專利名稱：太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)的間距調(diào)整系統(tǒng)及具有該系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽能領(lǐng)域，關(guān)于一種間距調(diào)整系統(tǒng)及具有該系統(tǒng)的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，尤其是一種可根據(jù)太陽能晶圓寬度尺寸進(jìn)行調(diào)整的間距調(diào)整系統(tǒng)及具有該系統(tǒng)的機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù)：
潔凈能源如太陽能等的需求日增，目前太陽能的主要轉(zhuǎn)換方式是透過太陽能電池將太陽能轉(zhuǎn)換成電能來使用，隨著太陽能電池的普及，在封裝成太陽能電池模塊前，必須先進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量檢測，太陽能電池的檢測也成為本領(lǐng)域技術(shù)人員的重要課題。太陽能電池的缺陷一般可分為內(nèi)部缺陷與外部瑕疵，內(nèi)部缺陷主要是指由于結(jié)構(gòu)性微斷裂造成的微裂(Micro-crake)，雖然這種微裂的裂縫寬度可能很小，甚至僅存在于部分高度范圍，但由于微裂會(huì)阻斷太陽能電池內(nèi)部光電子的傳遞，因此會(huì)明顯降低太陽能電池產(chǎn)生電能的傳輸效率，即使內(nèi)部缺陷尺寸很微小，仍然可能影響輸出電能，尤其在安裝使用一段時(shí)間后，因?yàn)樘柟獾恼丈湟约皽囟鹊淖兓?，微隙將可能?huì)繼續(xù)擴(kuò)大，對于輸出電能的影響也會(huì)增大，若是外部的污染如水(H2O)及氫(H2)的侵入，對于整體而言將造成更大的損壞。因此太陽能電池的明顯破損、缺陷或微裂問題，均為本領(lǐng)域技術(shù)人員檢測時(shí)所著重的標(biāo)的，其中尤以微裂更是自動(dòng)化檢測的困擾所在，而較早期的檢測方法，如圖1所示， 有經(jīng)驗(yàn)的操作人員手持待測太陽能晶圓11輕微搖晃，利用有內(nèi)裂的太陽能電池在搖晃時(shí)會(huì)產(chǎn)生少許異樣聲音，純憑操作人員的耳朵聽聲辨別。當(dāng)然，此種檢測受限于搖晃的力道是否一致，異常聲音也欠缺統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，而且人的聽力非常有限，一旦搖晃的力道過大，還可能直接損壞待測太陽能晶圓11導(dǎo)致破裂，因此檢測的可信度相當(dāng)受到質(zhì)疑。為達(dá)到快速自動(dòng)化檢測及檢測統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，還有現(xiàn)有技術(shù)中如圖2所示的待測太陽能晶圓11，包含一個(gè)收光面111及一組導(dǎo)電總線112，并利用收光面111將所接收光轉(zhuǎn)換為電能，再透過導(dǎo)電總線112輸出特性，請一并參考如圖3所示設(shè)計(jì)一檢測機(jī)臺(tái)，而現(xiàn)有的檢測機(jī)臺(tái)將疊放有多個(gè)待測太陽能晶圓11的入料匣21，透過取放裝置22取出待測太陽能晶圓11，并放置在輸送帶51上，在同一條輸送帶51的輸送路徑上設(shè)有光學(xué)檢測系統(tǒng)4及光照檢測系統(tǒng)3，而光學(xué)檢測系統(tǒng)4為一組攝影裝置，對待測太陽能晶圓11做表面結(jié)構(gòu)的影像擷取用來檢測表面的瑕疵，由光照檢測系統(tǒng)3向待測太陽能晶圓11出光，再驅(qū)動(dòng)探針使其接觸導(dǎo)接至導(dǎo)電總線112進(jìn)行檢測，并依此檢測數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)作為對太陽能晶圓進(jìn)行分類的依據(jù)。然而太陽能晶圓除常見的尺寸如5寸與6寸，尚有較為罕見的4寸產(chǎn)品，除大小的不同外，如圖4所示，以5寸與6寸的太陽能晶圓為例，不同尺寸晶圓的導(dǎo)電總線彼此的間距113、114也會(huì)有所差異，因此，現(xiàn)有檢測機(jī)臺(tái)在進(jìn)行檢測時(shí)，通常只能夠針對單一晶圓尺寸進(jìn)行檢測，若需對不同尺寸的晶圓進(jìn)行檢測，則必需由人力進(jìn)行調(diào)節(jié)、更換相關(guān)設(shè)備， 然而，此種調(diào)節(jié)不僅耗時(shí)費(fèi)工，拖慢生產(chǎn)效率，并且相關(guān)環(huán)節(jié)眾多，一旦操作人員漏失其中
