專利名稱：測(cè)試機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
測(cè)試機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工業(yè)中的測(cè)試技術(shù)，特別是涉及一種測(cè)試機(jī)。背景技術(shù)：
測(cè)試機(jī)(Automatic Test Equipment, ATE)是用于晶圓和其他成品測(cè)試的一種專 用設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)各種電參數(shù)的測(cè)量，和探針臺(tái)配合可以完成晶圓電參數(shù)的測(cè)試。其有多個(gè) 與探針臺(tái)連接的接口。探針臺(tái)(prober)是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中用于晶圓測(cè)試的一種設(shè)備，主要完成晶圓 測(cè)試中探針卡與晶圓的可靠接觸、晶圓的固定步距移動(dòng)、以及探針臺(tái)與測(cè)試機(jī)的信號(hào)連接 等功能。測(cè)試頭是測(cè)試機(jī)上的一種測(cè)試轉(zhuǎn)換裝置，通過該裝置，可以將測(cè)試機(jī)的信號(hào)分配 給不同的測(cè)試單元，以便提高測(cè)試的效率。傳統(tǒng)的測(cè)試機(jī)只有一個(gè)測(cè)試頭，與探針臺(tái)配合對(duì)晶圓進(jìn)行測(cè)試時(shí)，只能進(jìn)行單芯 片測(cè)試，即晶圓每次移位并與探針卡接觸只能測(cè)試一個(gè)芯片，測(cè)試效率較低。為了提高測(cè)試效率，有的測(cè)試機(jī)，如JUNOTeseter公司生產(chǎn)的DTS-1000，配備有兩 個(gè)測(cè)試頭，可以連接兩臺(tái)探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)乒乓測(cè)試，如圖1所示。測(cè)試機(jī)100包括第一測(cè)試頭 110和第二測(cè)試頭120，分別連接探針臺(tái)200和探針臺(tái)300。第一測(cè)試頭110測(cè)試一個(gè)探針 臺(tái)200承載的晶圓的一個(gè)芯片后，得到測(cè)試結(jié)果；在探針臺(tái)200對(duì)晶圓移位并與探針卡接觸 的過程中，第二測(cè)試頭120測(cè)試探針臺(tái)300承載的晶圓的一個(gè)芯片，并得到測(cè)試結(jié)果。這樣 就可以省下移位和與探針卡接觸的時(shí)間。這樣雖然提高了測(cè)試速度，但需要一臺(tái)測(cè)試機(jī)和兩臺(tái)探針臺(tái)配合測(cè)試，需要的設(shè) 備較多，因此提高了測(cè)試成本。

實(shí)用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種只需要和一臺(tái)探針機(jī)配合測(cè)試，但仍能保證較快的測(cè)試 速度的測(cè)試機(jī)。一種測(cè)試機(jī)，包括多個(gè)測(cè)試頭，還包括通過數(shù)據(jù)接口與所述多個(gè)測(cè)試頭連接的控 制模塊，所述控制模塊接收測(cè)試信號(hào)，通過數(shù)據(jù)接口指示所述多個(gè)測(cè)試頭順次開始測(cè)試，每 個(gè)測(cè)試頭測(cè)試完成后將測(cè)試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊，待所有測(cè)試頭均完成了一 次測(cè)試后，將所有的測(cè)試結(jié)果通過控制模塊集中輸出。優(yōu)選的，所述多個(gè)測(cè)試頭是兩個(gè)測(cè)試頭。 優(yōu)選的，所述數(shù)據(jù)接口是并口。優(yōu)選的，所述控制模塊包括復(fù)雜可編程邏輯器件。優(yōu)選的，所述控制模塊還包括串口，通過串口接收所述測(cè)試信號(hào)或輸出測(cè)試結(jié)果。優(yōu)選的，所述控制模塊還包括向復(fù)雜可編程邏輯器件提供工作電源的電源模塊。優(yōu)選的，所述控制模塊還包括向復(fù)雜可編程邏輯器件提供工作時(shí)鐘的時(shí)鐘模塊。[0016]上述測(cè)試機(jī)配備有多個(gè)測(cè)試頭，所有測(cè)試頭均完成了一次測(cè)試后，將測(cè)試結(jié)果集 中輸出，因此晶圓每移動(dòng)并與探針卡接觸一次，可以測(cè)試與測(cè)試頭數(shù)量相等的芯片，相對(duì)于 每移動(dòng)并與探針卡接觸一次只能測(cè)試一個(gè)芯片的傳統(tǒng)單芯片測(cè)試的測(cè)試機(jī)，大大提高了測(cè) 試速度和效率。且只需要與一臺(tái)探針臺(tái)配合進(jìn)行測(cè)試，相對(duì)于需要與兩臺(tái)探針臺(tái)配合進(jìn)行 乒乓測(cè)試的測(cè)試機(jī)，能夠節(jié)省成本。

