專利名稱：振子的支撐部件的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及適用于振動式陀螺儀(7 ~ 4 π 7 二一 / )的振子的支撐部件以及支 撐構造。
背景技術：
在車身控制系統(tǒng)中，振動式陀螺儀以及其振子暴露在范圍很大的環(huán)境溫度即高溫 和低溫中。這種使用溫度范圍通常在-40°C +85°C的范圍中，在更加嚴酷的情況下，有時 也在更大的溫度范圍中。尤其，在通過壓電性單晶而形成了振子的場合，有壓電性單晶具有 的溫度特性的影響。本申請人在特開2001-12955號公報中公開了特定方式的噪聲小的振 動式陀螺儀。另外，在特開2001-82962號公報中公開了在環(huán)境溫度變化的場合，為了抑制 檢測振動的Q值變動，將用于連接振子與支撐部件的粘結劑的tan δ在使用溫度范圍內設 為0.1或0.1以下。另外，在專利文獻2中公開了特定形狀的噪聲小的振動式陀螺儀?？墒牵谕鈿?〃、y ’一々、內的底座上固定支撐振子時，根據(jù)支撐狀態(tài)，在特定 的溫度范圍內，在晶體阻抗中產(chǎn)生了峰值狀的溫度漂移。該溫度漂移產(chǎn)生的溫度范圍出現(xiàn) 各種變動，某個振子是從-40°c到+20°C，另外其它振子是從-40°c到+60°C，對此進行控制 很困難。所以必須抑制此峰值狀的溫度漂移，必須至少到-40°C +85°C的范圍之外。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供一種在使用振子的物理量測定裝置中，可以降低檢測信號的 零點溫度漂移這樣的振子支撐構造。第一方式發(fā)明的支撐部件通過連接線(K W 4 W 7 4 ”支撐振子，該支撐 部件具有形成應該配置在振子正下方的開口的支撐板以及連接線，該連接線包含應該連接 在振子上的連接端部；固定到支撐板上的固定部以及折曲部。其特征是連接線從支撐板的 突出開始位置與折曲部的間隔Ll是折曲部與連接端部的間隔L2的10%或者10%以上。 另外，本發(fā)明涉及特征為具有上述支撐部件和由該支撐部件來支撐的振子的振子的支撐構 造ο第二方式發(fā)明的支撐部件是通過連接線支撐振子，其特征是具有形成應該配置在 振子下方的開口的支撐板以及連接線，該連接線有應該連接在振子上的端部；固定到支撐 板上的固定部、從端部延伸的腿部分以及設置在該腿部和固定部之間彎曲部。根據(jù)本發(fā)明的支撐部件以及支撐構造，可以降低如上所述的檢測信號的零點溫度 漂移。以下，參照附圖，對本發(fā)明進行更加詳細的說明。


圖1是表示在本發(fā)明中可以使用的振子IA的一例的俯視圖(驅動振動模式)。圖2是表示在本發(fā)明中可以使用的振子IA的一例的俯視圖(檢測振動模式)。圖3是表示晶體阻抗與頻率以及相位的關系的曲線圖。圖4是表示晶體阻抗與溫度以及驅動相位的關系的曲線圖。圖5是表示頻率與晶體阻抗(電壓/電流)的關系的曲線圖。圖6是表示晶體阻抗與頻率的關系的曲線圖。圖7是表示對于觀測到共振破壞(潰Λ)現(xiàn)象(電流)的樣品的激光多普勒測定 結果的曲線圖。圖8是表示在正常動作的振動式陀螺儀中驅動阻抗的溫度變化的曲線圖。圖9是表示在正常動作的振動式陀螺儀中激光多普勒測定結果的曲線圖。圖10是表示振子IA非支撐時的不需要振動模式D、E、F的立體圖。圖11是表示圖10以及圖12的振動模式的俯視圖。圖12是表示振子IA支撐時的振動模式D、E的立體圖。圖13是概括表示振子IA的支撐構造的一例的截面圖。圖14是概括表示比較例的支撐構造的截面圖。圖15是圖13的支撐構造的俯視圖。圖16是表示在基板32上形成了圖14的支撐構造狀態(tài)的截面圖。圖17是表示在實施例中使用的板狀體23的俯視圖。圖18是表示在實施例中使用的板狀體24的俯視圖。圖19是表示各連接線29以及其導電性端子部分30A 30F的平面形狀的圖。圖20是在實施例中的支撐構造的俯視圖。圖21是在實施例中的支撐構造的截面圖。圖22是第二方式的發(fā)明的支撐構造的截面圖。圖23是第二方式的發(fā)明的支撐構造的截面圖。
