軸y表示在時(shí)間tl的內(nèi)部空間13的壓差，如圖7中 的示例所示。在上述條件下獲得的拾取數(shù)據(jù)繪制在曲線圖上。對(duì)于所繪制的拾取數(shù)據(jù)，通 過(guò)最小二乘法進(jìn)行線性插值。這產(chǎn)生線性表達(dá)式(1)，該表達(dá)式表示內(nèi)部空間13的溫度χ 與內(nèi)部空間13的壓差y之間的相關(guān)性y = ax+b (1)其中a和b都是常數(shù)。取代在時(shí)間tl的溫度和壓差，連接在時(shí)間t0的溫度和在時(shí)間tl的溫度的線的斜 率以及連接在時(shí)間to的壓差和在時(shí)間tl的壓差的線的斜率也可以被用作拾取數(shù)據(jù)。在這 種情況下，獲得相當(dāng)于公式(1)的相關(guān)性方程。另外，在時(shí)間to的溫度和壓差的不同值可以 用作拾取數(shù)據(jù)來(lái)獲得相關(guān)性方程。另外，如日本公布的專利申請(qǐng)公開(kāi)說(shuō)明書(shū)第2004-61201 號(hào)中所示，可以構(gòu)建包含指數(shù)函數(shù)的近似式，并且可以執(zhí)行非線性擬合來(lái)確定近似式的系 數(shù)。在相關(guān)性方程(1)的右手側(cè)的第一項(xiàng)和第二項(xiàng)中，只有第一項(xiàng)包含內(nèi)部空間13的 溫度X。在第二項(xiàng)中的常數(shù)b是與內(nèi)部空間13內(nèi)的溫度變化不相關(guān)的量。換句話說(shuō)，常數(shù)b對(duì)應(yīng)于在內(nèi)部空間12內(nèi)的壓差變化量，且已經(jīng)從其中減去歸因于溫度變化的量。這意味 著，常數(shù)b表示從內(nèi)部空間13泄漏所導(dǎo)致的壓差變化的分量。因此，溫度變化和僅歸因于 內(nèi)部空間13中溫度變化的壓差變化之間的相關(guān)性可以表示為如下所示的表達(dá)式(2) y = ax (2)在確定相關(guān)性之后，從泄漏測(cè)試設(shè)備IB上取下工件12X。常規(guī)檢查操作此后，測(cè)試進(jìn)行到常規(guī)檢查操作。在檢查之前，要被實(shí)際檢查的工件12例如被用大約40°C的溫的清洗水來(lái)清洗。由 此，工件12被加熱到例如大約40°C。放置步驟工件12被放置在基座4上。溫度測(cè)量裝置90容納在工件12的內(nèi)部空間13中。 內(nèi)部空間13的開(kāi)口用基座4來(lái)封閉以密封內(nèi)部空間13。工件12的溫度由于熱輻射而逐漸降低。第一探測(cè)步驟和第二探測(cè)步驟然后，執(zhí)行大致與上述相關(guān)性獲得操作中的相同的探測(cè)步驟。具體地說(shuō)，壓縮空氣被引入到工件12的內(nèi)部空間13和氣罐45。接著，開(kāi)/閉閥V31被關(guān)閉。然后，開(kāi)/閉閥V33、V34被關(guān)閉。結(jié)果，工件12的內(nèi)部 空間13和氣罐45被彼此阻隔，各自形成獨(dú)立的封閉系統(tǒng)。工件12的內(nèi)部空間13與壓差 傳感器44的第一腔室44a連通，氣罐45與壓差傳感器44的第二腔室44b連通。因此，以 氣罐45內(nèi)的壓力為基準(zhǔn)，由壓差傳感器44測(cè)量工件12的內(nèi)部空間13的壓差(有關(guān)內(nèi)部 空間13的內(nèi)部壓力信息)。