4一環(huán)沒有調(diào)節(jié)到，輕則檢測錯(cuò)誤，重則損壞受測晶圓，不但使成本無謂提高，也使得產(chǎn)出效率因而降低。因此，如何令太陽能晶圓的檢測機(jī)臺(tái)能夠因應(yīng)不同尺寸的太陽能晶圓、迅速調(diào)節(jié)、減少漏失，使得檢測調(diào)節(jié)完全自動(dòng)化，便是本發(fā)明的重點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一目的在提供一種可提供檢測不同尺寸的太陽能晶圓的檢測機(jī)臺(tái)，使自動(dòng)化檢測成為可行。本發(fā)明的又一目的在提供一種依照太陽能晶圓尺寸、自動(dòng)化完全調(diào)整各檢測環(huán)節(jié)裝置的位置及間距的檢測機(jī)臺(tái)，用來減少人為疏漏的機(jī)率。本發(fā)明的另一目的在提供一種具有令太陽能晶圓位于各檢測位置被導(dǎo)正而保持在預(yù)定位置的夾持件，并可依目前檢測的太陽能晶圓尺寸調(diào)整夾持件的夾持間距的間距調(diào)整系統(tǒng)。本發(fā)明的再一目的在提供一種可依目前檢測的太陽能晶圓尺寸調(diào)整受活動(dòng)臂驅(qū)動(dòng)的探針組的彼此間距的間距調(diào)整系統(tǒng)。依照本發(fā)明公開的一種太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)的間距調(diào)整系統(tǒng)，該檢測機(jī)臺(tái)用于檢測多個(gè)不同寬度尺寸的太陽能晶圓，其中該太陽能晶圓具有一個(gè)收光面、及連接該收光面并用于將所接收光能轉(zhuǎn)換為電能輸出而彼此間距與寬度尺寸相關(guān)的導(dǎo)電總線，該檢測機(jī)臺(tái)包含一個(gè)移載該待測太陽能晶圓的移載系統(tǒng)、一組設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)影像擷取位置的光學(xué)檢測系統(tǒng)、及一個(gè)設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)光照受測位置的光照檢測系統(tǒng)，該間距調(diào)整系統(tǒng)包含一組夾持件、用于當(dāng)該受該移載系統(tǒng)承載的待測太陽能晶圓在該至少一個(gè)影像擷取位置及至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，在上述寬度的方向被保持在預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置；一組驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接裝置，包括當(dāng)該受測太陽能晶圓位于該至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，對應(yīng)該受測太陽能晶圓導(dǎo)電總線的導(dǎo)接電極；及一組驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)接電極導(dǎo)接或去導(dǎo)接至該待測太陽能晶圓導(dǎo)接總線的驅(qū)動(dòng)件；而該間距調(diào)整系統(tǒng)還包含一個(gè)受測太陽能晶圓尺寸調(diào)變裝置，包括一組用于輸入受測太陽能晶圓尺寸的輸入界面；一組依照該輸入界面輸入的受測太陽能晶圓尺寸驅(qū)動(dòng)該校準(zhǔn)裝置改變上述夾持件的對應(yīng)寬度、及該導(dǎo)接電極間距的處理器。