專利名稱：檢查用夾具的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及將預先設定在被檢查物的檢查對象部上的檢查點與實施該檢查的檢 查裝置進行電氣連接的檢查用夾具。
背景技術：
本發(fā)明的檢查用夾具，對于被檢查物所具有的檢查對象部，從檢查裝置對規(guī)定檢 查位置供給電力或電氣信號，并且從檢查對象部檢測電氣信號，由此能夠檢測檢查對象部 的電氣特性，或者進行動作試驗。這種被檢查物，能夠列舉出例如印刷布線基板、柔性基板、陶瓷多層布線基板、液 晶顯示器或等離子顯示器用的電極板、以及半導體封裝用的封裝基板或者膜式載體等各種 基板、半導體晶片或半導體芯片、CSP(Chip size package)等的半導體裝置。在本說明書中，將這些上述的被檢查物統(tǒng)稱為“被檢查物”，將形成在被檢查物的 檢查對象部稱為“檢查部”。以往，在作為被檢查物的一實施方式的電路基板上形成有多個布線。該布線被形 成用于供給電力或流過電氣信號，來使搭載在電路基板上的電氣、電子部件具有期望的功 能。因此，布線不良會導致電路基板的動作不良。為了解決該問題，曾經(jīng)提出過多個判定形成在電路基板、半導體裝置等被檢查物 的布線的對象部是否良好的檢查裝置的發(fā)明。該檢查裝置為了對例如作為被檢查物的基板上所形成的布線是否良好進行判斷， 使用具有與預先設定在布線上的多個檢查點分別連接的多個探針(觸頭)的檢查用夾具來 實施檢查。該檢查用夾具的觸頭的一端被壓接在布線上的檢查點，其另一端被壓接在與基板 檢查裝置電氣連接的電極部。于是，借助該檢查用夾具，從基板檢查裝置供給用于測定布線 的電氣特性的電流、電壓，并且向基板檢查裝置發(fā)送來自布線的電氣信號。近年來，由于技術的進步，半導體裝置變小、基板變小，基板上的布線也隨之形成 得更加細小且復雜。隨著該基板的布線向細小化及復雜化發(fā)展，檢查用夾具所具有的觸頭 也被要求觸頭本身細線化、觸頭間距狹小化、簡單化。例如，在專利文獻1所公開的檢查用夾具中，利用使用筒狀部件的觸頭，該觸頭形 成具有彈簧功能的狹縫。在該專利文獻1的檢查用夾具中，將筒狀的觸頭插入到具有用于 引導保持該觸頭的孔部的保持部件中，由該孔部的大致中央部來保持觸頭。然而，在專利文獻1所公開的檢查用夾具中，為了保持較長的觸頭，而不得不形成 長孔部，存在增加了制造保持部件所需費用的問題。尤其為了應對細線化、間距狹小化，需 要形成細長的孔部，存在成本極高的問題。專利文獻1日本特開平10-288626號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種能夠應對基板的細小化及復雜化，并且被賦予了部件個數(shù)減低及 簡單化的構(gòu)造的檢查用夾具。技術方案1所述的發(fā)明提供一種檢查用夾具，其將成為被檢查對象的被檢查物、 與檢查形成于該被檢查物上的檢查體的電氣特性的檢查裝置進行電氣連接，其特征在于， 具備觸頭，其一端被壓接于預先設定在該被檢查物的檢查體上的規(guī)定的檢查點，另一端與 電氣連接于上述檢查裝置的電極部壓接；第一板狀部件，其具有用于將上述觸頭的一端引 導向上述檢查點的第一引導孔；第二板狀部件，其被配置成與上述第一板狀部件間具有規(guī) 定間隔，并且具有用于將上述觸頭的另一端引導向上述電極部的第二引導孔；和形成有多 個上述電極部的電極體，上述觸頭具備在兩端具有開口部的外側(cè)筒體；和被收容在上述 外側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)且配置成從該外側(cè)筒體的兩端分別突出的內(nèi)側(cè)筒體，上述內(nèi)側(cè)筒體具有 