具體實施例方式圖1是概括表示本發(fā)明一實施方式的振子1A(驅動振動模式)的俯視圖。圖2是 表示振子IA的檢測振動模式的振動的俯視圖。本例的振子IA具有基部2 ；從基部2伸出的一對檢測振動片13A、13B ；從基部2 伸出的一對連接部5 ；和設置在各連接部5前端的各驅動振動片14A、14B、14C、14D。在各驅動振動片14A 14D的各主面上，分別形成細長的槽，各驅動振動片14A 14D的橫截面形狀大致為H形。在槽內形成驅動電極19。在各驅動振動片14A 14D的各 前端上分別設定幅廣部或者重量部15A、15B、15C、15D，在各幅廣部上分別形成貫通孔17。 在各檢測振動片13A、13B的各主面上分別形成細長的槽，各檢測振動片13A、13B的橫截面 形狀大致為H形。在槽內形成檢測電極20。在各檢測振動片13A、13B的各前端上分別設定 幅廣部或者重量部16A、16B，在各幅廣部上分別形成貫通孔18。圖1表示驅動模式的振動。在驅動時，各驅動振動片14A 14D以向著連接部5 的根部21為中心如箭頭A所示分別進行彎曲振動。在此狀態(tài)中使振子IA繞與振子IA大致垂直延伸的旋轉軸Z旋轉。于是，如圖2所示，連接部5以向著固定部2的根部5a為中 心如箭頭B所示進行彎曲振動。各檢測振動片13A、13B因該反作用而以向著固定部2的根 部為中心如箭頭C所示進行彎曲振動。根據(jù)在各檢測振動片13A、13B上產(chǎn)生的電信號，計 算以Z軸為中心的旋轉角速度。在外殼基板上通過線連接支撐使用了如圖1、圖2所示振子的振動式陀螺儀，在各 種條件下本發(fā)明者進行了旋轉角速度的檢測實驗。此時，在使用了相同振子的場合也看到 了根據(jù)支撐狀態(tài)，在特定溫度范圍中晶體阻抗中產(chǎn)生峰值。以下具體描述此過程。如圖3 所示，當用阻抗測定器測定振子時，能看到晶體阻抗的峰值前端變得平坦這樣的現(xiàn)象。在圖 3中，橫軸是頻率，縱軸(左側)是晶體阻抗，右側是相位。接著，測定了振子的晶體阻抗的溫度特性。即，對于使用了圖3的振子的振動 式陀螺儀，測定驅動阻抗的溫度變化，在圖4中表示了測定結果。在圖4中，橫軸是溫度 (從-40°C到+85°C )，縱軸是驅動阻抗。這樣，例如在+50°C -40°C的區(qū)域中，可以看見在 驅動時的晶體阻抗中峰值狀的變化。與此相反，對于正常動作的振動式陀螺儀，例如如圖8 所示，驅動阻抗在很寬的溫度范圍幾乎是平坦的。另外，對頻率與晶體阻抗(電壓/電流)的關系進行研究，在圖5中表示了其結果。 電壓分別變更為0. 05,0. 1,0. 2,0. 3,0. 4,0. 5伏。其結果，在電壓為0. 05伏時發(fā)現(xiàn)正常的 峰值，但是當電壓為0. 1伏時，峰值被嚴重破壞，當電壓成為0. 2伏或0. 2伏或以上時平坦 區(qū)域變得非常寬，可判明產(chǎn)生了“共振破壞(潰Λ )”。接著，將溫度變更為20°C、25°C、4(TC、6(rC，測定晶體阻抗與頻率的關系，在圖6 中表示了其結果。該結果表明了共振破壞現(xiàn)象根據(jù)溫度而變化。尤其判明了產(chǎn)生共振破壞 現(xiàn)象時的晶體阻抗高度根據(jù)溫度而變化。這表示產(chǎn)生共振破壞時的電流值(破壞電流值) 依存于溫度而進行變化。另外，對于如觀測到共振破壞現(xiàn)象(電流)的上述樣品，進行了激光多普勒測定。 