依照本發(fā)明公開的一種具有間距調(diào)整系統(tǒng)的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，用于檢測多個(gè)不同寬度尺寸的太陽能晶圓，其中該太陽能晶圓具有一個(gè)收光面、及連接該收光面并用于將所接收光能轉(zhuǎn)換為電能輸出而彼此間距與寬度尺寸有關(guān)的導(dǎo)電總線，該檢測機(jī)臺(tái)包含 一個(gè)基座；一個(gè)在該基座上、移載該待測太陽能晶圓的移載系統(tǒng)；一組設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)影像擷取位置的光學(xué)檢測系統(tǒng)；一個(gè)設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)光照受測位置的光照檢測系統(tǒng)；及一組間距調(diào)整系統(tǒng)，包含一組夾持件、用于當(dāng)該受該移載系統(tǒng)承載的待測太陽能晶圓在該至少一個(gè)影像擷取位置及至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，在上述寬度的方向被保持在預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置；而該檢測機(jī)臺(tái)還包含一組驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接裝置， 包括當(dāng)該受測太陽能晶圓位于該至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，對應(yīng)該受測太陽能晶圓導(dǎo)電總線的導(dǎo)接電極；及一組驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)接電極導(dǎo)接或去導(dǎo)接至該待測太陽能晶圓導(dǎo)接總線的驅(qū)動(dòng)件；其中該間距調(diào)整系統(tǒng)還包含一個(gè)受測太陽能晶圓尺寸調(diào)變裝置，包括一組用于輸入受測太陽能晶圓尺寸的輸入界面；一組依照該輸入界面輸入的受測太陽能晶圓尺寸驅(qū)動(dòng)該校準(zhǔn)裝置改變上述夾持件的對應(yīng)寬度、及該導(dǎo)接電極間距的處理器。檢測時(shí)首先由輸送帶將待測太陽能晶圓輸送至光學(xué)檢測系統(tǒng)所對應(yīng)的檢測位置進(jìn)行晶圓表面及顏色檢測作業(yè)，再由輸送帶輸送至光照檢測位置，并透過一組機(jī)械臂令一組探針移動(dòng)接觸至太陽能晶圓的導(dǎo)電總線，再由光照檢測系統(tǒng)向待測太陽能晶圓的收光面發(fā)光進(jìn)行光電檢測，探針會(huì)將導(dǎo)電總線輸出的電能導(dǎo)引出用來分析，其中，在對不同寬度尺寸的太陽能晶圓進(jìn)行檢測時(shí)，則可透過一個(gè)調(diào)變裝置改變夾持件的夾持間距及受機(jī)械臂所驅(qū)動(dòng)的探針組彼此的間距，因此僅使用同一機(jī)臺(tái)即可對各不同寬度尺寸的太陽能晶圓進(jìn)行檢測，最后將各個(gè)檢測數(shù)據(jù)傳至分類系統(tǒng)做為分類的依據(jù)，由于所有用來導(dǎo)引夾制的夾持件、以及用來導(dǎo)出所轉(zhuǎn)換電能的探針組，均是由調(diào)變裝置批次作業(yè)調(diào)節(jié)，不僅可以在受測晶圓尺寸變換時(shí)，完全保有自動(dòng)化作業(yè)的優(yōu)點(diǎn)，不需依賴人力，且不會(huì)有任何遺漏，降低量測錯(cuò)誤甚至破片的機(jī)率，提升產(chǎn)出效率與良率，從而達(dá)成上述所有目的。


圖1是本領(lǐng)域技術(shù)人員聽取搖晃聲音的檢測方式示意圖。圖2是目前常見太陽能晶圓受光面俯視示意圖。圖3是現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是目前常見太陽能晶圓5寸及6寸受光面俯視示意圖。圖5是本發(fā)明第一實(shí)施例的機(jī)臺(tái)俯視示意圖。圖6是本發(fā)明第一實(shí)施例的側(cè)視示意圖。圖7是本發(fā)明第一實(shí)施例的移載系統(tǒng)及間距調(diào)整系統(tǒng)的立體示意圖。圖8是本發(fā)明第一實(shí)施例的翻轉(zhuǎn)器的側(cè)視示意圖。圖9是本發(fā)明第一實(shí)施例的機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)探針進(jìn)行檢測的側(cè)視示意圖。主要組件符號(hào)說明
11待測太陽能晶圓 6
111收光面
112導(dǎo)電總線 113、114 間距
12完測太陽能晶圓 2’ 入料系統(tǒng) 21,21' 入料匣 22、22’取放裝置
3、3’光照檢測系統(tǒng)
4、4’光學(xué)檢測系統(tǒng) 40’、45’光學(xué)檢測位置 41’ 背面檢測器 42’ 收光面檢測器 43’ 分色檢測器 44’ 翻轉(zhuǎn)器 5’ 移載系統(tǒng)
