專利名稱：真空動密封精確傳動裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種傳動裝置，更具體地涉及一種真空動密封精確傳動裝置。
背景技術(shù)：
傳動裝置，可以將動力所提供的運動的方式、方向或速度加以改變，被人們有目的 地加以利用。常見的傳動機構(gòu)，主要有齒輪傳動、皮帶傳動和液壓式傳動，作用傳遞動力的 技術(shù)手段廣泛應用于各種機器設備中。隨著現(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展，對產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)工藝 要求不斷提高，真空技術(shù)成為一門不可缺少的技術(shù)，已被廣泛應用到各個技術(shù)領域中。例如 在利用玻璃基材等薄板制造IXD-TFT顯示屏、有機發(fā)光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能 面板的制程中，大多需要在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管，這類大型玻璃基材的制程通常包 含實施多個連續(xù)步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物 質(zhì)蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程，該制程的工藝要求比較嚴格，大部分必須在真空狀態(tài)下 以及完全潔凈的空間環(huán)境中進行，由于提供真空環(huán)境的真空腔體與大氣環(huán)境的內(nèi)外環(huán)境不 同，真空腔體內(nèi)要求較高的真空度及潔凈度，需要通過傳動裝置實現(xiàn)腔體內(nèi)外動力的傳遞， 此過程中如果密封不好、真空環(huán)境不足將嚴重影響輝光放電的程度，同時空氣中的氧氣和 水汽也會將靶材侵蝕，導致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄膜受到影響。在真空傳動裝置 中，動力源一般由外部傳到內(nèi)部這樣首先就要解決的是傳動系統(tǒng)與真空腔體間的密封，現(xiàn) 有技術(shù)中，對真空腔的動力傳動大都采用動密封傳動，既保持了真空腔體的密封性，又能將 動力平穩(wěn)地傳送至真空腔體內(nèi)，然而，隨著人們對產(chǎn)品質(zhì)量要求的不斷提高，對真空傳動也 提出了更高的要求，現(xiàn)有的真空傳動裝置并未能對傳動速度進行精確控制，未能為腔體內(nèi) 提供精確的動力輸出，因此，需要一種能夠?qū)崿F(xiàn)精確傳動的真空動密封精確傳動裝置來解 決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、傳動平穩(wěn)且精準而又能同時保證真空潔凈度 的真空動密封精確傳動裝置。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種真空動密封精確傳動裝置，包括 齒輪軸、提供真空環(huán)境的真空腔體及位于所述真空腔體外的動密封組件、動密封組件固定 座、第一聯(lián)軸器、電機、電機固定座，所述動密封組件固定座的一端固定在所述真空腔體的 側(cè)壁上，所述動密封組件固定座的另一端與所述電機固定座固定連接，所述動密封組件固 定座開設有空腔，所述動密封組件固定在所述動密封組件固定座上并容置在所述空腔內(nèi)， 所述第一聯(lián)軸器容置在所述空腔內(nèi)并位于所述動密封組件與所述電機固定座之間，所述電 機固定座上開設有安裝孔，所述電機固定在所述電機固定座上，所述電機具有輸出軸，所述 輸出軸穿過所述安裝孔與所述第一聯(lián)軸器連接，所述真空腔體的側(cè)壁對應所述動密封組件 的部位開設有通孔，所述齒輪軸的一端與所述第一聯(lián)軸器連接，另一端穿過所述動密封組 件及所述通孔伸入至真空腔體內(nèi)，所述齒輪軸分別與所述動密封組件及通孔樞接，其中，所述真空動密封精確傳動裝置還包括有測速組件，所述測速組件包括光電傳感器、感應片及 傳感器固定座，所述傳感器固定座固定在所述電機固定座上，所述光電傳感器固定在所述 傳感器固定座上，所述光電傳感器的一側(cè)的兩端水平凸伸形成兩檢測臂，所述檢測臂穿過 所述動密封組件固定座并深入所述空腔內(nèi)，所述感應片同軸固定在所述齒輪軸上并位于所 述光電傳感器的兩檢測臂之間，所述感應片上開設有通槽，所述光電傳感器從一檢測臂的 一端發(fā)送光信號至另一檢測臂。