圖7表示其結果。在圖7中，上側的曲線是多普勒輸出，下側的曲線是驅動電壓。表明得到 驅動電壓具有約1/2頻率(fd/2)的多普勒輸出。與此相反，在正常動作的振動式陀螺儀中， 驅動信號和激光多普勒計算的輸出信號的頻率相等，沒有觀測驅動信號具有約1/2頻率的 多普勒輸出(參照圖9)。本發(fā)明者對于具有接近于(fd/2)的頻率的振動模式進行振動模式分析，得到了 以下見解。即，在如圖1、圖2所示的振子(非支撐時)上，存在如在圖10的立體圖以及圖 11的俯視圖中圖示的振動模式。在該振動模式中，細長的連接部5以向著基部2的根部為中 心，如箭頭D所示在Z軸方向(旋轉軸方向)進行彎曲振動。與此同時，各驅動振動片14A、 14B、14C、14D以連接部5的前端作為根部如箭頭E所示在Z軸方向分別進行彎曲振動。并 且，箭頭D的彎曲振動和箭頭E的彎曲振動針對振子平面同相，并且頻率相等。與此同時， 各檢測振動片13A、13B以向著其基部的根部13a為中心，如箭頭F所示在Z軸方向進行彎 曲振動。箭頭F的彎曲振動和箭頭D、E的彎曲振動頻率相等，并且相對于振子平面為逆相。與此相對，當通過線連接法支撐振子IA時，根據(jù)支撐狀態(tài)，產(chǎn)生了如在圖11、圖12 中用箭頭D、E所示的振動模式。該振動模式是在圖10所示的振動模式D、E、F之中僅驅動 振動片以及連接部的振動D、E分離開了的振動模式。具體來說，細長的連接部5以向著基 部2的根部為中心如箭頭D所示在軸方向(旋轉軸方向)進行彎曲振動。與此同時，各驅動振動片14A、14B、14C、14D以連接部5的前端作為根部，如箭頭E所示在Z軸方向分別進 行彎曲振動。并且，箭頭D的彎曲振動和箭頭E的彎曲振動相對于振子平面同相，并且頻 率相等。表明了圖12的彎曲振動模式通過支撐振子而出現(xiàn)，且具有接近于fd/2的共振頻 率。并且，通過適當選定支撐方式或支撐位置，使此振動模式的共振頻率變動，從而可以離 開fd/2 —定量，因此，觀察到了可以抑制在-40°C +85°C中的晶體阻抗峰值的上升。對于該支撐構造，參照附圖進行說明。圖13是概括表示本發(fā)明一實施方式的支撐 部件22的截面圖。在本例中，例如通過層疊金屬板23和絕緣板24來得到支撐板40。在支 撐板40上，在振子IA的下部，形成開口 25。并且，在支撐板40上例如在背面24a側固定連 接線26的固定部26a。該固定方法沒有特別限定，可例示聚酰亞胺系粘結劑。連接線26除具有向著支撐板40背面24a的固定部26a以外，還具有向著開口 25 的突出部26c ；折曲部28 ；通過開口 25內的傾斜部26b ；以及向著振子IA的下面Ib的連接 端部29。連接線26的根數(shù)或位置可以適當變更。在此，根據(jù)本發(fā)明，將連接線26從支撐板40的突出開始位置39和折曲部28的間 隔設為Li，折曲部28和連接端部29的間隔設為L2。并且，將Ll設為L2的10%或者10% 以上。如此，采用了在連接線26中將在開口 25內突出的開口突出部分26c的長度Ll增大 到某種程度以上的方式?？梢杂^察到通過此方式，即使接近于驅動振動的共振頻率的一半 fd/2的振動模式存在，也可以將該頻率從fd/2向低的方向遠離，在很寬的溫度范圍中可以 降低晶體阻抗或輸出的溫度漂移。由此觀點出發(fā)，L1/L2較理想的是30%或30%以上，更 理想的是50 %或50 %以上。與此相反，在圖14所示的支撐部件22A的場合，在連接線26A中，Ll很短，L1/L2例如 不到5%。當是此支撐構造時，最接近于例如如上所述的驅動振動的共振頻率的1Λ的振動的 頻率變高，變得非常容易接近于fd/2。通過相對增大Li，降低該振動的頻率，可以離開fd/2?？墒?