專利名稱：環(huán)型燈源檢驗平臺的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及機電類，為提供一種環(huán)型燈源檢驗平臺，尤指一種可以有效檢驗光 罩上微粒，以提升檢驗物質量的環(huán)型燈源檢驗平臺。
背景技術：
晶圓是制造半導體最重要的材料，而制造晶圓最主要的原料是二氧化硅，將晶 圓片經(jīng)過沈積、蝕刻、加溫、光阻處理、涂布、顯影等數(shù)百道加工程序，一片晶圓依其 不同的尺寸可制造出數(shù)十乃至數(shù)百顆集成電路半導體，而為了制作出具有不同電路以及 電子組件的晶圓，就需要光罩來預先進行設計。光罩，可以說是制作晶圓的模具，當集成電路公司設計出一款芯片的電路設計 圖時，必須將電路設計圖傳給光罩制作公司以進行光罩的制作，光罩制作公司即可以根 據(jù)該電路設計圖而設計規(guī)劃出相對應的光罩。而當電路的設計圖更復雜且更精密，則需 要更多的光罩層數(shù)來設計出相對應的光罩。而由于科技的進步，現(xiàn)有的電子產品的朝向越加的輕、薄、短、小的趨勢進行 發(fā)展，所以若光罩上有著微小的灰塵或是任何微粒，則都有可能導致產品良率不佳等問 題，而為了能夠檢驗出光罩上的微粒，則需要檢驗人員來對該光罩來進行目測檢驗。然而上述光罩在檢驗時，為確實存在下列問題與缺失尚待改進
現(xiàn)有的光罩檢驗都利用一固定光源，檢驗人員再將光罩用光罩夾夾取至燈源下進行 檢驗，檢驗時，檢驗人員將光罩置于燈源下翻轉角度以取得最佳照射視角，而由于光罩 是由檢驗人員夾取，則有可能因人員操作不當，而造成光罩損傷。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種可以有效檢驗光罩上微粒，提升檢驗物質量的 環(huán)型燈源檢驗平臺。解決檢驗時，檢驗人員將光罩置于燈源下翻轉角度以取得最佳照射 視角，而由于光罩是由檢驗人員夾取，則有可能因人員操作不當，而造成光罩損傷的問 題。為了達到上述目的，本發(fā)明包括承置架與復數(shù)發(fā)光件，該承置架包括可供固定 放置一預設光罩的承置平臺與一支撐該承置平臺的支架；而發(fā)光件距該承置架一預定距 離且呈環(huán)繞設置于該承置架，該各發(fā)光件朝向該承置架方向設置。其中
該發(fā)光件設置于一燈架上； 該燈架呈圓形環(huán)繞設置于承置架上； 該燈架呈半圓形環(huán)繞設置于承置架上； 該燈架呈至少一層設置；
該燈架連接有一可供令該燈架自由旋轉的調整件； 該燈架連接有一可供令該燈架上下位移的升降件； 該承置平臺與該支架間設有一可令該承置平臺自由旋轉的調整件；該承置平臺與該支架間設有一可令該承置平臺上下位移的升降件； 該支架組構有一燈源調整件。由于本發(fā)明包括有承置架，該承置架可供放置待檢驗物光罩，并且該承置架可 包括有可令該承置平臺自由旋轉的調整件與升降件，藉此，使用者可以操作該承置架， 以令該光罩放置為自己所需要的檢驗角度、高度；并且，該各發(fā)光件距該承置架一預定 距離且呈環(huán)繞設置于該承置架，該各發(fā)光件可固定設置于一燈架，該燈架同樣可包括有 可令該燈架自由旋轉的調整件與升降件，并可令燈架調整為所需要的角度、高度，藉由 該發(fā)光件的光線的照射，檢驗人員可以清楚的檢驗光罩上的微粒，提高光罩(檢驗物) 的質量，有效的解決光罩掉落的風險。本發(fā)明的優(yōu)點在于本發(fā)明利用了環(huán)型光源來對光罩進行微粒檢驗，改善了已 有光罩檢驗都為燈源固定，而檢驗員再以光罩夾夾取光罩并翻轉光罩進行檢驗，有光罩 掉落損壞的風險，藉由本發(fā)明的檢驗平臺，當進行光罩微粒檢驗時，光罩可以放置于該 承置架上，再通過操作開、關數(shù)個發(fā)光件以對光罩各個角度進行微粒檢驗，有效檢驗光 罩上微粒，并提高光罩質量。


圖1為本發(fā)明較佳實施例的立體圖。圖2為本發(fā)明較佳實施例的立體分解圖。圖3為本發(fā)明較佳實施例的實施示意圖一。圖4為本發(fā)明較佳實施例的實施示意圖二。
具體實施例方式為達成上述目的及功效，本發(fā)明所采用的技術手段及構造，茲繪圖就本發(fā)明較 佳實施例詳加說明其特征與功能如下，以利完全了解。如附圖1與附圖2所示，為本發(fā)明較佳實施例的立體圖與立體分解圖，由圖中可 清楚看出本發(fā)明包括
承置架ι，該承置架1包括有可供固定放置一預設光罩13的承置平臺11與一支撐該 承置平臺11的支架12，該支架12可以自由旋轉或上下位移該承置平臺11，該承置平臺 11與該支架12間設置有一可令該承置平臺11自由旋轉的調整件以及可令該承置平臺11 上下位移的升降件，又該支架12組構有一燈源調整件22 ；
