專利名稱:半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種工具設(shè)備,具體地說是涉及一種半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體基片具有多排多列晶塊,晶塊焊接在基板上,如果其中的一個(gè)晶塊在基板上焊接不良就會(huì)影響半導(dǎo)體基片的性能,檢測晶塊焊接的牢固與否是可以檢測晶塊的導(dǎo)電情況,導(dǎo)電良好,其焊接就牢固,否則就存在假焊現(xiàn)象,在現(xiàn)有技術(shù)中,檢測使用的是萬用表,由于晶塊的線路多,具有使用麻煩的缺點(diǎn);另外,其還具有不適合批量大生產(chǎn)的需求,比較先進(jìn)的萬用表具有多組接頭,也有叫電阻測試電腦,一次可以測量多個(gè)電路的導(dǎo)電情況, 它也具有使用不便的現(xiàn)象。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn),提供一種可以快速自動(dòng)的檢測半導(dǎo)體基片多組線路的導(dǎo)電情況的工具——半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置。本使用新型所采取的技術(shù)方案是,半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置,其特征是它包括測試平臺(tái),測試平臺(tái)兩側(cè)具有多個(gè)接觸端,接觸端連接電阻測試電腦,所述每側(cè)的接觸端連接在一個(gè)平板上,接觸端和平板之間還有彈簧,平板經(jīng)曲軸連接電動(dòng)機(jī),電機(jī)連連接控制開關(guān)。進(jìn)一步的講,所述的測試平臺(tái)的側(cè)部具有光電管,光電管連接控制開關(guān),所述的測試平臺(tái)前部還具有傳送帶。本發(fā)明的有益效果是這樣的測試裝置具有可以快速自動(dòng)的檢測半導(dǎo)體基片多組線路的導(dǎo)電情況的優(yōu)點(diǎn),使用方便。
圖1是本發(fā)明半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、測試平臺(tái)2、接觸端3、平板4、彈簧5、光電管6、傳送帶
具體實(shí)施方案下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。如圖1所示,半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置,其特征是它包括測試平臺(tái)1,測試平臺(tái)ι兩側(cè)具有多個(gè)接觸端2,接觸端2連接電阻測試電腦,所述每側(cè)的接觸端2連接在一個(gè)平板3上,接觸端2和平板3之間還有彈簧4,平板3經(jīng)曲軸連接電動(dòng)機(jī),電機(jī)連連接控制開關(guān)。半導(dǎo)體基片可以在測試平臺(tái)1上進(jìn)行測試,一次測試多組數(shù)據(jù);接觸端2和平板3 之間還有彈簧4,是為了接觸端和晶粒接觸的更好。
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進(jìn)一步的講,所述的測試平臺(tái)1的側(cè)部具有光電管5,光電管5連接控制開關(guān),所述的測試平臺(tái)1前部還具有傳送帶6。所述的半導(dǎo)體基片經(jīng)過光電管5可以發(fā)出信號(hào),使電動(dòng)機(jī)運(yùn)動(dòng)、接觸端2接觸所測的晶塊。設(shè)置傳送帶,可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體基片的自動(dòng)上料。
權(quán)利要求
1.半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置,其特征是它包括測試平臺(tái),測試平臺(tái)兩側(cè)具有多個(gè)接觸端,接觸端連接電阻測試電腦,所述每側(cè)的接觸端連接在一個(gè)平板上,接觸端和平板之間還有彈簧,平板經(jīng)曲軸連接電動(dòng)機(jī),電機(jī)連連接控制開關(guān)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征是所述的測試平臺(tái)的側(cè)部具有光電管,光電管連接控制開關(guān),所述的測試平臺(tái)前部還具有傳送帶。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是涉及一種半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置。半導(dǎo)體基片導(dǎo)電自動(dòng)測試裝置,其特征是它包括測試平臺(tái),測試平臺(tái)兩側(cè)具有多個(gè)接觸端,接觸端連接電阻測試電腦,所述每側(cè)的接觸端連接在一個(gè)平板上,接觸端和平板之間還有彈簧,平板經(jīng)曲軸連接電動(dòng)機(jī),電機(jī)連連接控制開關(guān)。進(jìn)一步的講,所述的測試平臺(tái)的側(cè)部具有光電管,光電管連接控制開關(guān),所述的測試平臺(tái)前部還具有傳送帶。具有可以快速自動(dòng)的檢測半導(dǎo)體基片多組線路的導(dǎo)電情況的優(yōu)點(diǎn),使用方便。
文檔編號(hào)G01R31/02GK102455393SQ20101051771
公開日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2010年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月25日
發(fā)明者宋暖, 張志輝, 歐陽進(jìn)民 申請(qǐng)人:河南久大電子電器有限公司