，若Ll變得過大時，振子IA從支撐板40的高度變得容易變動，擔心不需要 的振動振幅變大。由此觀點出發(fā)，L1/L2較理想的是在400%或400%以下，更理想的是在 300%或300%以下。另外，在第二方式的發(fā)明中，在連接線上設置應該連接在振子上的端部；固定到支 撐板上的固定部；從端部延伸的腿部；以及彎曲部，該彎曲部被設置在腿部和固定部之間。例如在圖22、圖23的例子中，連接線31、32具有應該連接在振子IA上的端部29 ； 固定到支撐板上的固定部31a、32a;從端部31a、32a延伸的腿部31b、32b ；以及彎曲部31d、 32d，該彎曲部31d、32d被設置在腿部和固定部31a、32a之間。圖22的連接線31還具有筆 直的突出部31c。如此，通過在腿部31b、32b和固定部31a、32a之間設置彎曲部31d、32d， 即使驅動振動接近于共振頻率的一半fd/2的振動模式存在，該頻率也從fd/2向低的方向 遠離，可以在很大的溫度范圍中將晶體阻抗或輸出的溫度漂移降低。在第一以及第二的發(fā)明中理想的是振子具有用于在振子上激振驅動振動的驅動 電極；以及用于檢測在振子上激振的檢測振動的檢測電極，對檢測電極電連接連接線。另外，在第一以及第二的發(fā)明中理想的是振子具有設置有驅動電極的驅動振動 片；設置有檢測電極的檢測振動片；以及在驅動振動片和檢測振動片之間設置的基部。在 此場合特別理想的是連接線的折曲部存在于將基部投影到支撐板上的區(qū)域的外側，并且， 存在于將振子投影到支撐板上的區(qū)域內。即，在圖13的例子中，H是基部2的外邊緣2a的內側區(qū)域(將基部2投影到支撐板40上的區(qū)域)，T是將振子IA投影到支撐板40上的區(qū) 域(振子的外邊緣Ic的內側區(qū)域)。連接線26的折曲部28位于基部2的投影區(qū)域H的外 側，并且位于振子IA的投影區(qū)域T內，即位于環(huán)狀的區(qū)域G內。另外，在第一以及第二的發(fā)明中理想的是連接線的突出開始位置存在于將基部投 影到支撐板上的區(qū)域的外側，并且，存在于將振子投影到支撐板上的區(qū)域內。例如，在圖13 所示的例子中連接線26的突出開始位置39存在于將基部2投影到支撐板40上的區(qū)域H 的外側，并且，存在于將振子IA投影到支撐板40上的區(qū)域T內，即存在于環(huán)狀的區(qū)域G內。在第一以及第二的發(fā)明中在更適合的實施方式中，振子具有連接基部和驅動振動 片的細長連接部。在此場合中最理想的是，實質上沿著平面形成振子，在驅動振動的共振頻 率成為fd時，對于具有最接近于fd/2的共振頻率的振動模式，連接部以向著其基部的根部 為中心向平面外進行彎曲振動，驅動振動片以向著其連接部的根部為中心向平面外進行彎 曲振動，連接部相對于彎曲振動平面的相位和驅動振動片相對于彎曲振動平面的相位相互 同相。此例參照圖10 圖12進行了說明。在第一以及第二的發(fā)明中理想的是支撐部件還具有支撐支撐板的基板，在該基板 上設置與支撐板的開口連通的空腔。因此，在振子在支撐板上振動時，振子與支撐板的表面 接觸，可以防止振動狀態(tài)變化。圖15是概括表示此實施方式的支撐構造的俯視圖，圖16是概括表示該支撐構造 的截面圖。本例的支撐部件22因為與圖13所示的支撐部件22幾乎相同，所以在相同結構 部分使用相同符合，并省略其說明。在本例中，在支撐板40的正下方，還設置與支撐板40 分開的基板32?；?2例如是外殼用基板。在基板32的安裝面32a側形成空腔32b。在 空腔32b上方設置并支撐連接線26以及振子1。此外，在本例中，如圖15所示，使用6根連 接線26。空腔32b的深度h理想的是振子從支撐板40的高度J的一半或一半以上，更理想 的是振子從支撐板40的高度J或J以上。