第一筒部，其一端抵接于上述檢查點且該第一筒部被貫通插入到上述第一引導孔中；第一 伸縮部，其形成為與上述第一筒部呈同軸狀且在該內(nèi)側(cè)筒體的長度方向上進行伸縮；第二 筒部，其另一端抵接于上述電極部且該第二筒部貫通插入到上述第二引導孔中，第二伸縮 部，其形成為與上述第二筒部呈同軸狀且在該觸頭的長度方向上進行伸縮；和第三筒部，其 將上述第一伸縮部和上述第二伸縮部連通連結(jié)，上述第一筒部、上述第一伸縮部、上述第三 筒部、上述第二伸縮部和上述第二筒部由一個筒部件形成，上述第三筒部形成有固定上述 外側(cè)筒體和上述內(nèi)側(cè)筒體的連接部，上述第一引導孔形成為具有比上述內(nèi)側(cè)筒體的徑大且 比上述外側(cè)筒體的徑小的孔徑。技術方案2所述的發(fā)明在技術方案1的基礎上提供一種檢查用夾具，其特征在于， 上述觸頭形成為具有相對于該觸頭的中心呈對稱的形狀。技術方案3所述的發(fā)明在技術方案1或2的基礎上提供一種檢查用夾具，其特征 在于，上述內(nèi)側(cè)筒體和上述外側(cè)筒體由以鎳為主成分的合金形成。技術方案4所述的發(fā)明在技術方案1至3中任一項的基礎上提供一種檢查用夾 具，其特征在于，上述外側(cè)筒體的外徑形成為250 μ m以下。技術方案5所述的發(fā)明在技術方案1至4中任一項的基礎上提供一種檢查用夾 具，其特征在于，上述外側(cè)筒體和上述內(nèi)側(cè)筒體各自的壁厚形成為大致5 50 μ m。技術方案6所述的發(fā)明在技術方案1的基礎上提供一種檢查用夾具，其特征在于， 在上述檢查用夾具的觸頭安裝在該檢查用夾具上而未被使用時，上述第一伸縮部為自然 長，上述第二伸縮部處于施力狀態(tài)。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種應對基板的細小化及復雜化，并且具備部件個數(shù)減低 的簡單化構(gòu)造的檢查用夾具。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的檢查用夾具的一實施方式的簡略構(gòu)成圖。圖2示出本發(fā)明所涉及的觸頭一實施方式的簡略構(gòu)成圖，(a)表示內(nèi)側(cè)筒體的截面 圖，(b)表示內(nèi)側(cè)筒體的底面圖，(c)表示外側(cè)筒體的截面圖，(d)表示外側(cè)筒體的底面圖。圖3示出本發(fā)明的觸頭的簡略構(gòu)成圖，表示內(nèi)側(cè)筒體安裝在外側(cè)筒體的狀態(tài)的截 面圖。
圖4是表示將本發(fā)明的觸頭安裝在保持體的狀態(tài)的構(gòu)成圖，用截面來表示第一板 狀部件和第二板狀部件，以說明觸頭的安裝位置。圖5是表示本發(fā)明的檢查用夾具的構(gòu)成圖，示出觸頭安裝于電極部的狀態(tài)，并為 了便于說明，以截面示出保持體和電極體，并以虛線表示觸頭的內(nèi)側(cè)筒體及外側(cè)筒體的內(nèi)壁。符號說明如下1. · ·檢查用夾具；2. · ·觸頭；2a. · ·內(nèi)側(cè)筒體；2al. · ·第一筒部；2a2. · ·第二筒 部；2a3. · ·第三筒部；2a4. · ·第一伸縮部；2a5. · ·第二伸縮部；2b. · ·外側(cè)筒體；2b3. · ·連 接部；3...保持體；31...第一板狀部件；32...第二板狀部件；4...電極體；41...電極部。
