專利名稱：可自清洗的過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及測試分析技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于水質(zhì)分析儀的可自清洗的 過濾裝置。
背景技術(shù)：
目前，微電子工業(yè)的發(fā)展水平已成為衡量一個國家的科學(xué)技術(shù)水平和經(jīng)濟(jì)發(fā)展實 力的重要標(biāo)志，成為實現(xiàn)國民經(jīng)濟(jì)信息化的最關(guān)鍵的技術(shù)基礎(chǔ)和國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支 柱。它的發(fā)展水平體現(xiàn)一個國家的科技水平和經(jīng)濟(jì)實力。而且微電子業(yè)的飛速發(fā)展還會帶 動和影響各行各業(yè)的發(fā)展，特別是計算機(jī)、航空航天、軍事工業(yè)及信息產(chǎn)業(yè)等高科技產(chǎn)業(yè)。在集成電路的制造過程中，從原材料到產(chǎn)品，需要進(jìn)行幾百道加工工序，而且隨著 集成電路集成度的增加，產(chǎn)品加工次數(shù)也不斷加多。這期間如果遭受污染就會引起產(chǎn)品的 大量報廢，使成品率下降。在產(chǎn)品加工過程中主要有以下污染源影響產(chǎn)品的質(zhì)量，如空氣中 的塵埃微粒、工業(yè)用氣體中的雜質(zhì)、水中的雜質(zhì)及微生物、人身上的塵埃及細(xì)菌、電磁干擾、 噪聲及微振動。因此，要提高集成電路制造技術(shù)，除了解決材料、加工機(jī)械及圖形設(shè)計技術(shù) 外，還應(yīng)做好對加工環(huán)境的污染控制。純水作為生產(chǎn)環(huán)境的一個組成部分，其品質(zhì)好壞將對產(chǎn)品質(zhì)量直接起著極大的影 響作用。這是因為在集成電路生產(chǎn)中超純水主要是用來清洗產(chǎn)品的，幾乎每道工序都要使 用純水，這樣產(chǎn)品與水直接接觸，使得產(chǎn)品加工過程中產(chǎn)生的微量玷污得以洗凈。在此過程 中水中微量雜質(zhì)又可能使產(chǎn)品再次受到污染，使成品率下降，所以，高品質(zhì)的純水對集成電 路的生產(chǎn)就顯得尤為重要。水質(zhì)分析儀就是一種用來檢測純水的各項指標(biāo)是否符合集成電路制造用水標(biāo)準(zhǔn) 的分析儀器。通常來說，在水質(zhì)分析儀的進(jìn)水管路上設(shè)有過濾器，然而目前水質(zhì)分析儀進(jìn)水 管路上所使用的過濾器為傳統(tǒng)過濾器，該傳統(tǒng)過濾器存在以下缺點(1)取樣管直接與供水管路連接，易受管路水質(zhì)影響；(2)使用此種過濾器的儀器，經(jīng)常由于進(jìn)水壓力波動或管路進(jìn)入氣泡等問題，造成 測量值波動，嚴(yán)重者甚至不能恢復(fù)正常檢測，當(dāng)水質(zhì)分析儀取樣點所在管路流量過大或波 動過大時，尤其明顯；(3)此種過濾器經(jīng)過一段時間使用后，由于截流大量顆粒物，需將濾芯取出清洗， 給正常工作造成影響。因此，提供一種不受取樣壓力波動和氣泡等的影響，又具備自清洗功能的過濾器 成為業(yè)界亟需解決的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種可自清洗的過濾裝置，以解決目前水質(zhì)分析儀的過濾器易受 取樣壓力波動和氣泡的影響，導(dǎo)致測量值波動，并且清洗時需將濾芯取出，影響正常工作的 問題。[0011]為解決上述問題，本實用新型提出一種可自清洗的過濾裝置，所述可自清洗的過濾裝置包括兩組過濾通路，每組過濾通路包括依次相連的第一閥門、過濾器、緩沖罐以及第 二閥門，所述每組過濾通路的第一閥門連接第一三通管道、第二閥門連接第二三通管道，所 述第二三通管道還連接總閥門，所述兩組過濾通路之間設(shè)置有連接通路，所述連接通路的 兩端分別設(shè)置在所述每組過濾通路的第一閥門與過濾器之間，所述連接通路包括順次相連 的第三閥門、三通管道以及第四閥門?？