在第二發(fā)明中，腿部的形態(tài)沒有特別限定。例如，腿部可以是筆直的，或者在以如 圖22、23所示的截面進行觀察時可以是彎曲至折曲的。另外，彎曲部31d、32d的曲率半徑(在圖22、圖23所示的截面進行觀察時的曲率 半徑)從降低輸出的溫度漂移這一觀點出發(fā)，較理想的是0. 2mm或0. 2mm以上，更理想的是 0. 3mm或0. 3mm以上。但是，當彎曲部31d、32d的曲率半徑變得過大時，因為振子的振動狀 態(tài)受到影響，由此觀點出發(fā)，較理想的是Imm或Imm以下，更理想的是0. 8mm或0. 8mm以下。另外，在第二發(fā)明的適當實施方式中(參照圖22、圖23)，在作出了接合于固定部 31a、32a的與振子IA相反側的面的第一切線A ；接合于腿部31b、32b的在端部側末端34與 振子相反側的面的第二切線B ；以及第一切線A和第二切線B的交點0時，在第一切線A上 連接線從支撐板的突出開始位置39與交點0的間隔L3是在第二切線B上腿部的端部側末 端34和交點0的間隔L4的10%或10%以上。因此，可以更加有效降低輸出的溫度漂移。 由此觀點出發(fā)，L3/L4較理想的是30 %或30 %以上，更理想的是50 %或50 %以上。另一方 面，當L3變得過大時，振子IA從支撐板40的高度變得容易變動，擔心不需要的振動振幅變 大。由此觀點出發(fā)，L3/L4較理想的是400 %或400 %以下，更理想的是300 %或300 %以下。振子的材料沒有特別限定，但是較理想的是壓電單晶，特別理想的是由水晶、鈮酸 鋰單晶、鉭酸鋰單晶、鈮酸鋰-鉭酸鋰固溶體單晶、硼酸鋰單晶、硅酸鎵鑭單晶等組成的壓
振子的尺寸沒有限定。可是當振子的重量或尺寸較大時，施加在連接線上的重力 變大，在經(jīng)過長時間后有可能連接線變形。為此，由抑制由于連接線變形而導致對振動的影 響的觀點出發(fā)，振子的寬度較理想的是IOmm或IOmm以下，更理想的是5mm或5mm以下。另 外，由同樣的觀點出發(fā)，較理想的是振子的重量為5mg或5mg以下，更理想的是Img或Img以 下。另外，振子的厚度較理想的是0. 3mm或0. 3mm以下，更理想的是0. 2mm或0. 2mm以下?；宓牟牧蠜]有特別限定，可以使用用于所謂的外殼用途的絕緣性材料，例如陶 瓷、玻璃、樹脂。對連接線與振子及支撐板的連接方法沒有限定，較理想的是超聲波連接、點焊、導 電性粘結劑、軟釬焊。連接線與振子的端子部進行電連接。在此，在適合的實施方式中，連接線與振子的 端子部連接。可是，連接線不需要與端子部直接連接。例如，在振子的端子部以外的區(qū)域連 接連接線的前端，可以通過例如振子上的布線或與振子分開的電線，電連接連接線的前端 和端子部。理想的是以不與支撐板直接接觸的狀態(tài)來支撐振子，由此可防止振子的振動損 害。在適合的實施方式中，振子與支撐板的間隔J是0. Imm或0. Imm以上，更理想的是0. 2mm 或0. 2mm以上。連接線的材料沒有特別限定，但是必須是導電性材料，另外較理想的是具有柔軟 性以及柔性的材料。由此觀點出發(fā)，鍍金銅、鍍金鎳、鎳、鋁較理想。連接線的寬度和厚度沒有特別限定，但是從在長時間中穩(wěn)定支撐振子的觀點出 發(fā)，較理想的是寬度是25μπι或25μπι以上，厚度是ΙΟμπι或ΙΟμπι以上，更理想的是寬度 是50 μ m或50 μ m以上，厚度是20 μ m或20 μ m以上。另外，從支撐構造整體小型化這樣的 觀點出發(fā)，寬度是200 μ m或200 μ m以下，厚度是80 μ m或80 μ m以下，更理想的是寬度是 100 μ m或100 μ m以下，厚度是40 μ m或40 μ m以下。在本發(fā)明中應測定的物理量沒有特別限定。