在開(kāi)/閉閥V33、V34關(guān)閉之后經(jīng)過(guò)預(yù)定平衡時(shí)間段(大約2到3秒)的時(shí)間t0，壓 差傳感器44的讀數(shù)復(fù)位，且測(cè)量和記錄此后的壓差變化。同時(shí)，工件12的內(nèi)部空間13的 溫度由溫度測(cè)量裝置90來(lái)測(cè)量。在從時(shí)間t0開(kāi)始經(jīng)過(guò)特定時(shí)間tl時(shí)由壓差傳感器44獲 得的內(nèi)部空間13的測(cè)得壓差D13(內(nèi)部壓力信息)和在時(shí)間tl由溫度測(cè)量裝置90獲得的 內(nèi)部空間13的測(cè)得溫度T9tl (溫度信息)被拾取。補(bǔ)償步驟此后，基于測(cè)得溫度T9tl和在上述確定補(bǔ)償部分中所獲得的相關(guān)性方程(2)，補(bǔ)償 內(nèi)部空間13的測(cè)得壓差D13。具體地說(shuō)，測(cè)得溫度T9tl替代方程(2)右手側(cè)中的變量X，來(lái)獲 得歸因于內(nèi)部空間13的溫度的壓差變化量，y = aT90O從實(shí)際測(cè)得的壓差D13中減去壓差 變化量aT9(l。換句話說(shuō)，執(zhí)行以下操作Dleak = D13-BT90(3)通過(guò)這個(gè)操作，獲得了僅歸因于從內(nèi)部空間13泄漏的壓差變化量I\Effi。上述補(bǔ)償是通過(guò)控制器100作出的。此時(shí)控制器100構(gòu)成補(bǔ)償器。判斷步驟基于壓差變化量Aeak來(lái)對(duì)工件12進(jìn)行合格/缺陷判斷。具體地說(shuō)，如果壓差變化 量Dmx沒(méi)有超過(guò)可允許的最大值，則工件12被判斷為合格。如果壓差變化量DmK超過(guò)可 允許的最大值，則工件12被判斷為有缺陷。上述判斷由控制器100作出，此時(shí)控制器100構(gòu)成判斷器。
根據(jù)在第四實(shí)施方式中的判斷方法，由于可以排除歸因于溫度變化的壓差變化量，使得判斷精度得以提高。由于溫度測(cè)量裝置90設(shè)置在內(nèi)部空間13中，要被壓縮空氣填 充的空間的容積減少了溫度測(cè)量裝置90的體積那么多。這作用為提高對(duì)泄漏的靈敏度。在內(nèi)部空間13中的熱量可以被翅片94可靠地捕獲并傳遞到測(cè)量裝置主體91。因 此，可以可靠地測(cè)量?jī)?nèi)部空間13的溫度。由于翅片94圍繞測(cè)量裝置主體91的整個(gè)周邊， 此外，多個(gè)翅片94廣泛分布在內(nèi)部空間13的內(nèi)側(cè)，因此，可以均衡地捕獲幾乎整個(gè)內(nèi)部空 間13的熱量。因此，可以均勻地測(cè)量整個(gè)內(nèi)部空間13的溫度。結(jié)果，即使在內(nèi)部空間13 中存在溫度分布的情況下，也可以確?？煽啃?。溫度測(cè)量裝置90直接探測(cè)電流或電壓并且間接探測(cè)電阻作為與溫度相關(guān)的物理 量。溫度測(cè)量裝置90沒(méi)有采用壓力作為與溫度相關(guān)的物理量。因此，不需要在溫度測(cè)量裝 置中提供壓力腔。因此，溫度測(cè)量裝置可以做得緊湊。即使工件12的內(nèi)部空間13狹窄或 者具有不規(guī)則形狀，溫度測(cè)量裝置可以容易設(shè)置在內(nèi)部空間13內(nèi)。在第四實(shí)施方式中，省略了第一實(shí)施方式中的第二引入通道50和第二壓力傳感 器54。電阻溫度計(jì)90幾乎可以毫不含糊地從電流或電阻的測(cè)量值中獲得溫度。