具體實施例方式對用于實施本發(fā)明的方式進行說明。圖1是表示本發(fā)明所涉及的檢查用夾具的一實施方式的簡略構(gòu)成圖。本發(fā)明所涉及的檢查用夾具1具有多個觸頭2、將該些觸頭2保持成多針狀的保持 體3、支承該保持體3并具有與觸頭2接觸而成為導通狀態(tài)的電極部的連接電極體4、設置 為從電極部延伸出來并與之電氣連接的導線部5。此外，圖1中作為多個觸頭2雖然示出3根觸頭并且還示出了分別對應的3根導 線部5，但它們可根據(jù)檢查對象的基板所設定的檢查點來決定，而不局限為3根。觸頭2的一端壓接于基板的布線上預先設定的規(guī)定的檢查點，另一端壓接于與檢 查裝置(未圖示)電氣連接的電極部。圖2是本發(fā)明所涉及的觸頭的一實施方式的簡略構(gòu)成圖，(a)表示內(nèi)側(cè)筒體的截 面圖，(b)表示內(nèi)側(cè)筒體的底面圖，(c)表示外側(cè)筒體的截面圖，(d)表示外側(cè)筒體的底面 圖。本發(fā)明所涉及的觸頭2被形成為具有在兩端具有開口部的外側(cè)筒體2b，和被收容 在外側(cè)筒體2b的內(nèi)側(cè)并被配置成從外側(cè)筒體2b的兩端分別突出的內(nèi)側(cè)筒體2a。內(nèi)側(cè)筒體2a具有規(guī)定的長度且由中空狀的圓柱形狀即筒狀部件形成。形成內(nèi)側(cè) 筒體2a的筒狀部件的一端部接觸于檢查點，另一端部接觸于后述的電極部，由此進行檢查 點與電極部間的電氣連接。內(nèi)側(cè)筒體2a具有第一筒部2al、第二筒部2a2、第三筒部2a3、第一伸縮部2a4和 第二伸縮部2a5。該內(nèi)側(cè)筒體2a如圖2(a)所示，依次連通連結(jié)第一筒部2al、第一伸縮部 2a4、第三筒部2a3、第二伸縮部2a5、第二筒部2a2而形成。第一筒部2al的一端抵接于檢查點，并且貫通插入到后述的第一引導孔311 (或者 第一引導上孔311a)中。該第一筒部2al形成為中空狀的圓柱形狀。該第一筒部2al的長 度形成為至少比第一引導孔311的長度長，當?shù)谝煌膊?al被壓接于檢查點時，會沿第一引 導孔滑動。第二筒部2a2的一端抵接于電極部，并且借助外側(cè)筒部2b貫通插入到后述的第二 引導孔321中。該第二筒部2a2形成為中空狀的圓柱形狀。該第二筒部2a2的長度最好形 成得比第二引導孔的長度長，當?shù)诙膊?a2被壓接于電極部時，會沿著貫通插入到第二引導孔321中的外側(cè)筒體2b的內(nèi)壁滑動。此外，第一筒部2al和第二筒部2a2最好具有近似相同的形狀。第一伸縮部2a4形成為與第一筒部2al呈同軸狀，并且形成為在內(nèi)側(cè)筒體2a的長 度方向上進行伸縮。該第一伸縮部2a4具有在筒狀部件上形成狹縫形狀的切口部的螺旋彈 簧形狀部。該螺旋彈簧形狀部起到伸縮的作用。第一伸縮部2a4形成為分別與第一筒部2al的另一端和第三筒部2a3的一端連 結(jié)，與第一筒部2al同軸又同徑。第二伸縮部2a5形成為與第二筒部2a2呈同軸狀，并且形成為在內(nèi)側(cè)筒體2a的長 度方向上進行伸縮。該第二伸縮部2a5具有在筒狀部件上形成狹縫形狀的切口部的螺旋彈 簧形狀部。該螺旋彈簧形狀部起到伸縮的作用。第二伸縮部2a5形成為分別與第二筒部2a2的另一端和第三筒部2a3的另一端連 結(jié)，與第二筒部2a2同軸又同徑。第三筒部2a3形成為連通連結(jié)第一伸縮部2a4和第二伸縮部2a5的中空狀的圓柱 狀。該第三筒部2a3的一端部與第一伸縮部2a4連結(jié)，另一端部與第二伸縮部2a5連結(jié)。該第三筒部2a3形成為與第一伸縮部2a4和第二伸縮部2a5具有同軸且同徑，而 且形成為也與第一筒部2al和第二筒部2a2具有同軸且同徑。該第三筒部2a3的長度形成為可形成與后述的外側(cè)筒體2b連接的連接部的程度 的長度即可，不受特別的限定。此外，圖2(a)中雖然以第三筒部2a3稍向內(nèi)側(cè)凹陷的狀態(tài) 進行表示，但其表示為在與后述的外側(cè)筒體2b固定時所形成的凹陷。