圖1是傳統(tǒng)的有兩個(gè)測(cè)試頭的測(cè)試機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是一個(gè)實(shí)施例中本實(shí)用新型測(cè)試機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是另一個(gè)實(shí)施例中本實(shí)用新型測(cè)試機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是一個(gè)實(shí)施例中控制模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式圖2是一個(gè)實(shí)施例中本實(shí)用新型測(cè)試機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。與探針臺(tái)200連接的測(cè)試 機(jī)100包括多個(gè)測(cè)試頭及控制模塊130。控制模塊130接收并通過數(shù)據(jù)接口(圖未示)轉(zhuǎn)發(fā) 探針臺(tái)200發(fā)送的開始測(cè)試信號(hào)，指示所述多個(gè)測(cè)試頭順次開始測(cè)試，每個(gè)測(cè)試頭測(cè)試完 成后將測(cè)試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊。待所有測(cè)試頭均完成了一次測(cè)試后，將所 有的測(cè)試結(jié)果轉(zhuǎn)換成探針臺(tái)能夠識(shí)別的形式，然后集中輸出給探針臺(tái)200 ；同時(shí)測(cè)試機(jī)100 指示探針臺(tái)200將晶圓移動(dòng)到下一個(gè)位置并與探針卡接觸，開始進(jìn)行下一輪測(cè)試。圖3是另一個(gè)實(shí)施例中本實(shí)用新型測(cè)試機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖，該實(shí)施例是測(cè)試機(jī)配備 有兩個(gè)測(cè)試頭的情況。與探針臺(tái)200連接的測(cè)試機(jī)100包括第一測(cè)試頭110、第二測(cè)試頭 120以及控制模塊130。控制模塊130接收并通過數(shù)據(jù)接口(圖未示)轉(zhuǎn)發(fā)探針臺(tái)200發(fā)送的開始測(cè)試信 號(hào)，指示第一測(cè)試頭110開始測(cè)試。測(cè)試機(jī)100的第一測(cè)試頭110測(cè)試完一個(gè)芯片(DIE) 后，將測(cè)試結(jié)果發(fā)送給控制模塊130，同時(shí)第二測(cè)試頭120開始對(duì)另一個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試，測(cè) 試完后再通過數(shù)據(jù)接口(圖未示)將測(cè)試結(jié)果發(fā)送給控制模塊130，由控制模塊130將兩次 收到的結(jié)果轉(zhuǎn)換成探針臺(tái)能夠識(shí)別的形式后，一并反饋給探針臺(tái)200。這個(gè)實(shí)施例中測(cè)試機(jī)在測(cè)試兩個(gè)芯片后晶圓才需要移位并與探針卡接觸一次，相 對(duì)于傳統(tǒng)的單芯片測(cè)試，能在這個(gè)環(huán)節(jié)節(jié)省一半的時(shí)間。相對(duì)于需要連接兩臺(tái)探針臺(tái)的乒 乓測(cè)試，能節(jié)省下一臺(tái)探針臺(tái)，大大降低了成本。圖4是一個(gè)實(shí)施例中控制模塊的結(jié)構(gòu)示意圖。控制模塊130包括復(fù)雜可編程邏輯 器件(Complex Programmable Logic Device, CPLD) 132、電源模塊 134、時(shí)鐘模塊 136 以及 串 口 138。復(fù)雜可編程邏輯器件132與電源模塊134、時(shí)鐘模塊136、串口 138均相連接，通過 并口(圖未示)向測(cè)試機(jī)100轉(zhuǎn)發(fā)探針臺(tái)200發(fā)送的開始測(cè)試信號(hào)并接收兩個(gè)測(cè)試頭發(fā)送 的測(cè)試結(jié)果，還用于將測(cè)試結(jié)果通過串口 138經(jīng)過轉(zhuǎn)換后發(fā)送給串口 138，通過串口 138反 饋給探針臺(tái)200。電源模塊134用于向復(fù)雜可編程邏輯器件132提供工作電源。時(shí)鐘模塊136用于向復(fù)雜可編程邏輯器件132提供工作時(shí)鐘。