蛇x的，所述過濾器包括箱體以及設(shè)置在所述箱體兩端的過濾器進(jìn)水口及過濾器 出水口，所述箱體中設(shè)置有濾芯?？蛇x的，所述緩沖罐包括罐體以及設(shè)置在所述罐體兩端的緩沖罐進(jìn)水口及緩沖罐 出水口。本實用新型由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點 和積極效果1、在過濾器后增加小型儲水罐和閥門，起到緩沖作用，使水既能經(jīng)過濾器過濾，又 能調(diào)節(jié)進(jìn)水流量，避免壓力和氣泡影響；2、將兩組過濾器并聯(lián)，通過閥門的調(diào)整，實現(xiàn)過濾器的自清洗功能。
圖1為本實用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的緩沖罐的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的并聯(lián)過濾狀態(tài)；圖5為本實用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的單過濾狀態(tài)；圖6為本實用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的自清洗狀態(tài)。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的可自清洗的過濾裝置作進(jìn)一步 詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是， 附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用 新型實施例的目的。本實用新型的核心思想在于，提供一種可自清洗的過濾裝置，以使水質(zhì)分析儀的 測量不受取樣壓力波動和氣泡的影響，并且該過濾裝置具有自清洗功能，不需將濾芯取出 進(jìn)行清洗。請參考圖1，圖1為本實用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖， 如圖1所示，該可自清洗的過濾裝置包括兩組過濾通路，每組過濾通路包括依次相連的第 一閥門10、過濾器20、緩沖罐30以及第二閥門11，所述每組過濾通路的第一閥門10連接第 一三通管道41、第二閥門11連接第二三通管道42，所述第二三通管道42還連接總閥門17， 所述兩組過濾通路之間設(shè)置有連接通路，所述連接通路的兩端分別設(shè)置在所述每組過濾通 路的第一閥門10與過濾器20之間，所述連接通路包括順次相連的第三閥門13、三通管道 40以及第四閥門14。[0026]請繼續(xù)參考圖2，圖2為本實用新型實施例提供的過濾器的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所 示，所述過濾器20包括箱體201以及設(shè)置在所述箱體201兩端的過濾器進(jìn)水口 202及過濾 器出水口 203，所述箱體201中設(shè)置有濾芯。請繼續(xù)參考圖3，圖3為本實用新型實施例提供的緩沖罐的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所 示，所述緩沖罐30包括罐體301以及設(shè)置在所述罐體301兩端的緩沖罐進(jìn)水口 302及緩沖 罐出水口 303。以下將詳細(xì)說明本實用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的工作狀態(tài)，為了 方便，將兩組并聯(lián)的過濾通路分別用A和B加以區(qū)分。