第一至第三筒部和第一至第二伸縮部如上所述形成為同軸且同徑，因此上述的筒 部及伸縮部可由一根筒狀部件形成。像這樣，內(nèi)側(cè)筒體2a由一根筒狀部件形成，能夠高效 且容易地形成。此外，在本實施方式中，示出了以第三筒部2a3為中心，第一伸縮部2a4和第二伸 縮部2a5的2個伸縮部形成在對稱的位置，但亦可以第三筒部2a3為中心形成期望數(shù)量的 伸縮部。該內(nèi)側(cè)筒體2a如上所述能夠由一根導電性的筒狀部件形成，能夠形成為外徑 20 250 μ m、內(nèi)徑10 230 μ m、壁厚5 50 μ m。通過形成這樣的尺寸，對于被賦予了細 小化及復雜化的基板的布線、半導體裝置等被檢查物，亦能以簡單化的構(gòu)造的檢查裝置進 行應對。在該內(nèi)側(cè)筒體2a的例子中，以相對其中心呈點對稱或線對稱的方式形成各部位。 這是由于通過形成這樣的對稱形狀，能夠在向后述的基板檢查用夾具的保持體安裝時，無 上下之分地利用觸頭2。內(nèi)側(cè)筒體2a的一端接觸檢查點，其另一端接觸電極部，借助該內(nèi)側(cè)筒體2a實現(xiàn)檢 查點與電極部間的電氣導通，因此內(nèi)側(cè)筒體2a以導電性的材料形成。作為該材料，只要是 具有導電性的材料則不受特別的限定，例如可以列舉出鎳、鎳合金、鈀合金。該內(nèi)側(cè)筒體2a，如上所述，以具有導電性的材料形成，但觸頭2本身也必須根據(jù)被 檢查物的細小化及復雜化實施細線化來形成。尤其為了沿垂直于保持板的方向進行伸縮， 必須使觸頭2本身具有伸縮功能，而在以往的形成使用有繞線的螺旋彈簧的部位的檢查用 夾具中，將取決于卷線自身的直徑的大小，很難形成具有比卷線直徑小4倍左右的直徑的線圈，極難形成外徑在100 μ m以下的螺旋彈簧。即使能夠形成，在組裝性及制造成本上利 用到2000 4000根檢查用夾具也過于昂貴，具有不切實際的問題。然而，本申請發(fā)明通過利用下述的制造方法，能夠更加廉價且容易地制造出細小 的觸頭。關于內(nèi)側(cè)筒體2a可以公開下述兩種制造方法。[制法例1](1)首先，準備形成內(nèi)側(cè)筒體2a的中空部的芯線(未圖示)。其中該芯線使用限 定內(nèi)側(cè)筒體2a的內(nèi)徑的期望粗細(例如，直徑30μπι)的SUS線。(2)之后，對芯線(SUS線)涂覆光致抗蝕劑被膜，包覆該芯線的周面。對該光致抗 蝕劑的期望的部分施以曝光、顯影、加熱處理來形成螺旋狀的掩膜。此時，例如使芯線沿中 心軸旋轉(zhuǎn)，由激光進行曝光，能夠形成螺旋狀的掩膜。為了形成本發(fā)明的內(nèi)側(cè)筒體2a，而形 成為2個伸縮部(第一伸縮部2a4和第二伸縮部2a5)間具有規(guī)定距離(與第三筒體2a3 的長度量相當?shù)木嚯x)。(3)之后，對該芯線實施鍍鎳。此時，由于芯線具有導電性，故未形成光致抗蝕劑掩 膜的部位被鍍鎳。(4)之后，除去光致抗蝕劑掩膜，抽出芯線，按照期望的長度切斷筒體，從而形成內(nèi) 側(cè)筒體2a。當然也可以在完全抽出芯線前切斷筒體。另外，內(nèi)側(cè)筒體2a也可以按照下述的方法來制造。[制法例2]首先，準備如上所述那樣形成內(nèi)側(cè)筒體2a的中空部的芯線(未圖示)。對該芯線鍍鎳達到期望的厚度，從而在芯線的周面形成鍍鎳層。之后，對該鍍鎳層的表面涂覆光致抗蝕劑。對該光致抗蝕劑的期望的部分施以曝 光、顯影、加熱處理從而形成螺旋狀的掩膜。此時，例如使芯線沿中心軸旋轉(zhuǎn)，通過激光曝 光，能夠形成螺旋狀的掩膜。為了形成本發(fā)明的內(nèi)側(cè)筒體2a，而形成為2個伸縮部(第一伸 縮部2a4與第二伸縮部2a5)間具有規(guī)定距離(與第三筒體2a3的長度量相當?shù)木嚯x)。