專利名稱：一種動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀，屬于先進(jìn)光學(xué)制造與檢測技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
數(shù)字相移干涉儀為目前面形檢測的主流設(shè)備。干涉儀的動態(tài)范圍指儀器所能測量 最大面形誤差和最小面形誤差范圍，通常以能測量的最多傾斜條紋數(shù)來評估。干涉儀以激 光波長作為檢測的“尺度”，從本質(zhì)上決定了具有較高的測量精度，同時(shí)也決定了其測量的 動態(tài)范圍受到一定限制。光學(xué)制造從本質(zhì)上是一個向理論面形逐漸逼近的迭代過程。每一個制造階段都需 要與之精度和測量范圍相適應(yīng)的檢測儀器，通常由多個不同精度和動態(tài)范圍的儀器實(shí)現(xiàn)光 學(xué)制造過程檢測。采用波長為0. 6328um的He_Ne激光器作為光源的相移干涉儀以美國Zygo公司生 產(chǎn)的時(shí)間域機(jī)械相移干涉儀和4D公司生產(chǎn)的空間相移干涉儀為代表，具有較高的測量精 度，但其測量動態(tài)范圍受到一定限制，通常用于光學(xué)元件拋光后期誤差較小時(shí)面形檢測。賀俊等(賀俊，王青，陳磊，相移式泰曼_格林紅外干涉儀調(diào)試技術(shù)，紅外與激光工 程，37 (3) =516-520, 2008.)報(bào)道了一種泰曼-格林型紅外干涉儀。吳永前等(WuYongqian， Zhang Yudong,ffu Fan,et al. ,Far-infrared Fizeau interferometer for largeaspheric mirror, Proc. SPIE,7064 :70640S1-S6, 2008.)報(bào)道了一種菲索型紅外干涉儀。上述干涉儀 采用波長為10. 6um的C02激光器作為光源，比采用波長為0. 6328um的He_Ne激光器作為 光源的干涉儀具有更大的動態(tài)范圍，但其測量精度為微米級，通常用于光學(xué)元件拋光前期 存在較大誤差時(shí)面形檢測。C. Polhemus 提出 了一種雙波長干涉儀(C. Polhemus， Two-ffavelengthlnterferometry, Applied. Optics. 12，2071，1973.)。雙波長干涉儀采用兩 個激光光源，通過產(chǎn)生較長的等效波長作為測量“尺度”，可以較大程度提高干涉儀動態(tài)范 圍。Yeou-Yen Cheng 等(Yeou-Yen Cheng and James C. ffyant Two-wavelength phaseshifting interferometry, Applied Optics, 23 (24) :4539_4543，1984.)將雙波長干 涉技術(shù)和相移技術(shù)結(jié)合起來，提出了一種雙波長相移干涉儀，擴(kuò)展了干涉儀動態(tài)范圍，且儀 器具有相對較高的測量精度。Eugene R. Cochran 等(Eugene R. Cochran and Katherine Creath， Combiningmultiple—subaperture and two-wave1ength techniques to extend the measurementlimits of an optical surface profiler，Applied Optics，27 (10) 1960-1966，1988.)將子孔徑方法和雙波長相移干涉技術(shù)結(jié)合起來，有效增強(qiáng)了光學(xué)輪廓儀 的動態(tài)測量范圍，可測量非球面等深型面形輪廓。綜上所述，采用He-Ne激光器作為光源的單波長干涉儀具有較高的測量精度和相 對較小的動態(tài)范圍。采用長波長激光器作為光源的紅外干涉儀可以提高干涉儀動態(tài)范圍，
3但其測量精度和靈敏度較低。采用雙光源的雙波長干涉儀可以有效提高干涉儀動態(tài)范圍， 但其系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和數(shù)據(jù)處理較復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明的技術(shù)解決方案一種動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀，包括光源、照明系統(tǒng)、擴(kuò)束準(zhǔn) 直系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、菲索平板、PZT(壓電陶瓷)精密傾斜臺、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、被測光學(xué)元件、裝卡 調(diào)整系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、成像系統(tǒng)；光源采用穩(wěn)頻He-Ne激光器或半導(dǎo)體激 光器，經(jīng)過照明系統(tǒng)對光源發(fā)出的光束進(jìn)行光強(qiáng)均化和相干性抑制，以實(shí)現(xiàn)均勻照明和抑 制相干噪聲，然后進(jìn)入擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)，通過分光系統(tǒng)進(jìn)入菲索平板，一部分參考光原路返回 