6
’ 基座
V 間距調(diào)整系統(tǒng) 71， 校準(zhǔn)裝置 711’ 夾持件 7111， 固定臂 7112’ 活動(dòng)臂 7113，、7114，主體 7115’、7116’ 緩沖部 72’ 驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接裝置 721，、722，探針 723，、724，機(jī)械臂 8’ 尺寸調(diào)變裝置 81， 輸入界面 82’ 處理器 9’ 分類系統(tǒng) 91’ 多組取放器51,51'輸送帶92， 分類料匣。
具體實(shí)施例方式有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與效果，在以下配合參考圖式的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明中，將可清楚的呈現(xiàn)。而本例的待測太陽能晶圓與現(xiàn)有相同，因此參見圖2及圖4，為多個(gè)同樣是具有檢測具有收光面111、并在收光面111上形成有輸出電能的導(dǎo)電總線112的待測太陽能晶圓 11特性，且各個(gè)待測太陽能晶圓11的寬度尺寸不同，使得各個(gè)各組導(dǎo)電總線112的間距 113,114有所差異。本例的檢測機(jī)臺(tái)如圖5及圖6所示，包含有基座6’、及設(shè)置于基座6’ 上的一系列自動(dòng)化作業(yè)的入料系統(tǒng)2’、移載系統(tǒng)5’、光學(xué)檢測系統(tǒng)4’、光照檢測系統(tǒng)3’、間距調(diào)整系統(tǒng)7’、尺寸調(diào)變裝置8’及分類系統(tǒng)9’。入料系統(tǒng)2’。在本例中包括有多個(gè)取放裝置22’及至少兩個(gè)置放位置，每一置放位置由一組疊置有多個(gè)待測太陽能晶圓11的入料匣21’置放，取放裝置22’從入料匣21’中逐一取出待測太陽能晶圓11。如圖7所示，其中移載系統(tǒng)5’還包括有一道輸送帶51’，并對應(yīng)輸送帶51’上設(shè)置有一組光學(xué)檢測系統(tǒng)4’及光照檢測系統(tǒng)3’，在進(jìn)行檢測作業(yè)時(shí)，首先由各組取放裝置22’ 分別從各入料匣21’內(nèi)將待測太陽能晶圓11取出，并且將待測太陽能晶圓11以收光面111 向下而背面向上的方式，被放置于輸送帶51’上，并輸送至光學(xué)檢測系統(tǒng)4’所對應(yīng)的影像擷取位置，同時(shí)由間距調(diào)整系統(tǒng)V的校準(zhǔn)裝置71’進(jìn)行位置的校準(zhǔn)。在本例中，校準(zhǔn)的方式由校準(zhǔn)裝置71’所包括的夾持件711’進(jìn)行夾持校準(zhǔn)，而夾持件711’由固定臂7111’及活動(dòng)臂7112’所組成，其中夾持導(dǎo)正的方式由活動(dòng)臂7112’，依圖中所示的粗黑箭頭方向，在待測太陽能晶圓11的寬度方向并相對于固定臂7111’進(jìn)行移動(dòng)，令?yuàn)A持件711以向內(nèi)夾持的方向使得在輸送帶51’上的待測太陽能晶圓11被校準(zhǔn)，使得待測太陽能晶圓11可保持預(yù)定的檢測位置，而且，為了避免待測太陽能晶圓11被夾持導(dǎo)正時(shí)發(fā)生不當(dāng)擠壓而造成破裂，因此在固定臂7111’及活動(dòng)臂7112的主體7113’、7114’相向之間，在主體7113’、7114’上設(shè)置一組緩沖部7115，、7116，。然而，為了對于不同待測太陽能晶圓11的寬度尺寸進(jìn)行檢測，可透過受測太陽能晶圓尺寸調(diào)變裝置8’驅(qū)動(dòng)活動(dòng)臂7112’來調(diào)整夾持件711’的夾持間距，而調(diào)整方式首先透過一組輸入界面81’將目前待測太陽能晶圓11的的寬度尺寸輸入至處理器82’，處理器 82’便會(huì)依輸入的寬度尺寸改變夾持件711’對應(yīng)寬度距離的夾持間距。當(dāng)待測太陽能晶圓11已被輸送到光學(xué)檢測位置40’并被夾持件711’夾持校準(zhǔn)后， 則開始進(jìn)行光學(xué)檢測作業(yè)，在本例中，光學(xué)檢測系統(tǒng)4’由作為第一組背面檢測器41’的攝影機(jī)擷取待測太陽能晶圓11的背面影像，影像擷取后如圖8所示，由翻轉(zhuǎn)器44’將待測太陽能晶圓11依箭頭指示方向進(jìn)行翻面，使其收光面111向上而背面向下，用于第二組收光面檢測器42’的攝影機(jī)擷取待測太陽能晶圓11的收光面影像，透過背面檢測器41’及收光面檢測器42’確認(rèn)待測太陽能晶圓11是否有表面瑕疵或布局不良問題。