較佳地，所述真空動密封精確傳動裝置還包括有第二聯(lián)軸器、聯(lián)動軸、波紋管、第 一波紋管固定座、第二波紋管固定座及至少兩支柱，所述第二聯(lián)軸器、波紋管、第一波紋管 固定座、第二波紋管固定座及所述支柱均設置在所述真空腔體與動密封組件固定座之間， 所述動密封組件固定座通過所述支柱與所述真空腔體的側(cè)壁固定連接，所述第一波紋管固 定座固定在所述真空腔體的側(cè)壁上，所述第二波紋管固定座固定在所述動密封組件固定座 上，所述波紋管一端與所述第一波紋管固定座固定連接，另一端與所述第二波紋管固定座 固定連接，所述第二聯(lián)軸器懸設在所述波紋管內(nèi)，所述齒輪軸位于真空腔體外的一端與所 述第二聯(lián)軸器固定連接，所述聯(lián)動軸的一端與所述第二聯(lián)軸器固定連接，另一端穿過所述 動密封組件并與所述第一聯(lián)軸器固定連接，所述聯(lián)動軸與所述動密封組件樞接，所述感應 片固定在所述聯(lián)動軸上。通過第二聯(lián)軸器與聯(lián)動軸的設置，方便組裝與檢修，通過波紋管的 設置，加強密封性能，同時可以減少第二聯(lián)軸器占用真空室內(nèi)空間，達到平穩(wěn)傳動的目的。較佳地，所述第一波紋管固定座與真空腔體之間、所述第二波紋管固定座與動密 封組件固定座之間均設有密封圈。通過設置密封圈，加強密封性能，進一步保證真空腔體具 有較高的潔凈度。較佳地，所述通孔與所述齒輪軸之間設有軸承。通過設置軸承能更好地實現(xiàn)齒輪 軸與通孔之間的樞接，同時保護所述齒輪軸與通孔，避免在傳動過程中受損，從而使傳動更
平穩(wěn)可靠。較佳地，所述感應片呈圓盤結(jié)構(gòu)，所述感應片上開設有兩所述通槽，兩所述通槽位 于所述感應片的同一直徑方向上。光電傳感器由一檢測臂一端發(fā)送光信號給另一檢測臂 時，當感應片轉(zhuǎn)動到所述通槽與兩所述檢測臂位于同一平面上，所述光信號能有效被所述 另一檢測臂所接收，即當電機帶動齒輪軸轉(zhuǎn)動時，帶動感應片轉(zhuǎn)動，檢測臂通過接收到的信 號信息可以記錄電機啟動的起始位置，每接收到一次信號，代表轉(zhuǎn)動半圈，通過計算，可以 同步檢測電機傳給真空齒輪軸的實際轉(zhuǎn)速，便于精確控制傳動的轉(zhuǎn)速大小。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的真空動密封精確傳動裝置利用動密封傳動，在同時保 證真空腔體的潔凈度的前提下，在所述真空動密封精確傳動裝置中增設測速組件，在齒輪 軸上同軸固定套設感應片并在感應片上開設通槽，將感應片設于所述光電傳感器的兩檢測 臂之間，結(jié)構(gòu)緊湊，光電傳感器由一檢測臂一端發(fā)送光信號給另一檢測臂，當電機帶動齒輪 軸轉(zhuǎn)動時，同步帶動感應片做旋轉(zhuǎn)運動，當感應片轉(zhuǎn)動到所述通槽與兩所述檢測臂位于同 一平面上時，所述光信號能有效被所述另一檢測臂所接收，通過檢測臂接收到的信號信息 可以記錄電機啟動的起始位置，定義齒輪軸旋轉(zhuǎn)的起始點及旋轉(zhuǎn)角度，便于精確控制電機 輸入真空腔體內(nèi)的轉(zhuǎn)速大小，通過光電傳感器感應并記錄信號，可以同步檢測電機傳給真 空齒輪軸的實際轉(zhuǎn)速，達到精確傳動的目的。


圖1是本發(fā)明真空動密封精確傳動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明測速組件的原理示意圖。