(3)之后，蝕刻除去鍍鎳。此時，未形成光致抗蝕劑掩膜的部位的鍍鎳被除去。(4)之后，除去光致抗蝕劑掩膜，抽出芯線，按照期望的長度切斷筒體，從而形成內(nèi) 側(cè)筒體2a。當然也可以在完全抽出芯線前切斷筒體。以往的使用有繞線的螺旋彈簧方式取決于繞線材料的直徑，很難形成具有比該直 徑小4倍左右的直徑的線圈，極難形成在100 μ m以下的螺旋彈簧?；谏鲜龅闹品ㄖ频玫?本發(fā)明的內(nèi)側(cè)筒體2a，在對芯線鍍鎳而形成期望的形狀后，通過抽出芯線而制造得出，與以 往的使用繞線的螺旋彈簧方式的情況相比，能夠減薄彈簧材料的壁厚，同時能夠高精度且 自如地一并制造細小的外徑及內(nèi)徑。外側(cè)筒體2b形成為具有帶規(guī)定長度的中空部2b2的圓柱形狀。該外側(cè)筒體2b可 以形成為例如外徑20 250 μ m、內(nèi)徑10 230 μ m、壁厚5 50 μ m。通過形成該尺寸，能 夠應對被賦予細小化且復雜化的基板。內(nèi)側(cè)筒體2a同軸地配置于外側(cè)筒體2b的中空部2b2。此時，內(nèi)側(cè)筒體2a的第一 筒部2al和第二筒部2a2配置成分別從外側(cè)筒體2b的開口部延伸出來(參照圖3)。外側(cè)筒體2b的長度，如上所述，形成為具有內(nèi)側(cè)筒體2a的第一筒部2al和第二筒部2a2能夠分別從其開口部延伸出來的長度。另外，該外側(cè)筒體2b優(yōu)選具有內(nèi)側(cè)筒體2a 的第一伸縮部2a4和第二伸縮部2a5被始終收納在外側(cè)筒體2b的中空部2b2的長度。這 是由于，通過將內(nèi)側(cè)筒體2a的兩伸縮部始終收容在外側(cè)筒體2b內(nèi)部，能夠起到兩伸縮部在 伸縮運動時的伸縮方向的引導作用，能夠提高伸縮部的耐久性。圖2 (c)所示的外側(cè)筒體2b在其中央處形成有用于與內(nèi)側(cè)筒體2a固定的連接部 2b3。該連接部2b3，在內(nèi)側(cè)筒體2a收容在外側(cè)筒體2b的中空部2b2且內(nèi)側(cè)筒體2a從外側(cè) 筒體2b的兩開口端延伸出來時，如圖3所示，通過從外側(cè)向內(nèi)側(cè)擠壓(鉚接)外側(cè)筒體2b 的大致中央處，由此將內(nèi)側(cè)筒體2a與外側(cè)筒體2b固定，從而將連接部2b3形成在外側(cè)筒體 2b。因此，該連接部2b3是在收容內(nèi)側(cè)筒體2a后才開始形成的。此外，如圖2(d)所示，外側(cè)筒體2b為了與內(nèi)側(cè)筒體2a固定，其連接部2b3部分的 內(nèi)徑形成得比其他部分小。此外，只要能夠固定連接部2b3的部分，當然亦可對于外側(cè)筒體2b與內(nèi)側(cè)筒體2a 采用激光焊接、電弧焊接、粘結(jié)劑等的其他固定方法。如圖3所示，本發(fā)明的觸頭2中，內(nèi)側(cè)筒體2a配置在外側(cè)筒體2b的中空部2b2，內(nèi) 側(cè)筒體2a的第一筒部2al和第二筒部2a2被配置成從外側(cè)筒體2b的兩開口端延伸出來。該觸頭2外觀上優(yōu)選形成為呈點對稱。以上是對觸頭2的構(gòu)成的說明。本檢查用夾具1具有用于將多個觸頭2保持為多針狀的保持體3。如圖4所示，該保持體3具有第一板狀部件31和第二板狀部件32。上述的板狀部 件由絕緣性的材料形成。第一板狀部件31具有用于將觸頭2的一端引導向檢查點的第一引導孔311。如圖4所示，第一引導孔311形成為將外徑不同的第一引導上孔311a和第一引導 下孔311b連通連結(jié)。第一引導上孔311a形成為具有比內(nèi)側(cè)筒體2a的外徑稍大、且比外側(cè)筒體2b的外 徑稍小的孔徑。