作為測(cè) 量裝置主體91，可以使用市場(chǎng)上可購(gòu)得的溫度計(jì)，只要已知電流或電阻的探測(cè)值，即探測(cè)的 物理量與溫度之間的相關(guān)性即可。因此，可以省略用于確定探測(cè)的物理量與溫度之間的相 關(guān)性的步驟。本發(fā)明不局限于上述實(shí)施方式，并且可以作出各種改進(jìn)。例如，工件10、12不局限于缸體。除了缸體之外，本發(fā)明可以應(yīng)用于各種具有內(nèi)部 空間的工件，如散熱器、蒸發(fā)器、密封容器等。第一壓力傳感器不必須為壓差傳感器，而是可以為測(cè)量?jī)?nèi)部空間11、13本身內(nèi)的 壓力的壓力傳感器。第二壓力傳感器不必須為壓差傳感器，而是可以為測(cè)量壓力腔73本身內(nèi)的壓力 的壓力傳感器。在第一到第三實(shí)施方式中，端口 72可以設(shè)置在每個(gè)孔部分73a的一個(gè)端部處。分 支通道52可以分支成多個(gè)端口連接通道，與多個(gè)孔部分73a相對(duì)應(yīng)。每個(gè)端口連接通道連 接到多個(gè)孔部分73a中相應(yīng)一個(gè)的端口 72上。構(gòu)成壓力腔73的一些孔部分73a和其他孔部分73a不必須以直角相交，它們可以傾斜相交。孔部分73a可以是彎曲的。熱敏元件70可以為盒形，盒形的熱敏元件70的內(nèi)部空間可以作為壓力腔73。如 果熱敏元件70被做成盒形，優(yōu)選的是，在其上設(shè)置諸如肋的加強(qiáng)部分，使得熱敏元件70可 以充分承受加壓裝置5的壓力。當(dāng)工件10的內(nèi)部空間11也在工件10的左或右側(cè)的側(cè)表面上開(kāi)口時(shí)，可以設(shè)置額
外的熱敏元件70，使得該額外的熱敏元件70抵靠左或右側(cè)上的側(cè)表面，以封閉側(cè)表面的開(kāi)□。熱敏元件70可以設(shè)置在工件10的上側(cè)，而壓力弓丨入通道形成元件60可以設(shè)置在 工件10的下側(cè)。工件10可以從圖1所示的方式轉(zhuǎn)動(dòng)90度來(lái)放置，且壓力引入通道形成元件60和熱敏元件70可以放置在工件10的左和右側(cè)上。取代從壓力引入通道形成元件60將加壓氣體引入到內(nèi)部空間11中，加壓氣體可以從熱敏元件70引入到內(nèi)部空間11中。由加壓氣體源2提供的加壓氣體不局限于空氣，而是可以為氮?dú)饣蚝獾取囟葴y(cè)量裝置80不局限于電阻溫度計(jì)，而是可以為熱偶溫度計(jì)、液柱溫度計(jì)、雙 金屬片溫度計(jì)、紅外輻射溫度計(jì)或其他類型的溫度計(jì)。溫度測(cè)量裝置80可以僅具有一個(gè)溫度探測(cè)部分81。溫度測(cè)量裝置80可以具有三 個(gè)或多個(gè)溫度探測(cè)部分81。工件10的初始溫度不局限于大約40°C。在設(shè)置于泄漏測(cè)試設(shè)備1中時(shí)，工件10 可以具有更高或更低的溫度。在設(shè)置于泄漏測(cè)試設(shè)備1中時(shí)，工件10不必處于被加熱狀態(tài) 下，而是可以處于室溫或處于被冷卻狀態(tài)。取代包括CPU的控制器100，可以使用模擬電路來(lái)構(gòu)成補(bǔ)償器和判斷器。在第四實(shí)施方式中，溫度測(cè)量裝置90不局限于電阻溫度計(jì)，只要它不是壓力型即 可。溫度測(cè)量裝置90可以是雙金屬片溫度計(jì)、液柱溫度計(jì)、熱偶溫度計(jì)、輻射溫度計(jì)或其他 類型溫度計(jì)。