通過分光系統(tǒng)進(jìn)入成像系統(tǒng)，另一部分測試光通過標(biāo)準(zhǔn)鏡頭入射到安裝在裝卡調(diào)整系統(tǒng)上 的被測光學(xué)元件，攜帶被測光學(xué)元件面形誤差信息的測試光原路返回經(jīng)過分光系統(tǒng)入射到 成像系統(tǒng)，與參考光發(fā)生干涉形成的載頻干涉圖被成像系統(tǒng)記錄后送計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處 理系統(tǒng)進(jìn)行相位解算，這樣測試光和參考光束間的傾斜在成像系統(tǒng)的像素間產(chǎn)生了與空間 位置相關(guān)的相移，通過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)控制安裝在PZT精密傾斜臺上的菲索平 板傾斜角大小以控制載頻干涉圖的空間頻率，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)干涉儀的動態(tài)范圍可調(diào)，也可以調(diào) 整干涉儀的靈敏度。所述計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)采用基于傅立葉變換的算法或空間相移算法等 多種算法進(jìn)行相位解算。針對不同空間頻率的載頻干涉圖，采用適合其頻率特征的算法進(jìn) 行優(yōu)化的相位解算，使得相位提取算法工作在最佳范圍內(nèi)，具體實(shí)現(xiàn)如下步驟如下(1)首先由成像系統(tǒng)(11)采集載頻干涉圖，如果載頻干涉圖不能被完全分辨就通 過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(10)對PZT精密傾斜臺的傾斜角度大小實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控制，以保 證載頻干涉圖能夠被成像系統(tǒng)分辨；(2)如果所采集的載頻干涉圖可以被完全分辨，則對干涉圖進(jìn)行空間頻率特征分 析，以選擇適合干涉圖頻率特征的算法進(jìn)行優(yōu)化的相位解算，使得相位提取算法工作在干 涉圖最佳范圍內(nèi)；(3)如果載頻干涉圖空間頻率特征使得傅立葉變換后頻域信號的0、+1和-1級譜 能夠通過濾波分離且不相互混淆，則適合采用基于傅立葉變換的算法，如果不滿足上述條 件，則適合采用空間相移算法；(4)根據(jù)相位計(jì)算結(jié)果可繪制出面形輪廓圖和三維圖。所述計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)被測光學(xué)元件面形誤差分布，對被測光學(xué)元 件不同誤差大小的區(qū)域通過控制菲索平板傾斜角大小產(chǎn)生不同空間頻率的載頻干涉圖，通 過數(shù)據(jù)拼接實(shí)現(xiàn)全孔徑面形檢測。所述成像系統(tǒng)采用lKxlK像素點(diǎn)及以上的高分辨率(XD或CMOS相機(jī)，能夠分辨較 高空間頻率的干涉圖，對應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)能夠支持CCD或CMOS相機(jī)分辨率。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于(1)本發(fā)明的系統(tǒng)中采用可見光激光單光源，避免采用紅外光時(shí)調(diào)整較困難和采 用雙光源時(shí)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和數(shù)據(jù)處理較復(fù)雜問題。(2)本發(fā)明通過計(jì)算機(jī)控制菲索平板傾斜角大小以控制決定空間相移狀態(tài)的條紋 空間頻率，根據(jù)被測光學(xué)元件面形誤差特征實(shí)現(xiàn)相應(yīng)動態(tài)范圍調(diào)整。
(3)本發(fā)明采用多種載頻干涉圖相位解算算法，根據(jù)所采集載頻干涉圖空間頻率 特性進(jìn)行優(yōu)化選擇，確保相位解算具有較高精度。(4)本發(fā)明根據(jù)被測光學(xué)元件面形誤差特征用計(jì)算機(jī)控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)自動實(shí) 施空間載頻控制和相位解算方法優(yōu)化選取。(5)本發(fā)明的干涉儀動態(tài)范圍可以連續(xù)調(diào)整。綜上所述，本發(fā)明無需采用長波長光源和雙光源就能實(shí)現(xiàn)較大的動態(tài)測量范圍， 可用于較大面形誤差檢測。此外，通過調(diào)整載頻干涉圖的空間頻率可以實(shí)現(xiàn)較小面形誤差 檢測。本發(fā)明的干涉儀動態(tài)范圍連續(xù)可調(diào)，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和數(shù)據(jù)處理相對較簡單，且具有較高測 量精度，適用于光學(xué)元件拋光階段較大誤差范圍內(nèi)面形檢測。