第一引導下孔311b形成為具有比外側(cè)筒體2b的外徑稍大的孔徑。因此，觸頭2不會從第一板狀部31的第一引導孔311中脫離。該第一引導孔311如上所述，由2個外徑不同的孔形成，該外徑的差異會被觸頭2 的內(nèi)側(cè)筒體2a與外側(cè)筒體2b的粗細差所卡定。尤其內(nèi)側(cè)筒體2a和外側(cè)筒體2b所產(chǎn)生的 粗細差因筒部都由鎳電鑄層形成而硬度較高，即便與檢查點間重復數(shù)萬次、數(shù)十萬次的滑 動，仍能夠具有很好的耐久性。第二板狀部件32被配置成與第一板狀部件31間具有規(guī)定間隔，并且具有用于將 觸頭2的另一端引導向電極部的第二引導孔321。該第二板狀部件32與第一板狀部件31間的規(guī)定間隔dl設定成比外側(cè)筒體2b的 長度短，且能夠使內(nèi)側(cè)筒體2a和外側(cè)筒體2b的粗細差(邊界)配置于第一板狀部件31的 第一引導孔311內(nèi)。第二引導孔321形成為具有比觸頭2的外側(cè)筒體2b的外徑稍大的孔徑。因此，在 將觸頭2安裝于保持體3時，將從該第二引導孔321側(cè)插入觸頭2。圖5所示的電極體4形成有多個電極部41。電極體4由絕緣材料形成，保持由導
8電性材料形成的電極部41。電極部41與各觸頭2的內(nèi)側(cè)筒體2a的端部接觸而成為導通狀態(tài)，分別與檢查裝 置電氣連接。該電極部41可利用銅導線來形成，將導線的端面(電極部41)和電極體4的 表面配置成幾乎處于相同面(參照圖5)。安裝了觸頭2的保持體3，如圖5所示，被安裝在電極體4上。此時，觸頭2的內(nèi)側(cè) 筒體2a的第二筒部2a2的另一端部和電極體4的電極部41以抵接的方式被定位，并可裝 卸地固定在一起。在保持體3固定于電極體4時，觸頭2的外側(cè)筒體2b會從保持體3的第一板狀部 件31向電極體4側(cè)擠壓。因此，內(nèi)側(cè)筒體2a的第二伸縮部2a5會被壓縮，在該壓縮力的作 用下，第二筒部2a2會對電極部41進行擠壓。也就是說，觸頭2的內(nèi)側(cè)筒體2a和電極部41 處于穩(wěn)定的接觸狀態(tài)。此外，此時為不對第一伸縮部2a4施加物理力的狀態(tài)，具有自然長的 長度。也就是說，在本檢查用夾具1中，在安裝觸頭2時，第一板狀部件31將外側(cè)筒體2b 向電極部41側(cè)擠壓。此時，由于外側(cè)筒體2b和內(nèi)側(cè)筒體2a借助連接部2b被固定，因此第 二伸縮部2a5會被壓接向電極部41。另外，實際在觸頭2與檢查點(內(nèi)側(cè)筒體2a的第一筒部2al)接觸時，第一伸縮部 2a4會根據(jù)該接觸而被壓縮，從而利用該壓縮力相對檢查點穩(wěn)定地接觸。也就是說，通過區(qū)分利用第一伸縮部2a4與第二伸縮部2a5的情形，能夠提高觸頭 2的耐久性，延長壽命。導線部5將電極部41與檢查裝置電氣連接。該導線部5只要能夠與檢查裝置電 氣連接即可，對其尺寸不做特別限定。此外，圖1中，導線部5配置成從檢查用夾具1的下方面延伸出來，能夠從檢查用 夾具1的下方側(cè)與檢查裝置進行連接。
權(quán)利要求