具體實施例方式為了詳細說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實施方式并配合附圖作進 一步說明，其中不同圖中相同的標號代表相同的部件。如上所述，本發(fā)明的真空動密封精 確傳動裝置通過增設測速組件，通過光電傳感器與感應片的配合可記錄電機啟動的起始位 置，并可同步檢測電機傳給齒輪軸的實際轉(zhuǎn)速，能在保證真空潔凈度的同時實現(xiàn)精確、平穩(wěn) 的傳動。參考圖1，本發(fā)明實施例的真空動密封精確傳動裝置，包括齒輪軸10、提供真空環(huán) 境的真空腔體20及位于所述真空腔體20外的動密封組件30、動密封組件固定座32、第一 聯(lián)軸器40、電機50、電機固定座52，所述動密封組件固定座32與所述電機固定座52固定連 接，所述動密封組件固定座32與所述真空腔體20之間設有第二聯(lián)軸器42、波紋管70、第一 波紋管固定座72、第二波紋管固定座74及至少兩支柱80，所述動密封組件固定座32通過 所述支柱80與所述真空腔體20的側(cè)壁固定連接，所述支柱80的具體數(shù)量根據(jù)實際需要而 設。所述第一波紋管固定座72固定在所述真空腔體20的側(cè)壁上，所述第二波紋管固定座 74固定在所述動密封組件固定座32上，所述波紋管70的一端與所述第一波紋管固定座72 固定連接，另一端與所述第二波紋管固定座74固定連接，所述支柱80分布于所述第一波紋 管固定座72、第二波紋管固定座74及所述波紋管70的外圍，所述波紋管70具有中空結(jié)構(gòu)， 所述第二聯(lián)軸器42懸設在所述波紋管70內(nèi)。所述動密封組件固定座32開設有空腔34，所 述動密封組件30固定在所述動密封組件固定座32上并容置在所述空腔34內(nèi)，所述第一聯(lián) 軸器40容置在所述空腔34內(nèi)并位于所述動密封組件30與所述電機固定座52之間，所述 電機固定座52上開設有安裝孔56，所述電機50固定在所述電機固定座52上，所述電機50 具有輸出軸54，所述輸出軸54穿過所述安裝孔56與所述第一聯(lián)軸器40連接固定連接，所 述真空腔體20的側(cè)壁對應所述動密封組件30的部位開設有通孔22，所述齒輪軸10的一端 與所述第二聯(lián)軸器42連接，另一端穿過所述通孔22伸入至真空腔體20內(nèi)，所述齒輪軸10 與通孔22樞接，所述齒輪軸10位于真空腔體20內(nèi)的一端固定套設有一齒輪12，可以通過 齒輪12帶動真空腔體20內(nèi)動力組件動作，所述通孔22與所述齒輪軸10之間設有軸承24 和擋圈。通過設置軸承24能更好地實現(xiàn)齒輪軸10與通孔22之間的樞接，同時保護所述齒 輪軸10與通孔22，避免在傳動過程中受損，從而使傳動更平穩(wěn)可靠。所述真空動密封精確 傳動裝置還包括有聯(lián)動軸14，所述聯(lián)動軸14 一端與所述第二聯(lián)軸器42固定連接，另一端穿 過所述動密封組件30與所述第一聯(lián)軸器40固定連接，所述聯(lián)動軸14與所述動密封組件30 樞接。通過第二聯(lián)軸器42與聯(lián)動軸14的設置，方便組裝與檢修，通過波紋管70的設置，加 強密封性能，同時可以減少第二聯(lián)軸器42占用真空室內(nèi)空間，達到平穩(wěn)傳動的目的。較佳地，所述第一波紋管固定座72與真空腔體20之間、所述第二波紋管固定座74 與動密封組件固定座32之間均設有密封圈90。通過設置密封圈90，加強密封性能，進一步 保證真空腔體20內(nèi)具有較高的潔凈度。配合參考圖2，所述真空動密封精確傳動裝置還包括有測速組件60，所述測速組
5件60包括光電傳感器62、感應片66及傳感器固定座64，所述傳感器固定座64固定在所 述電機固定座52上，所述光電傳感器62固定在所述傳感器固定座64上，所述傳感器固定 座64上可以相應設有線座，用于光電傳感器62實現(xiàn)與外控制機構(gòu)的電連接，工作時，光電 傳感器62與電路控制機構(gòu)電連接。所述光電傳感器62的一側(cè)的兩端水平凸伸形成兩檢測 臂，分別為第一檢測臂65a和第二檢測臂65b，兩檢測臂65a、65b分別穿過所述動密封組件 固定座32并深入所述空腔34內(nèi)，所述感應片66同軸固定在所述聯(lián)動軸14上并位于所述 光電傳感器62的第一檢測臂65a與第二檢測臂65b之間，所述第一檢測臂65a的尾端形成 信號發(fā)送端，所述第二檢測臂65b的尾端形成信號接收端，可以理解地，也可以設置為信號 由第二檢測臂65b發(fā)送，由第一檢測臂65a接收，所述感應片66上開設有通槽67。較佳地， 所述感應片66呈圓盤結(jié)構(gòu)，所述感應片66上開設有兩所述通槽67，兩所述通槽67位于所 述感應片66的同一直徑方向上。