溫度測(cè)量裝置90可以具有多個(gè)溫度探測(cè)部分，如電阻器，該溫度探測(cè)部分彼此間 隔開(kāi)。熱收集部分92不必須一體形成，而是每個(gè)翅片94可以是分開(kāi)的。翅片94可以從 溫度測(cè)量裝置90省略。熱收集部分92可以從溫度測(cè)量裝置90省略。溫度測(cè)量裝置90可 以僅包括一個(gè)測(cè)量裝置主體91。溫度測(cè)量裝置90不必須容納在內(nèi)部空間13中。溫度測(cè)量裝置90可以設(shè)置在內(nèi) 部空間13外側(cè)，或者可以設(shè)置在工件12的外表面上。
權(quán)利要求
一種用于測(cè)試工件的泄漏測(cè)試設(shè)備，該工件具有內(nèi)部空間，該內(nèi)部空間具有開(kāi)放于外表面的開(kāi)口，所述泄漏測(cè)試設(shè)備包括熱敏元件，該熱敏元件包括由高導(dǎo)熱性材料制成的主體，壓力腔形成于該主體的內(nèi)側(cè)；第一引入通道，該第一引入通道將加壓氣體引入到所述內(nèi)部空間中；第一壓力傳感器，該第一壓力傳感器探測(cè)所述內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力，即第一內(nèi)部壓力信息；第二引入通道，該第二引入通道將加壓氣體引入到所述壓力腔中；第二壓力傳感器，該第二壓力傳感器探測(cè)所述壓力腔的內(nèi)部壓力，即第二內(nèi)部壓力信息；補(bǔ)償器，該補(bǔ)償器通過(guò)從所述第一內(nèi)部壓力信息中減去歸因于所述內(nèi)部空間內(nèi)的溫度變化的分量，而基于所述第二內(nèi)部壓力信息來(lái)補(bǔ)償所述第一內(nèi)部壓力信息；以及判斷器，該判斷器基于所補(bǔ)償?shù)牡谝粌?nèi)部壓力信息來(lái)判斷是否存在從所述內(nèi)部空間泄漏，其特征在于，所述主體具有外部側(cè)表面，該外部側(cè)表面抵靠所述工件的外表面，以封閉所述開(kāi)口，所述壓力腔沿著所述外部側(cè)表面布置，并且布置在比所述開(kāi)口更寬的區(qū)域上。
2.如權(quán)利要求1所述的泄漏測(cè)試設(shè)備，其中，所述壓力腔沿著所述工件的外表面形成 在比所述開(kāi)口更寬的區(qū)域上。
3.如權(quán)利要求1所述的泄漏測(cè)試設(shè)備，其中，圍繞所述主體中封閉所述開(kāi)口的部分設(shè) 置有密封件。
4.一種用于測(cè)試工件泄漏的方法，該工件具有內(nèi)部空間，該內(nèi)部空間包括開(kāi)放于外表 面的開(kāi)口，所述方法包括放置步驟，將高導(dǎo)熱性的熱敏元件放置在所述內(nèi)部空間的外側(cè)，使得所述熱敏元件抵 靠所述外表面，以封閉所述內(nèi)部空間到外表面的開(kāi)口 ；第一探測(cè)步驟，在將加壓氣體引入到所述內(nèi)部空間之后，探測(cè)所述內(nèi)部空間的內(nèi)部壓 力，即第一內(nèi)部壓力信息；第二探測(cè)步驟，在將加壓空氣引入到形成于所述熱敏元件內(nèi)側(cè)的壓力腔之后，探測(cè)所 述壓力腔的內(nèi)部壓力，即第二內(nèi)部壓力信息，所述壓力腔沿著所述外表面布置并且布置在 比所述開(kāi)口更寬的區(qū)域上；補(bǔ)償步驟，通過(guò)從所述第一內(nèi)部壓力信息中減去歸因于所述內(nèi)部空間內(nèi)的溫度變化的 分量，基于所述第二內(nèi)部壓力信息補(bǔ)償所述第一內(nèi)部壓力信息；以及判斷步驟，基于所補(bǔ)償?shù)牡谝粌?nèi)部壓力信息來(lái)判斷是否存在從內(nèi)部空間泄漏。