復數(shù)發(fā)光件2，該發(fā)光件2距該承置架1 一預定距離且呈環(huán)繞設置于該承置架1，該 各發(fā)光件2朝該承置架1方向設置，該發(fā)光件2可設置于一燈架21上，而該燈架21可呈 圓形、半圓形、一層或多層環(huán)繞設置于承置架1，該燈架21連接有一可供令該燈架21自 由旋轉的調整件以及可供令該燈架21上下位移的升降件，以及該燈源調整件22可供自由 調整該燈架21的角度，進一步的調整該發(fā)光件2的照射角度。藉由上述的結構、組成設計，茲就本發(fā)明的使用情形說明如下
如附圖3與附圖4所示，為本發(fā)明較佳實施例的實施示意圖一與二，由圖中可清楚看 出，由于本發(fā)明包括有一可供承置光罩13的承置平臺11，藉此，檢驗人員即可以將光罩 13固定放置于該承置平臺11上，而固定方式可利用夾具進行夾持；又因為本發(fā)明包括有
4環(huán)繞于該承置平臺11的數(shù)個發(fā)光件2，該各發(fā)光件2都可以分別的照射出檢驗光線，并且 該各發(fā)光件2呈現(xiàn)環(huán)繞設置，藉此，使用者即可以自由的選擇需要發(fā)光的發(fā)光件2，以針 對該光罩13進行各種不同角度的微粒3檢驗。 其中，由于該檢驗平臺包括有可令該承置平臺11自由旋轉的調整件以及可令該 承置平臺11上下位移的升降件，使用者可以控制該調整件與該升降件以微調該承置平臺 11;再者，該燈架21也包括有可供令該燈架21自由旋轉的調整件以及可供令該燈架21 上下位移的升降件，使用者同樣可以控制該調整件與該升降件以微調該燈架21，藉由上 述結構，使用者可以以全方面的角度來徹底檢驗該光罩13上的微粒3，以避免視覺上的 死角。
權利要求
1.一種環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于一承置架，包括有能夠固定放置一預設光罩的承置平臺與一支撐該承置平臺的支架；復數(shù)發(fā)光件，距該承置架一預定距離且呈環(huán)繞設置于該承置架，該各發(fā)光件朝該承 置架方向設置。
2.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該發(fā)光件設置于一 燈架上。
3.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該燈架呈圓形環(huán)繞 設置于承置架上。
4.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該燈架呈半圓形環(huán) 繞設置于承置架上。
5.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該燈架呈至少一層設置。
6.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該燈架連接有一可 供令該燈架自由旋轉的調整件。
7.根據(jù)權利要求2所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該燈架連接有一可 供令該燈架上下位移的升降件。
8.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該承置平臺與該支 架間設置有一可令該承置平臺自由旋轉的調整件。
9.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該承置平臺與該支 架間設置有一可令該承置平臺上下位移的升降件。
10.根據(jù)權利要求1所述的環(huán)型燈源檢驗平臺，其特征在于其中該支架設置有一燈 源調整件。
全文摘要
本發(fā)明為有關一種環(huán)型燈源檢驗平臺，屬于機電類，包括有承置架與復數(shù)發(fā)光件。該承置架包括有可供固定放置一預設光罩的承置平臺與一支撐該承置平臺的支架；而發(fā)光件距該承置架一預定距離且呈環(huán)繞設置于該承置架，該各發(fā)光件朝該承置架方向設置。藉由上述結構，本發(fā)明除了改善人工夾取光罩可能產生的掉落風險，更可提供多角度的檢驗，以提高光照的質量，避免視覺上的死角。
文檔編號G01N21/88GK102012377SQ20101051435
公開日2011年4月13日 申請日期2010年10月21日 優(yōu)先權日2010年10月21日
發(fā)明者陳俞銘 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司