4[0029]串口 138是控制模塊130與探針臺(tái)200之間的通信接口，完成接收探針臺(tái)200發(fā) 送的開始測(cè)試信號(hào)，以及向探針臺(tái)200集中輸出測(cè)試結(jié)果等信號(hào)交互功能。上述測(cè)試機(jī)配備有多個(gè)測(cè)試頭，所有測(cè)試頭均完成了一次測(cè)試后，將測(cè)試結(jié)果集 中輸出，因此晶圓每移動(dòng)并與探針卡接觸一次，可以測(cè)試與測(cè)試頭數(shù)量相等的芯片，相對(duì)于 每移動(dòng)并與探針卡接觸一次只能測(cè)試一個(gè)芯片的傳統(tǒng)單芯片測(cè)試的測(cè)試機(jī)，大大提高了測(cè) 試速度和效率。且只需要與一臺(tái)探針臺(tái)配合進(jìn)行測(cè)試，相對(duì)于需要與兩臺(tái)探針臺(tái)配合進(jìn)行 乒乓測(cè)試的測(cè)試機(jī)，能夠節(jié)省成本。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種測(cè)試機(jī)，包括多個(gè)測(cè)試頭，其特征在于，還包括通過數(shù)據(jù)接口與所述多個(gè)測(cè)試頭連接的控制模塊，所述控制模塊接收測(cè)試信號(hào)，通過數(shù)據(jù)接口指示所述多個(gè)測(cè)試頭順次開始測(cè)試，每個(gè)測(cè)試頭測(cè)試完成后將測(cè)試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊，待所有測(cè)試頭均完成了一次測(cè)試后，將所有的測(cè)試結(jié)果通過控制模塊集中輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述多個(gè)測(cè)試頭是兩個(gè)測(cè)試頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)接口是并口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述控制模塊包括復(fù)雜可編程邏輯器件。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述控制模塊還包括串口，通過串口接 收所述測(cè)試信號(hào)或輸出測(cè)試結(jié)果。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述控制模塊還包括向復(fù)雜可編程邏 輯器件提供工作電源的電源模塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試機(jī)，其特征在于，所述控制模塊還包括向復(fù)雜可編程邏 輯器件提供工作時(shí)鐘的時(shí)鐘模塊。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種測(cè)試機(jī)，包括多個(gè)測(cè)試頭，還包括通過數(shù)據(jù)接口與多個(gè)測(cè)試頭連接的控制模塊，控制模塊接收測(cè)試信號(hào)，通過數(shù)據(jù)接口指示多個(gè)測(cè)試頭順次開始測(cè)試，每個(gè)測(cè)試頭測(cè)試完成后將測(cè)試結(jié)果通過數(shù)據(jù)接口發(fā)送給控制模塊，待所有測(cè)試頭均完成了一次測(cè)試后，將所有的測(cè)試結(jié)果通過控制模塊集中輸出。上述測(cè)試機(jī)配備有多個(gè)測(cè)試頭，晶圓每移動(dòng)并與探針卡接觸一次，可以測(cè)試與測(cè)試頭數(shù)量相等的芯片，相對(duì)于每移動(dòng)并與探針卡接觸一次只能測(cè)試一個(gè)芯片的傳統(tǒng)單芯片測(cè)試的測(cè)試機(jī)，大大提高了測(cè)試速度和效率。且只需要與一臺(tái)探針臺(tái)配合進(jìn)行測(cè)試，相對(duì)于需要與兩臺(tái)探針臺(tái)配合進(jìn)行乒乓測(cè)試的測(cè)試機(jī)，能夠節(jié)省成本。
文檔編號(hào)G01R31/00GK201637797SQ201020148259
公開日2010年11月17日 申請(qǐng)日期2010年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月24日
發(fā)明者顧漢玉 申請(qǐng)人:華潤(rùn)賽美科微電子(深圳)有限公司