一種檢查用夾具，其將成為被檢查對象的被檢查物、與檢查形成于該被檢查物上的檢查體的電氣特性的檢查裝置進行電氣連接，其特征在于，具備觸頭，其一端被壓接于預先設定在該被檢查物的檢查體上的規(guī)定的檢查點，另一端與電氣連接于所述檢查裝置的電極部壓接；第一板狀部件，其具有用于將所述觸頭的一端引導向所述檢查點的第一引導孔；第二板狀部件，其被配置成與所述第一板狀部件間具有規(guī)定間隔，并且具有用于將所述觸頭的另一端引導向所述電極部的第二引導孔；和形成有多個所述電極部的電極體，所述觸頭具備在兩端具有開口部的外側(cè)筒體；和被收容在所述外側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)且配置成從該外側(cè)筒體的兩端分別突出的內(nèi)側(cè)筒體，所述內(nèi)側(cè)筒體具有第一筒部，其一端抵接于所述檢查點且該第一筒部被貫通插入到所述第一引導孔中；第一伸縮部，其形成為與所述第一筒部呈同軸狀且在該內(nèi)側(cè)筒體的長度方向上進行伸縮；第二筒部，其另一端抵接于所述電極部且該第二筒部貫通插入到所述第二引導孔中，第二伸縮部，其形成為與所述第二筒部呈同軸狀且在該觸頭的長度方向上進行伸縮；和第三筒部，其將所述第一伸縮部和所述第二伸縮部連通連結(jié)，所述第一筒部、所述第一伸縮部、所述第三筒部、所述第二伸縮部和所述第二筒部由一個筒部件形成，所述第三筒部形成有固定所述外側(cè)筒體和所述內(nèi)側(cè)筒體的連接部，所述第一引導孔形成為具有比所述內(nèi)側(cè)筒體的徑大且比所述外側(cè)筒體的徑小的孔徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查用夾具，其特征在于所述觸頭形成為具有相對于該觸頭的中心呈對稱的形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查用夾具，其特征在于 所述內(nèi)側(cè)筒體和所述外側(cè)筒體由以鎳為主成分的合金形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的檢查用夾具，其特征在于 所述外側(cè)筒體的外徑形成為250 μ m以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的檢查用夾具，其特征在于 所述外側(cè)筒體和所述內(nèi)側(cè)筒體各自的壁厚形成為大致5 50 μ m。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查用夾具，其特征在于在所述檢查用夾具的觸頭安裝在該檢查用夾具上而未被使用時，所述第一伸縮部為自 然長，所述第二伸縮部處于施力狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種檢查用夾具，該檢查用夾具能夠應對基板的細小化及復雜化，并且具備部件個數(shù)減低的簡單化構(gòu)造。檢查用夾具，其連接被檢查對象的檢查體和檢查裝置，其特征在于，觸頭具備在兩端具有開口部的外側(cè)筒體和收容在外側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)且配置成從外側(cè)筒體的兩端分別突出的內(nèi)側(cè)筒體，內(nèi)側(cè)筒體具有與檢查點接觸的第一筒部、在內(nèi)側(cè)筒體的長度方向上伸縮的第一伸縮部、另一端抵接于電極部的第二筒部、在該觸頭的長度方向上伸縮的第二伸縮部、和將第一伸縮部與第二伸縮部連通連結(jié)的第三筒部，第一筒部、第一伸縮部、第三筒部、第二伸縮部和第二筒部由一個筒部件形成，第三筒部形成有固定外側(cè)筒體和內(nèi)側(cè)筒體的連接部。
文檔編號G01R1/073GK101900748SQ20101019402
公開日2010年12月1日 申請日期2010年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月29日
發(fā)明者太田憲宏, 春日部進 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社