本實用新型實施例提供的可自清洗 的過濾裝置的工作狀態(tài)如下(1)當(dāng)閥門13及閥門14關(guān)閉，其它閥門開啟時，該過濾裝置處于并聯(lián)過濾狀態(tài)，即 兩組過濾通路同時進(jìn)行過濾，此時，該過濾裝置的等效工作狀態(tài)圖請參考圖4，圖4為本實 用新型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的并聯(lián)過濾狀態(tài)；(2)當(dāng)閥門13及閥門14關(guān)閉，同時一組過濾通路的閥門關(guān)閉，其它閥門開啟，如閥 門13及閥門14關(guān)閉，閥門10A及閥門11A關(guān)閉時，該過濾裝置處于單路過濾狀態(tài)，即只有 一組過濾通路進(jìn)行過濾，此時，該過濾裝置的等效工作狀態(tài)圖請參考圖5，圖5為本實用新 型實施例提供的可自清洗的過濾裝置的單過濾狀態(tài)；(3)當(dāng)總閥門17關(guān)閉，一組過濾通路的第一閥門關(guān)閉，同時連接通路上遠(yuǎn)離所述 過濾通路的閥門關(guān)閉，其它閥門開啟，如總閥門17關(guān)閉，閥門10A關(guān)閉，閥門14關(guān)閉時，該 過濾裝置處于自清洗狀態(tài)，即水通過第二組過濾通路過濾后，對第一組過濾通路的過濾器 20A進(jìn)行清洗，此時，該過濾裝置的等效工作狀態(tài)圖請參考圖6，圖6為本實用新型實施例提 供的可自清洗的過濾裝置的自清洗狀態(tài)。當(dāng)然，當(dāng)總閥門17關(guān)閉，閥門10B關(guān)閉，閥門13 關(guān)閉時，水通過第一組過濾通路過濾后，對第二組過濾通路的過濾器20B進(jìn)行清洗。在上述的具體實施例中，所述可自清洗的過濾裝置是描述成用于在水質(zhì)分析儀的 進(jìn)水管路上對水樣進(jìn)行過濾的，然而應(yīng)該認(rèn)識到，所述可自清洗的過濾裝置還可以用于其 它需對取樣進(jìn)行過濾的分析儀器中。綜上所述，本實用新型提供了一種可自清洗的過濾裝置，該過濾裝置在過濾器后 增加緩沖罐和閥門，起到緩沖作用，使水既能經(jīng)過濾器過濾，又能調(diào)節(jié)進(jìn)水流量，避免壓力 和氣泡影響；同時，將兩組過濾器并聯(lián)，通過閥門的調(diào)整，實現(xiàn)過濾器的自清洗功能。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種可自清洗的過濾裝置，其特征在于，包括兩組過濾通路，每組過濾通路包括依次相連的第一閥門、過濾器、緩沖罐以及第二閥門，所述每組過濾通路的第一閥門連接第一三通管道、第二閥門連接第二三通管道，所述第二三通管道還連接總閥門，所述兩組過濾通路之間設(shè)置有連接通路，所述連接通路的兩端分別設(shè)置在所述每組過濾通路的第一閥門與過濾器之間，所述連接通路包括順次相連的第三閥門、三通管道以及第四閥門。
2.如權(quán)利要求1所述的可自清洗的過濾裝置，其特征在于，所述過濾器包括箱體以及 設(shè)置在所述箱體兩端的過濾器進(jìn)水口及過濾器出水口，所述箱體中設(shè)置有濾芯。
3.如權(quán)利要求1所述的可自清洗的過濾裝置，其特征在于，所述緩沖罐包括罐體以及 設(shè)置在所述罐體兩端的緩沖罐進(jìn)水口及緩沖罐出水口。
專利摘要本實用新型公開了一種可自清洗的過濾裝置，該過濾裝置包括兩組過濾通路，每組過濾通路包括依次相連的第一閥門、過濾器、緩沖罐以及第二閥門，所述每組過濾通路的第一閥門連接第一三通管道、第二閥門連接第二三通管道，所述第二三通管道還連接總閥門，所述兩組過濾通路之間設(shè)置有連接通路，所述連接通路的兩端分別設(shè)置在所述每組過濾通路的第一閥門與過濾器之間，所述連接通路包括順次相連的第三閥門、三通管道以及第四閥門。本實用新型所提供的過濾裝置在過濾器后增加緩沖罐和閥門，起到緩沖作用，使水既能經(jīng)過濾器過濾，又能調(diào)節(jié)進(jìn)水流量，避免壓力和氣泡影響；同時，將兩組過濾器并聯(lián)，通過閥門的調(diào)整，實現(xiàn)過濾器的自清洗功能。
文檔編號G01N1/10GK201613065SQ201020130250
公開日2010年10月27日 申請日期2010年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月12日
發(fā)明者趙晶 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司