光電傳感器62由第一檢測臂65a的一端發(fā)送光信號給第 二檢測臂65b時，當感應片66轉(zhuǎn)動到所述通槽67與兩所述檢測臂65a、65b位于同一平面 上，所述光信號能有效被所述第二檢測臂65b所接收，即當聯(lián)動軸14通過電機50帶動轉(zhuǎn)動 時，同時帶動感應片66轉(zhuǎn)動，第二檢測臂65b通過接收到的信號信息可以記錄電機50啟動 的起始位置，每接收到一次信號，代表轉(zhuǎn)動半圈，通過計算，可以同步檢測電機50傳給聯(lián)動 軸14的實際轉(zhuǎn)速，便于精確控制傳動的轉(zhuǎn)速大小。需要說明的是，本發(fā)明的真空動密封精確傳動裝置的動密封組件固定座32也可 以直接固定在真空腔體20的側(cè)壁上，所述齒輪軸10穿過所述通孔22伸出真空腔體20外 的一端穿過所述動密封組件30與所述第一聯(lián)軸器40固定連接，所述齒輪軸10與所述動密 封組件30樞接，所述感應片66同軸固定在所述齒輪軸10上，所述動密封組件固定座32的 另一端與所述電機固定座52固定連接。繼續(xù)參考圖1及圖2，本發(fā)明實施例的真空動密封精確傳動裝置的工作原理為開 始工作時，光電傳感器62可與一計算機相連，電機50轉(zhuǎn)動，通過輸出軸54與所述第一聯(lián)軸 器40帶動所述聯(lián)動軸14轉(zhuǎn)動，聯(lián)動軸14通過所述第二聯(lián)軸器42帶動齒輪軸10如圖中 箭頭所示做旋轉(zhuǎn)運動，進一步帶動真空腔體20內(nèi)的齒輪12同步轉(zhuǎn)動，由于感應片66同軸 固定在聯(lián)動軸14上，感應片66隨聯(lián)動軸14同步做旋轉(zhuǎn)運動，光電傳感器62由第一檢測臂 65a發(fā)射出光線，由于感應片66位于兩檢測臂65a、65b之間，阻擋光線的傳輸，使第二檢測 臂65b未能接收到光線信號，只有當感應片66轉(zhuǎn)動到所述通槽67與兩所述檢測臂65a、65b 位于同一平面上時，第二檢測臂65b才能接收到光線，記錄第一次接收到的光線的信息，定 義齒輪軸10旋轉(zhuǎn)的起始點及旋轉(zhuǎn)角度，便于精確控制電機50輸入真空腔體20內(nèi)的轉(zhuǎn)速大 小，同時，通過接收到信號的時間間隔可以實時檢測得出電機50傳給真空齒輪軸10的實際 轉(zhuǎn)速，實現(xiàn)精確傳動。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的真空動密封精確傳動裝置利用動密封傳動，在同時保 證真空腔體20的潔凈度的前提下，在所述真空動密封精確傳動裝置中增設測速組件60，在 齒輪軸10上同軸固定套設感應片66并在感應片66上開設通槽67，將感應片66設于所述 光電傳感器62的兩檢測臂65a、65b之間，結(jié)構(gòu)緊湊，光電傳感器62由第一檢測臂65a的一 端發(fā)送光信號給第二檢測臂65b，當電機50帶動齒輪軸10轉(zhuǎn)動時，同步帶動感應片66做 旋轉(zhuǎn)運動，當感應片66轉(zhuǎn)動到所述通槽67與兩所述檢測臂65a、65b位于同一平面上時，所 述光信號能有效被所述第二檢測臂65b所接收，通過第二檢測臂65b接收到的信號信息可以記錄電機50啟動的起始位置，定義齒輪軸10旋轉(zhuǎn)的起始點及旋轉(zhuǎn)角度，便于精確控制電 機50輸入真空腔體20內(nèi)的轉(zhuǎn)速大小，通過光電傳感器62感應并記錄信號，可以同步檢測 電機50傳給真空齒輪軸10的實際轉(zhuǎn)速，達到精確傳動的目的。本發(fā)明實施例的真空動密封精確傳動裝置中的第一波紋管固定座72、第二波紋管 固定座74、動密封組件固定座32、電機固定座52及支柱80之間的固定連接大多通過螺釘 連接來實現(xiàn)，所涉及的動密封組件30的結(jié)構(gòu)及該動密封組件30的密封原理為本領域技術(shù) 人員所知，因此不另描述。以上結(jié)合最佳實施例對本發(fā)明進行了描述，但本發(fā)明并不局限于以上揭示的實施 例，而應當涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進行的修改、等效組合。
權(quán)利要求