而為了避免翻轉(zhuǎn)過程中待測太陽能晶圓11被放置時(shí)產(chǎn)生歪斜，因此在光學(xué)檢測位置45’也需設(shè)置一個(gè)夾持件711’進(jìn)行位置的夾持校準(zhǔn)；隨后再由作為第三組分色檢測器 43’的攝影機(jī)，針對待測太陽能晶圓11進(jìn)行顏色的判別檢測，并將檢測結(jié)果的數(shù)據(jù)傳輸至一組控制系統(tǒng)，用于驅(qū)動(dòng)后續(xù)的分類系統(tǒng)9’進(jìn)行分類，而在本例中，雖然僅在第一組背面檢測器41’及收光面檢測器42’的影像擷取位置設(shè)有夾持件711’，當(dāng)然也可視需求而在每一組攝影機(jī)所對應(yīng)的影像擷取位置都設(shè)置夾持件711’進(jìn)行校準(zhǔn)。當(dāng)表面檢測作業(yè)完成后，便再由輸送帶51’將待測太陽能晶圓11輸送至光照檢測系統(tǒng)3’所照射對應(yīng)的光電檢測位置，并如圖9所示，由間距調(diào)整系統(tǒng)的一個(gè)對應(yīng)于光電檢測位置設(shè)置的驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接裝置72’中的作為導(dǎo)接電極的一組探針721’、722’，透過一組可以為機(jī)械臂723’、724’的驅(qū)動(dòng)件所驅(qū)動(dòng)，其中探針721’、722’之間的距離可依不同待測太陽能晶圓11的寬度尺寸而做調(diào)整，同樣的可透過上述的受測太陽能晶圓尺寸調(diào)變裝置8’進(jìn)行調(diào)整，由輸入界面81’所輸入的寬度尺透過處理器82’驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂723’、7M’，以改變探針721’、722’之間的距離。當(dāng)待測太陽能晶圓11抵達(dá)至光電檢測位置時(shí)，其經(jīng)由調(diào)整且對應(yīng)待測太陽能晶圓11的寬度尺寸的探針721’、722’將被機(jī)械臂723’、724’驅(qū)動(dòng)而隨即下壓，并穩(wěn)固地導(dǎo)接至該待測太陽能晶圓11的導(dǎo)接總線112，再由光照檢測系統(tǒng)3’發(fā)光并照射至收光面111， 此時(shí)，待測太陽能晶圓11的收光面111恰受光照檢測系統(tǒng)3’發(fā)光的照射，并將光能轉(zhuǎn)換為電能而經(jīng)由導(dǎo)接總線112與探針721’、722’輸出用于檢測。當(dāng)欲將完測的太陽能晶圓將由輸送帶51’輸送往下游的分類系統(tǒng)9’時(shí)，必須先驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂723’、724’將抵壓于該太陽能晶圓導(dǎo)接總線112上的探針721’、722’上移，并依光學(xué)檢測系統(tǒng)4’及探針721’、722’所檢測數(shù)據(jù)結(jié)果進(jìn)行分析，并交給分類系統(tǒng)9’做為完測太陽能晶圓12分類的依據(jù)，并由多組取放器91’將完測太陽能晶圓12放至對應(yīng)的分類料匣92，內(nèi)。本發(fā)明的具有間距調(diào)整系統(tǒng)的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)與現(xiàn)有技術(shù)相互比較時(shí)，因?yàn)閵A持件的夾持間距以及探針組彼此間的間距可調(diào)整并對應(yīng)不同寬度尺寸的太陽能晶圓，所以僅需透過同一機(jī)臺(tái)即可對各種尺寸的太陽能晶圓進(jìn)行檢測，無需為了因應(yīng)不同尺寸的太陽能晶圓而各別添購專屬的檢測機(jī)臺(tái)，對于檢測的公司而言，降低機(jī)臺(tái)的購買量，成本也必然下降，而且也無需為了額外增加的機(jī)臺(tái)另規(guī)劃出放置的地方，因此檢測場地不會(huì)被機(jī)臺(tái)占據(jù)過多的空間而造成不便，從而達(dá)成上述所有目的。