在振子上激振驅動振動，由于驅動振 動中的振子的物理量的影響而振子的振動狀態(tài)發(fā)生變化時，將由該振動狀態(tài)的變化通過檢 測電路可檢測的物理量作為對象。作為這樣的物理量特別理想的是施加在振子上的加速 度、角速度、角加速度。另外，作為測定裝置較理想的是振動式陀螺儀等慣性傳感器。實施例(實驗A)制作了具有如圖15、圖16所示形態(tài)的振子以及支撐構造。但是，在本例中，如圖 17 圖21所示變更各構成部分的形態(tài)。具體來說，使用了圖1、圖2所示的振子1A。在厚度0. Imm的水晶Z板的晶片(, 一)上，通過濺射法在規(guī)定位置上形成了厚度為100埃的鉻膜和厚度為1500埃的金
膜。在晶片的兩面被覆保護膜。在碘和碘化鉀的水溶液中浸入該晶片，通過蝕刻除去多余的 金膜，此外在硝酸鈰銨和高氯酸的水溶液中浸入晶片，蝕刻除去了多余的鉻膜。晶片在溫度 為80°C的氟化銨中浸入20小時，蝕刻晶片，形成了振子IA的外形。使用金屬掩模，在厚度 為100埃的鉻膜上作為電極膜形成了厚度為2000埃的金膜。振子IA的尺寸是縱長3. 8mm、 橫寬4. 5mm、厚度0. Imm,重量約是0. 8mg。
在外殼上安裝了振子1A。在此，上側的板狀體23的平面形狀如圖17所示，由不 銹鋼形成。下側的板狀體24的平面形狀如圖18所示，由聚酰亞胺形成?；?2由氧化鋁 陶瓷形成?？涨坏纳疃萮作成0. 1mm。振子IA從支撐板40表面的直立高度J作成0. Imm0 另外，圖19表示各連接線以及各導電端子部30A、30B、30C、30D、30E、30F的形態(tài)。圖20是 表示組合板狀體23、24、振子IA以及各連接線26的狀態(tài)的俯視圖。另外，圖21是表示本例 的支撐構造的截面圖。另外，連接線的接點焊盤由金形成，用金鍍銅膜線制作連接線。銅膜線的厚度為 0. 018mm,寬度為0. 03mm。由超聲波連接法將振子IA的基部2與連接線連接，并固定到支撐 板40上。在溫度試驗槽中放入得到的各振動型陀螺儀，使環(huán)境溫度在-40°C到+85°C之間 變化。并且，對于各樣本，如表1所示地變更L1/L2。使用自激振蕩電路產(chǎn)生驅動振動，確認 有無共振破壞現(xiàn)象。另外，對于各樣品，分析具有最接近于fd/2的共振頻率的振動模式，測 定該共振頻率。使用阻抗測定器測定各振動模式的各共振頻率。結果如表1所示。表1 由表1表明，根據(jù)本發(fā)明調整L1/L2，由此可以防止在_40°C到+85°C之中的共振破 壞現(xiàn)象。另外，也表明突出開始位置、折曲部適于設置在區(qū)域G內。(實驗B)與實驗A同樣制作振子1A，支撐在如圖23所示形態(tài)的支撐裝置上，并安裝到外殼 中。板狀體23、24、基板32與實驗A相同。振子IA從支撐板表面的直立高度為0. 1mm。連 接線的接點焊盤、材料、尺寸、固定方法也與實驗A相同。但是，在圖23中，L3、L4如表2所 示進行了變更。另外，實驗編號5的彎曲部32a的曲率半徑是0. 08mm,實驗編號6的彎曲部 32a的曲率半徑是0. 3mm。對于得到的各振動型陀螺儀，與實施A相同，使用阻抗測定器測定了各振動模式 的各共振頻率。結果如表2所示。表2 如上所述，根據(jù)本發(fā)明可以提供一種在使用振子的物理量測定裝置中，能降低檢
測信號的零電溫度漂移這樣的振子的支撐構造。
權利要求
一種振子的支撐部件，通過連接線支撐振子，其特征在于，具有形成有應該配置在所述振子下方的開口的支撐板以及連接線，該連接線具有應該連接在所述振子上的端部、固定到所述支撐板上的固定部以及折曲部，所述連接線從所述支撐板的突出開始位置與所述折曲部的間隔(L1)是所述折曲部與所述端部的間隔(L2)的10％或者10％以上。