一種真空動密封精確傳動裝置，包括齒輪軸、提供真空環(huán)境的真空腔體及位于所述真空腔體外的動密封組件、動密封組件固定座、第一聯(lián)軸器、電機、電機固定座，所述動密封組件固定座的一端固定在所述真空腔體的側(cè)壁上，所述動密封組件固定座的另一端與所述電機固定座固定連接，所述動密封組件固定座開設有空腔，所述動密封組件固定在所述動密封組件固定座上并容置在所述空腔內(nèi)，所述第一聯(lián)軸器容置在所述空腔內(nèi)并位于所述動密封組件與所述電機固定座之間，所述電機固定座上開設有安裝孔，所述電機固定在所述電機固定座上，所述電機具有輸出軸，所述輸出軸穿過所述安裝孔與所述第一聯(lián)軸器連接，所述真空腔體的側(cè)壁對應所述動密封組件的部位開設有通孔，所述齒輪軸的一端與所述第一聯(lián)軸器連接，另一端穿過所述動密封組件及所述通孔伸入至真空腔體內(nèi)，所述齒輪軸分別與所述動密封組件及通孔樞接，其特征在于，還包括有測速組件，所述測速組件包括光電傳感器、感應片及傳感器固定座，所述傳感器固定座固定在所述電機固定座上，所述光電傳感器固定在所述傳感器固定座上，所述光電傳感器的一側(cè)的兩端水平凸伸形成兩檢測臂，所述檢測臂穿過所述動密封組件固定座并深入所述空腔內(nèi)，所述感應片同軸固定在所述齒輪軸上并位于所述光電傳感器的兩檢測臂之間，所述感應片上開設有通槽，所述光電傳感器從一檢測臂的一端發(fā)送光信號至另一檢測臂。
2.如權(quán)利要求1所述的真空動密封精確傳動裝置，其特征在于，還包括有第二聯(lián)軸器、 聯(lián)動軸、波紋管、第一波紋管固定座、第二波紋管固定座及至少兩支柱，所述第二聯(lián)軸器、波 紋管、第一波紋管固定座、第二波紋管固定座及所述支柱均設置在所述真空腔體與動密封 組件固定座之間，所述動密封組件固定座通過所述支柱與所述真空腔體的側(cè)壁固定連接， 所述第一波紋管固定座固定在所述真空腔體的側(cè)壁上，所述第二波紋管固定座固定在所述 動密封組件固定座上，所述波紋管一端與所述第一波紋管固定座固定連接，另一端與所述 第二波紋管固定座固定連接，所述第二聯(lián)軸器懸設在所述波紋管內(nèi)，所述齒輪軸位于真空 腔體外的一端與所述第二聯(lián)軸器固定連接，所述聯(lián)動軸的一端與所述第二聯(lián)軸器固定連 接，另一端穿過所述動密封組件并與所述第一聯(lián)軸器固定連接，所述聯(lián)動軸與所述動密封 組件樞接，所述感應片固定在所述聯(lián)動軸上。
3.如權(quán)利要求2所述的真空動密封精確傳動裝置，其特征在于，所述第一波紋管固定 座與真空腔體之間、所述第二波紋管固定座與動密封組件固定座之間均設有密封圈。
4.如權(quán)利要求1所述的真空動密封精確傳動裝置，其特征在于，所述通孔與所述齒輪 軸之間設有軸承。
5.如權(quán)利要求1所述的真空動密封精確傳動裝置，其特征在于，所述感應片呈圓盤結(jié) 構(gòu)，所述感應片上開設有兩所述通槽，兩所述通槽位于所述感應片的同一直徑方向上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空動密封精確傳動裝置，所述真空動密封精確傳動裝置還包括測速組件，該測速組件包括光電傳感器、感應片及傳感器固定座，光電傳感器固定在傳感器固定座上，光電傳感器的一側(cè)的兩端水平凸伸形成兩檢測臂，感應片同軸固定在向真空腔體內(nèi)傳輸動力的齒輪軸上并位于兩檢測臂之間，結(jié)構(gòu)緊湊，感應片上開設有通槽，光電傳感器從一檢測臂的一端發(fā)送光信號至另一檢測臂，當通槽隨感應片轉(zhuǎn)動到與兩檢測臂位于同一平面時，光信號能有效被另一檢測臂所接收。本發(fā)明的真空動密封精確傳動裝置通過光電傳感器與感應片的配合可記錄電機啟動的起始位置，并可同步檢測電機傳給齒輪軸的實際轉(zhuǎn)速，能在保證真空潔凈度的同時實現(xiàn)精確、平穩(wěn)的傳動。
文檔編號G01P3/36GK101958634SQ20101017113
公開日2011年1月26日 申請日期2010年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月6日
發(fā)明者劉惠森, 張華 , 楊明生, 王勇, 王曼媛, 王銀果, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司