圖1為本發(fā)明中提到的動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀示意圖；圖2a、圖2b、圖2c、圖2d為本發(fā)明中提到的不同空間頻率的載頻干涉圖；圖3a、圖3b為本發(fā)明中提到的不同誤差特征的載頻干涉圖；圖4為本發(fā)明中提到的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)流程圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，本發(fā)明主要由光源1、照明系統(tǒng)2、擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)3、分光系統(tǒng)4、菲索 平板5、PZT精密傾斜臺6、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭7、被測光學(xué)元件8、裝卡調(diào)整系統(tǒng)9、計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù) 處理系統(tǒng)10、成像系統(tǒng)11組成。光源1采用穩(wěn)頻He-Ne激光器或半導(dǎo)體激光器，經(jīng)過照明 系統(tǒng)2進(jìn)行光強(qiáng)均化和相干度抑制后進(jìn)入擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)3，通過分光系統(tǒng)4進(jìn)入菲索平板 5，光在進(jìn)入菲索平板5后分為繼續(xù)向被測光學(xué)元件8方向傳播的參考光和反向傳播的測試 光，一部分參考光通過分光系統(tǒng)4進(jìn)入成像系統(tǒng)11，另一部分測試光通過標(biāo)準(zhǔn)鏡頭7入射到 安裝在裝卡調(diào)整系統(tǒng)9上的被測光學(xué)元件8，攜帶被測光學(xué)元件面形誤差信息的測試光經(jīng) 過分光系統(tǒng)入射到成像系統(tǒng)11，與參考光發(fā)生干涉形成的載頻干涉圖被成像系統(tǒng)記錄后送 計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)10進(jìn)行相位解算；測試光和參考光束間的傾斜在CCD像素間產(chǎn) 生了與空間位置相關(guān)的相移，通過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)10控制安裝在PZT精密傾斜 臺6上的菲索平板5傾斜角大小，圖2為不用傾斜角情況下反映被測光學(xué)元件面形誤差特 征典型載頻干涉圖，它們具有不同的空間頻率，具有對應(yīng)的面形誤差特征適應(yīng)性。菲索平板5為一塊帶有urad級小量楔角的平面透鏡，該平面透鏡表面面形精度PV < 1/20波長(632. 8nm),rms < 1/100波長；擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)3為遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)；照明系統(tǒng)對 光源的光強(qiáng)分布進(jìn)行均化調(diào)整和對相干噪聲進(jìn)行抑制。PZT精密傾斜臺6由傾斜調(diào)整架和PZT組成。通過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)10 對PZT的伸縮量大小進(jìn)行控制，進(jìn)而通過機(jī)械傳動使得傾斜調(diào)整架的傾斜角度大小實(shí)現(xiàn)準(zhǔn) 確控制。裝卡調(diào)整系統(tǒng)9為五維調(diào)整架，由自定中心鏡架、二維傾斜調(diào)整架和三維平移臺 組成。自定中心鏡架用于裝卡被測光學(xué)元件，其后面分別安裝二 2維傾斜調(diào)整架和三維平 移臺。成像系統(tǒng)11采用lKxlK像素點(diǎn)及以上的高分辨率(XD或CMOS相機(jī)，能夠分辨圖2所示較高空間頻率的載頻干涉圖，對應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)能夠支持CCD或CMOS相機(jī)分辨率。圖 2 (a)-(d)為不同空間頻率的載頻干涉圖，圖2(a)到圖2(d)其空間頻率逐漸增加。0 2(a) 和(b)為空間頻率相對較低的情況，圖2(c)和(d)為空間頻率相對較高的情況。圖3為不 同誤差特征的空間載頻干涉圖，圖3(a)為較高空間頻率情況下反映誤差特征的載頻干涉 圖，圖3(b)為較低空間頻率情況下反映誤差特征的載頻干涉圖。從圖3(a)紅色方框所示 區(qū)域中可見局部存在較大的條紋偏離，該區(qū)域內(nèi)較高空間頻率的載頻干涉圖不能被成像系 統(tǒng)完全分辨，需要通過控制菲索平板傾斜角大小以使得空間載頻干涉圖具有適當(dāng)?shù)目臻g頻 率(如圖3(b)所示)以被成像系統(tǒng)完全分辨。對圖3(a)中可以分辨的局部干涉圖進(jìn)行數(shù) 據(jù)處理可以得到部分子孔徑數(shù)據(jù)，從圖3(b)可以分辨的局部干涉圖進(jìn)行數(shù)據(jù)處理可以得 到類似子孔徑數(shù)據(jù)，通過數(shù)據(jù)拼接實(shí)現(xiàn)全孔徑面形檢測。這種拼接方法適合用于被測光學(xué) 元件面形誤差大小分布不均勻，變化較復(fù)雜的情況。計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)10采用基于傅立葉變換的算法和空間相移算法等多 種算法進(jìn)行相位解算。具體數(shù)據(jù)處理流程如圖4所示，首先由成像系統(tǒng)11采集載頻干涉圖， 如果載頻干涉圖不能被完全分辨就通過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)10對PZT的伸縮量大 小進(jìn)行控制，進(jìn)而通過機(jī)械傳動使得傾斜調(diào)整架的傾斜角度大小實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控制，以保證載 頻干涉圖能夠被成像系統(tǒng)分辨。