2.一種振子的支撐部件，通過連接線支撐振子，其特征在于，具有形成有應該配置在所述振子下方的開口的支撐板以及連接線，該連接線具有應 該連接在所述振子上的端部、固定到所述支撐板上的固定部、從所述端部延伸的腿部以及 設置在該腿部和所述固定部之間的彎曲部。
3.根據(jù)權利要求2所述的支撐部件，其特征在于，在作出了接合于所述固定部的與所述振子相反側的面的第一切線；接合于所述腿部 的在所述端部側末端與所述振子相反側的面的第二切線；以及第一切線和第二切線的交點 時，在所述第一切線上所述連接線從所述支撐板的突出開始位置與所述交點的間隔(L3) 是在所述第二切線上所述腿部的所述端部側末端和所述交點的間隔(L4)的10%或10%以 上。
4.根據(jù)權利要求1 3中任意一項所述的支撐部件，其特征在于，具有支撐所述支撐板的基板，在該基板上設置與所述開口連通的空腔。
5.根據(jù)權利要求1 4中任意一項所述的支撐部件，其特征在于，在所述支撐板的背面?zhèn)裙潭ㄋ鲞B接線的所述固定部。
6.根據(jù)權利要求1 5中任意一項所述的支撐部件，其特征在于，所述振子具有用于在所述振子上激振驅動振動的驅動電極以及用于檢測在所述振子 上被激振的檢測振動的檢測電極，所述連接線與所述驅動電極或者所述檢測電極電連接。
7.根據(jù)權利要求6所述的支撐部件，其特征在于，所述振子具有設置有所述驅動電極的驅動振動片、設置有所述檢測電極的檢測振動片 以及在所述驅動振動片和所述檢測振動片之間設置的基部。
8.根據(jù)權利要求7所述的支撐部件，其特征在于，所述折曲部存在于將所述基部投影到所述支撐板上的區(qū)域的外側，并且存在于將所述 振子投影到所述支撐板上的區(qū)域內。
9.根據(jù)權利要求7或8所述的支撐部件，其特征在于，所述突出開始位置存在于將所述基部投影到所述支撐板上的區(qū)域的外側，并且存在于 將所述振子投影到所述支撐板上的區(qū)域內。
10.根據(jù)權利要求7 9中任意一項所述的支撐部件，其特征在于，具有連接所述基部和所述驅動振動片的細長連接部。
11.根據(jù)權利要求10所述的裝置，其特征在于，實質上沿著平面形成所述振子，在所述驅動振動的共振頻率為fd時，在具有最接近于 fd/2的共振頻率的振動模式中，所述連接部以向著其所述基部的根部為中心向所述平面 外進行彎曲振動，所述驅動振動片以向著其連接部的根部為中心向所述平面外進行彎曲振 動，所述連接部的彎曲振動相對于所述平面的相位和所述驅動振動片的彎曲振動相對于所 述平面的相位相互同相。
12. —種振子的支撐構造，其特征在于，具有權利要求1 11中任意一項所述的支撐部件和由該支撐部件支撐的振子。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在使用振子的物理量測定裝置中，可以降低檢測信號的零點溫度漂移這樣的振子支撐構造。提供一種通過連接線(26)來支撐振子(1A)的支撐部件(22)。支撐部件(22)具有形成有應該配置在振子(1A)正下方的開口(25)的支撐板(40)以及連接線(26)，該連接線(26)具有應該連接固定在振子(1A)上的連接端部(29)；固定到支撐板(40)上的固定部(26a)；以及存在于開口(25)下的折曲部(28)。連接線(26)從支撐板(40)的突出開始位置(39)與折曲部(28)的間隔(L1)是折曲部(28)與連接端部(29)的間隔(L2)的10％或者10％以上。
文檔編號G01C19/56GK101915574SQ20101022746
公開日2010年12月15日 申請日期2004年10月28日 優(yōu)先權日2003年11月12日
發(fā)明者林茂樹, 石川誠司, 菊池尊行 申請人:精工愛普生株式會社