5.如權(quán)利要求4所述的用于測(cè)試工件泄漏的方法，其中，引入所述壓力腔的加壓氣體 的引入壓力高于引入到所述內(nèi)部空間的加壓氣體的引入壓力。
6.如權(quán)利要求4所述的用于測(cè)試工件泄漏的方法，其中，所述工件的外表面中與熱敏 元件抵靠的部分之外的部分的溫度或者所述熱敏元件的溫度是通過(guò)第二溫度測(cè)量裝置測(cè) 量的，并且當(dāng)與第二內(nèi)部壓力信息相比，通過(guò)第二溫度測(cè)量裝置所獲得的溫度信息與第一 內(nèi)部壓力信息更高度相關(guān)時(shí)，替代第二內(nèi)部壓力信息，而基于該溫度信息來(lái)進(jìn)行補(bǔ)償。
7.一種適用于如權(quán)利要求4所述的用于測(cè)試工件泄漏的方法的熱敏元件，其中，所述壓力腔包括多個(gè)彼此平行設(shè)置的第一孔部分和與所述多個(gè)第一孔部分相交的第二孔部分。
8.一種用于測(cè)試工件的泄漏測(cè)試設(shè)備，該工件具有內(nèi)部空間，所述泄漏測(cè)試設(shè)備包括設(shè)置在所述內(nèi)部空間中的溫度測(cè)量裝置，所述溫度測(cè)量裝置測(cè)量響應(yīng)于所述內(nèi)部空間 的溫度的物理量，該物理量不包括壓力；引入通道，該引入通道將加壓氣體引入到在所述工件的內(nèi)部空間的內(nèi)周表面和所述溫 度測(cè)量裝置之間的檢查空間中；壓力傳感器，該壓力傳感器探測(cè)與所述檢查空間相關(guān)的內(nèi)部壓力信息； 補(bǔ)償器，該補(bǔ)償器通過(guò)從所述內(nèi)部壓力信息中減去歸因于檢查空間內(nèi)的溫度變化的分 量，來(lái)基于對(duì)所述物理量的測(cè)量信息來(lái)補(bǔ)償所述內(nèi)部壓力信息；以及判斷器，該判斷器基于所補(bǔ)償?shù)膬?nèi)部壓力信息來(lái)判斷是否存在從檢查空間泄漏。
9.如權(quán)利要求8所述的泄漏測(cè)試設(shè)備，其中，在所述溫度測(cè)量裝置的外周設(shè)置有翅片。
10.一種用于如權(quán)利要求8所述的泄漏測(cè)試設(shè)備的溫度測(cè)量裝置，還包括溫度測(cè)量回 路，該溫度測(cè)量回路具有電阻器，該電阻器的電阻值隨著溫度變化。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種泄漏測(cè)試設(shè)備，通過(guò)該設(shè)備，即使在工件內(nèi)部空間狹窄時(shí)也可以可靠測(cè)量溫度變化。由高導(dǎo)熱性材料制成的熱敏元件(70)的主體(71)抵靠在工件(10)的外表面上，以封閉工件(10)的內(nèi)部空間(11)的開(kāi)口。壓力腔(73)在主體(71)內(nèi)部形成為沿著外表面布置在比開(kāi)口更寬的區(qū)域上。加壓氣體被引入到壓力腔(73)?；谟嘘P(guān)壓力腔(73)的內(nèi)部壓力信息來(lái)補(bǔ)償工件(10)的內(nèi)部空間(11)內(nèi)壓力變化的數(shù)據(jù)，從而進(jìn)行泄漏判斷。
文檔編號(hào)G01M3/26GK101806651SQ201010117008
公開(kāi)日2010年8月18日 申請(qǐng)日期2010年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年2月17日
發(fā)明者佐佐木透 申請(qǐng)人:日本福田株式會(huì)社