以上所述僅本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，不能以此限定本發(fā)明實(shí)施的范圍，即任何根據(jù)本發(fā)明申請專利范圍及發(fā)明說明內(nèi)容所作簡單的等效修改與修飾，都屬于本發(fā)明專利涵蓋的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)的間距調(diào)整系統(tǒng)，該檢測機(jī)臺(tái)用于檢測多個(gè)不同寬度尺寸的太陽能晶圓，其特征在于，該太陽能晶圓具有一個(gè)收光面、及連接該收光面并用于將所接收光能轉(zhuǎn)換為電能輸出而彼此間距與寬度尺寸相關(guān)的導(dǎo)電總線，該檢測機(jī)臺(tái)包含一個(gè)移載該待測太陽能晶圓的移載系統(tǒng)、一組設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)影像擷取位置的光學(xué)檢測系統(tǒng)、及一個(gè)設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)光照受測位置的光照檢測系統(tǒng)，該間距調(diào)整系統(tǒng)包含一組夾持件、用于當(dāng)該移載系統(tǒng)承載的待測太陽能晶圓在該至少一個(gè)影像擷取位置及至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，在上述寬度的方向被保持在預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置；及一個(gè)受測太陽能晶圓尺寸調(diào)變裝置，包括 一組用于輸入受測太陽能晶圓尺寸的輸入界面；及一組依照該輸入界面輸入的受測太陽能晶圓尺寸驅(qū)動(dòng)該校準(zhǔn)裝置改變上述夾持件的對應(yīng)寬度、及導(dǎo)接電極間距的處理器。
2.如權(quán)利要求1所述的間距調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，該間距調(diào)整系統(tǒng)還包含一組驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接裝置，包括當(dāng)該受測太陽能晶圓位于該至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，對應(yīng)該受測太陽能晶圓導(dǎo)電總線的導(dǎo)接電極；及一組驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)接電極導(dǎo)接或去導(dǎo)接至該待測太陽能晶圓導(dǎo)接總線的驅(qū)動(dòng)件。
3.如權(quán)利要求2所述的間距調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)件用來分別驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接電極在一個(gè)接觸該等位上述光照受測位置的受測太陽能晶圓導(dǎo)電總線的接觸位置、與一個(gè)遠(yuǎn)離該接觸位置的待機(jī)位置間升降的機(jī)械臂。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的間距調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，該夾持件具有一個(gè)固定臂、 及一個(gè)在上述寬度方向相對該固定臂移動(dòng)的活動(dòng)臂。
5.如權(quán)利要求1、2或3所述的間距調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于，該固定臂及活動(dòng)臂分別具有一個(gè)主體、及相向設(shè)置在該主體上的緩沖部。
6.一種具有間距調(diào)整系統(tǒng)的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，用于檢測多個(gè)不同寬度尺寸的太陽能晶圓，其特征在于，該太陽能晶圓具有一個(gè)收光面、及連接該收光面并用于將所接收光能轉(zhuǎn)換為電能輸出而彼此間距與寬度尺寸相關(guān)的導(dǎo)電總線，該檢測機(jī)臺(tái)包含一個(gè)基座；一個(gè)在該基座上、移載該待測太陽能晶圓的移載系統(tǒng)； 一組設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)影像擷取位置的光學(xué)檢測系統(tǒng)； 