如果所采集的載頻干涉圖可以被完全分辨就對其進(jìn)行空間頻率特征分析，以選 擇適合其頻率特征的算法進(jìn)行優(yōu)化的相位解算，使得相位提取算法工作在其最佳范圍內(nèi)。 如果載頻干涉圖空間頻率特征使得傅立葉變換后頻域信號的0、+1和-1級譜能夠通過 濾波分離且不相互混淆，適合采用基于傅立葉變換的算法，適合采用基于傅立葉變換的算 法，具體內(nèi)容可參考(M. Take da, H. Ina, and S. Kobayashi, Fourier-transform method offringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry, J. Opt. Soc. Am. 72，156-160，1982.)和專著 8. 5 章節(jié)內(nèi)容(D. ff. Robinson, Spatial phasemeasurement methods, in Interferogram Analysis, D. Robinson and G. T. Reid, eds. , Instituteof Physics, University of Reading, 1993)?；居?jì)算過禾呈如下載頻干涉圖可以表示如下s (X，y) = g (x，y) +h (x，y) exp [i2 n f0x] +h* (x，y) exp [_i (2 n f0x) ](1)h (x, y) = 0. 5b (x, y) exp [-i O (x, y) ](2)其中*表示復(fù)共軛函數(shù)，f0為空間載頻，s(x，y)為干涉圖光強(qiáng)值，g(x, y)為背景 光強(qiáng)，b(x，y)為干涉圖幅值，O (x，y)為待求解相位值.對(1)式進(jìn)行傅立葉變換，得到 S (fx, fy) = G(fx, fy) +H (fx-f0, fy) +H* (fx+f0, fy)(3)其中(fx，fy)為傅立葉變換的頻域坐標(biāo)，S、G、和H表示式(1)中s、g、h對應(yīng)的傅 立葉變換的頻域變量。G、H、H*分別對應(yīng)傅立葉頻率信號的0、+1和-1級譜。對式(3)得到的結(jié)果進(jìn)行低通濾波以獲得+1級譜S(fx, fy) = H(fx-f0, fy)(4)在傅立葉頻域?qū)κ?4)進(jìn)行坐標(biāo)平移變換，得到S(fx, fy) = H(fx, fy)(5)對上式進(jìn)行傅立葉逆變換，可以得到
h (x，y) = 0. 5b (x, y) exp [_i O (x, y) ](6)相位值可以由如下式得到<formula>formula see original document page 7</formula>(7)如果載頻干涉圖的空間頻率不滿足傅立葉變換算法的上述條件，則采用空間相移 算法，具體內(nèi)容可參考專著8. 2. 6章節(jié)內(nèi)容(D.W.Robinson，Spatial phase measurement methods, in Interferogram Analysis, D. Robinson and G. T. Reid, eds. , Instituteof Physics,University of Reading，1993)。基本計(jì)算過程如下所述，通過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù) 處理系統(tǒng)(10)控制PZT精密傾斜臺使得干涉圖載頻方向?yàn)?5度，這樣載頻干涉圖在水平 和垂直方向相鄰像素間將產(chǎn)生90度相移。利用3x3卷積核可由下式計(jì)算出相位值。<formula>formula see original document page 7</formula>(8)其中①為待計(jì)算相位，S1-S5為3x3窗口內(nèi)載頻干涉圖的光強(qiáng)加權(quán)值。最后根據(jù)相位計(jì)算結(jié)果可繪制出面形輪廓圖和三維圖。本發(fā)明未詳細(xì)闡述部分屬于本領(lǐng)域技術(shù)人員的公知技術(shù)。
權(quán)利要求
一種動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀，其特征在于包括光源(1)、照明系統(tǒng)(2)、擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)(3)、分光系統(tǒng)(4)、菲索平板(5)、PZT精密傾斜臺(6)、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭(7)、被測光學(xué)元件(8)、裝卡調(diào)整系統(tǒng)(9)、計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(10)和成像系統(tǒng)(11)；光源(1)采用穩(wěn)頻He-Ne激光器或半導(dǎo)體激光器，經(jīng)過照明系統(tǒng)(2)進(jìn)行光強(qiáng)均化和相干度抑制后進(jìn)入擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)(3)，通過分光系統(tǒng)(4)進(jìn)入菲索平板(5)，光在進(jìn)入菲索平板(5)后分為繼續(xù)向被測光學(xué)元件(8)方向傳播的參考光和反向傳播的測試光，一部分參考光原路返回通過分光系統(tǒng)(4)進(jìn)入成像系統(tǒng)(11)，另一部分測試光通過菲索平板(5)后經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭(7)入射到安裝在裝卡調(diào)整系統(tǒng)(9)上的被測光學(xué)元件(8)，攜帶被測光學(xué)元件面形誤差信息的測試光原路返回經(jīng)過分光系統(tǒng)入射到成像系統(tǒng)(11)，與參考光發(fā)生干涉形成的載頻干涉圖被成像系統(tǒng)記錄后送計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(10)進(jìn)行相位解算，這樣測試光和參考光束間的傾斜在成像系統(tǒng)(11)的像素間產(chǎn)生了與空間位置相關(guān)的相移，通過計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(10)控制安裝在PZT精密傾斜臺(6)上的菲索平板(5)傾斜角大小以控制載頻干涉圖的空間頻率，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)干涉儀的動態(tài)范圍可調(diào)，也可以調(diào)整干涉儀的靈敏度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀，其特征在于所述計(jì)算機(jī)控制及數(shù) 據(jù)處理系統(tǒng)(10)采用基于傅立葉變換的算法和空間相移算法進(jìn)行相位解算，具體實(shí)現(xiàn)如 下步驟如下(1)首先由成像系統(tǒng)(11)采集載頻干涉圖，如果載頻干涉圖不能被完全分辨就通過計(jì) 算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(10)對PZT精密傾斜臺的傾斜角度大小實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控制，以保證載 頻干涉圖能夠被成像系統(tǒng)分辨；(2)如果所采集的載頻干涉圖可以被完全分辨，則對干涉圖進(jìn)行空間頻率特征分析，以 選擇適合干涉圖頻率特征的算法進(jìn)行優(yōu)化的相位解算，使得相位提取算法工作在干涉圖最 佳范圍內(nèi)；(3)如果載頻干涉圖空間頻率特征使得傅立葉變換后頻域信號的0、+1和-1級譜能夠 通過濾波分離且不相互混淆，則適合采用基于傅立葉變換的算法，如果不滿足上述條件，則 適合采用空間相移算法；(4)根據(jù)相位計(jì)算結(jié)果可繪制出面形輪廓圖和三維圖。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀，其特征在于計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處 理系統(tǒng)(10)根據(jù)被測光學(xué)元件(8)面形誤差分布，對被測光學(xué)元件(8)不同誤差大小的區(qū) 域通過控制菲索平板(7)傾斜角大小產(chǎn)生不同空間頻率的載頻干涉圖，通過數(shù)據(jù)拼接實(shí)現(xiàn) 全孔徑面形檢測。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀，其特征在于所述成像系統(tǒng)(11)采 用lKxlK像素點(diǎn)及以上的高分辨率(XD或CMOS相機(jī)。
全文摘要
一種動態(tài)范圍可調(diào)的干涉儀包括光源、照明系統(tǒng)、擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)、分光系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、PZT精密傾斜臺、菲索平板、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、被測光學(xué)元件、裝卡調(diào)整系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。測試和參考光束間的傾斜在CCD像素間產(chǎn)生了與空間位置相關(guān)的相移，通過計(jì)算機(jī)控制安裝在PZT精密傾斜臺上的菲索平板傾斜角大小以控制所產(chǎn)生的載頻干涉圖的空間頻率，采用基于傅立葉變換的算法和空間相移算法等多種算法進(jìn)行相位解算。針對不同空間頻率的載頻干涉圖，采用適合其頻率特征的算法進(jìn)行優(yōu)化的相位解算，使得相位提取算法工作在最佳范圍內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)高精度相位解算。本發(fā)明可以調(diào)整干涉儀的動態(tài)范圍，具有較大的動態(tài)范圍和較高的測量精度，具有較大的應(yīng)用價(jià)值。
文檔編號G01B9/023GK101819022SQ20101014458
公開日2010年9月1日 申請日期2010年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月9日
發(fā)明者萬勇建, 伍凡, 侯溪, 吳永前, 吳高峰 申請人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所