一個(gè)設(shè)置在對應(yīng)該移載系統(tǒng)的至少一個(gè)光照受測位置的光照檢測系統(tǒng)；及一組間距調(diào)整系統(tǒng)，包含包括一組夾持件、用于當(dāng)該移載系統(tǒng)承載的待測太陽能晶圓在該至少一個(gè)影像擷取位置及至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，在上述寬度的方向被保持在預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置； 一組驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接裝置，包括當(dāng)該受測太陽能晶圓位于該至少一個(gè)光照受測位置時(shí)，對應(yīng)該受測太陽能晶圓導(dǎo)電總線的導(dǎo)接電極；及一組驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)接電極導(dǎo)接或去導(dǎo)接至該待測太陽能晶圓導(dǎo)接總線的驅(qū)動(dòng)件；及一個(gè)受測太陽能晶圓尺寸調(diào)變裝置，包括一組用于輸入受測太陽能晶圓尺寸的輸入界面；一組依照該輸入界面輸入的受測太陽能晶圓尺寸驅(qū)動(dòng)該校準(zhǔn)裝置改變上述夾持件的對應(yīng)寬度、及該導(dǎo)接電極間距的處理器。
7.如權(quán)利要求6所述的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，其特征在于，該光學(xué)檢測系統(tǒng)包括一組用來擷取該受測太陽能晶圓收光面影像的收光面檢測器；一組用來擷取該受測太陽能晶圓相反于該收光面的背面影像的背面檢測器；及一組對應(yīng)該移載系統(tǒng)、并在該收光面檢測器與該背面檢測器間翻轉(zhuǎn)該待測太陽能晶圓的翻轉(zhuǎn)器。
8.如權(quán)利要求6或7所述的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，其特征在于，該光學(xué)檢測系統(tǒng)包括一個(gè)用來分辨該受測太陽能晶圓受光面色彩的分色檢測器。
9.如權(quán)利要求6或7所述的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，其特征在于，該夾持件具有一個(gè)固定臂、及一個(gè)在上述寬度方向相對該固定臂移動(dòng)的活動(dòng)臂，且該固定臂和活動(dòng)臂分別具有一個(gè)主體及相向設(shè)置在該主體上的緩沖部。
10.如權(quán)利要求6或7所述的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，其特征在于，該驅(qū)動(dòng)件用來分別驅(qū)動(dòng)導(dǎo)接電極在一個(gè)接觸該等位上述光照受測位置的受測太陽能晶圓導(dǎo)電總線的接觸位置、 與一個(gè)遠(yuǎn)離該接觸位置的待機(jī)位置間升降的機(jī)械臂。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種間距調(diào)整系統(tǒng)及具有該系統(tǒng)的太陽能晶圓檢測機(jī)臺(tái)，屬于太陽能領(lǐng)域。由一道輸送帶輸送太陽能晶圓，機(jī)臺(tái)上設(shè)有表面及顏色檢測的光學(xué)檢測系統(tǒng)、及光照檢測系統(tǒng)，對應(yīng)檢測位置還設(shè)有一夾持件，沿太陽能晶圓寬度方向由外往內(nèi)導(dǎo)引夾制，使其在檢測位置時(shí)不致歪斜，光照檢測則需先移動(dòng)探針組并接觸導(dǎo)接至太陽能晶圓的導(dǎo)電總線，再施加光照至太陽能晶圓并將晶圓發(fā)電由探針導(dǎo)出，此外，還可透過調(diào)變裝置改變夾持件的夾持間距及探針組的間距，用來順應(yīng)太陽能晶圓的不同尺寸，檢測各晶圓特性并傳至分類系統(tǒng)做為分類依據(jù)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK102375111SQ20101025607
公開日2012年3月14日 申請日期2010年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月18日
發(fā)明者賴佳宏 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司